JP4684284B2 - 磁気ヘッドサスペンション - Google Patents

Description

本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。

磁気ヘッドサスペンションは、アクチュエータの駆動に応じて磁気ヘッドをハードディスク等の記憶媒体上において径方向（シーク方向）へ高速移動させ、前記磁気ヘッドを目的のトラック上に正確に位置決めさせる部材である。前記磁気ヘッドサスペンションに（共振）振動が生じると前記磁気ヘッドは目的のトラックから変位することになる。従って、前記磁気ヘッドサスペンションには、振動特性の向上（共振周波数の高域化）が求められている。

振動特性の向上は、前記磁気ヘッドサスペンションの剛性を高めることによって達成され得る。前記磁気ヘッドサスペンションの剛性は、例えば、前記磁気ヘッドサスペンションの一構成部材であるロードビーム部の幅広化及び／又は厚肉化によって高めることができる。

しかしながら、前記ロードビーム部の幅広化及び／又は厚肉化は、前記磁気ヘッドサスペンションの耐衝撃性の悪化を招く。
即ち、近年、前記磁気ヘッドによって記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトするデータ記憶装置は、ノートブックＰＣや携帯音楽プレーヤー等のモバイル機器においても広く利用されており、これに伴い、前記データ記憶装置に使用される前記磁気ヘッドサスペンションにはより高い耐衝撃性が求められるようになってきている。

特に、前記データ記憶装置に外部から前記磁気ヘッドを記憶媒体から離間させる方向へ一定以上の大きさの衝撃力が加わると、前記磁気ヘッドがディスク面から離間する方向に跳躍し、この跳躍の揺れ戻しの際に前記磁気ヘッドがディスク面に衝突して、前記ディスク面を損傷させる恐れがある。
前記磁気ヘッドサスペンションの耐衝撃性を向上させる為には、前記磁気ヘッドサスペンションの軽量化が効果的である。
つまり、前記ロードビーム部の幅広化及び／厚肉化は、振動特性の向上に寄与するが、その一方で、耐衝撃性の悪化を招く。

このような理由から、従来の磁気ヘッドサスペンションは、振動特性又は耐衝撃性の何れか一方を犠牲にしているのが現状である。

例えば、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記ロードビーム部に接合され且つ前記磁気ヘッドを支持するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記ロードビーム部を形成する部材に前記荷重曲げ部を越えて基端側へ延びる基端側延在領域を設けた構成（下記特許文献１参照、以下、従来構成１という）や、前記ロードビーム部の前記基端側延在領域に平衡質量体を設けた構成（下記特許文献２及び３参照、以下、従来構成２という）が提案されている。

前記従来構成１及び２は、前記基端側延在領域及び／又は前記平衡質量体によって、前記荷重曲げ部を基準にして先端側の質量と基端側の質量とを可及的に平衡化させることができる為、耐衝撃性の向上という観点では有効である。
しかしながら、前記従来構成１及び２においては、前記基端側延在領域の質量及び／又は前記平衡質量体の質量が前記ロードビーム部にそのまま付加されている。つまり、前記磁気ヘッドサスペンションのシーク方向への移動時にも、前記基端側延在領域及び／又は前記平衡質量体の質量がそのまま前記ロードビーム部に作用することになる。従って、前記従来構成１及び２は、耐衝撃性については有効であるものの、振動特性については悪影響を招く恐れがある。

一方、下記特許文献４には、前記荷重曲げ部、前記ロードビーム部、前記フレクシャ部及び前記支持部を備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記支持部におけるディスク面とは反対側の裏面に載置された規制部材を備えた構成（以下、従来構成３という）が開示されている。
前記規制部材は、前記支持部の裏面に固着される固着部と、前記固着部の先端側から曲げ部を介して基端側へ折り返された本体部と、前記本体部から先端側へ延びる規制片であって、自由端部が前記ロードビーム部におけるディスク面とは反対側の裏面と対向配置された規制片とを有している。
前記規制部材は、前記曲げ部を基準にして基端側に位置する部分の質量が先端側に位置する部分の質量よりも大とされており、従って、前記磁気ヘッドをディスク面から離間させる方向の衝撃力によって前記ロードビーム部がディスク面から離間する方向へ撓み動作しようとする際に、前記規制部材は前記規制片の自由端部がディスク面に近接する方向へ前記曲げ部を支点として回動動作し、前記規制片が前記ロードビーム部の撓み動作を規制するようになっている。

前記従来構成３は、前記構成により耐衝撃性を向上させることができると共に、下記構成によって、前記規制部材による振動特性への悪影響を防止している。

即ち、前記従来構成３は、前記衝撃力の印可時においてのみ、前記規制片の自由端部が前記ロードビーム部と当接するように構成されている。つまり、前記従来構成３は、前記磁気ヘッドサスペンションが前記衝撃力を受けていない状態で通常の読み書き動作を行う際には、前記規制片の自由端部が前記ロードビーム部から所定距離だけ離間するように構成されている。
斯かる構成によれば、前記磁気ヘッドサスペンションのシーク方向への移動時に前記規制部材の質量が前記ロードビーム部に作用することはない為、前記規制部材の存在によって振動特性が悪化することを可及的に防止できる。

しかしながら、前記従来構成３が成し得るのは、あくまで前記規制部材に起因する振動特性の悪化を防止することであり、振動特性の向上には至っていない。
特開２００４−３４８８０４号公報 特開平９−０８２０５２号公報 特開平１１−０３９８０８号公報 米国特許第６，７７１，４６９号明細書

本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、耐衝撃性及び振動特性の双方を向上させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。

本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記ロードビーム部に接合され且つ前記磁気ヘッドを支持するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記荷重曲げ部として作用するように、基端部が前記支持部に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部の基端部に連結された一対の第１弾性板であって、磁気ヘッドサスペンションの中央長手線を基準にして左右対称に配置された一対の第１弾性板と、前記ディスク面と直交する板厚方向に関し弾性を有し且つ基端部が前記支持部に連結された一対の第２弾性板であって、前記中央長手線を基準にして左右対称に配置された一対の第２弾性板と、前記ロードビーム部とは別体とされた平衡質量体であって、磁気ヘッドサスペンションの幅方向に関し前記一対の第１弾性板の間に位置し且つ平面視において先端部が前記ロードビーム部と重合するように、重心位置より先端側において前記一対の第２弾性板を介して前記支持部に支持された平衡質量体と、前記平衡質量体における前記ディスク面と対向する対向面のうち平面視において前記ロードビーム部と重合する部分又は前記ロードビーム部における前記ディスク面とは反対側の裏面のうち平面視において前記平衡質量体と重合する部分の一方に設けられた凸部であって、前記中央長手線を基準にして左右対称に配置された一又は複数の凸部とを備え、前記凸部は、前記ディスク面の回転に伴う空気圧と前記荷重曲げ部によって発生される押し付け荷重とによって前記磁気ヘッドが前記ディスク面から所定距離だけ浮上する作動状態において、前記平衡質量体又は前記ロードビーム部の他方と係合し、これにより、前記平衡質量体の先端側が前記一対の第２弾性板を弾性変形可能な範囲内において弾性変形させつつ前記ディスク面から離間する方向へ押動される磁気ヘッドサスペンションを提供する。

