JP2005174989A - 真空コンデンサ - Google Patents
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Abstract
【課題】静電容量のバラツキ精度及び耐電圧耐量を高める。
【解決手段】各円筒状電極板23a,24aをストレート形状とするとともに、端板25,26に複数の環状溝25d,26dを設け、各円筒状電極板23a,24aの一端を環状溝25d,26dに挿入してロー付けする。
【選択図】図1
【解決手段】各円筒状電極板23a,24aをストレート形状とするとともに、端板25,26に複数の環状溝25d,26dを設け、各円筒状電極板23a,24aの一端を環状溝25d,26dに挿入してロー付けする。
【選択図】図1
Description
この発明は、大電力発信機の発振回路、半導体製造装置用の高周波電源回路、あるいは誘導加熱装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに関するものである。
真空コンデンサの構造を大別すると、静電容量値が固定されている真空固定コンデンサと静電容量値を可変することができる真空可変コンデンサとがある。真空可変コンデンサの耐電圧・静電容量特性を安定させ、かつ全長の小形化を図ったものとして、特許文献1に示されたものがある。このコンデンサと同種のコンデンサを図5により説明する。図において、1はセラミックス製の絶縁筒であり、絶縁筒1の一端には固定側端板2を接合するとともに、絶縁筒1の他端には接続筒3を介して可動側端板4を接合し、真空容器5を形成する。固定側端板2の内面側には複数の径が異なる円筒状電極板6aを同心状に取り付けて、固定電極6を形成する。7は固定側端板2の内面側の中心に固定ガイド8を介して立設されたセンターピンであり、真空容器5内に固定側端板2と対向して配置された可動電極支持板9には固定電極6の各円筒状電極板6a間に非接触で挿出入できるように径が異なる複数の円筒状電極板10aを同心状に取り付け、可動電極10を構成する。
11は可動電極支持板9の中心に貫通して一体的に設けられた筒状の可動リードであり、可動リード11はセンターピン7とは電気的に絶縁される。又、可動側端板4の中心には孔4aを設け、この孔4aの周辺部において可動側端板4の内面側に筒状のヒートパイプ12を立設し、ヒートパイプ12の内面には内方に突出した鍔部12aを設ける。13は外周に雄ねじ部13aが形成された調整ねじであり、その一端は可動リード11に嵌合固定され、他端はヒートパイプ12の鍔部12aに挿通される。14は調整ナットであり、その一端側の内周には調整ねじ13の雄ねじ部13aと螺合する雌ねじ部14aを有するとともに、この一端側は鍔部12aの下側に軸受15を介して回転自在に支持される。
調整ネジ13の他端には雌ねじ部13bが設けられ、雌ねじ部13bにはストップねじ16が螺合される。又、調整ナット14には雌ねじ部14aと連続してより大径の孔14bが形成され、雌ねじ部14aと孔14bとの間には段部14cが形成される。可動リード11及びヒートパイプ12の外周側には真空側と大気側とを区分する筒状のベローズ17が設けられ、その一端は可動電極支持板9に取り付けられ、他端は可動側端板4に取り付けられ、真空容器5内が真空に保たれる。
上記構成の真空可変コンデンサにおいて、その最大静電容量値を調整する場合は、まずストップねじ16を螺入する前に調整ナット14を若干右に回し(右ねじの場合)、センターピン7の先端と調整ねじ13の内端が突き当たる最大静電容量の位置より可動リード11を若干下方に移動させ、定義した最大静電容量値に調整する。この若干の調整量は、真空可変コンデンサの静電容量のバラツキに対応して決まる。
次に、この状態でストップねじ16をその頭部16aが調整ナット14の段部14cに当接するまで雌ねじ部13bに螺入し、接着剤等で調整ねじ13に固定する。ストップねじ16と調整ナット14とは接着しない。これにより、調整ねじ13の上昇位置は規制され、この最大静電容量値の位置より調整ナット14を左に回そうとしてもストップネジ16の頭部16aが段部14cと当接して回らず、調整ねじ13は上昇しない。静電容量の調整は、例えば調整ナット14を右に回すと、調整ねじ13が下方に移動し、左回転では上方へ移動し、これにより可動電極10を上下動させ、固定電極6との対向総面積を可変することにより行われる。
