JP2005182635A - 品質改善システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ナレッジサーバ12のナレッジDB15には、エンジニアにより設定された解析手順の定義ファイルが蓄積され、アプリケーションサーバ13により、その解析手順に従い外部DB18から所定のデータが取得されてデータ解析が行われる。その解析結果に対して、クライアントサーバ14から入力されたリファレンス情報が付加され、ナレッジDB15に蓄積される。そのリファレンス情報によって重要度が判断され、その重要度の高い解析手順の定義ファイルがナレッジDB15から抽出される。
【選択図】 図1
Description
近年、高度化する半導体製造プロセスにおいて、製造工程数の増大や工程処理技術の複雑化が進んでいる。このことから従来の解析システムでデータ解析を行う場合には長い手番を必要とする。また、エンジニアが解析手法を有効に活用するためには、その解析システムに習熟する必要がある。つまり、品質改善のノウハウについては、エンジニアの個人毎に蓄積されるだけで、システムの有効性は使う側の能力に委ねられている。そのため、エンジニアの思考に沿った解析手法をシステム化して、品質改善のスピードアップを図る技術が要求されている。
特許文献1に開示されているデータ解析システムでは、検査異常に伴う一連のデータ(分析データ、装置メンテナンスデータ)が日付を基準に抽出されている。このシステムは、あくまで欠陥検査の分野に限られ、尚且つデータを抽出する機能のみで、抽出データの活用や解析考察などはシステム化されていない。従って、データの活用や解析考察についてはエンジニアの思考・判断に委ねられている。
図1には本実施形態の品質改善システム11の概略構成図を示している。
品質改善システム11は、ナレッジサーバ12とアプリケーションサーバ13とから構成される。ナレッジサーバ12は、Web/APPサーバとして機能するコンピュータであり、エンジニアによって操作されるクライアントサーバ14とネットワーク(例えば、インターネット)を介して接続されている。
ナレッジサーバ12は、解析種類やテクノロジ毎にシステムユーザを分類してグループ管理する機能12aを持ち、自己学習でナレッジデータベース(DB)15を構築する。具体的に、ナレッジサーバ12は、解析ための条件入力の受付、解析結果の公開、解析結果に対するコメント入力などをグループ毎に管理して、アプリケーションサーバでの処理結果やエンジニアによるコメントなどをナレッジDB15に蓄積することにより、解析手法やトラブル対応の手法を自己学習する。
本実施形態の品質改善システム11では、Web上のユーザインターフェース30により、グラフ表示及びコメント入力の設定機能(config機能)31とデータ条件(データ抽出と加工)の設定機能(config機能)32とが提供される。また、本システム11では、トレンド図、相関図、管理図などの各種の解析機能a〜zのテンプレート33が用意されており、グラフ表示の設定機能により、どのテンプレート33を使って解析を行うのかが設定される。
図4に示すように、本実施形態では、各設定画面35a〜35eがドリルダウン方式で表示され、各設定画面で各種の解析条件が設定され、それに応じた解析手順が定義リスト(config list)に登録される。
先ず、図6の解析処理について説明する。なお、この処理は、エンジニアがクライアントサーバ14を操作して、Web上に掲載されているシステム11のメインメニューにアクセスし、データ解析の項目を選択したときに開始される。
図8に示すように、従来のナレッジシステムでは、個々の解析結果について、エンジニアが入力端末(クライアントサーバ14)を操作して個別にコメントを入力する。ナレッジサーバ12は、各入力端末からの入力情報を、テクノロジ、解析テーマ、解析手法、結果に応じて分類し、キーワード化してデータベース15に蓄積する。このデータベース15への入力情報は、重み付けされることなく、コメントの入力順番に基づいて並列に蓄積される。そして、このシステムでは、コメントに含まれるキーワードの出現頻度などに基づいて入力情報がデータベース15から抽出される。
先ず、ナレッジサーバ12は、ステップ650において、クライアントサーバ14に所定のページデータを送信し、欠陥解析のためのメニュー画面を表示させる。ここで、エンジニアは、そのメニュー画面における処理履歴と相関解析の項目を選択する。
(1)別々の外部DB18で管理されている品質データを使用して、エンジニアの思考に沿った解析処理を自動で行うことができる。また、過去にエンジニアが行った解析手順や解析結果などのコメントをエンジニアのノウハウとしてナレッジDB15に蓄積することができる。そして、解析結果に付加されるコメント(リファレンス情報)の頻度と該コメントに含まれる単語の出現頻度や重要度に関するデータとに基づいて解析手順の情報が抽出される。従って、重要度の高い解析手順を別のエンジニアが容易に利用することができる。このように、品質改善の手法をシステム化することで、エンジニアのスキル差をなくし、エンジニアの解析作業の効率化を図ることができる。