好ましくは、前記支持部は、磁気ヘッドサスペンションの幅方向中央に先端側に開く凹部を画するように、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片を有する。
斯かる構成において、前記平衡質量体は、平面視において基端側が前記凹部内に位置するように前記一対の第２弾性板によって支持される。

より好ましくは、前記一対の第２弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ接合される一対の支持片接合領域と、前記平衡質量体が接合される平衡質量体接合領域と、前記一対の支持片接合領域及び前記平衡質量体接合領域の間において磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿って延びる一対の延在領域とを一体的に有し、前記空気圧によって前記凸部を介して前記平衡質量体の先端側が前記ディスク面から離間する方向へ押圧される際に、前記一対の延在領域が磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った捩り中心線回りに捻れるように構成される。

これに代えて、前記平衡質量体は、先端側が前記凸部を介して前記ロードビーム部の裏面に係合し且つ基端側が平面視において前記凹部内に位置する本体部と、前記本体部から磁気ヘッドサスペンションの幅方向両側に延びる一対の梁部とを有し得る。
前記一対の第１弾性板は、前記一対の支持片における前記ディスク面と対向する対向面に連結される。
前記一対の支持片は、前記ディスク面と対向する対向面に一対の溝を有する。
前記平衡質量体は、前記一対の梁部が前記一対の溝内に位置された状態で、前記支持部における前記ディスク面と対向する対向面に連結された前記一対の第２弾性板に支持される。

前記種々の形態において、好ましくは、前記平衡質量体は、前記磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部において曲げられる。
より好ましくは、前記折り曲げ部は、他の領域に比して薄肉とされる。

前記種々の形態において、好ましくは、前記支持部における前記ディスク面と対向する対向面には、前記平衡質量体の基端側と平面視において重合するように配置された制約板が設けられる。

前記種々の形態において、前記フレクシャ部は、ステンレス基板と、前記ステンレス基板に積層された絶縁層と、前記絶縁層に積層された導体層とを一体的に有する配線一体型フレクシャとされ得る。
前記フレクシャ部は、前記ステンレス基板を介して前記ロードビーム部における前記ディスク面と対向する対向面に接合されるロードビーム部接合領域と、前記ステンレス基板を介して前記支持部における前記ディスク面と対向する対向面に接合される支持部接合領域と、前記ロードビーム接合領域及び前記支持部接合領域の間に延びる中間領域とを有する。
前記中間領域は、少なくとも一部が前記平衡質量体に対してフリーな状態で且つ平面視において前記平衡質量体と重合するように、前記平衡質量体と前記ディスク面との間を通過するように配置される。

前記種々の形態において、好ましくは、前記支持部における前記ディスク面とは反対側の裏面には拘束板が設けられる。
前記拘束板は、第２凸部を介して前記平衡質量体と係合するように構成され、前記第２凸部は、前記平衡質量体のうち前記一対の第２弾性板によって支持される部位と前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向に関し略同一位置に位置される。

本発明に係る磁気ヘッドサスペンションは、前記ロードビーム部とは別体とされた平衡質量体であって、平面視において先端部がロードビーム部と重合するように、重心位置より先端側において一対の第２弾性板を介して支持部に支持された平衡質量体と、前記平衡質量体又は前記ロードビーム部の一方に設けられた凸部であって、中央長手線を基準にして左右対称に配置された一又は複数の凸部とを備え、前記凸部は、前記ディスク面の回転に伴う空気圧と荷重曲げ部によって発生される押し付け荷重とによって磁気ヘッドが前記ディスク面から所定距離だけ浮上する作動状態において、前記平衡質量体及び前記ロードビーム部の他方と係合し、これにより、前記平衡質量体の先端側が前記一対の第２弾性板を弾性変形可能な範囲内において弾性変形させつつ前記ディスク面から離間する方向へ押動されるように構成されている。
斯かる構成によれば、前記磁気ヘッドサスペンションの作動状態時に、前記磁気ヘッドを前記ディスク面から離間（跳躍）させる方向の衝撃力が加わっても、前記平衡質量体によって前記磁気ヘッドの跳躍動作を有効に防止することができ、これにより、前記磁気ヘッドサスペンションの耐衝撃性を向上させることができる。
又、本発明においては、前記平衡質量体が、前記ロードビーム部ではなく、前記支持部に支持されている。従って、前記平衡質量体の存在によって前記磁気ヘッドサスペンションの振動特性が悪化することを防止できる。
さらに、本発明においては、前記磁気ヘッドサスペンションの作動状態時に、前記第２弾性板の弾性変形に伴う保有弾性によって、前記ロードビーム部は前記平衡質量体及び前記凸部を介して姿勢保持される。従って、前記磁気ヘッドサスペンションの振動特性を有効に向上させることができる。

実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た図）及び下面図（ディスク面側から見た図）を示す。

前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッド１００に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する支持部１０と、前記ロードビーム部３０に接合され且つ前記磁気ヘッド１００を支持するフレクシャ部４０とを備えている。

前記支持部１０は、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する為の部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
本実施の形態においては、前記支持部１０は、キャリッジアームの先端にスウェッジ加工により接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。これに代えて、前記支持部１０は、基端部がアクチュエータの回転中心に連結されるアームとされ得る（図５参照）。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

本実施の形態においては、前記支持部１０は、図１(a)及び(b)に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの幅方向中央に先端側に開く凹部１３を画するように、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片１２を有している。
即ち、前記支持部１０は、基端部が前記アクチュエータに直接又は間接的に連結される平板状の本体領域１１と、前記本体領域１１の先端部における幅方向両端部から先端側へ延びる前記一対の支持片１２とを有しており、前記一対の支持片１２の間に前記凹部１３が画されている。

前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッド１００に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１(a)及び(b)に示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３を有している。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。

前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド１００を支持した状態で前記ロードビーム部３０に接合される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図１に示すように、前記ロードビーム部３０の対向面（ディスク面に対向する側の面）に溶接等によって接合される本体領域４１と、前記本体領域４１から先端側へ延びる一対の支持片４２と、前記支持片４２によって支持された前記ヘッド搭載領域４３とを有している。

前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド１００を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ部４０は、前記ヘッド搭載領域４３がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ部４０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。

本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図１(a)及び(b)に示すように、前記荷重曲げ部２０として作用するように、前記ディスク面と直交する板厚方向に弾性変形可能な一対の第１弾性板５０を有している。
前記一対の第１弾性板５０は、磁気ヘッドサスペンション１Ａの中央長手線ＣＬを基準にして左右対称となるように互いに対して前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの幅方向に離間された状態で、それぞれ、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０の基端部に連結されている。

図２(a)に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａのデータ記憶装置への実装前の状態の側面図を示す。又、図２(b)に、図２(a)におけるII(b)部拡大図を示す。
さらに、図３(a)に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａがデータ記憶装置へ実装された後の状態の側面図であって、前記データ記憶装置におけるディスク面の回転に伴う空気圧によって前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面上で浮上している作動状態の側面図を示す。又、図３(b)に、図３(a)におけるIII(b)部拡大図を示す。

