JP2005174506A

JP2005174506A - 磁気ヘッドサスペンション

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Publication number: JP2005174506A
Application number: JP2003415956A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Fujimoto; 泰夫藤本
Original assignee: Suncall Corp
Current assignee: Suncall Corp
Priority date: 2003-12-15
Filing date: 2003-12-15
Publication date: 2005-06-30
Anticipated expiration: 2023-12-15
Also published as: JP4089971B2

Abstract

【課題】耐衝撃性を抜本的に向上させ得る磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【解決手段】ロードビーム部を構成する部材を、荷重曲げ部との接合部位から基端側へも延在させる。さらに、記憶面と略直交する方向に沿った衝撃力を受けた際に、該ロードビーム部を構成する部材の先端側及び基端側が同一方向の慣性力を受けるように、荷重曲げ部とロードビーム部との境界付近に揺動支点となる凸部を設ける。
【選択図】図３

Description

本発明は、ハードディスク装置等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする為の磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションに関する。

磁気ヘッドサスペンションは、ハードディスク装置等の記憶媒体上で、搭載する磁気ヘッドスライダをシーク方向（径方向）へ移動させ得るようになっている。
ところで、近年のモバイル用コンピュータの発達に伴い、磁気ヘッドサスペンションの耐衝撃性を向上させることが望まれている。
斯かる要望に応える為には、衝撃が加わった際の磁気ヘッドサスペンションの限界加速度を向上させることが重要となる。
即ち、磁気ヘッドサスペンションに衝撃が加わった際に、磁気ヘッドスライダが跳躍して記憶媒体を損傷させることを防止する為には、該磁気ヘッドスライダに加わる慣性力を低減させなければならない。

この点に関し、例えば、板厚を薄くすることでロードビーム部の質量を低減させつつ、該ロードビームの幅方向両縁部にフランジを設けることで該ロードビーム部の剛性を高めることが提案されている（特許文献１及び２参照）。

しかしながら、該従来技術に記載の手段は、ロードビーム部の質量を低減させることで悪化する剛性を、フランジによってカバーするものであり、限界加速度を向上させる為の抜本的な解決手段とは言い難い。
特公昭５８−２２８２７号公報米国特許第３９３１６４１号明細書

本発明は、斯かる従来技術に鑑みなされたものであり、限界加速度を抜本的に向上させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を、一の目的とする。

本発明者は鋭意検討の結果、荷重曲げ部に連接され、且つ、先端側へ延びるロードビーム部を基端側へも延在させることで、磁気ヘッドサスペンションの限界加速度を抜本的に向上させ得るのではないかという着想を得た。
即ち、従来、荷重曲げ部から先端側へのみ延在するものとされていたロードビーム部を、基端側へも延在させると共に、該ロードビーム部に記憶媒体の記憶面と直交する方向に関する揺動支点を与えることを着想した。

図１は、斯かる着想を説明する為の模式図である。
図１中の符号２１０は基部を構成するアームである。又、符号２２０及び２３０は、それぞれ、荷重曲げ部及び従来のロードビーム部である。
そして、前記従来のロードビーム部２３０の基端縁（荷重曲げ部２２０との連接部位）を通る幅方向線（Ｙ軸）を基準にして、該従来のロードビーム部２３０に後方延在部２４０を設けた。

斯かる模式図において、前記アーム２１０を剛体と仮定して、前記Ｙ軸に対する(1)前記従来のロードビーム部２３０のディンプル位置での慣性力及び(2)前記後方延在部２４０の後端位置での慣性力を算出し、前記(1)から前記(2)を引くことで、後方延在部２４０を有する磁気ヘッドサスペンションの限界加速度を算出した。
なお、斯かる算出において、フレクシャ部の質量は無視した。
該算出に際し、前記従来のロードビーム部２３０及び前記後方延在部２４０の板厚を、３８μｍ，５０μｍ及び７６μｍに変化させた。
又、前記後方延在部２４０の長さは、３．５３ｍｍ，６．５３ｍｍ及び８．５３ｍｍで行った。
斯かる算出結果を図２に示す。
図２から明らかなように、前記後方延在部２４０を設けることで、磁気ヘッドサスペンションの限界加速度を向上させることが推認される。

本発明は、前記着想に基づきなされたものであり、具体的には、磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダを記憶媒体の記憶面へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッド搭載領域へ伝達するロードビーム部と、前記荷重曲げ部を支持する基部とを有する磁気ヘッドサスペンションであって、第１平板状部材と、第２平板状部材と、第３平板状部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションを提供する。