(5)複数のエンジニアが重要と判断した解析結果に対しては、コメントが集中して書き込まれるため、コメントの積み重ね(頻度)の大きさやコメントの順番(関連付け)を管理することにより、解析結果の重要度を判断してナレッジDB15に蓄積することができる。また、結果内容の成功例と失敗例とを選別しながら解析結果をナレッジDB15に蓄積することができる。このため、コメントの頻度や効果が大きな結果に対応する処理手順を優先的にナレッジDB15から抽出することができる。このように、コメントの書き込み頻度、コメントの順番、結果内容を管理することにより、エンジニアの知見を集約させたナレッジDBを自己学習で構築することができる。
・図23に示すように、解析結果の相関度合に基づいて、解析結果に対するコメント入力を行うようにしてもよい。具体的に、ナレッジサーバ12は、ステップ900において、解析結果のグラフにおけるX軸とY軸とのデータ間の相関係数が、所定値(例えば、0.3)よりも高いか否かを判断する。ここで、相関係数が所定値よりも高ければ、ステップ910に移行して、解析結果の相関性が高く重要度が大きい解析結果であると判断してエンジニアによるコメントの入力を要求する。一方、相関係数が所定値以下であれば、重要度が小さい解析結果である判断して、ステップ910の処理を迂回する。なお、相関係数以外の係数(例えば、相関係数を2乗して有られる決定係数)を用いて、解析結果の重要度を自動で判断して、エンジニアにコメントを要求するか否かを決定するように構成してもよい。
上記実施形態から把握できる技術的思想を以下に記載する。
(付記1)半導体製造工程で取得された各種の品質データを蓄積する複数の外部データベースが接続され、該各品質データを用いて品質改善のための処理を行う品質改善システムにおいて、
解析手順の情報を記憶手段に蓄積する知識活用処理装置と、
前記解析手順に従い、前記外部データベースから所定のデータを取得してデータ解析を行うデータ加工装置と
を備え、
前記知識活用処理装置は、前記データ加工装置の解析結果に対して、入力手段から入力されたリファレンス情報を付加して記憶手段に蓄積する機能と、前記リファレンス情報により重要度を判断し、その重要度に応じて前記記憶手段から解析手順の情報を抽出する機能とを有することを特徴とする品質改善システム。
(付記2)前記知識活用処理装置は、前記解析結果に付加される前記リファレンス情報の頻度と該リファレンス情報に含まれる単語の出現頻度や重要度に関するデータとに基づいて、前記解析手順の情報を抽出することを特徴とする付記1に記載の品質改善システム。
(付記3)前記データ加工装置は、別の外部データベースで管理される複数工程の品質データについて、抽出・加工するデータとして処理工程と検査工程との工程名が指定されることにより、任意の処理工程における装置別、処理順のトレンドグラフを作成する機能を有することを特徴とする付記1又は2に記載の品質改善システム。
(付記4)前記データ加工装置は、前記抽出・加工するデータについて、データ単位を自動判断し、各データのうちでデータ単位が小さいデータを基準としてデータ結合することを特徴とする付記3に記載の品質改善システム。
(付記5)前記データ加工装置は、処理順、処理工程、処理装置のいずれかを基準とし、前記品質データのトレンドグラフを表示させるための機能を有することを特徴とする付記1に記載の品質改善システム。
(付記6)前記知識活用処理装置は、前記記憶手段に登録された手順に従って、前記品質データとしての数値とグラフと画像のデータの中から任意に選んで加工することを特徴とする付記1に記載の品質改善システム。
(付記7)前記入力手段は、ドリルダウン方式の条件設定画面を用いて前記解析手順の定義ファイルを作成することを特徴とする付記1に記載の品質改善システム。
(付記8)前記知識活用処理装置は、前記解析結果やトラブルの対応結果に対するコメントを前記記憶手段に蓄積し、そのコメントの頻度や効果が大きな結果に対応する処理手順を優先的に抽出するようにしたことを特徴とする付記1に記載の品質改善システム。
(付記9)前記知識活用処理装置は、前記解析結果に対するコメントの書き込み頻度、コメントの順番、コメントに含まれる結果内容を管理して蓄積することにより、前記記憶手段としてのナレッジデータベースを構築することを特徴とする付記1に記載の品質改善システム。
(付記10)前記知識活用処理装置は、品質改善のための解析結果を目的別に前記ナレッジデータベースに蓄積し、該目的別に品質改善のための処理手順のナビゲートを行うことを特徴とする付記9に記載の品質改善システム。
(付記11)前記知識活用処理装置の蓄積情報に基づいて、前記品質改善のための解析処理とトラブル対応処理とを自動で行うようにしたことを特徴とする付記1に記載の品質改善システム。
