JP2005175027A - 真空コンデンサ - Google Patents
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Abstract
【課題】円筒状電極板の寸法を変更せず、耐電圧特性等に悪影響を与えることなく静電容量を調整し、静電容量のバラツキ精度を向上する。
【解決手段】絶縁筒1の両端に第1及び第2の端部電極2,3を封着して真空容器4を形成し、各端部電極2,3の内面側にそれぞれ複数の径が異なる円筒状電極板6a,7aを同心状にかつ相手側の円筒状電極板6a,7a間に挿入されるように立設して第1及び第2の円筒電極6,7を構成し、第1及び第2の円筒電極6,7の対向する円筒状電極板6a,7aにそれぞれ静電容量調整用の調整孔6b,7bを対向面積可変に設ける。
【選択図】図1
【解決手段】絶縁筒1の両端に第1及び第2の端部電極2,3を封着して真空容器4を形成し、各端部電極2,3の内面側にそれぞれ複数の径が異なる円筒状電極板6a,7aを同心状にかつ相手側の円筒状電極板6a,7a間に挿入されるように立設して第1及び第2の円筒電極6,7を構成し、第1及び第2の円筒電極6,7の対向する円筒状電極板6a,7aにそれぞれ静電容量調整用の調整孔6b,7bを対向面積可変に設ける。
【選択図】図1
Description
この発明は、大電力送信機の発振回路、半導体製造装置用の高周波電源回路、あるいは誘導加熱装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに関するものである。
真空コンデンサの構造を大別すると、静電容量値が固定されている真空固定コンデンサと静電容量値を可変することができる真空可変コンデンサとがある。真空固定コンデンサとしては、特許文献1及び特許文献2に示されたものがあるが、同様のものを図2に示す。図2において、1はセラミックスあるいはガラスからなる絶縁筒、2,3は銅製の第1及び第2の端部電極であり、端部電極2,3の内面側中心には凸部2a,3aが設けられるとともに、外周には内方に突出したフランジ部2b,3bが設けられ、各フランジ部2b,3bの先端が絶縁筒1の両端に封着され、真空容器4が形成される。又、端部電極2,3の外面側中心には外部接続導体を取り付けるための雌ねじ部2c,3cが設けられ、凸部2a,3aの先端には係合穴2d、3dが設けられ、係合穴2d、3d間にはセラミックス製の位置決めピン5が係合される。端部電極2の内面側には、径が異なる複数の銅製の円筒状薄肉電極板6aを同心状の一定間隔で立設し、第1の円筒電極6を形成する。又、端部電極3の内面側にも、径が異なる複数の銅製の円筒状薄肉電極板7aを円筒電極6の各円筒状電極板6a間に等間隔で挿入されるように同心状の一定間隔で立設し、第2の円筒電極7を形成する。位置決めピン5は各円筒電極6,7の径方向の位置決めのため及び軸方向の間隔を所定のものにするために設けている。
上記構成の真空固定コンデンサの製造方法について説明すると、まず第1の工程においては、第1及び第2の端部電極2,3の内面上にロー材を介して第1及び第2の円筒電極6,7を構成する各円筒状電極板6a,7aを同心状に配置し、真空中あるいは不活性ガスガス中あるいは水素ガス中の非酸化性雰囲気中で加熱ロー付けする。次に、第2の工程においては、第2の円筒電極7を有する第2の端部電極3のフランジ部3b上にロー材を介して絶縁筒1の一端側を載置し、絶縁筒1の他端側にもロー材を介して第1の円筒電極6を有する第1の端部電極2のフランジ部2bを載置し、かつ各係合穴2d,3d間に位置決めピン5を係合して仮組立する。この仮組立した各部材を真空加熱炉内に入れ、真空中で加熱ロー付けする。
上記したような真空固定コンデンサにおいては、各対向する円筒状薄肉電極板6a,7aが形成する静電容量の和が真空固定コンデンサとしての静電容量となる。対向する無限同軸円筒電極の単位長さL当たりの静電容量Cは(1)式で示され、(1)式は複数の対向する有限同軸円筒電極を有する真空固定コンデンサにも概略適用可能である。
C=2πε0L/log(b/a) (1)
ここで、図3に示すように、aは内側の円筒状薄肉電極板(例えば7a)の半径、bは外側の円筒状薄肉電極板(例えば6a)の半径、ε0は真空中の誘電率、Lは対向する円筒状薄肉電極板6a,7aの平行する長さである。もちろん、円筒状電極板7aが外側で円筒状電極板6aが内側のこともある。従って、図2に示すように円筒状電極板6a,7aがそれぞれ複数枚で構成されている場合は、(1)式の総和で真空固定コンデンサとしての静電容量が示され、また真空固定コンデンサの耐電圧特性は内側の円筒状電極板6a,7aの半径aと外側の円筒状電極板6a,7aの半径bとの間隔により決定される。
特開2000−58384号公報
特開2000−58385号公報