一態様においては、前記第１平板状部材は前記記憶面と直交する回転軸回りに揺動可能とされ、前記第２平板状部材は、前記第１平板状部材に接合される基端領域と、該基端領域と前記記憶面との間において該記憶面に対し略平行に延びる先端領域と、前記基端領域及び先端領域を連結する曲げ領域とを一体的に有するものとされる。
該一態様において、前記第３平板状部材は、前記第２平板状部材の先端領域に接合される中央領域と、該中央領域から先端側及び基端側へそれぞれ前記記憶面と略平行に延びる先端領域及び基端領域とを一体的に有するものとされる。
斯かる一態様において、前記基部は前記第１平板状部材によって形成され、前記荷重曲げ部は前記第２平板状部材の曲げ領域によって形成され、且つ、前記ロードビーム部は前記第３平板状部材によって形成される。
さらに、前記第１平板状部材又は第２平板状部材の少なくとも一方と前記第３平板状部材との何れかには、前記記憶面と略直交する方向に向けて突出された単一又は複数の凸部が設けられる。
前記凸部は、側面視において、前記第２平板状部材における前記曲げ領域と前記先端領域との境界付近に位置する。

他態様においては、前記第１平板状部材は前記記憶面と直交する回転軸回りに揺動可能とされ、前記第２平板状部材は、前記第１平板状部材に接合される基端領域と、該基端領域と前記記憶面との間において、該記憶面に対し略平行に延びる先端領域と、前記基端領域及び先端領域を連結する曲げ領域とを一体的に有するものとされる。
該他態様において、前記第３平板状部材は、前記第２平板状部材における前記先端領域の基端側に接合される中央領域と、該中央領域から基端側へ前記記憶面と略平行に延びる基端領域とを一体的に有するものとされる。
斯かる他態様において、前記基部は前記第１平板状部材によって形成され、前記荷重曲げ部は前記第２平板状部材の曲げ領域によって形成され、且つ、前記ロードビーム部は、前記第３平板状部材と、前記第２平板状部材における前記先端領域の先端側とによって形成される。
さらに、前記第１平板状部材又は第２平板状部材の少なくとも一方と前記第３平板状部材との何れかには、前記記憶面と略直交する方向に向けて突出された単一又は複数の凸部が設けられる。
前記凸部は、側面視において、前記第２平板状部材における前記曲げ領域と前記先端領域との境界付近に位置する。

前記凸部が前記第１平板状部材又は第２平板状部材の少なくとも一方に設けられる場合には、該凸部は前記第３平板状部材と当接するように前記記憶面へ向けて突出される。

好ましくは、前記第２平板状部材の前記基端領域は、平面視において、幅方向中央部が延在片を形成するように先端側へ延在され、且つ、該第２平板状部材の前記曲げ領域は、平面視において、前記延在片を挟んで幅方向両側に位置するものとされる。
そして、前記第１平板状部材のうち，前記第２平板状部材の基端領域に接合される先端領域は、平面視において、前記第２平板状部材の前記基端領域に対応する形状とされる。
該好ましい態様において、前記凸部は前記第２平板状部材の延在片に設けられ得る。

前記凸部が前記第３平板状部材に設けられる場合には、該凸部は前記第１平板状部材又は第２平板状部材の少なくとも一方と当接するように前記記憶面から離間する方向へ向けて突出される。

前記種々の態様において、前記凸部が単一とされる場合には、該単一の凸部は、平面視において、前記回転軸と前記磁気ヘッドスライダの中心とを結ぶ中央長手線上に位置される。
これに代えて、前記凸部が複数の凸部とされる場合には、該複数の凸部は、平面視において、前記中央長手線を基準にして対称に配置される。

前記種々の態様において、好ましくは、前記第２平板状部材の板厚を、前記第３平板状部材の板厚よりも薄くできる。
例えば、前記第２平板状部材の板厚を０．０３ｍｍ〜０．０６ｍｍとし、且つ、前記第３平板状部材の板厚を０．０４ｍｍ〜０．１５ｍｍとすることができる。
又、好ましくは、前記凸部を基準にして、前記ロードビーム部の基端側の距離Ｂが先端側の距離Ａに対して０．４倍〜１．６倍となるように、前記第２及び第３平板状部材を形成し得る。

前記種々の態様において、例えば、前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の先端側を形成する部材によって形成され得る。
これに代えて、該フレクシャ部を、前記ロードビーム部を形成する部材とは別部材によって形成することもできる。