(付記12)前記データ加工装置は、データの抽出・加工を行うためのプログラムを実行するアプリケーションサーバであり、
前記知識活用処理装置は、解析の条件入力と解析結果とをWeb上に公開し、その結果に対するコメントを蓄積して自己学習でデータベースを構築するナレッジサーバであることを特徴とする付記1に記載の品質改善システム。
(付記13)前記ナレッジサーバは、前記データベースの蓄積情報について、解析の種類やテクノロジ毎にシステムユーザのグループ管理をする機能を有することを特徴とする付記12に記載の品質改善システム。
(付記14)前記ナレッジサーバは、前記リファレンス情報に含まれる単語の出現頻度と重要度に関するデータとを参照するリポジトリデータベースを含むことを特徴とする付記12に記載の品質改善システム。
(付記15)半導体製造工程で取得された各種の品質データを蓄積する複数の外部データベースが接続され、該各品質データを用いた品質改善方法において、品質データを解析するプログラムを有したナレッジサーバが、外部データベースにリファレンス情報を付加して蓄積されたリポジトリデータベースを参照して自己学習することを特徴とする品質改善方法。
(付記16)前記ナレッジサーバが、前記品質データを解析した結果をさらに前記リポジトリデータベースへ蓄積するようにして自己学習することを特徴とする付記15に記載の品質改善方法。
(付記17)前記リファレンス情報には重要度の重み付けが含まれることを特徴とする付記15に記載の品質改善方法。
12 知識活用処理装置としてのナレッジサーバ
13 データ加工装置としてのアプリケーションサーバ
14 入力手段としてのクライアントサーバ
15 記憶手段としてのナレッジデータベース
18,18a〜18e 外部データベース
Claims (10)
- 半導体製造工程で取得された各種の品質データを蓄積する複数の外部データベースが接続され、該各品質データを用いて品質改善のための処理を行う品質改善システムにおいて、
解析手順の情報を記憶手段に蓄積する知識活用処理装置と、
前記解析手順に従い、前記外部データベースから所定のデータを取得してデータ解析を行うデータ加工装置と
を備え、
前記知識活用処理装置は、前記データ加工装置の解析結果に対して、入力手段から入力されたリファレンス情報を付加して記憶手段に蓄積する機能と、前記リファレンス情報により重要度を判断し、その重要度に応じて前記記憶手段から解析手順の情報を抽出する機能とを有することを特徴とする品質改善システム。 - 前記知識活用処理装置は、前記解析結果に付加される前記リファレンス情報の頻度と該リファレンス情報に含まれる単語の出現頻度や重要度に関するデータとに基づいて、前記解析手順の情報を抽出することを特徴とする請求項1に記載の品質改善システム。
- 前記データ加工装置は、別の外部データベースで管理される複数工程の品質データについて、抽出・加工するデータとして処理工程と検査工程との工程名が指定されることにより、任意の処理工程における装置別、処理順のトレンドグラフを作成する機能を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の品質改善システム。
- 前記データ加工装置は、前記抽出・加工するデータについて、データ単位を自動判断し、各データのうちでデータ単位が小さいデータを基準としてデータ結合することを特徴とする請求項3に記載の品質改善システム。
- 前記データ加工装置は、処理順、処理工程、処理装置のいずれかを基準とし、前記品質データのトレンドグラフを表示させるための機能を有することを特徴とする請求項1に記載の品質改善システム。
- 前記知識活用処理装置は、前記記憶手段に登録された手順に従って、前記品質データとしての数値とグラフと画像のデータの中から任意に選んで加工することを特徴とする請求項1に記載の品質改善システム。
- 前記入力手段は、ドリルダウン方式の条件設定画面を用いて前記解析手順の定義ファイルを作成することを特徴とする請求項1に記載の品質改善システム。
- 前記知識活用処理装置は、前記解析結果やトラブルの対応結果に対するコメントを前記記憶手段に蓄積し、そのコメントの頻度や効果が大きな結果に対応する処理手順を優先的に抽出するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の品質改善システム。
- 前記知識活用処理装置は、前記解析結果に対するコメントの書き込み頻度、コメントの順番、コメントに含まれる結果内容を管理して蓄積することにより、前記記憶手段としてのナレッジデータベースを構築することを特徴とする請求項1に記載の品質改善システム。
- 前記知識活用処理装置は、品質改善のための解析結果を目的別に前記ナレッジデータベースに蓄積し、該目的別に品質改善のための処理手順のナビゲートを行うことを特徴とする請求項9に記載の品質改善システム。
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