JP2005173051A - ヨークの保持機構 - Google Patents

Abstract

【課題】 小型化でき、位置決めが容易で、かつマグネットとヨークの保持剛性を高く保つことができるヨークの保持機構を提供する。
【解決手段】 内側に光を偏向させるミラー等の可動部が配置されるマグネットホルダ５にはヨーク７位置決め収納する第１の切り欠き部５ａにおける第１の当接面５ｅにヨーク７を当接させて接着固定し、さらに第２の切り欠き部５ｂにマグネット６を位置決めしてヨーク７の内側の面７ａに当接させて接着固定することにより、十分な剛性を保持して簡単にヨーク７及びマグネット６をマグネットホルダ５に固定可能にした。
【選択図】 図３

Description

本発明は、例えば、光磁気ディスクドライブ、追記型ディスクドライブ、相変化型ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光カード等の光記録媒体に対して情報を記録および／または再生する情報記録再生装置や、光スキャナー、光通信用の光偏向器等の光学素子駆動装置に使用するヨークの保持機構に関する。

光磁気ディスクドライブ、追記型ディスクドライブ、相変化型ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光カード、走査型顕微鏡等の光記録媒体に対して情報を記録および／または再生する情報記録再生装置等の光学装置や、光スキャナー等の光学装置においては、光束を傾けるためにミラー、あるいはレンズが回転もしくは平行移動する機構が設けられ、その駆動はマグネットとヨーク、コイルからなる磁気回路により駆動される。

例えば、特開２００２−３７２６８１号公開には、図９のようなガルバノミラー４９が開示されている。また図１０に示すような、光通信用の光路切り替え装置５０には図９のガルバノミラー４９が採用されている。

１本の光ファイバ５３が出射される光通信用信号伝送用の光はレンズ５４で平行光にされ、その出射光５５は、ガルバノミラー４９を構成するミラー５６の前面（表面）の反射面５６ａに投射され、この反射面５６ａで反射されて反射光７９となる。

ミラー５６は、互いに直交する２つの方向の回転軸５１と５２で回転自在に支持されており、後述する２つのコイルに駆動信号を印可することにより、ミラー５６を回転軸５１と５２のまわりで自由に回動変位させて、反射面５６ａの傾き方向を自由に設定できるようにしている。

上記ミラー５６の反射面５６ａでの反射光７９は、この反射光７９の方向に略垂直な平面上に、例えば３段（行）、３列に配置された合計９つのレンズ８０−１、８０−２…８０−９のうちの一つに選択的に入射させて、光ファイバー８１−１、８１−２、…８１−９に選択的に入射させることができる。

これにより入射側の一本の光ファイバ５３からの光を、９本の出力光ファイバ８１−１、８１−２、…８１−９へ、選択して出力する光路切り替えが実施できる。以下このガルバノミラー４９の具体的な構成を図９及び図１１〜図１５を参照して説明する。

図９に示すようにガルバノミラー４９は、ハウジング７３の前側に取り付けたマグネットホルダ６３の中央部に配置したミラー５６を垂直方向およびこれに直交する水平方向の２軸５１、５２のまわりで回動自在に支持する支持駆動機構と、またミラー５６の２軸方向での回動変位をミラー５６の裏面側のハウジング７３内に配置した（２次元あるいは２方向に対する光を利用した）位置検出装置とで構成されている。

図１１、図１２等に示すようにミラー５６は、正方形（ないしは長方形）の板形状であり、その表側の反射面５６ａは、例えば光通信に用いる主な光の波長１．５μｍに対しての反射率が高いようにコーティング膜が施されている。このミラー５６は、四角枠状のミラーホルダ５７の中央部の取り付け凹部５７ａに収納され、位置決めして周囲が接着固定されている。

このミラーホルダ５７は、図１３の断面図に示すように内側に四角枠状に形成された第２の成形部５８とその外側にほぼ四角枠上に形成される第１の成形部５９とからなり、第１の成形部５９の内側における前後方向の略中央位置に第２の成形部５８が段差状に形成され、この第２の成形部５８とその前後に隣接する第１の成形部５９の外周面とで第１のコイル６０および第２のコイル６１を固定保持するコイルホルダの機能を持つ。

