JP2005183439A - バンプ電極、バンプ電極製造方法及びバンプ電極接続構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 金をめっきにより堆積させた第1接続層4と、銅をめっきにより堆積させたコア部5と、金をめっきにより堆積させた第2接続層6を備え、第1接続層4の表面形状が平坦で、且つLSIチップ20の表面と実質的に平行な第1の面2を有する。
【選択図】 図1
Description
(1)このようなバンプ電極を有する電子デバイス、例えば半導体チップを、配線基板やパッケージ等に搭載する際に、配線基板やパッケージ等の搭載用電極とバンプ電極との熱圧着により接続する場合、接合強度を得るために、バンプ電極と搭載用電極との接合面積をできるだけ広くする必要があるが、バンプ電極の先端が尖っているとその潰し量を多くとらなければならず、潰れ方が不均一であると、接合後のバンプ電極形状が不均一になり、信頼性に悪影響を及ぼす。
(2)潰し量を多くとるためには、例えば特許文献1の例では金めっき膜8を厚くするために使用するAuの量を増やさなければならず、高コストの原因になる。
(3)配線基板やパッケージ等の搭載用電極とバンプ電極とを、導電性接着材で接合する場合、バンプ電極の先端に導電性接着材を転写する必要があるが、尖っていると、先端に転写される導電性接着材量を制御することが難しくなり、且つ接合強度を確保するには導電性接着材量を増やす必要がある。尚、上述の導電性接着材としては、例えば粒径が数nm〜100nm程度の微細粒子を含有する導電性接着材(以下、微粒子ペーストとする)を用いるのが好ましい。
第1の導電材料からなる第1接続層と、この第1接続層に少なくとも一部が被覆され第2の導電材料からなるコア部を備え、
前記第1の面は前記第1接続層に形成されると共に平坦部を有し、且つこの平坦部が前記第1の基板から最も離隔した位置にあることを特徴とする。言い換えると、本発明のバンプ電極は、互いに対向する第1の面と第2の面を有し且つ前記第2の面が所定の第1の基板の導電層に接続され、
第1の導電材料からなる第1接続層と、第2の導電材料からなるコア部を備え且つこのコア部は前記第1接続層に被覆された部分を有し、
前記第1の面は前記第1接続層に形成されると共に平坦部を有することを特徴とする。
前記ピット内に第1の導電材料を堆積して第1接続層を形成する工程と、この第1接続層の上に第2の導電材料を堆積してコア部を形成する工程と、このコア部の上に第3の導電材料を堆積して第2接続層を形成する工程と、を含み、前記第1接続層は前記シリコン基板に直接接して形成されていることを特徴とする。
尚、以下では第1の基板及びその導電層の例として、半導体チップ(以下、LSIチップとする)20及びこのLSIチップ20上に形成されたパッド電極21を用い、第2の基板及びその搭載用電極の例として、前述のLSIチップ20が搭載される配線基板30及びこの配線基板30上に形成された搭載用電極31を用いて説明する。
上記実施形態のバンプ電極1は、低抵抗Si基板(導電型は、p,nどちらでもよい)に所望の逆角錐台形状のピットを形成し、このピット内に所定の導電材料を例えばめっき法により堆積させて形成する。図2及び図3は、バンプ電極1の製造方法を説明するための図で、図2(a)は低抵抗Si基板51に表面開口部53と底部54を有するピットが形成された状態の平面図、図2(b)乃至(e)並びに図3(a)及び(b)は主要工程における図2(a)のP−P’線に沿った位置の断面を示す工程毎断面図である。
2 第1の面
3 第2の面
4 第1接続層
5 コア部
6 第2接続層
6c 凹部
7 先端部
20 LSIチップ
21 パッド電極
23 保護絶縁膜
30 配線基板
31 搭載用電極
40 導電性接着材
50,50a Siテンプレート
51 低抵抗Si基板
52 酸化膜
53 表面開口部
53a 開孔
54 底部
60 PR
Claims (19)