前記第１弾性板５０は、図２(a)及び(b)に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａがデータ記憶装置に実装される前の状態においては、前記磁気ヘッド１００がディスク面に近接する方向へ曲げられている。
そして、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの作動状態においては、図３(a)及び(b)に示すように、ディスク面の回転に伴う空気圧によって前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面上で浮上して前記ロードビーム部３０が前記一対の第１弾性板５０を曲げ戻し、これにより、前記一対の第１弾性板５０は前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する。
即ち、前記第１弾性板５０の曲げ戻し動作（弾性変形）によって生じる前記第１弾性板５０の保有弾性が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける荷重として作用し、この押し付け荷重と前記磁気ヘッド１００をディスク面から離間させる方向へ押圧する前記空気圧とがつり合うことで、前記磁気ヘッド１００は作動状態においては前記ディスク面上で所定距離だけ浮上する。

本実施の形態においては、前記一対の第１弾性板５０の基端部は、前記支持部１０における前記ディスク面と対向する対向面に連結されている。
前述の通り、本実施の形態においては、前記支持部１０は、先端側に前記一対の支持片１２を有している。従って、前記一対の第１弾性板５０は、基端部が前記一対の支持片１２の前記対向面にそれぞれ連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されている。
前記第１弾性板５０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、さらに、図１(a)及び(b)に示すように、前記ディスク面と直交する板厚方向に関し弾性を有し且つ基端部が前記支持部１０に連結された一対の第２弾性板６０と、磁気ヘッドサスペンション１Ａの幅方向に関し前記一対の第１弾性板５０の間に位置し且つ平面視において先端部が前記ロードビーム部３０と重合する状態で前記ロードビーム部３０を基準にして前記ディスク面とは反対側に位置するように、前記一対の第２弾性板６０を介して前記支持部１０に支持された平衡質量体７０とを備えている。

前記一対の第２弾性板６０は、前記中央長手線ＣＬを基準にして左右対称に配置されている。
前記第２弾性板６０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
前記一対の第２弾性板６０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記平衡質量体７０に連結されており、これにより、前記平衡質量体７０が前記一対の第２弾性板６０を介して前記支持部１０に支持されている。

前記一対の第２弾性板６０の基端部は、前記一対の第１弾性板５０と同様に、前記支持部１０の前記対向面に連結されている。
なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記支持部１０は前記一対の支持片１２を有している。従って、前記一対の第２弾性板６０の基端部は、それぞれ、前記一対の支持片１２における前記対向面に連結されている。

前記一対の第２弾性板６０の先端部は、図１(a)及び(b)に示すように、前記平衡質量体７０の重心位置７０Ｇより前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの長手方向に関し先端側において前記平衡質量体７０に連結されている。

即ち、前記平衡質量体７０は、前記重心位置７０Ｇより先端側の支持点７０Ｓにおいて、前記一対の第２弾性板６０を介して前記支持部１０に支持されている。
なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記支持部１０は、先端側に前記一対の支持片１２を有している。
従って、前記平衡質量体７０は、平面視において、基端側が前記一対の支持片１２の間の前記凹部１３内に位置されており、これにより、前記平衡質量体７０に起因して前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが厚み方向に長大化することを有効に防止している。

本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、さらに、下記構成を有している。
図４に、図１(a)におけるIV-IV線に沿った断面図を示す。

図４に示すように、前記平衡質量体７０における前記ディスク面と対向する対向面のうち平面視において前記ロードビーム部３０と重合する部分又は前記ロードビーム部３０における前記ディスク面とは反対側の裏面のうち平面視において前記平衡質量体７０と重合する部分の一方には、前記中央長手線ＣＬを基準にして左右対称とされた一又は複数の凸部８０が設けられている。
本実施の形態においては、図４に示すように、前記凸部８０は、前記ディスク面から離間する方向へ突出するように、前記ロードビーム部３０における前記裏面に設けられている。
これに代えて、前記凸部８０を、前記ディスク面に近接する方向へ突出するように、前記平衡質量体７０における前記ディスク面と対向する対向面に設けることも可能である。

前記凸部８０は、前記ディスク面の回転に伴う空気圧によって前記磁気ヘッド１００が前記荷重曲げ部２０によって発生される押し付け荷重に抗して前記ディスク面から所定距離だけ浮上する作動状態において、前記平衡質量体７０及び前記ロードビーム部３０の他方（本実施の形態においては前記平衡質量体７０）と係合して前記一対の第２弾性板６０が弾性変形可能な範囲内において弾性変形するように前記平衡質量体７０の先端側を前記ディスク面から離間する方向へ押圧する（図３(b)参照）。

詳しくは、前記一対の第２弾性板６０は、図１(b)に示すように、前記一対の支持片１２の一方及び他方にそれぞれ接合される一対の支持片接合領域６１と、前記一対の支持片接合領域６１から前記磁気ヘッドサスペンションの先端側且つ中央長手線ＣＬに近接する方向へそれぞれ延びる一対の延在領域６２と、前記一対の延在領域６２の先端部に連接され且つ前記平衡質量体７０が接合される平衡質量体接合領域６３とを一体的に有している。

そして、前記ロードビーム部３０及び前記平衡質量体７０の一方に設けられた前記凸部８０は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａがデータ記憶装置に実装される前の状態（前記磁気ヘッド１００がディスク面に近接する方向へ前記一対の第１弾性板５０が曲げられている状態（図２(a)及び(b)に示す状態））においては、前記ロードビーム部３０及び前記平衡質量体７０の他方に係合せず、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの作動状態（図３(a)及び(b)に示す状態）においては、前記ロードビーム部３０及び前記平衡質量体７０の他方と係合するような高さとされている。

斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、耐衝撃性及び振動特性の双方を向上させることができる。
即ち、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前述の通り、前記平衡質量体７０は、重心位置７０Ｇより先端側の支持点７０Ｓにおいて前記一対の第２弾性板６０を介して前記支持部１０に支持されており、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの作動状態において前記凸部８０を介して前記ロードビーム部３０の基端側に係合している。

斯かる構成によれば、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの作動状態において前記磁気ヘッド１００を前記ディスク面から離間させる方向の衝撃力（以下、磁気ヘッド跳躍方向衝撃力という）が加わった際に、前記平衡質量体７０は、前記支持点７０Ｓより基端側が前記ディスク面から離間し且つ前記支持点７０Ｓより先端側が前記ディスク面に近接するように、前記支持点７０Ｓ回りに回動動作を行い、これにより、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力によって前記磁気ヘッド１００が跳躍動作を行うことを有効に防止することができる。

詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが装着されているデータ記憶装置に前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力が印可されると、前記一対の第１弾性板５０及び前記ロードビーム部３０は、前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面から離間する方向へ回動動作する。

一方、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力の印可時に、前記平衡質量体７０は、前述の通り、前記支持点７０Ｓより基端側が前記ディスク面から離間し且つ前記支持点７０Ｓより先端側が前記ディスク面に近接するように前記支持点７０Ｓ回りに回動動作を行う。
つまり、前記平衡質量体７０は、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力の印可時に、前記凸部８０を介して前記ロードビーム部３０に係合している先端側が前記ディスク面へ近接するように前記支持点７０Ｓ回りに回動動作を行う。
従って、前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面から離間する方向への前記一対の第１弾性板５０及び前記ロードビーム部３０の回動動作は、前記平衡質量体７０の前記回動動作によって抑えられ、これにより、前記磁気ヘッド１００の跳躍動作が有効に防止される。