また、このミラーホルダ５７の外周位置には略円弧形状にした４本のバネ６２（図１２（Ｂ）参照。）が配置され、このバネ６２の一端は、マグネットホルダ６３に、他端はミラーホルダ５７にインサート成形される。
ミラーホルダ５７の第２の成形部５８とマグネットホルダ６３とがプラスチックで成形されるときに、（ベリリウム銅の２０μｍの箔をエッチング加工し表面に金メッキされた）４本のバネ６２が、その内側部分はミラーホルダ５７の第２の成形部５８に、外側部分はマグネットホルダ６３に最初にインサート成形され、その両端が保持される。

その次にバネ６２の前後両側に第１のコイル６０と第２のコイル６１とが第１の成形部５９の成形時にインサートされて、ミラーホルダ５７に固定される。このようにしてミラー５６が取り付けられたミラーホルダ５７、及びこのミラーホルダ５７の外周面に取り付けられる第１のコイル６０と第２コイル６１は可動部を構成し、この可動部は支持部材としてのバネ６２により回転軸５１、５２のまわりに回動自在に支持されている。

図１２（Ｂ）に示すように４本のバネ６２（なお、図１２ではバネを符号６２で示さないで、以下の説明のようにそのバネを構成する符号６２ａ、６２ｂ、６２ｃのみで示している）は、ミラーホルダ５７の回転軸５１に近い上面中央及び下面中央のそれぞれ２箇所の一端が固定されている。

その固定端付近は回転軸５１と平行となるようにされた第１の変形部６２ａを有する。このバネ６２の他端は、マグネットホルダ６３の回転軸５２に近い左右の側面壁でそれぞれ２箇所固定されている。その他端の固定端付近は、回転軸５２に平行となるようにされた第２の変形部６２ｂを有する。なお、第２の変形部６２ｂは、マグネットホルダ６３の左右の側面から突出する長方形状の突出部６４の間に通すようにしている。

第１の変形部６２ａと第２の変形部６２ｂを連結する連結部６２ｃが、ミラーホルダ５７の４角を取り囲むように配置されている。この４本の変形部６２ａ、連結部６２ｃ、変形部６２ｂを有するバネ６２が支持部材となる。

第１の変形部６２ａ付近には、その第１の変形部６２ａにミラーホルダ５７の内部で接続されている半田付け部６５が配置され、合計４箇所の半田付け部６５に第１コイル６０及び第２コイル６１の両端の端末が導電性接着剤にて固定されている。

第２変形部６２ｂの端部がマグネットホルダ６３にインサートされているが、このインサート部は、マグネットホルダ６３の中を通り、マグネットホルダ６３の外面に突出する４つの端子６６に至っている。この４つの端子６６にフレキシブルケーブルを半田付けし、フレキシブルケーブルを経て給電することにより４本のバネ６２を介して２つのコイル６０、６１に駆動信号を供給し、可動部を回動させることができる。

第１の変形部６２ａと半田付け部６５、第２の変形部６２ｂと突出部６４には紫外線硬化型シリコーンゲルであるダンパ６７、６８が付着するように設けてあり、バネ６２の両端部の振動に対するダンピングの機能を有している。

図１１、図１２（Ａ）等に示すように水平方向に着磁された２つのマグネット６９は、その左右片面にヨーク７０が接着されて、その内側に第１のコイル６０が配置されて左右両側の位置でマグネットホルダ６３に接着固定されている。そしてマグネット６９による磁界がその内側に対向配置されて第１のコイル６０に作用するような磁気回路を構成している。

また、上下方向に着磁された２つのマグネット７１は、上下片面にヨーク７２が接着されて、その内側に第２のコイル６１が配置されてその上下両側の位置でマグネットホルダ６３に接着固定されている。

このようにミラー５６を取り付けたミラーホルダ５７は、前記４本のバネ６２によってマグネットホルダ６３に支持され、第１および第２のコイル６０、６１とマグネット６９、７１による磁気作用によって前記回転軸５１、５２周りに回動される。