真空可変コンデンサは、真空容器5内が真空であるので、調整ねじ13を常に上方へ押し上げる力が作用し、この力は調整ナット14にも作用し、鍔部12aには面圧が生じ、調整ナット14の回転に大きな回転トルクを必要とするが、軸受15を設けたので、この回転トルクを小さくすることができる。なお、従来の真空可変コンデンサは、特許文献2及び特許文献3にも示されている。
図6は真空固定コンデンサの縦断面図を示し、18はセラミックスあるいはガラスからなる絶縁筒、19,20は銅製の端板であり、端板19,20の内面側中心には凸部19a,20aが設けられるとともに、外周には内方に突出したフランジ部19b,20bが設けられ、各フランジ部19b,20bの先端が絶縁筒18の両端に封着され、真空容器21が形成される。又、端板19,20の外面側中心には外部接続導体を取り付けるための雌ねじ部19c,20cが設けられ、凸部19a,20aの先端には係合穴19d,20dが設けられ、係合穴19d,20d間にはセラミックス製の位置決めピン22が係合される。端板19の内面側には、径が異なる複数の銅製の円筒状電極板23aを同心状の一定間隔で立設し、第1の固定電極23を形成する。又、端板20の内面側にも、径が異なる複数の銅製の円筒状電極板24aを固定電極23の各円筒状電極板23a間に等間隔で挿入されるように同心状の一定間隔で立設し、第2の固定電極24を形成する。位置決めピン22は各固定電極23,24の径方向の位置決め及び軸方向の間隔を所定のものにするために設けている。
上記したように、真空コンデンサの各電極6,10,23,24は複数の薄肉同軸の円筒状電極板6a.10a,23a,24aからなり、各対面する円筒状電極板6a.10a,23a,24aが形成する静電容量の和が真空コンデンサの静電容量となる。ここで、対面する無限同軸円筒状電極板の単位長さL当たりの静電容量は(1)式で示されるが、複数の対面する有限同軸円筒状電極板からなる真空コンデンサにも(1)式は概略適用可能である。
C=2πε0L/log(b/a) (1)
ここで、aは内側の円筒状電極板の半径、bは外側の円筒状電極板の半径、ε0は真空中の誘電率、Lは平行する円筒状電極板の長さである。円筒状電極板が複数枚で構成される場合は(1)式の総和で静電容量が示され、このときの耐電圧特性は内側の円筒状電極板の半径aと外側の円筒状電極板の半径bとの間隔により決定される。
特開平8−97088号公報
特開平6−204082号公報
特開平7−211588号公報
ここで、aは内側の円筒状電極板の半径、bは外側の円筒状電極板の半径、ε0は真空中の誘電率、Lは平行する円筒状電極板の長さである。円筒状電極板が複数枚で構成される場合は(1)式の総和で静電容量が示され、このときの耐電圧特性は内側の円筒状電極板の半径aと外側の円筒状電極板の半径bとの間隔により決定される。
上記したように、真空コンデンサの静電容量の値は、内側の円筒状電極板の半径a、外側の円筒状電極板の半径b及び内外の円筒状電極板の平行長さLにより決まる。この静電容量のバラツキ精度を良くすることが求められており、電極部品の真円度が悪ければ、また製造組立精度が悪ければ、静電容量のバラツキは大きくなる。このことを式で表すと、(2)式になる。
C=2πε0L(1+ΔL)/log(b(1+Δb)/a(1+Δa)) (2)
ここで、Δaは内側の円筒状電極板の半径のバラツキ、Δbは外側の円筒状電極板の半径のバラツキ、ΔLは内外の円筒状電極板の平行長さのバラツキである。真空コンデンサの静電容量のバラツキ精度を良くするためには、半径a,b、平行長さLの公差を厳しく決め、円筒状電極板6a.10a,23a,24aの真円度を高め、部品寸法の精度、製作組立精度を良くしなければならない。
ここで、Δaは内側の円筒状電極板の半径のバラツキ、Δbは外側の円筒状電極板の半径のバラツキ、ΔLは内外の円筒状電極板の平行長さのバラツキである。真空コンデンサの静電容量のバラツキ精度を良くするためには、半径a,b、平行長さLの公差を厳しく決め、円筒状電極板6a.10a,23a,24aの真円度を高め、部品寸法の精度、製作組立精度を良くしなければならない。