好ましくは、前記平衡質量体７０は、図１(a)及び(b)に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの長手方向に関し前記支持点７０Ｓと同一位置又は先端側の位置に中空開口を有し得る。
斯かる構成によれば、前記平衡質量体７０の質量を増加させることなく、前記支持点７０Ｓを基準にして基端側の慣性モーメントを先端側の慣性モーメントより大きくすることができ、前記回動動作を有効に実現させることができる。

さらに、前記磁気ヘッドサスペンションの作動状態において、前記一対の第２弾性板６０が弾性変形可能範囲内において弾性変形するように、前記ロードビーム部３０の基端側が前記平衡質量体７０の先端側に前記凸部８０を介して係合している。
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションの作動状態において、前記ロードビーム部３０の基端側が前記凸部を介して前記平衡質量体７０の先端側を前記ディスク面から離間する方向へ押圧する際に、前記一対の第２弾性板６０は弾性変形して保有弾性を有する状態となる。
なお、本実施の形態においては、前記一対の第２弾性板６０は、前記一対の延在領域６２の先端側が前記ディスク面から離間する方向へ撓むように弾性変形する。

この状態において、前記ロードビーム部３０は、前記一対の第２弾性板６０の弾性変形に伴う保有弾性力によって姿勢変動が防止される。
従って、前記磁気ヘッド１００をシーク方向へ移動させる際等において、前記ロードビーム部３０が曲げ方向に振動することを有効に防止でき、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの曲げモードの振動特性を向上させることができる。

この点に関し、平衡質量体が設けられた従来構成と対比させつつ、詳しく説明する。
従来技術の項に記載したように、荷重曲げ部を基準にして先端側の質量と基端側の質量とを可及的に釣り合わせる為に、ロードビーム部を形成する部材に荷重曲げ部を越えて基端側へ延びる基端側延在領域を設けた構成（前記従来構成１）や、ロードビーム部の前記基端側延在領域に平衡質量体を設けた構成（前記従来構成２）が提案されている。

前記従来構成１及び２は、前記構成により、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力印可時における前記磁気ヘッドの跳躍動作を抑えることができるが、前記基端側延在領域及び／又は前記平衡質量体の質量がそのまま前記ロードビーム部及び前記荷重曲げ部に作用している。
つまり、前記従来構成１及び２においては、前記磁気ヘッドをシーク方向へ移動させる際や前記磁気ヘッドを目的のトラック上に保持する際においても、前記基端側延在領域及び／又は前記平衡質量体の質量が、そのまま前記ロードビーム部及び前記荷重曲げ部に作用することになり、これにより、曲げ方向の振動のみならず、首振り方向及びねじれ方向の振動を増長させる恐れがある。

これに対し、本実施の形態においては、前述の通り、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力印可時における前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を有効に防止する為の前記平衡質量体７０が、前記ロードビーム部３０ではなく、前記支持部１０に支持されている。つまり、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力が印可されていない通常の前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの作動状態において、前記平衡質量体７０の質量は前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０には実質的に作用しない。
従って、前記平衡質量体７０によって前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの振動特性が悪化することはない。

又、従来技術の項に記載したように、支持部におけるディスク面とは反対側の裏面に規制部材を備えた構成（前記従来構成３）が提案されている。
この従来構成３においては、前記規制部材は、前記ロードビーム部ではなく、前記支持部に支持されており、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力印可時における前記磁気ヘッドの跳躍動作を前記規制部材によって抑制させつつ、前記磁気跳躍方向衝撃力が印可されない通常の作動状態においては前記規制部材の質量が前記ロードビーム部及び前記荷重曲げ部に作用しないようになっている。

しかしながら、前記従来構成３においては、前記磁気ヘッドサスペンションが前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力を受けていない通常の作動状態の際に、前記規制片の自由端部は前記ロードビーム部から所定距離だけ離間されている。
つまり、前記従来構成３においては、前記磁気ヘッドサスペンションの通常の作動状態に際し、前記規制部材は、何ら積極的な作用を奏していない。

これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前述の通り、前記磁気ヘッド１００がディスク面上で浮上している作動状態の際に、前記ロードビーム部３０の基端側が前記平衡質量体７０の先端側を前記凸部８０を介して押圧しており、前記ロードビーム部３０は前記一対の第２弾性板６０の弾性変形に伴う保有弾性力によって姿勢変動が防止されている。
従って、前記従来構成３に比して、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの振動特性を有効に向上させることができる。

好ましくは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記中央長手線ＣＬを基準にして左右対称に配置された複数の前記凸部８０を備え得る。
本実施の形態においては、図１及び図４に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａには前記中央長手線ＣＬを基準にして左右対称に配置された２個の前記凸部８０が設けられている。
斯かる構成によれば、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの作動状態において、前記ロードビーム部３０がねじれ方向及び首振り方向に振動することを有効に防止できる。従って、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａのねじれモード及び首振り方向に関する振動特性を効果的に向上させることができる。

なお、前記凸部８０は、図４に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの作動状態時に前記ロードビーム部３０の基端部を前記平衡質量体７０の先端部に点接触させるような形状に限定されるものではなく、両者を線接触させるような形状を有する凸部８１を備えることも可能である。

図６(a)及び(b)に、それぞれ、前記ロードビーム部３０及び前記平衡質量体７０を線接触させるような前記凸部８１を備えた磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図及び下面図を示す。さらに、図６(c)に、図６(a)におけるVI(c)-VI(c)線に沿った断面図を示す。

図６に示す前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいては、前記凸部８１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂの幅方向に所定の長さを有し且つ前記中央長手線ＣＬを基準にして左右対称とされている。
前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいては、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂの作動状態の際に前記ロードビーム部３０が前記平衡質量体７０の先端側と線状に接触することになる。従って、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおけるねじれモードの振動特性をより効果的に向上させることができる。

本実施の形態及び図６に示す変形形態においては、前記ロードビーム部３０，前記荷重曲げ部２０として作用する前記一対の第１弾性板５０及び前記一対の第２弾性板６０が単一の板状部材１５０によって一体形成されている。
図７に、前記板状部材１５０の下面図を示す。

詳しくは、前記板状部材１５０は、図７に示すように、前記一対の支持片１２に溶接（図１(b)の符号８５参照）によって接合される一対の支持片接合領域１６０と、前記一対の支持片接合領域１６０から先端側且つ前記中央長手線ＣＬに近接する方向へ延びて前記一対の第１弾性板５０を形成する一対の第１弾性板形成領域１７０と、前記一対の第１弾性板形成領域１７０から先端側へ延びて前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム部形成領域１８０と、前記一対の弾性板形成領域１７０とは分離された状態で前記一対の支持片接合領域１６０の間を連結する第２弾性板形成領域１９０とを備えている。