前記種々の態様において、例えば、前記第１平板状部材は、基端部が前記回転軸回りに揺動可能とされ且つ先端部が前記第２平板状部材を支持する単一のアームとされ得る。
これに代えて、前記第１平板状部材は、基端部が前記回転軸回りに揺動可能とされたＥブロックと、該Ｅブロックの先端部に支持され且つ前記第２平板状部材を支持するマウントとを含むものとすることもできる。

本発明によれば、衝撃が加わった際に、ロードビーム部には凸部を基準にして先端側及び基端側の何れにも垂直方向に関し同一方向のモーメントが作用する。
即ち、磁気ヘッドスライダ搭載部位に着目すれば、前記ロードビーム部の基端側のモーメントを減じた量のみが作用することになる。
従って、衝撃が加わった際の磁気ヘッドスライダ搭載部位の限界加速度を向上させることができ、耐衝撃性を抜本的に向上させることができる。

実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい一実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図３(a)は、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａを、ハードディスク等の記憶媒体の記憶面とは反対側から視た上面図である。又、図３(b)は、図３(a)におけるIII-III線に沿った断面図である。
さらに、図４は、図３に示す磁気ヘッドサスペンション１Ａを各構成部材毎に示した分解上面図である。

図３に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部１４０と、前記磁気ヘッドスライダを記憶媒体の記憶面へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部１２０と、前記荷重を前記磁気ヘッド搭載領域へ伝達するロードビーム部１３０と、前記荷重曲げ部１２０を支持する基部１１０とを有している。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記基部１１０，荷重曲げ部１２０及びロードビーム部１３０は、それぞれ、下記部材によって形成されている。
即ち、該磁気ヘッドサスペンションは、図４に示すように、第１平板状部材１０と、前記第１平板状部材１０に接合される第２平板状部材２０と、前記第２平板状部材２０に接合される第３平板状部材３０とを備えている。

前記第１平板状部材１０は、前記記憶面と直交する回転軸Ｘ回りに揺動可能となるように構成されており、組立状態において前記基部１１０を構成するようになっている（図３参照）。
斯かる第１平板状部材１０は、例えば、板厚０．１５ｍｍ〜０．４０ｍｍのステンレス材によって形成される。
なお、本実施の形態において、該第１平板状部材１０は、ボイスコイルモータのベアリングに取り付けられるアームの形態をなすように形成されているが、これに代えて、該第１平板状部材が、基端部が前記回転軸Ｘ回りに揺動可能とされたＥブロックと、該Ｅブロックにかしめにより取り付けられるマウントとを有するものとすることも可能である。

前記第２平板状部材２０は、前記荷重曲げ部１２０を形成するようになっている。
具体的には、該第２平板状部材２０は、前記第１平板状部材１０の記憶面と対向する面（以下、対向面という）に接合される基端領域２１と、該基端領域２１と前記記憶面との間において、該記憶面に対し略平行に延びる先端領域２３と、前記基端領域２１及び先端領域２３を連結する曲げ領域２２とを一体的に有している。
そして、該第２平板状部材２０の前記曲げ領域２２が前記荷重曲げ部１２０を形成している。
斯かる第２平板状部材２０は、例えば、板厚０．０３ｍｍ〜０．０６ｍｍのステンレス材によって形成される。

前記第３平板状部材３０は、前記ロードビーム部１３０を形成するようになっている。
具体的には、該第３平板状部材３０は、前記第２平板状部材２０における先端領域２３の前記対向面に接合される中央領域３１と、該中央領域３１から先端側及び基端側へそれぞれ前記記憶面と略平行に延びる先端領域３２及び基端領域３３とを一体的に有している。
斯かる第３平板状部材３０は、例えば、０．０３ｍｍ〜０．１５ｍｍのステンレス材によって形成される。

ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおける前記ロードビーム部１３０について詳しく説明する。
前述の通り、前記第３平板状部材３０は、前記第２平板状部材２０に接合される中央領域３１及び該中央領域３１から先端側へ延びる先端領域３２を有している。
斯かる第３平板状部材３０の前記中央領域３１及び前記先端領域３２が、前記荷重曲げ部１２０（本実施の形態においては、前記第２平板状部材２０の曲げ領域２２）によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダへ伝達する作用を果たす。即ち、該第３平板状部材３０の前記中央領域３１及び前記先端領域３２が従来のロードビーム部を構成している。
該第３平板状部材３０は、前記構成に加えて、前記中央領域３１から基端側へ延びる前記基端領域３３を有している。即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記ロードビーム部１３０は、従来のロードビーム部に加えて、前記荷重曲げ部１２０より基端側へ延びた領域を有している。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図４に示すように、前記第１平板状部材１０，前記第２平板状部材２０及び前記第３平板状部材３０に加えて、第４平板状部材４０を有している。
該第４平板状部材４０は、前記フレクシャ部１４０を形成するように構成されている。
斯かる第４平板状部材４０は、例えば、板厚０．０１ｍｍ〜０．０３ｍｍのステンレス材によって形成される。
なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ部１４０を、前記ロードビーム部１３０を形成する前記第３平板状部材３０とは別部材（前記第４平板状部材４０）によって形成したが、これに代えて、前記フレクシャ部１４０を前記第３平板状部材３０の先端領域３２によって形成することも可能である。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記構成に加えて、前記ロードビーム部１３０の先端側及び基端側（即ち、第３平板状部材３０の前記先端領域３２及び前記基端領域３３）が、それぞれ、が前記記憶面と直交する方向に撓むことを許容する為の単一又は複数の凸部５０を有している。
本実施の形態においては、該凸部５０は、前記第１平板状部材１０又は前記第２平板状部材２０の少なくとも一方に設けられている。
図３(b)に示すように、該凸部５０は前記第３平板状部材３０における前記記憶面とは反対側の面（以下、裏面という）に当接するように構成されている。

前記凸部５０は、側面視において、前記第２平板状部材２０における前記曲げ領域２２と前記先端領域２３との境界付近に位置している。
即ち、前記凸部５０は、前記第１平板状部材１０，第２平板状部材２０及び第３平板状部材３０を組み付けた状態の側面視において、該第３平板状部材３０のうち，前記荷重曲げ部１２０から押し付け荷重が伝達される部位に略位置するようになっている。
なお、本実施の形態においては、図に示す通り、前記凸部５０は単一とされている。
斯かる単一の凸部を有する場合には、該凸部５０は、平面視において、前記回転軸Ｘと前記磁気ヘッドスライダの中心とを結ぶ中央長手線Ｌ上に位置される。

このように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記ロードビーム部１３０を従来のロードビーム部に加えて前記基端領域３３を有するものとし、且つ、前記凸部５０を設けている。
斯かる構成によれば、磁気ヘッドサスペンション１Ａに記憶面と直交する方向（以下、垂直方向という）の衝撃力が加わった際、前記ロードビーム部１３０（第３平板状部材３０）の前記先端領域３２及び前記基端領域３３の双方が、前記凸部５０を支点として前記垂直方向の同一方向に撓むことになる。
つまり、前記衝撃力が加わった際に、前記ロードビーム部１３０の前記先端領域３２及び前記基端領域３３には、前記凸部５０を支点として、互いに打ち消し合う方向のモーメントが作用する。

従って、前記衝撃力が加わった際に前記磁気ヘッドスライダに付加される慣性力は、前記ロードビーム部１３０の先端領域３２に作用する慣性力から該ロードビーム部３０の基端領域３３に作用する慣性力を減じた値となる。
斯かる理由により、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記衝撃力が加わった際の限界加速度を高めることができ、耐衝撃性を抜本的に向上させることができる。

好ましくは、前記ロードビーム部１３０は、前記凸部５０を基準にして、基端側の距離Ｂが先端側の距離Ａに対して０．４倍〜１．６倍となるように構成される。
斯かる構成を備えることにより、前記ロードビーム部１３０の先端側に掛かる慣性力を大きく減少させることができる。

なお、図示の形態においては、前記凸部５０は前記第２平板状部材２０に一体的に形成されている。これは、板厚の関係上、該凸部５０を一体形成する場合には、前記第２平板状部材２０に形成するのが好ましいからである。
従って、該凸部５０を別部材によって形成する場合には、斯かる別体の凸部を前記第１平板状部材１０又は前記第２平板状部材２０の何れに接合させることも可能である。

さらに、本実施の形態係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記特徴を備えつつ、組立性を向上させる為に、下記構成を備えている。
即ち、図４に示すように、前記第２平板状部材２０の前記基端領域２１には、平面視において幅方向中央部に、先端側へ延びる延在片２１ａを設けている。
そして、前記第２平板状部材２０の前記曲げ領域２２及び前記先端領域２３は、それぞれ、前記延在片２１ａを挟んで左右対称に一対設けられている。