また、ミラーホルダ５７とマグネットホルダ６３は、非導電性プラスチックである例えばチタン酸ウィスカ入りの液晶ポリマーで成形されている。略四角枠状のマグネットホルダ６３は、例えば亜鉛ダイキャストで成形されたハウジング７３の開口する前面の取り付け面７３ａに接着されている。

上述のようにミラー５６を取り付けたミラーホルダ５７、第１及び第２のコイル６０、６１は、可動部を構成し、図１３に示すように、可動部の重心Ｇは、回転軸５１上で、かつ回転軸５２上ともなるようにしている。また、可動部の慣性主軸は、回転軸５１と回転軸５２に一致している。

また、バネ６２は、回転軸５１と回転軸５２が構成する平面上に存在するように配置されている。また、図１２（Ｂ）に示す第１の変形部６２ａおよび第２の変位部６２ｂは、各々回転軸５１、５２にほぼ一致する位置に配置されている。

また、ハウジング７３には、回転軸５１、５２での回転によるミラー５６の傾き面を検出するセンサが取り付けてある。図１１、図１４に示すようにセンサ用の光源であるレーザーダイオード７４は、ハウジング７３の後端の開口部７３ｂに圧入して固着される。

またその前方位置に、１／４波長板７５が接合された偏向面７６ａを持つＰＢＳ（偏向ビームスプリッタ）７６が、その一方の側面による接着面７６ｂが、ハウジング７３の（一方の）内壁面に接着固定される。

また、このＰＢＳ７６の前方位置に、レンズ７７がハウジング７３内に配置され、このレンズ７７は、ハウジング７３に接着固定される。そして、レーザーダイオード７４から出射されたレーザー光は、ＰＢＳ７６、１／４波長板７５、レンズ７７を経て集光され、ミラーホルダ５７に保持されたミラー５６の裏面５６ｂに入射されるようにしている。なお、ミラーホルダ５７の後面側に、内壁形状が円形となる開口５７ｂが形成されるようにしている。

また、図１４に示すようにＰＢＳ７６における接着面７６ｂと反対側の側面に対向するように、投射される光の２方向の光照射中心位置を検出する位置検出センサ（ＰＳＤ）７８がハウジング７３の側面に設けた開口部に接着固定されている。このＰＳＤ７８は、その受光部７８ａに投射された光の２方向（Ｙ、Ｚ方向）の中心位置を電圧で出力する２次元位置センサであり、例えば浜松ホトニクス（株）のＳ５９９０−０１、Ｓ７８４８−０１等を採用することができる。

このような構成のガルバノミラー４９の作用を説明する。４本のバネ６２の２本を介して第１のコイル６０に電流を流すと、その左右両側に配置されたマグネット６９から受けた磁界により回転軸５１のまわりに回転させるトルクを発生し、主に第１の変形部６２ａがねじり変形を受け、可動部を回転軸５１の周りで傾ける（回動させる）。

また４本のバネ６２の他の２本を介して第２のコイル６１に電流を流すと、その上下両側に配置されたマグネット７１から受ける磁界により回転軸５２のまわりに回転させるトルクを発生し、可動部を回転軸５２の周りで傾ける（回動させる）。

レーザーダイオード７４により発生したレーザー光は、Ｐ偏向にてＰＢＳ７６に入射し、偏向面７６ａをほとんど１００パーセント透過し、１／４波長板７５を介して円偏向の光となり、レンズ７７に入射し、このレンズ７７により集光されてミラー５６の裏面５６ｂに入射する。

この裏面５６ｂにて反射された光は、１／４波長板７５を透過して偏向面が９０度回転させられたＳ偏向となり、このＳ偏向の光により偏向面７６ｂに入射するため、ここでほとんど１００パーセント反射されてＰＳＤ７８の受光面７８ａにスポット状に入射する。 ミラー５６が回転軸５１のまわりで傾くと、受光面７８ａ上の光は、図１１、図１４のＺ方向に移動し、ミラーが回転軸５２まわりで傾くと受光面７８ａ上の光はＹ方向に移動するため、ＰＳＤ７８の出力によりミラー５６の２方向の傾きを検出できる。