ここで、真空固定コンデンサにおける固定電極23,24の各種構造を示す。ただし、端板25,26は中心の内側に凸部25a,26aが設けられるとともに、外面側中心には外部接続導体を取り付けるための雌ねじ部25b,26bが設けられ、凸部25a,26aには位置決めピン22との係合穴25c,26cが設けられている。図7の場合には各円筒状電極板23a,24aの先端がストレートなストレート形であり、図8の場合には各円筒状電極板23a,24aの先端がL字状であり、図9の場合には各円筒状電極板23a,24aの先端がJ字状である。L字状、J字状としたのは各円筒状電極板23a,24aの相互の間隔を決めるのが容易であるからである。このような各種の各円筒状電極板23a,24aを端板25,26に円盤形のロー材を用いて高温ロー付けする。図7のストレート形の円筒状電極板23a,24aの場合には曲げ加工がないので、その真円度を高めることができるが、相互の間隔を自力で決めることが困難であり、間隔精度を保つことができない。又、L字状、J字状の各円筒状電極板23a,24aはL字、J字に曲げる工程があるために、真円度を高めることができない。従って、いずれの場合も静電容量にバラツキが生じ、耐電圧耐量も低下してしまう。このため、静電容量バラツキ及び耐電圧低下を考慮した裕度設計をしなければならず、また各円筒状電極板23a,24aの真円度を高め、その間隔を一定にするための電極形状及びロー付け方法を考慮しなければならない。このことは、真空可変コンデンサにおいても同様である。
この発明は上記のような課題を解決するために成されたものであり、各電極を構成する各円筒状電極板の真円度を高めるとともに、相互の間隔を一定にすることができ、静電容量のバラツキ精度及び耐電圧耐量を高めることができる真空コンデンサを得ることを目的とする。
この発明の請求項1に係る真空コンデンサは、絶縁筒の両端を端板により閉塞した真空容器と、真空容器内で各端板の内面側にそれぞれ同心状に立設された複数の径が異なる円筒状電極板からなり、この円筒状電極板が相互に相手側の円筒状電極板間に挿入された一対の固定電極とを備えた真空コンデンサにおいて、各円筒状電極板は先端部がストレートなストレート形のものとするとともに、各円筒状電極板の一端を端板に設けた環状溝に挿入してロー付けしたものである。
請求項2に係る真空コンデンサは、絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、真空容器内に固定側端板と対向して配置された可動電極支持板と、固定側端板及び可動電極支持板にそれぞれ同心状に立設された複数の径が異なる円筒状電極板からなり、この円筒状電極板が相互に相手側の円筒状電極板間に挿入された固定電極及び可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に取り付けられ、真空側と大気側とを区分する筒状のベローズとを備えた真空コンデンサにおいて、各円筒状電極板は先端部がストレートなストレート形のものとするとともに、各円筒状電極板の一端を固定側端板及び可動電極支持板に設けた環状溝に挿入してロー付けしたものである。
請求項3に係る真空コンデンサは、端板又は可動電極支持板上に上記環状溝の他に、環状溝と交差するロー材設置用溝を設け、ロー付けの際にロー材設置用溝にロー材を設置したものである。
請求項4に係る真空コンデンサは、ロー付けの際に、ロー材をパウダー状にしてロー付け部分に振りかけたものである。
請求項5に係る真空コンデンサは、ロー付けの際に、ロー材を各円筒状電極板に巻き付けたものである。
以上のようにこの発明の請求項1,2によれば、各電極を構成する各円筒状電極板は先端がストレートなストレート形であるために、L字、J字に曲げ加工をする必要がなく、真円度を高めることができ、また各円筒状電極板の一端を端板又は可動電極支持板に設けた環状溝に挿入してロー付けしているので、各円筒状電極板間の間隔を一定に保つことができ、静電容量のバラツキ精度を向上することができるとともに、耐電圧特性も向上することができる。又、各円筒状電極板は端板等の環状溝に挿入してロー付けするのでロー付けが容易となり、また曲げ加工が不要で製作も容易となり、安価に製作することができる。
請求項3によれば、端板等に環状溝と交差するロー材設置用溝を設け、この溝にロー材を設置したので、ロー材は溶融時にロー材設置用溝から環状溝に流れ、ロー付けが容易となる。
請求項4,5によれば、ロー材をロー付け部分にパウダー状にして振りかけ、あるいは各円筒状電極板に巻き付けたので、ロー材設置用溝が不要となり、製作が容易となる。
以下、この発明を実施するための最良の形態を図面とともに説明する。図1及び図2はこの発明の実施最良形態による真空固定コンデンサの要部縦断面図及び端板25の平面図を示し、各固定電極23,24を構成する各円筒状電極板23a,24aは先端がストレートなストレート形とする。又、各円筒状電極板23a,24aを取り付ける各端板25,26にはそれぞれ間隔が一定な複数の環状溝25d,26dを設けるとともに、各環状溝25d,26dと交差する放射状のロー材設置用溝25e,26eを設け、各円筒状電極板23a,24aの一端を環状溝25d,26dに挿入するとともに、ロー材をロー材設置用溝25e,26eに設置し、高温ロー付けする。各円筒状電極板23a,24aの材料は銅とSUSにニッケルメッキを施したもの、あるいはSUSを用いる。その他の構成は従来と同様である。