又、前記第１平板状部材１０は、前記第２平板状部材２０の基端領域２１に接合される先端領域１１が、平面視において、前記第２平板状部材２０における前記基端領域２１に対応する形状とされている。
詳しくは、前記第１平板状部材１０の先端領域１１は、平面視において幅方向中央部にのみ、前記第２平板状部材２０における前記延在片２１ａに対応した延在片１１ａを有しており、前記第２平板状部材２０における前記一対の曲げ領域２２及び前記一対の先端領域２３の上方には該第１平板状部材１０が存在しないように構成されている。
なお、前記凸部５０は、前記第２平板状部材２０における前記基端領域２１の前記延在片２１ａに設けられている。

斯かる構成によれば、前記第２平板状部材２０を型抜き成形した状態のまま、前記第１〜第３平板状部材１０，２０，３０を接合し、その後、該第２平板状部材２０の前記曲げ領域２２を無理なく曲げ加工することができる。従って、第１〜第３平板状部材１０，２０，３０の接合作業及び前記第２平板状部材２０に対する曲げ作業を、効率的に行うことができる。

又、前記第３平板状部材３０は、前記中央領域３１を幅広形状とすると共に、前記先端領域３２及び前記基端領域３３をそれぞれ幅方向略中央にのみ存する幅狭形状としている。
即ち、前述の通り、本実施の形態においては、前記第２平板状部材２０は、幅方向両端部に位置する一対の曲げ領域２２及び一対の先端領域２３を有するものとされている。
従って、該第２平板状部材２０の一対の先端領域２３に接合される前記中央領域３１を幅広形状としている。
さらに、前記第３平板状部材３０の先端領域３２は、適切な剛性を得つつ、質量を可及的に減少させる為に、先端へ行くに従って幅狭となる平面視略三角形状とされている。

なお、前述の通り、本実施の形態においては、前記凸部５０を前記第２平板状部材２０に設けている。従って、前記第２平板状部材２０の前記基端領域２１に前記延在片２１ａを設けたが、前記凸部５０を前記第１平板状部材１０に設ける場合には、該第２平板状部材２０の前記延在片２１ａを不要とすることができる。
即ち、前記第１平板状部材１０にのみ前記延在片１１ａを設け、該第１平板状部材１０における延在片１１ａに前記凸部５０を設けることができる。

さらに、本実施の形態においては、前記第１平板状部材１０及び前記第２平板状部材２０に、それぞれ、前記第３平板状部材３０の前記基端領域３３に対応した切り欠き又は開口１１ｂ、２１ｂを設けている（図３及び図４参照）。
斯かる開口１１ｂ、２１ｂを設けることにより、前記第３平板状部材３０の基端領域３３が前記凸部５０を支点として撓む際に、該第３平板状部材３０の基端領域３３が前記第１平板状部材１０及び第２平板状部材２０と干渉することを有効に防止できる。

ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの耐衝撃性（限界加速度）について、有限要素法解析に基づき説明する。
図５(a)に、本解析に用いた磁気ヘッドサスペンション（以下、実施例という）のロードビーム部１３０及び荷重曲げ部１２０のみを示す。

・実施例の構成
第１〜第４平板状部材１０〜４０の材質ＳＵＳ３０４（ヤング率19700kgf/mm^２，密度8.03×10^−６kgf/mm^３）
第１平板状部材１０の板厚０．３０ｍｍ
第２平板状部材２０の板厚０．０３８ｍｍ
第４平板状部材４０の板厚０．０２ｍｍ
凸部５０の高さ０．０５ｍｍ
前記第３平板状部材３０における先端領域３２の先端部幅Ｗ１＝０．５ｍｍ
前記第３平板状部材３０における先端領域３２の基端部幅Ｗ２＝１．７ｍｍ
前記第３平板状部材３０における中央領域３１の幅Ｗ３＝４．４ｍｍ
前記第３平板状部材３０における基端領域３３の幅Ｗ４＝１．６ｍｍ
前記第２平板状部材２０における曲げ領域２２の幅Ｗ５＝０．５ｍｍ
前記凸部５０と前記第３平板状部材３０に形成したディンプルとの距離Ｌ１＝７．２５ｍｍ
前記凸部５０と前記第３平板状部材３０における基端領域３３の基端部との距離Ｌ２＝５．９５ｍｍ
前記第１平板状部材１０の回動中心Ｘと前記凸部５０との距離（図３参照）Ｌ３＝１６ｍｍ