従って、ＰＳＤ７８からの位置検出信号が所望の値になるように第１のコイル６０と第２のコイル６１に駆動信号を供給することにより、可動部とともに、ミラー５６（の反射面５６ａ）の傾き角を所望する値に制御することができる。
特開２００２−３７２６８１号公報

しかしながら、左右方向に配置されたマグネット６９とヨーク７０は、図１５に示すようにマグネットホルダ６３に設けられた切り欠き部６３ａに収まるように配置されているが、マグネットホルダ６３には左右方向（図１５のＸ方向）の位置決めがなく、マグネット６９、ヨーク７０を保持する治具を用いて位置決めが必要となる。

この場合、磁性材料の治具部材に磁気吸着してマグネット６９、ヨーク７０を保持する方式が容易な方法として一般的に用いられるが、マグネット６９、ヨーク７０は、治具に対して位置決めされて（例えば図１６の点線で示す位置にならって）固定されるため、図１６に示すようにマグネットホルダ６３に対し、左右方向の位置ずれが生じるという問題がある。

また、マグネットホルダ６３自体には、ヨーク７０を左右方向に規制する部材（例えば図１７の斜視図に示すような壁６３ｂ）がないために、左右方向の負荷に対し接着のみで保持しなければならない構成となっているが、ヨーク７０の接着面積が（図１５の斜線部で示される範囲の）ヨーク７０厚さ面の狭い３面に限られており、強固な接着力は得られない。

例えば図１８の概略図（マグネットホルダ６３、マグネット６９、ヨーク７０以外を図示しない）のように、この装置を隣接して使用する場合、マグネット６９は左右方向に着磁されているので、隣接したマグネット６９間に図１８の矢印のような吸引力が働き、常に左右方向の負荷がマグネット６９に作用することになる（ヨーク７０にも当然吸引力が作用する）。

ヨーク７０は、マグネット６９の左右方向の位置規制の機能も有するが、このように常に力が作用する部材を、上述した少ない面積の接着のみで保持し剛性を確保することは非常に困難である。

特に、硬化した接着剤の硬度が急激に軟化する温度、すなわちガラス転移点を超えた高温下にさらされた場合、接着剤が軟化、変形するためにヨーク７０とマグネット６９の接着保持力はさらに低下、位置ずれが生じ、駆動特性が劣化してしまう。

さらにはマグネット６９とヨーク６１がマグネットホルダ６３から剥がれる可能性があり、従来例のようなヨークの保持機構は図１８のような近接レイアウトには不利な構成と言える。

一方、図１９（マグネットホルダを裏側から見た斜視図）に示すように、上下方向に配置されたマグネット７１とヨーク７２もマグネットホルダ６３の凹部６３ｃに収まる構成であるが、マグネットホルダ６３の上下面の壁６３ｄにも保持されており、上下方向の位置決めが可能であり、左右方向配置のマグネット６９、ヨーク７０よりも保持剛性は高い。

しかしながら、マグネットホルダ６３に、上下方向の壁６３ｄの厚み分の容積を必要とするために装置の小型化に不利な構成となる。

（発明の目的）
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、マグネットとヨークを必要とする磁気回路において、ヨークの外側に保持部材を設けない小型化した設計においても、位置決めが容易で、かつマグネットとヨークの保持剛性を高く保つことができるヨークの保持機構を提供することを目的とする。

本発明のヨークの保持機構は、光の方向を偏向又は変位させる光学素子と、少なくとも前記光学素子を含む可動部を固定部に対して回動及び／または並進自在に支持する支持部材と、前記光学素子を所定の軸を中心に回動及び／または並進させる駆動部とを有する光学素子駆動装置に用いられ、
前記固定部は、マグネットとヨークとを有し、前記ヨークは前記マグネットの当接面に固定されるとともに、前記ヨークの当該当接面の一部を前記固定部の当接面に固定することを特徴とする。