上記実施最良形態においては、各固定電極23,24を構成する各円筒状電極板23a,24aは先端がストレートなストレート形であるために、L字、J字に曲げ加工をする必要がなく、真円度を高めることができ、また各円筒状電極板23a,24aの一端を端板25,26に設けた環状溝25d,26dに挿入してロー付けしているので、各円筒状電極板23a,24a間の間隔を一定に保つことができ、静電容量のバラツキ精度を向上することができるとともに、耐電圧特性も向上することができる。又、各円筒状電極板23a,24aは端板25,26の環状溝25d,26dに挿入してロー付けするのでロー付けが容易となり、また曲げ加工が不要で製作も容易となり、安価に製作することができる。又、端板25,26に環状溝25d,26dと交差するロー材設置用溝25e,26eを設け、この溝にロー材を設置したので、ロー材は溶融時にロー材設置用溝25e,26eから環状溝25d,26dに流れ、ロー付けが容易となる。
図3、図4は端板25の変形例を示し、図3は環状溝25dと交差するロー材設置用溝25fを円形にしたものであり、図4は環状溝25dと交差するロー材設置用溝25gを幅広の放射状に設けたものであり、効果は上記実施最良形態と同様である。これらの場合、端板26についても同様に形成される。
なお、上記実施最良形態においては、ロー材設置用溝25e〜25gを設けたが、該溝を設けずに、ロー材をロー付け部分にパウダー状にして振りかけ、あるいは各円筒状電極板23a,24aに巻き付けても良く、ロー材設置用溝25e〜25gが不要となり、製作が容易となる。又、上記実施最良形態では、真空固定コンデンサについて述べたが、真空可変コンデンサについても適用することができ、この場合には、円筒状電極板6a,10aをストレート形にし、固定側端板2及び可動電極支持板9に環状溝及びロー材設置用溝を設ければ良く、同様の効果を奏する。
1,18…絶縁筒
2…固定側端版
4…可動側端板
5,21…真空容器
6,23,24…固定電極
6a,10a,23a,24a…円筒状電極板
9…可動電極支持板
10…可動電極
17…ベローズ
25,26…端板
25d,26d…環状溝
25e〜25g,26e…ロー材設置用溝
2…固定側端版
4…可動側端板
5,21…真空容器
6,23,24…固定電極
6a,10a,23a,24a…円筒状電極板
9…可動電極支持板
10…可動電極
17…ベローズ
25,26…端板
25d,26d…環状溝
25e〜25g,26e…ロー材設置用溝
Claims (5)
- 絶縁筒の両端を端板により閉塞した真空容器と、真空容器内で各端板の内面側にそれぞれ同心状に立設された複数の径が異なる円筒状電極板からなり、この円筒状電極板が相互に相手側の円筒状電極板間に挿入された一対の固定電極とを備えた真空コンデンサにおいて、各円筒状電極板は先端部がストレートなストレート形のものとするとともに、各円筒状電極板の一端を端板に設けた環状溝に挿入してロー付けしたことを特徴とする真空コンデンサ。
- 絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、真空容器内に固定側端板と対向して配置された可動電極支持板と、固定側端板及び可動電極支持板にそれぞれ同心状に立設された複数の径が異なる円筒状電極板からなり、この円筒状電極板が相互に相手側の円筒状電極板間に挿入された固定電極及び可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に取り付けられ、真空側と大気側とを区分する筒状のベローズとを備えた真空コンデンサにおいて、各円筒状電極板は先端部がストレートなストレート形のものとするとともに、各円筒状電極板の一端を固定側端板及び可動電極支持板に設けた環状溝に挿入してロー付けしたことを特徴とする真空コンデンサ。
- 端板又は可動電極支持板上に上記環状溝の他に、環状溝と交差するロー材設置用溝を設け、ロー付けの際にロー材設置用溝にロー材を設置したことを特徴とする請求項1又は2記載の真空コンデンサ。
- ロー付けの際に、ロー材をパウダー状にしてロー付け部分に振りかけたことを特徴とする請求項1又は2記載の真空コンデンサ。
- ロー付けの際に、ロー材を各円筒状電極板に巻き付けたことを特徴とする請求項1又は2記載の真空コンデンサ。
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