前記第２弾性板形成領域１９０は、前記一対の支持片接合領域１６０から先端側且つ前記中央長手線ＣＬに近接する方向へ延びて前記一対の延在領域６２を形成する一対のアーム領域１９２と、前記一対のアーム領域１９２の先端部同士を連結し且つ前記平衡質量体７０が溶接（図１(b)の符号８６参照）によって接合される前記平衡質量体接合領域６３を形成する中央領域１９３とを有している。

なお、前記ロードビーム部形成領域１８０には両端部に前記フランジ部３２が設けられており、これにより、前記ロードビーム部３０に必要な所定の剛性を確保している。
又、図７中の符号６９は、前記平衡質量体接合領域６３を形成する前記中央領域１９３に形成された位置決め穴であり、前記位置決め穴６９に挿通されるピン７９（図１(a)及び(b)参照）を介して前記平衡質量体７０と前記平衡質量体接合領域６３との位置決めが行われる。

斯かる板状部材１５０を用いて前記ロードビーム部３０，前記一対の第１弾性板５０及び前記一対の第２弾性板６０を形成することによって、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの組立効率の向上を図ることができる。
なお、前記板状部材１５０は、例えば、エッチングによって所望形状に容易に形成することができる。

これに代えて、図８に示すように、前記ロードビーム部３０を第１板状部材２１０によって形成し、且つ、前記一対の第１弾性板５０及び前記一対の第２弾性板６０を第２板状部材２５０によって一体形成すると共に、前記第１板状部材２１０及び前記第２板状部材２５０を溶接（図８(b)の符号２１９参照）することも可能である。
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の板厚を前記第１及び第２弾性板５０，６０の板厚とは独立して設定することができ、これにより、前記ロードビーム部３０の剛性を容易に確保することができる。

実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図９(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａの上面図及び下面図を示す。
又、図９(c)に、図９(a)におけるIX(c)−IX(c)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション２Ａは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、さらに、拘束板３００を備えている。

前記拘束板３００は、図９(a)に示すように、一端部及び他端部が前記一対の支持片１２における前記ディスク面とは反対側の裏面に支持され且つ前記一端部及び前記他端部の間の中間領域が前記平衡質量体７０における前記ディスク面とは反対側の裏面に第２凸部３１０を介して係合するように構成されている。

本実施の形態においては、前記第２凸部３１０は、前記ディスク面に近接する方向へ突出するように前記拘束板３００における前記ディスク面と対向する対向面に設けられているが（図９(c)参照）、これに代えて、前記第２凸部３１０を、前記ディスク面から離間する方向へ突出するように前記平衡質量体７０における前記ディスク面とは反対側の裏面に設けることも可能である。

斯かる拘束板３００を備えることにより、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力が加わった際に、前記平衡質量体７０が前記ディスク面から離間する方向へ略平行に変位する量を抑制でき、これにより、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力が加わった際に前記磁気ヘッド１００が跳躍動作を行うことをより有効に防止することができる。

即ち、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力の印可時には、前記実施の形態１において説明したように、前記平衡質量体７０は、前記ロードビーム部３０と係合する前記凸部８０が前記ディスク面へ近接するように、前記第２弾性板６０に支持される前記支持点７０Ｓ回りに回動する。
その一方で、前記第２弾性板６０が前記ディスク面と直交する方向に弾性を有している為、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力の印可時においては、前記第２弾性板６０は前記一対の延在領域６２の先端側が前記ディスク面から離間するように撓み変形を行う。
従って、前記平衡質量体７０は、前記支持点７０Ｓ回りの前記回動動作に加えて、前記ディスク面から離間する方向へ略平行移動する。
斯かる前記平衡質量体７０の略平行移動が生じると、前記凸部８０によって前記ロードビーム部３０の回動を防止する抑え作用が弱まり、前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を有効に防止することができなくなる。

これに対し、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション２Ａは、前記第２凸部３１０を介して前記平衡質量体７０と係合するように前記支持部１０に支持された前記拘束板３００を備えており、従って、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力が加わった際の前記平衡質量体７０の前記平行移動を有効に防止でき、これにより、前記磁気ヘッド１００の跳躍動作をより有効に防止して、耐衝撃性をより向上させることができる。

好ましくは、前記第２凸部３１０は前記中央長手線ＣＬを基準にして左右対称に配置された一又は複数の凸部とされる。
さらに好ましくは、前記第２凸部３１０は、前記磁気ヘッドサスペンション２Ａの長手方向に関し、前記支持点７０Ｓと略同一位置に配置される。
斯かる構成によれば、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力が加わった際の前記平衡質量体７０の前記平行移動をより有効に防止でき、耐衝撃性をさらに向上させることができる。
即ち、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力が加わった際に、前記一対の第２弾性板６０は、前述の通り、前記一対の延在領域６２の先端側が前記ディスク面から離間するように撓み変形を行う。従って、前記第２凸部３１０を、前記一対の延在領域６２の先端側が位置する前記支持点７０Ｓと磁気ヘッドサスペンション２Ａの長手方向に関し略同一位置に設けることにより、前記平衡質量体７０の平行移動を有効に防止することができる。

実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａの上面図及び下面図を示す。
さらに、図１０(c)及び(d)に、それぞれ、図１０(a)におけるX(c)−X(c)線及びX(d)−X(d)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１又は２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａは、前記実施の形態１に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記平衡質量体７０に代えて平衡質量体３７０を備えている。

前記平衡質量体３７０は、図１０(a)及び(d)に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション３Ａの幅方向に沿った折り曲げ部３７１を有しており、且つ、前記折り曲げ部３７１より基端側の領域３７１Ｂが基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように曲げられている。

このように、前記折り曲げ部３７１より基端側の領域３７１Ｂが基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記平衡質量体３７０を形成することにより、前記磁気ヘッドサスペンション３Ａの作動状態において前記磁気ヘッド１００を前記ディスク面に近接させる方向の衝撃力（以下、ディスク近接方向衝撃力という）が加わった際に、前記平衡質量体３７０の基端側が前記ディスク面に衝突することを有効に防止できる。

即ち、前述の通り、前記平衡質量体３７０は、前記平衡質量体３７０の重心位置３７０Ｇより先端側に位置する前記支持点３７０Ｓにおいて、前記一対の第２弾性板６０によって支持されている。
斯かる構成によれば、前記実施の形態１において説明した通り、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力が加わった際には、前記平衡質量体３７０は、前記支持点３７０Ｓより基端側が前記ディスク面から離間し且つ前記支持点３７０Ｓより先端側が前記ディスク面に近接するように、前記支持点３７０Ｓ回りに回動動作を行い、これにより、前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面から離間する方向へ前記ロードビーム部３０が揺動することを防止できる。

しかしながら、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力とは反対方向の前記ディスク近接方向衝撃力が加わると、前記平衡質量体３７０は、前記支持点３７０Ｓより基端側が前記ディスク面に近接し且つ前記支持点３７０Ｓより先端側が前記ディスク面から離間するように、前記支持点３７０Ｓ回りに回動動作を行い、前記平衡質量体３７０の基端側が前記ディスク面に衝突する恐れが生じる。