本発明によれば、ヨークの位置決め精度および保持剛性を向上できると共に、固定部への固定が容易なヨークの保持機構を提供できる。

以下本発明の実施例について図を参照しながら説明する。

図１から図３は、本発明の実施例１に係り、図１は実施例１を備えたガルバノミラーを斜視図で示し、図２はマグネットホルダを斜視図で示し、図３（Ａ）はマグネットホルダの正面図、図３（Ｂ）はマグネットホルダの側面図、図３（Ｃ）はマグネットホルダの背面図をそれぞれ示す。
図１に示す本実施例を備えたガルバノミラー１は、図９に示した従来技術のガルバノミラー４９と同様な支持機構と、ミラー５６を直交する回転軸５１，５２の周りに回動自在に支持する。
本実施例は、ハウジング７３の前面側に取り付けられるマグネットホルダ５に特徴を有するものであり、このマグネットホルダ５における前面側におけるミラー５６の両側には、そのミラー５６を囲むようにミラーホルダ５７に取り付けられた第１のコイル６０に対向するように、ヨーク７を介してマグネット６が取り付けられている。

また、このマグネットホルダ５における背面側には、図３（Ｃ）に示すように（ミラーホルダ５７に取り付けられた第２のコイル６１の上下両側に対向するように）ヨーク９を介してマグネット８が取り付けられている。
本実施例は、マグネットホルダ５に、ヨーク７、９を用いることによりマグネット６，８を適切にかつ強固に位置きめ固定する構造に特徴を有するものであり、その他は上述した従来例と同様の構造であるので、マグネットホルダ５，ヨーク７，９、マグネット６，８以外の部分の説明を省略する。その他の部分は、図９以降において説明した構造と基本的に同じである。
図２に示すようにマグネットホルダ５は、その左右の両側面にヨーク７を収めて固定する部分として、長さＬ、幅Ｗ、深さＤの第１の切り欠き部５ａが設けられ、この第１の切り欠き部５ａに隣接する内側にマグネット６を納めて固定する部分として長さｌ、幅ｗ、深さＤの第２の切り欠き部５ｂが設けてある。

第１の切り欠き部５ａの長さＬは、ヨーク７の長さとほぼ同一であり、第１の切り欠き部５ａにヨーク７が収まる形状となっている。
また幅Ｗは、ヨーク７の厚さとほぼ同一であり、ヨーク７がマグネットホルダ５の第１の切り欠き部５ａに収まった時（図３（Ａ））、ヨーク７の外側の面７ａとマグネットホルダ５の外形面（外形側面）５ｃが同一面になるような形状となっている。
また、第２の切り欠き部５ｂの長さｌは、マグネット６の長さとほぼ同一であり、幅ｗは、マグネット６の厚さとほぼ同一であり、第２の切り欠き部５ｂに、マグネット６が収まる形状となっている。ヨーク７の長さは、マグネット６の長さよりも長く、ヨーク７の高さは、マグネット６の高さ以上の高さにしている。

本実施例は、ヨーク７の長さをマグネット６の長さよりも大きくすることにより、以下に説明するように、簡単にヨーク７をマグネットホルダ５に当接させて位置決めして十分な剛性（強度）を確保できるように接着固定できるようにすると共に、このヨーク７にさらにマグネット６を当接させて位置決めして十分な剛性（強度）を確保できるように接着固定できる固定構造（保持機構）を実現している。
ヨーク７は、マグネットホルダ５の第１切り欠き部５ａにより上下に対向する２面として形成された第２の当接面５ｄに挟まれて上下方向（図３（Ｂ）のＹ方向）の位置決めがなされ、マグネットホルダ５の第１切り欠き部５ａの第１の当接面５ｅに当てつけて左右方向（図３（Ａ）のＸ方向）の位置決めがなされ、またマグネットホルダ５の第１の切り欠き部５ａの１面５ｆに当てつけて前後方向（図３（Ｂ）のＺ方向）の位置決めがなされる。
そしてヨーク７は、前記第１の当接面５ｅにおいて接着剤１０で固定される。次に固定されたヨーク７の内側の面７ｂに、マグネット６の外側の面６ａを磁気吸着させて、マグネット６をマグネットホルダ５の第２の切り欠き部５ｂに挿入する。