図６に、本解析の条件を示す模式側面図を示す。
図６に示すように、前記第１平板状部材１０の回動中心Ｘを含む支持領域完全拘束状態とした。又、磁気ヘッドスライダ１００と記憶媒体の記憶面との間に作用するエアベアリングの剛性を模擬する為に、基端部が該磁気ヘッドスライダ１００に連結され且つ先端部を完全拘束状態としたばね要素１８０を用いた。
なお、図６中の符号１９０は記憶媒体の記憶面である。
そして、斯かる拘束条件下の実施例に対して、最大値が１Ｇとなる２msecの正弦半波を前記拘束位置に入力して、前記磁気ヘッドスライダ１００の中心部の跳躍量を有限解析によって求めた。
前記第３平板状部材３０の板厚を０．０４ｍｍとした場合の解析結果を図７に示す。

比較対象として、図５(b)に示す従来の磁気ヘッドサスペンション２００（以下、比較例という）についても同様の解析を行った。
なお、該比較例は、前記第３平板状部材３０の基端領域３３と、前記第１及び第２平板状部材１０，２０における前記延在片１１ａ，２１ａと、前記凸部５０とを有さない点を除き、前記実施例と同一構成とした。
同様に、ロードビーム部の板厚を０．０４ｍｍとした場合の解析結果を図７に併せて示す。
又、前記正弦半波を入力した際の前記実施例及び前記比較例の挙動を示す模式図を、図８(a)及び(b)に示す。

図８に示すように、実施例においては、前記第３平板状部材３０における前記基端領域３３が前記凸部５０を支点として垂直方向へ撓んでおり、これによって、前記磁気ヘッドスライダ１００の跳躍量が減少している（図７参照）。

さらに、図７に示すスライダ最大跳躍量に基づき、実施例及び比較例の限界加速度を求めた。
斯かる解析を、実施例及び比較例において前記ロードビーム部１３０の板厚を、０．０５ｍｍ，０．０６ｍｍ及び０．０７ｍｍとした場合についても行った。
図９に、実施例及び比較例におけるロードビーム部１３０の板厚と限界加速度との関係を示す。
図９に示すように、ロードビーム部１３０の板厚に関係なく、実施例は比較例に比して限界加速度が向上している。

実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０(a)は、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図である。又、図１０(b)は、図１０(a)におけるX-X線に沿った断面図である。
さらに、図１１は、図１０に示す磁気ヘッドサスペンション１Ｂを各構成部材毎に示した分解上面図である。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記第２平板状部材２０及び前記第３平板状部材３０が、それぞれ、第２平板状部材２０Ｂ及び第３平板状部材３０Ｂとされている点を除き、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと同一である。
従って、前記実施の形態１におけると同一又は相当部材には同一符号を付して、その説明を省略する。

前記第２平板状部材２０Ｂは、前記実施の形態１における第２平板状部材２０に対し、先端領域２４のみ変更されている。
即ち、該第２平板状部材２０Ｂは、前記基端領域２１と、前記曲げ領域２２と、前記先端領域２４とを有している。
該第２平板状部材２０Ｂにおける先端領域２４は、基端側２４ａが前記第３平板状部材３０Ｂに接合され、且つ、先端側２４ｂが先方へ延びてフレクシャ部１４０（本実施の形態においては、第４平板状部材４０）を支持し得るように構成されている。

前記第３平板状部材３０Ｂは、前記先端領域３２を有さない点を除き、前記実施の形態１における第３平板状部材３０と同一構成を有している。
即ち、該第３平板状部材３０Ｂは、前記第２平板状部材２０Ｂにおける前記先端領域２４の基端側２４ａに接合される中央領域３１と、該中央領域３１から基端側へ前記記憶面と略平行に延びる基端領域３３とのみを一体的に有している。

つまり、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいては、前記ロードビーム部１３０が、前記第３平板状部材３０Ｂと、前記第２平板状部材２０Ｂにおける前記先端領域２４の先端側２４ｂとによって形成される分割構造とされている。
より詳しくは、前記第３平板状部材３０Ｂの前記中央領域３１が前記ロードビーム部１３０の基端側を形成し、且つ、前記第２平板状部材２０Ｂの前記先端領域２４が前記ロードビーム部１３０の先端側を形成するようになっている。