これに対し、本実施の形態におけるように、前記折り曲げ部３７１より基端側の領域３７１Ｂが基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記平衡質量体３７０を形成すれば、前記ディスク近接方向衝撃力が加わった際に、前記平衡質量体３７０の基端側が前記ディスク面に衝突することを有効に防止できる。

好ましくは、前記折り曲げ部３７１は、図１０(c)に示すように、他の領域に比して薄肉とされる。
斯かる構成によれば、前記折り曲げ部３７１での前記平衡質量体３７０の曲げ加工を安定的に行うことができる。
前記折り曲げ部３７１は、前記平衡質量体３７０における前記ディスク面とは反対側の裏面のうち前記折り曲げ部３７１に対応する部分のみをエッチングすることにより、容易に薄肉とされる。

又、本実施の形態においては、前記平衡質量体３７０は、図１０(a)，(c)及び(d)に示すように、先端側の幅方向中央部に薄肉領域３７２を有している。
即ち、前記平衡質量体３７２は、先端側のうち幅方向両側を除く部分が他の領域に比して薄肉とされた薄肉領域３７２とされている。
斯かる構成によれば、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力が加わった際の前記平衡質量体３７０の跳躍防止方向への回動動作を有効に確保しつつ、前記平衡質量体３７０の質量を低減化させることができる。
なお、前記薄肉領域３７２は、前記平衡質量体３７０における前記ディスク面とは反対側の裏面のうち前記薄肉領域３７２に対応する領域のみをエッチングすることにより、容易に形成することができる。
前記薄肉領域３７２及び前記折り曲げ部３７１は、例えば、他の領域に比して２／３の厚みを有するものとされる。

実施の形態４
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａの上面図及び下面図を示す。
さらに、図１１(c)及び(d)に、それぞれ、図１１(a)におけるXI(c)−XI(c)線及びXI(d)−XI(d)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜３における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション４Ａは、前記実施の形態１に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記平衡質量体７０に代えて平衡質量体４７０を備えると共に、さらに、制約板３２０を備えている。

前記平衡質量体４７０は、前記実施の形態３における前記平衡質量体３７０と同様に、折り曲げ部４７１を有し、且つ、前記折り曲げ部４７１より基端側の領域４７１Ｂが基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部４７１において曲げられている。

前記制約板３２０は、図１１(a)〜(c)に示すように、一端部及び他端部が前記一対の支持片１２における前記ディスク面と対向する対向面に支持され且つ前記一端部及び前記他端部の間の中間領域が前記平衡質量体４７０とは離間され且つ平面視において前記平衡質量体４７０の基端側とオーバーラップするように構成されている。

斯かる制約板３２０を備えることにより、前記ディスク近接方向衝撃力が加わった際に、前記平衡質量体４７０の基端側が前記ディスク面に衝突することを有効に防止することができる。

又、前記制約板３２０は、図１１(c)に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション４Ａの作動状態において、前記平衡質量体４７０との間の所定の間隙３２５が存するように構成されている。
本実施の形態においては、前記平衡質量体４７０のうち前記折り曲げ部４７１より基端側の領域４７１Ｂが基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように構成されており、これにより、前記制約板３２０と前記平衡質量体４７０との間に前記間隙３２５を確保している。

このように、前記制約板３２０と前記平衡質量体４７０との間に前記間隙３２５を設けることにより、前記制約板３２０によって前記磁気ヘッドサスペンション４Ａの荷重特性及び振動特性が変化することを防止できる。

本実施の形態においては、図１１(b)に示すように、前記制約板３２０は、前記ロードビーム部３０，前記第１弾性板５０及び前記第２弾性板６０と共に、単一の板状部材１５０’によって一体形成されており、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション４Ａの組立工率の向上を図っている。
なお、当然ながら、前記制約板３２０を前記ロードビーム部３０，前記第１弾性板５０及び前記第２弾性板６０とは別部材によって形成することも可能である。

実施の形態５
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１２(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンション５Ａの上面図及び下面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜４における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション５Ａは、前記実施の形態１に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記一対の第２弾性板６０に代えて一対の第２弾性板５６０を有している。

前記一対の第２弾性板５６０は、図１２(b)に示すように、前記一対の支持片１２の一方及び他方にそれぞれ接合される一対の支持片接合領域５６１と、前記平衡質量体７０に接合される平衡質量体接合領域５６３と、前記一対の支持片接合領域５６１と前記平衡質量体接合領域５６３との間において磁気ヘッドサスペンション５Ａの幅方向に沿って延びる一対の延在領域５６２とを一体的に有している。

前記一対の第２弾性板５６０は、前記空気圧によって前記凸部８０を介して前記平衡質量体７０の先端側が前記ディスク面から離間する方向へ押圧される際に、前記一対の延在領域５６２が磁気ヘッドサスペンション５Ａの幅方向に沿った捩り中心線ＢＬ回りに捩れることで弾性変形する。

斯かる一対の第２弾性板５６０を備えた前記磁気ヘッドサスペンション５Ａにおいては、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力が加わった際に、前記平衡質量体７０がディスク面から離間する方向へ略平行に変位する量を抑制することができ、これにより、耐衝撃性をより有効に向上させることができる。

即ち、前記実施の形態１に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力の印可時に、前記一対の第２弾性板６０は、前記一対の延在領域６２の先端側が前記ディスク面から離間する方向へ撓むように弾性変形する。
従って、前記一対の延在領域６２の先端側に連接された前記平衡体接合領域６３及び前記平衡体接合領域６３に接合された前記平衡質量体７０も、前記ディスク面から離間する方向へ略平行に変位する。
前記平衡質量体７０が前記ディスク面から離間する方向へ略平行に移動すると、前記凸部８０によって前記ロードビーム部３０の回動を抑える作用が弱まり、前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を有効に防止することができなくなる。

これに対し、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション５Ａにおいては、前記一対の延在領域５６２が磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿っており、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力の印可時に、前記一対の延在領域５６２は、撓み弾性変形ではなく、前記捩り中心線ＢＬ回りに捩り弾性変形する。
従って、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力の印可時に、前記平衡質量体７０が前記ディスク面から離間する方向へ略平行に変位することを防止して、前記平衡質量体７０の前記回動動作による前記磁気ヘッド１００の跳躍動作の防止をより確実に得ることができる。

実施の形態６
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１３(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態６に係る磁気ヘッドサスペンション６Ａの上面図及び下面図を示す。
又、図１３(c)に、図１３(a)におけるXIII(c)−XIII(c)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜５における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション６Ａは、図１３に示すように、前記荷重曲げ部２０として作用する前記一対の第１弾性板５０と、前記ロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する支持部６１０と、前記フレクシャ部４０と、一対の第２弾性板６６０と、前記一対の第２弾性板６６０を介して前記支持部６１０に支持される平衡質量体６７０とを備えている。

前記平衡質量体６７０は、前記各実施の形態におけると同様に、重心位置６７０Ｇより先端側において前記一対の第２弾性板６６０に支持されており、且つ、先端側は平面視において前記ロードビーム部３０の基端側とオーバーラップしている。
そして、前記平衡質量体６７０は、前記ロードビーム部３０を基準にして前記ディスク面とは反対側に位置し、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション６Ａの作動状態において、前記凸部８０を介して前記ロードビーム部３０に係合されている。