ここで、図3に示すように、aは内側の円筒状薄肉電極板(例えば7a)の半径、bは外側の円筒状薄肉電極板(例えば6a)の半径、ε0は真空中の誘電率、Lは対向する円筒状薄肉電極板6a,7aの平行する長さである。もちろん、円筒状電極板7aが外側で円筒状電極板6aが内側のこともある。従って、図2に示すように円筒状電極板6a,7aがそれぞれ複数枚で構成されている場合は、(1)式の総和で真空固定コンデンサとしての静電容量が示され、また真空固定コンデンサの耐電圧特性は内側の円筒状電極板6a,7aの半径aと外側の円筒状電極板6a,7aの半径bとの間隔により決定される。
上記したように、真空固定コンデンサの静電容量の値は、内側の円筒状電極板6a,7aの半径a、外側の円筒状電極板6a、7aの半径b、内外の円筒状電極板6a,7aの平行長さLにより決まるので、真空固定コンデンサの静電容量のバラツキ精度を良くするためには、上記した半径a,b、平行長さL等の寸法精度を良くし、さらには円筒状電極板6a,7aの真円度等の製造組立精度を良くしなければならない。しかしながら、円筒電極6,7はそれぞれ複数枚の円筒状電極板6a,7aにより構成されているので、静電容量のバラツキ精度を良くすることはなかなか困難であり、平行長さLを変更したり、円筒状電極板6a,7aの間隔を変更したりして、静電容量の値を調整することが行われた。しかし、円筒状電極板6a,7aの寸法を変更することは耐電圧特性に影響を与え、製造上も好ましくなかった。
この発明は上記のような課題を解決するために成されたものであり、円筒状電極板の寸法を変更せず、製造上及び耐電圧特性上悪影響を与えることなく、静電容量を調整することができ、静電容量のバラツキ精度を良くすることができる真空コンデンサを得ることを目的とする。
この発明の請求項1に係る真空コンデンサは、絶縁筒とその両端にそれぞれ封着された第1及び第2の端部電極からなる真空容器と、真空容器内で各端部電極の内面側にそれぞれ同心状に立設された複数の径が異なる円筒状電極板からなり、この円筒状電極板が相互に相手側の円筒状電極板間に挿入された第1及び第2の円筒電極とを備えた真空コンデンサにおいて、第1及び第2の円筒電極の対向する円筒状電極板にそれぞれ静電容量調整用の調整孔を対向面積可変に設けたものである。
この発明の請求項2に係る真空コンデンサは、絶縁筒とその両端にそれぞれ封着した第1及び第2の端部電極からなる真空容器と、真空容器内で各端部電極の内面側にそれぞれ同心状に立設された複数の径が異なる円筒状電極板からなり、この円筒状電極板が相互に相手側の円筒状電極板間に挿入された第1及び第2の円筒電極とを備えた真空コンデンサにおいて、第1及び第2の円筒電極の対向する円筒状電極板にそれぞれ静電容量調整用の絶縁材を対向面積可変に貼り付けたものである。
以上のように、この発明の請求項1によれば、各円筒電極の対向する円筒状電極板に静電容量調整用の調整孔を設け、この調整孔の対向面積を可変とすることにより静電容量を調整しており、各円筒状電極板の寸法を変えることなく、従って製造や耐電圧特性に悪影響を与えることなく、静電容量を調整することができ、静電容量のバラツキ精度を改善することができる。
又、請求項2によれば、各円筒電極の対向する円筒状電極板に静電容量調整用の絶縁材を貼り付け、この絶縁材の対向面積を可変とすることにより静電容量を調整しており、請求項1と同様な効果を奏する。
以下、この発明を実施するための最良の形態を図面とともに説明する。図1はこの発明の実施最良形態による真空コンデンサの要部斜視図を示し、第1及び第2の円筒電極6,7において対向する円筒状電極板6a,7aにそれぞれ静電容量調整用の調整孔6b、7bを同一高さ位置に設ける。調整孔6b、7bは複数組の対向する円筒状電極板6a,7aの同一高さ位置に設けても良く、また対向する同一の円筒状電極板6a,7aに複数の調整孔6b、7bを設けても良い。
真空固定コンデンサの製造においては、第1の工程では従来同様にまず第1及び第2の端部電極2,3の内面上にロー材を介して第1及び第2の円筒電極6,7を構成する各円筒状電極板6a,7aを同心状に配置し、真空中あるいは不活性ガスガス中あるいは水素ガス中の非酸化性雰囲気中で加熱ロー付けする。次に、第2の工程においては、第2の円筒電極7を有する第2の端部電極3のフランジ部3b上にロー材を介して絶縁筒1の一端側を載置し、絶縁筒1の他端側にもロー材を介して第1の円筒電極6を有する第1の端部電極2のフランジ部2bを載置し、かつ各係合穴2d,3d間に位置決めピン5を係合して仮組立する。この仮組立した各部材を真空加熱炉内に入れ、真空中で加熱ロー付けするが、この真空中の加熱ロー付けの際に第1の端部電極2又は第2の端部電極3を回転させ、各調整孔6b,7bの対向面積を可変させ、静電容量を調整する。
ここで、円筒電極ではなく、平行平板電極に調整孔を設けたと仮定して、静電容量を計算すると、平行平板電極の面積をS、平行長さをLとすると、調整孔を考慮しない場合には、静電容量C=ε0S/Lである。調整孔を考慮して、調整孔の面積をd、各調整孔の対向面積をDとすると、静電容量Cは(2)式で計算される。
C=ε0(S−(2d−D))/L=ε0S/L−ε02d/L+ε0D/L(2)