斯かる本実施の形態においては、前記ロードビーム部１３０の基端側及び先端側の板厚を独立して設定することができる。
即ち、前記ロードビーム部１３０の先端側を形成する前記第２平板状部材２０Ｂの板厚を、前記ロードビーム部１３０の基端側を形成する前記第３平板状部材３０Ｂの板厚よりも薄くすることができる。
従って、本実施の形態においては、前記実施の形態１と同様の効果を奏しつつ、ロードビーム部１３０の先端側（第２平板状部材２０Ｂの先端領域２４）の板厚を薄くすることによっても磁気ヘッドスライダ搭載領域の限界加速度を向上させることができる。
又、本実施の形態の構成によれば、前記荷重曲げ部１２０とロードビーム部１３０との連接部位が単一部材（第２平板状部材２０Ｂ）によって形成されることになる。従って、組立精度を向上させることもできる。

なお、前記各実施の形態においては、前記凸部５０を単一としたが、本発明は斯かる態様に限定されるものではなく、前記凸部５０を複数設けることも可能である。
斯かる複数の凸部５０は、側面視において、前記第２平板状部材２０における前記曲げ領域２２と前記先端領域２３又は２４との境界付近に位置し、且つ、平面視において、前記中央長手線Ｌを基準にして対称に配置される。
斯かる複数の凸部５０を備えた場合には、前記ロードビーム部１３０が前記中央長手線Ｌに対して左右に振動する固有モードの悪化を抑えることができる。

又、前記各実施の形態においては、前記凸部５０を平面視円形状としたが、これに代えて、平面視において磁気ヘッドサスペンションの幅方向に所定距離を有する線状凸部とすることも可能である。
斯かる線状凸部も、側面視において、前記第２平板状部材２０における前記曲げ領域２２と前記先端領域２３との境界付近に位置し、且つ、平面視において、前記中央長手線Ｌを基準にして対称に配置され、これにより、前記複数の凸部を備えた場合と同様の効果を得ることができる。

さらに、前記各実施の形態においては、前記凸部５０を前記第２平板状部材に設けたが、これに代えて、該凸部５０を前記第３平板状部材に設けることも可能である。
斯かる態様においては、該凸部５０は、前記第１平板状部材１０又は第２平板状部材２０の少なくとも一方と当接するように前記記憶面から離間する方向へ向けて突出される。

又、前記各実施の形態においては、前記フレクシャ部１４０，前記ロードビーム部１３０，前記荷重曲げ部１２０及び前記基部１１０の形成材料としてステンレスを例示したが、当然ながら、鉄を含む金属，アルミニウムを含む金属，チタンを含む金属又はセラミック等の種々の材料を用いて形成することができる。

図１は、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの概念を説明する為の模式図である。図２は、図１に示す模式図に基づく、ロードビーム部の板厚と限界加速度との関係を示すグラフである。図３(a)は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。図３(b)は、図３(a)におけるIII-III線に沿った断面図である。図４は、図３に示す磁気ヘッドサスペンション１Ａを各構成部材毎に示した分解上面図である。図５(a)は、図３に示す磁気ヘッドサスペンションの一例（実施例）を示す上面図であり、ロードビーム部及び荷重曲げ部のみを示している。図５(b)は、従来磁気ヘッドサスペンションの一例（比較例）を示す上面図であり、ロードビーム部及び荷重曲げ部のみを示している。図６は、図５に示す実施例及び比較例を用いて行った解析条件を示す模式側面図である。図７は、図６に示す解析条件下での解析結果を示すグラフであり、時間とスライダ跳躍量との関係を示している。図８(a)及び(b)は、それぞれ、図５に示す実施例及び比較例の挙動を示す側面図である。図９は、図５に示す実施例及び比較例におけるロードビーム部の板厚と限界加速度との関係を示すグラフである。図１０(a)は、本発明の第２実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。図１０(b)は、図１０(a)におけるX-X線に沿った断面図である。図１１は、図１０に示す磁気ヘッドサスペンションを各構成部材毎に示した分解上面図である。

符号の説明

１Ａ，１Ｂ磁気ヘッドサスペンション
１０第１平板状部材
１１第１平板状部材の先端領域
１１ａ第１平板状部材の延在片
２０第２平板状部材
２１第２平板状部材の基端領域
２１ａ第２平板状部材の延在片
２２第２平板状部材の曲げ領域
２３第３平板状部材の先端領域
３０第３平板状部材
３１第３平板状部材の中央領域
３２第３平板状部材の先端領域
３３第３平板状部材の基端領域
５０凸部
１１０基部
１２０荷重曲げ部
１３０ロードビーム部
１４０フレクシャ部
Ｌ中央長手線
Ｘ回動中心