一方、前記平衡質量体６７０は、一対の梁部６７６を有している点において、前記各実施の形態における前記平衡質量体７０，３７０，４７０と相違している。
詳しくは、前記平衡質量体６７０は、前記磁気ヘッドサスペンション６Ａの作動状態において先端側が前記凸部８０を介して前記ロードビーム部３０の前記裏面と係合する本体部６７５と、前記平衡質量体６７０の重心位置６７０Ｇより先端側において前記本体部６７５から前記磁気ヘッドサスペンション６Ａの幅方向外方へ延びる前記一対の梁部６７６とを有している。

本実施の形態において、前記支持部６１０は、前記一対の支持片１２における前記ディスク面と対向する対向面に、前記一対の梁部６７６がそれぞれ係入される一対の溝６１５を有している。
そして、前記一対の第２弾性板６６０は、前記一対の梁部６７６が前記一対の溝６１５内に係入された状態で前記一対の梁部６７６を支持している。

詳しくは、前記一対の第２弾性板６６０は、図１３(c)に示すように、前記一対の支持片１２における前記ディスク面と対応する対向面のうち前記溝６１５を挟んで先端側又は基端側の一方（本実施の形態においては先端側）に接合される支持片接合領域６６１と、前記支持片接合領域６６１から前記先端側又は前記基端側の他方へ向かって延び且つ前記磁気ヘッドサスペンション６Ａの長手方向に関し前記溝６１５内において終焉するアーム領域６６５とを有している。

前記アーム領域６６５は、前記平衡質量体６７０の前記梁部６７６が接合される平衡質量体接合領域６６３と、前記支持片接合領域６６１及び前記平衡質量体接合領域６６３の間に延びる延在領域６６２とを含む。

前記梁部６７６は、前記溝６１５内に位置するように、前記平衡質量体接合領域６６３におけるディスク面とは反対側の裏面に支持されている。
即ち、前記一対の第２弾性板６６０は、基端側において前記一対の支持片１２における前記ディスク面と対向する対向面に支持され、且つ、先端側において前記一対の梁部６７６が前記溝６１５内に位置するように前記一対の梁部６７６を片持ち状に支持している。

前記磁気ヘッドサスペンション６Ａは、以下のように作動する。
前記磁気ヘッドサスペンション６Ａの作動状態においては、前記ディスク面からの空気圧によって前記平衡質量体６７０は前記凸部８０を介して先端側が前記ディスク面から離間する方向へ押圧される。この際、前記一対の第２弾性板６６０は、前記一対のアーム領域６６３の先端側が前記ディスク面に近接する方向へ撓むように弾性変形する。
これにより、前記磁気ヘッドサスペンション６Ａの作動状態において、前記ロードビーム部３０は前記凸部８０を介して前記平衡質量体６７０によって姿勢保持される。

一方、前記磁気ヘッドサスペンション６Ａの作動状態において前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力が印可されると、前記平衡質量体６７０における前記本体部６７５の先端側が前記ディスク面に近接し且つ基端側が前記ディスク面から離間するように、前記平衡質量体６７０が前記一対の梁部６７６回りに回動する。
前記平衡質量体６７０の前記回動動作によって、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力の印可時に前記磁気ヘッドが跳躍することが有効に防止される。

なお、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力の印可時においては、前記一対の第２弾性板６６０は、前記一対のアーム領域６６５の先端側が前記ディスク面から離間する方向（即ち、前記溝６１５の底に近接する方向）へ撓む。
斯かる第２弾性板６６５の撓み動作を許容する為に、図１３(c)に示すように、前記平衡質量体６７０における前記一対の梁部６７６と前記支持片１２における前記溝６１５の底面との間には、所定の間隙６１６が設けられている。

実施の形態７
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１４(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態７に係る磁気ヘッドサスペンション７Ａの上面図及び下面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜６における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション７Ａは、前記実施の形態１に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記フレクシャ部７０に代えてフレクシャ部７４０を有している。

前記フレクシャ部７４０は、図１４(b)に示すように、ステンレス基板７４１と、前記ステンレス基板７４１に積層された絶縁層７４２と、前記絶縁層７４２に積層された導体層７４３とを一体的に有する配線一体型とされている。

さらに、前記フレクシャ部７４０は、図１３(b)に示すように、前記ステンレス基板７４１を介して前記ロードビーム部３０における前記ディスク面と対向する対向面に接合されるロードビーム部接合領域７５０と、前記ステンレス基板７４１を介して前記支持部１０における前記ディスク面と対向する対向面に接合される支持部接合領域７７０と、前記ロードビーム部接合領域及び前記支持部接合領域７７０の間に延びる中間領域７６０とを有している。
そして、前記中間領域７６０は、少なくとも一部が前記平衡質量体７０に対してフリーな状態で且つ平面視において前記平衡質量体７０と重合するように、前記平衡質量体７０と前記ディスク面との間を通過している。

斯かるフレクシャ部７４０を備えた前記磁気ヘッドサスペンション７Ａにおいては、前記ディスク近接方向衝撃力の印可時に前記平衡質量体７０が前記ディスク面に衝突することを前記フレクシャ部７４０の前記中間領域７６０によって防止することができる。

好ましくは、前記磁気ヘッドサスペンション７Ａの作動状態において、前記平衡質量体７０の先端側が前記ディスク面から離間し且つ基端側が前記ディスク面に近接するように前記平衡質量体７０が前記凸部８０を介して回動される際に、前記中間領域７６０が前記平衡質量体７０に干渉しないように、前記中間領域７６０と前記平衡質量体７０との間には所定の間隙が設けられる。

なお、本実施の形態においては、図１４(b)に示すように、前記中間領域７６０は、磁気ヘッドサスペンション７Ａの長手方向に関し前記平衡質量体７０の重心位置７０Ｇ近傍で前記平衡質量体７０に溶接（図１４(b)の符号７６５参照）によって接合され、且つ、前記平行質量体７０に接合された部分より基端側に位置する基端側部分が前記平衡質量体７０に対してフリーな状態で且つ平面視において前記平衡質量体７０と重合するように、前記平衡質量体７０と前記ディスク面との間を通過している。
そして、前記基端側部分には方向転換部７６１が設けられている。即ち、前記基端側部分のうち前記方向転換部７６１より先端側は信号伝達方向が前記磁気ヘッドサスペンション７Ａの長手方向に沿い、且つ、前記方向転換部７６１より基端側は信号伝達方向が前記磁気ヘッドサスペンション７Ａの幅方向に沿っている。