- 第1の面と第2の面を有し且つ前記第2の面が所定の第1の基板の導電層に接続されたバンプ電極であって、
第1の導電材料からなる第1接続層と、この第1接続層に少なくとも一部が被覆され第2の導電材料からなるコア部を備え、
前記第1の面は前記第1接続層に形成されると共に平坦部を有し、且つこの平坦部が前記第1の基板から最も離隔した位置にあることを特徴とするバンプ電極。 - 前記第1の導電材料の硬度よりも前記第2の導電材料の硬度が高い請求項1記載のバンプ電極。
- 前記平坦部は、前記第1の基板の表面と平行である請求項1又は2に記載のバンプ電極。
- 前記第2の面に接する面と前記第1の面が互いに平行である請求項1乃至3いずれか1項に記載のバンプ電極。
- 前記第1の面の面積が、前記第2の面の面積よりも小さい請求項1乃至4いずれか1項に記載のバンプ電極。
- 前記第1の面及び前記第2の面を通り、それぞれに垂直な平面で切断したときの断面形状が略台形である請求項1乃至5いずれか1項に記載のバンプ電極。
- 前記第1接続層の厚さが、0.05μm以上且つ5μm以下の範囲にある請求項1乃至6いずれか1項に記載のバンプ電極。
- 第3の導電材料からなる第2接続層を更に備え、前記コア部の一部は前記第2接続層に被覆され、前記第2の面は前記第2接続層の表面に形成されている請求項1乃至7いずれか1項に記載のバンプ電極。
- シリコン基板に開口部面積よりも小さい底面面積を有する逆台形状のピットを設けるピット形成工程と、
前記ピット内に第1の導電材料を堆積して第1接続層を形成する工程と、この第1接続層の上に第2の導電材料を堆積してコア部を形成する工程と、このコア部の上に第3の導電材料を堆積して第2接続層を形成する工程と、を含み、前記第1接続層は前記シリコン基板に直接接して形成されていることを特徴とするバンプ電極製造方法。 - 前記底面面積は、前記開口部面積の10%以上且つ60%以下の範囲にある請求項9記載のバンプ電極製造方法。
- 前記シリコン基板は、比抵抗が1Ω・cm以下である請求項9又は10に記載のバンプ電極製造方法。
- 前記第1の導電材料の硬度よりも前記第2の導電材料の硬度が高い請求項9乃至11いずれか1項に記載のバンプ電極製造方法。
- 請求項1乃至8いずれか1項に記載のバンプ電極を複数個備えた第1の基板を前記バンプ電極を介して第2の基板に搭載するバンプ電極接続構造であって、前記第2の基板は前記バンプ電極のそれぞれの位置に対応して搭載用電極を有し、この搭載用電極と対応する前記バンプ電極とを導電性接着剤で接続したことを特徴とするバンプ電極接続構造。
- 請求項1乃至8いずれか1項に記載のバンプ電極を複数個備えた第1の基板を前記バンプ電極を介して第2の基板に搭載するバンプ電極接続構造であって、前記第2の基板は前記バンプ電極のそれぞれの位置に対応して搭載用電極を有し、この搭載用電極と対応する前記バンプ電極とを低融点金属ロウ材で接続したことを特徴とするバンプ電極接続構造。
- 請求項1乃至8いずれか1項に記載のバンプ電極を複数個備えた第1の基板を前記バンプ電極を介して第2の基板に搭載するバンプ電極接続構造であって、前記第2の基板は前記バンプ電極のそれぞれの位置に対応して搭載用電極を有し、この搭載用電極と対応する前記バンプ電極とを熱圧着により接続したことを特徴とするバンプ電極接続構造。
- 前記第1の基板が半導体基板である請求項13乃至15いずれか1項に記載のバンプ電極接続構造。
- 前記第1の基板が配線基板である請求項13乃至15いずれか1項に記載のバンプ電極接続構造。
- 前記第2の基板が半導体基板、樹脂基板、及びセラミック基板を含む群の中から選択されたものである請求項13乃至17いずれか1項に記載のバンプ電極接続構造。
- 前記第2の基板が半導体装置の一部である請求項13乃至17いずれか1項に記載のバンプ電極接続構造。
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