従って、調整孔の対向面積D=0のとき、C=ε0S/L−ε02d/Lとなって、静電容量Cは最小値となり、調整孔の対向面積D=dのとき、即ち調整孔が全面的に対向したとき、C=ε0S/L−ε02d/L+ε0d/L=ε0S/L−ε0d/Lとなって、静電容量Cは最大値となる。
C=ε0(S−(2d−D))/L=ε0S/L−ε02d/L+ε0D/L(2)
従って、調整孔の対向面積D=0のとき、C=ε0S/L−ε02d/Lとなって、静電容量Cは最小値となり、調整孔の対向面積D=dのとき、即ち調整孔が全面的に対向したとき、C=ε0S/L−ε02d/L+ε0d/L=ε0S/L−ε0d/Lとなって、静電容量Cは最大値となる。
円筒電極6,7の場合も同様に考えられ、調整孔6b,7bの対向面積D=0のとき静電容量Cは最小値となり、対向面積Dが調整孔6b,7bの面積dに等しいとき、即ち調整孔6b,7bが全面的に対向しているとき、静電容量Cは最大値となり、調整孔6b,7bの対向面積Dの変化に応じて静電容量Cは最小値と最大値の間で変化する。
ロー付けの際に端部電極2又は端部電極3を回転させて、調整孔6b,7bの対向面積Dを変化させることにより静電容量を目標値に調整した後、ロー付けを行う。
上記した実施最良形態においては、第1及び第2の円筒電極6,7の対向する円筒状電極板6a,7aに調整孔6b,7bを設け、この各調整孔6b,7bの対向面積を可変とすることにより静電容量を調整しており、各円筒状電極板6a,7aの寸法を変えることなく、従って製造や耐電圧特性に悪影響を与えることなく、静電容量を調整することができ、静電容量のバラツキ精度を改善することができる。
なお、上記実施最良形態においては、対向する各円筒状電極板6a,7aに静電容量調整用の調整孔6b,7bを設けたが、調整孔6b,7bに変えて、絶縁材を貼り付けてもよい。この場合も第2の工程において真空中での加熱ロー付けの際に第1の端部電極2又は第2の端部電極3を回転させ、各絶縁材の対向面積を可変させ、静電容量を調整し、その後にロー付けを行う。効果は、調整孔6b,7bを設けた場合と同様である。又、調整孔6b,7bや絶縁材の大きさ、形状、各円筒状電極板6a,7aに設ける数、調整孔6b,7bや絶縁材を設ける円筒状電極板6b,7bの数は任意であり、真空固定コンデンサばかりでなく、真空可動コンデンサにも適用することができる。
1…絶縁筒
2,3…端部電極
4…真空容器
6,7…円筒電極
6a,7a…円筒状電極板
6b,7b…調整孔
2,3…端部電極
4…真空容器
6,7…円筒電極
6a,7a…円筒状電極板
6b,7b…調整孔
Claims (2)
- 絶縁筒とその両端にそれぞれ封着された第1及び第2の端部電極からなる真空容器と、真空容器内で各端部電極の内面側にそれぞれ同心状に立設された複数の径が異なる円筒状電極板からなり、この円筒状電極板が相互に相手側の円筒状電極板間に挿入された第1及び第2の円筒電極とを備えた真空コンデンサにおいて、第1及び第2の円筒電極の対向する円筒状電極板にそれぞれ静電容量調整用の調整孔を対向面積可変に設けたことを特徴とする真空コンデンサ。
- 絶縁筒とその両端にそれぞれ封着された第1及び第2の端部電極からなる真空容器と、真空容器内で各端部電極の内面側にそれぞれ同心状に立設された複数の径が異なる円筒状電極板からなり、この円筒状電極板が相互に相手側の円筒状電極板間に挿入された第1及び第2の円筒電極とを備えた真空コンデンサにおいて、第1及び第2の円筒電極の対向する円筒状電極板にそれぞれ静電容量調整用の絶縁材を対向面積可変に貼り付けたことを特徴とする真空コンデンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003409763A JP2005175027A (ja) | 2003-12-09 | 2003-12-09 | 真空コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003409763A JP2005175027A (ja) | 2003-12-09 | 2003-12-09 | 真空コンデンサ |
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JP (1) | JP2005175027A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011083560A1 (ja) * | 2010-01-05 | 2011-07-14 | 三菱電機株式会社 | ケーブル連結コネクタ |
JP2014078608A (ja) * | 2012-10-11 | 2014-05-01 | Meidensha Corp | 真空コンデンサ形計器用変圧器 |
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-
2003
- 2003-12-09 JP JP2003409763A patent/JP2005175027A/ja active Pending
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