図１(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。 図２(a)は、図１に示す前記磁気ヘッドサスペンションのデータ記憶装置への実装前の状態の側面図である。 図２(b)は、図２(a)におけるII(b)部拡大図である。 図３(a)は、図１に示す前記磁気ヘッドサスペンションがデータ記憶装置へ実装された後の状態の側面図であって、前記データ記憶装置におけるディスク面の回転に伴う空気圧によって磁気ヘッドがディスク面上で浮上している作動状態の側面図である。 図３(b)は、図３(a)におけるIII(b)部拡大図である。 図４は、図１(a)におけるIV-IV線に沿った断面図である。 図５(a)及び(b)は、それぞれ、支持部がアームとされた前記実施の形態１の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。 図６(a)及び(b)は、それぞれ、ロードビーム部及び平衡質量体を線状に接触させる凸部を備えた前記実施の形態１の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。 図６(c)は、図６(a)におけるVI(c)-VI(c)線に沿った断面図である。 図７は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるロードビーム部，一対の第１弾性板及び一対の第２弾性板を形成する板状部材の下面図である。 図８(a)及び(b)は、それぞれ、ロードビーム部が第１板状部材によって形成され且つ一対の第１弾性板及び一対の第２弾性板が第２板状部材によって形成されている前記実施の形態１の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。 図９(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。 図９(c)は、図９(a)におけるIX(c)−IX(c)線に沿った断面図である。 図１０(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。 図１０(c)及び(d)は、それぞれ、図１０(a)におけるX(c)−X(c)線及びX(d)−X(d)線に沿った断面図である。 図１１(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図を示す。 図１１(c)及び(d)は、それぞれ、図１１(a)におけるXI(c)−XI(c)線及びXI(d)−XI(d)線に沿った断面図である。 図１２(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。 図１３(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態６に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図を示す。 図１３(c)は、図１３(a)におけるXIII(c)−XIII(c)線に沿った断面図である。 図１４(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態７に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。

１Ａ，１Ｂ，２Ａ〜７Ａ 磁気ヘッドサスペンション
１０，６１０ 支持部
１２ 一対の支持片
１３ 凹部
２０ 荷重曲げ部
３０ ロードビーム部
４０，７４０ フレクシャ部
５０ 一対の第１弾性板
６０，５６０，６６０ 一対の第２弾性板
６１，５６１ 支持片接合領域
６２，５６２ 延在領域
６３，５６３ 平衡質量体接合領域
７０，３７０，４７０，６７０ 平衡質量体
８０ ロードビーム部及び平衡質量体を係合させる凸部
３００ 拘束板
３１０ 拘束板及び平衡質量体を係合させる凸部
３２０ 制約板
３７１，４７１ 平衡質量体の折り曲げ部
６１５ 支持部における支持片に形成された溝
６７５ 平衡質量体の本体部
６７６ 平衡質量体の梁部
７４１ フレクシャ部のステンレス基板
７４２ フレクシャ部の絶縁層
７４３ フレクシャ部の導体層
７５０ フレクシャ部のロードビーム部接合領域
７６０ フレクシャ部の中間領域
７７０ フレクシャ部の支持部接合領域
ＣＬ 中央長手線
ＢＬ 捩り中心線

Claims (9)

1. 磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記ロードビーム部に接合され且つ前記磁気ヘッドを支持するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
   前記荷重曲げ部として作用するように、基端部が前記支持部に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部の基端部に連結された一対の第１弾性板であって、磁気ヘッドサスペンションの中央長手線を基準にして左右対称に配置された一対の第１弾性板と、
   前記ディスク面と直交する板厚方向に関し弾性を有し且つ基端部が前記支持部に連結された一対の第２弾性板であって、前記中央長手線を基準にして左右対称に配置された一対の第２弾性板と、
   前記ロードビーム部とは別体とされた平衡質量体であって、磁気ヘッドサスペンションの幅方向に関し前記一対の第１弾性板の間に位置し且つ平面視において先端部が前記ロードビーム部と重合するように、重心位置より先端側において前記一対の第２弾性板を介して前記支持部に支持された平衡質量体と、
   前記平衡質量体における前記ディスク面と対向する対向面のうち平面視において前記ロードビーム部と重合する部分又は前記ロードビーム部における前記ディスク面とは反対側の裏面のうち平面視において前記平衡質量体と重合する部分の一方に設けられた凸部であって、前記中央長手線を基準にして左右対称に配置された一又は複数の凸部とを備え、
   前記凸部は、前記ディスク面の回転に伴う空気圧と前記荷重曲げ部によって発生される押し付け荷重とによって前記磁気ヘッドが前記ディスク面から所定距離だけ浮上する作動状態において、前記平衡質量体又は前記ロードビーム部の他方と係合し、これにより、前記平衡質量体の先端側が前記一対の第２弾性板を弾性変形可能な範囲内において弾性変形させつつ前記ディスク面から離間する方向へ押動されることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
2. 前記支持部は、磁気ヘッドサスペンションの幅方向中央に先端側に開く凹部を画するように、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片を有しており、
   前記平衡質量体は、平面視において基端側が前記凹部内に位置するように前記一対の第２弾性板によって支持されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
3. 前記一対の第２弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ接合される一対の支持片接合領域と、前記平衡質量体が接合される平衡質量体接合領域と、前記一対の支持片接合領域及び前記平衡質量体接合領域の間において磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿って延びる一対の延在領域とを一体的に有し、前記空気圧によって前記凸部を介して前記平衡質量体の先端側が前記ディスク面から離間する方向へ押圧される際に、前記一対の延在領域が磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った捩り中心線回りに捻れることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
4. 前記平衡質量体は、先端側が前記凸部を介して前記ロードビーム部の裏面に係合し且つ基端側が平面視において前記凹部内に位置する本体部と、前記本体部から磁気ヘッドサスペンションの幅方向両側に延びる一対の梁部とを有し、
   前記一対の第１弾性板は、前記一対の支持片における前記ディスク面と対向する対向面に連結され、
   前記一対の支持片は、前記ディスク面と対向する対向面に一対の溝を有し、
   前記平衡質量体は、前記一対の梁部が前記一対の溝内に位置された状態で、前記支持部における前記ディスク面と対向する対向面に連結された前記一対の第２弾性板に支持されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
5. 前記平衡質量体は、前記磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部において曲げられていることを特徴とする請求項２から４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
6. 前記折り曲げ部は、他の領域に比して薄肉とされていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
7. 前記支持部における前記ディスク面と対向する対向面には、前記平衡質量体の基端側と平面視において重合するように配置された制約板が設けられていることを特徴とする請求項２から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
8. 前記フレクシャ部は、ステンレス基板と、前記ステンレス基板に積層された絶縁層と、前記絶縁層に積層された導体層とを一体的に有し、
   前記フレクシャ部は、前記ステンレス基板を介して前記ロードビーム部における前記ディスク面と対向する対向面に接合されるロードビーム部接合領域と、前記ステンレス基板を介して前記支持部における前記ディスク面と対向する対向面に接合される支持部接合領域と、前記ロードビーム接合領域及び前記支持部接合領域の間に延びる中間領域とを有し、
   前記中間領域は、少なくとも一部が前記平衡質量体に対してフリーな状態で且つ平面視において前記平衡質量体と重合するように、前記平衡質量体と前記ディスク面との間を通過していることを特徴とする請求項２から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
9. 前記支持部における前記ディスク面とは反対側の裏面には拘束板が設けられており、
   前記拘束板は、第２凸部を介して前記平衡質量体と係合するように構成され、
   前記第２凸部は、前記平衡質量体のうち前記一対の第２弾性板によって支持される部位と前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向に関し略同一位置に位置していることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。

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