Claims

磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダを記憶媒体の記憶面へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッド搭載領域へ伝達するロードビーム部と、前記荷重曲げ部を支持する基部とを有する磁気ヘッドサスペンションであって、
前記記憶面と直交する回転軸回りに揺動可能とされた第１平板状部材と、
前記第１平板状部材に接合される基端領域と、該基端領域と前記記憶面との間において、該記憶面に対し略平行に延びる先端領域と、前記基端領域及び先端領域を連結する曲げ領域とを一体的に有する第２平板状部材と、
前記第２平板状部材の先端領域に接合される中央領域と、該中央領域から先端側及び基端側へそれぞれ前記記憶面と略平行に延びる先端領域及び基端領域とを一体的に有する第３平板状部材とを備え、
前記基部は前記第１平板状部材によって形成され、
前記荷重曲げ部は前記第２平板状部材の曲げ領域によって形成され、
前記ロードビーム部は前記第３平板状部材によって形成されており、
前記第１平板状部材又は第２平板状部材の少なくとも一方と前記第３平板状部材との何れかには、前記記憶面と略直交する方向に向けて突出された単一又は複数の凸部が設けられ、
前記凸部は、側面視において、前記第２平板状部材における前記曲げ領域と前記先端領域との境界付近に位置していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダを記憶媒体の記憶面へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッド搭載領域へ伝達するロードビーム部と、前記荷重曲げ部を支持する基部とを有する磁気ヘッドサスペンションであって、
前記記憶面と直交する回転軸回りに揺動可能とされた第１平板状部材と、
前記第１平板状部材に接合される基端領域と、該基端領域と前記記憶面との間において、該記憶面に対し略平行に延びる先端領域と、前記基端領域及び先端領域を連結する曲げ領域とを一体的に有する第２平板状部材と、
前記第２平板状部材における前記先端領域の基端側に接合される中央領域と、該中央領域から基端側へ前記記憶面と略平行に延びる基端領域とを一体的に有する第３平板状部材とを備え、
前記基部は前記第１平板状部材によって形成され、
前記荷重曲げ部は前記第２平板状部材の曲げ領域によって形成され、
前記ロードビーム部は、前記第３平板状部材と、前記第２平板状部材における前記先端領域の先端側とによって形成されており、
前記第１平板状部材又は第２平板状部材の少なくとも一方と前記第３平板状部材との何れかには、前記記憶面と略直交する方向に向けて突出された単一又は複数の凸部が設けられ、
前記凸部は、側面視において、前記第２平板状部材における前記曲げ領域と前記先端領域との境界付近に位置していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
前記単一又は複数の凸部は前記第１平板状部材又は第２平板状部材の少なくとも一方に設けられ、
該単一又は複数の凸部は前記第３平板状部材と当接するように前記記憶面へ向けて突出されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
前記第２平板状部材の前記基端領域は、平面視において、幅方向中央部が延在片を形成するように先端側へ延在され、且つ、該第２平板状部材の前記曲げ領域は、平面視において、前記延在片を挟んで幅方向両側に位置しており、
前記第１平板状部材のうち，前記第２平板状部材の基端領域に接合される先端領域は、平面視において、前記第２平板状部材の前記基端領域に対応する形状とされていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
前記凸部は前記第２平板状部材の延在片に設けられていることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
前記単一又は複数の凸部は前記第３平板状部材に設けられ、
該単一又は複数の凸部は前記第１平板状部材又は第２平板状部材の少なくとも一方と当接するように前記記憶面から離間する方向へ向けて突出されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
前記凸部は単一とされ、且つ、平面視において、前記回転軸と前記磁気ヘッドスライダの中心とを結ぶ中央長手線上に位置されていることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
前記第２平板状部材は、前記第３平板状部材よりも板厚が薄いことを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の記載の磁気ヘッドサスペンション。
前記ロードビーム部は、前記凸部を基準にして、基端側の距離Ｂが先端側の距離Ａに対して、０．４倍〜１．６倍となるように構成されていることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の前記先端側を形成する部材によって形成されていることを特徴とする請求項１から９の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
前記第１平板状部材は、基端部が前記回転軸回りに揺動可能とされ且つ先端部が前記第２平板状部材を支持する単一のアームとされていることを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
前記第１平板状部材は、基端部が前記回転軸回りに揺動可能とされたＥブロックと、該Ｅブロックの先端部に支持され且つ前記第２平板状部材を支持するマウントとを含むことを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。