マグネット６は、マグネットホルダ５の第２の切り欠き部５ｂの上下に対向する２面５ｇに挟まれて上下方向（図３（Ｂ）のＹ方向）の位置決めがなされ、マグネットホルダ５に固定されたヨーク７の内側の面７ｂに当接して左右方向（図３（Ａ）のＸ方向）の位置決めがなされ、マグネットホルダ５の第２の切り欠き部５ｂの面５ｆに当てつけて前後方向（図３（Ｂ）のＺ方向）の位置決めがなされる。
そして前記面５ｇとマグネット５の当接面との隙間に接着剤が塗布され、マグネット６は、マグネットホルダ５に接着剤１１により固定される。第２の切り欠き部５ｂの深さＤは、図２、図３（Ｂ）においてマグネットホルダ５の前記当接面５ｆにマグネット６が当接した場合に、マグネット６の高さ（図３（Ｂ）のＺ方向の外形寸法）の中心線Ｍと、図示しない第１のコイル６０の高さの中心線とが同一な高さ（同一ＸＹ平面に両方の中心線が含まれる）に成るように決定される。

このように本実施例においては、マグネットホルダ５に形成した第１の切り欠き部５ａと、第２の切り欠き部５ｂとを設け、第１の切り欠き部５ａにより形成される第１の当接面５ｅによりヨーク７を当接させて接着固定でき、かつこの第１の当接面５ｅに隣接するヨーク７の内側の面７ｂを当接面としてマグネット６を接着固定できるようにしていることが特徴となっている。
換言すると、ヨーク７は、このヨーク７の内側の面７ｂにおける（高さ方向の）中央部分をマグネット６に対する当接面としてマグネット６が当接されて固定され、さらにその中央部分の上下端部側の部分はマグネットホルダ５の第１の当接面５ｅに当接させて固定されるヨーク７の保持機構とも言える。

接着剤１０、１１は、隙間にしみこみやすい３０００〜８０００ｃｐｓ程度の粘度が望ましく、例えば（株）スリーボンドの紫外線硬化型接着剤ＴＢ１３５５や熱硬化型接着剤ＴＢ２２０２等が使用できる。
また図３（Ｃ）において上下方向（Ｙ方向）に着磁されたマグネット８、およびヨーク９をマグネットホルダ５に固定する場合も同様の構成、すなわち、図２に示されるようにマグネットホルダ５の上下方向の面にも第１切り欠き部５ｈ、第２の切り欠き部５ｉが設けてある。
そして、第１切り欠き部５ａ、第２の切り欠き部５ｂにそれぞれヨーク７、マグネット６を位置決めして接着固定したのと同様に位置決めして接着固定する構成にしている。

本実施例は以下の効果を有する。
図９、図１６等の従来例と比較して、ヨーク７とマグネットホルダ５との当接面が増え、この広い当接面で面接着されることにより接着面積が広くなり、ヨーク７とマグネット６との接着力が向上する。また、ヨーク７をマグネットホルダ５の第１の当接面５ｅに当てつけて固定することにより、左右方向（図３（Ａ）のＸ方向）の位置決めが確実となる。
従ってヨーク７に当接しているマグネット６とマグネットホルダ５の左右方向の位置決めが確実となり、第１のコイル６０とマグネット６の相対位置ずれが少なくなり、安定した駆動特性が得られる。また、ヨーク７の外形面７ａの外側からヨーク保持する部分を必要としないため、装置の小型化や隣接レイアウトが可能となる。
また、ヨーク７を先にマグネットホルダ５に接着し、次にマグネット６をヨーク７に磁気吸着させながら挿入することが可能であり、マグネット６を保持する組立治具が不要となる。上下方向に着磁されたマグネット８、及びヨーク９に関しても、マグネット６及びヨーク７と同様な効果が得られる。

次に、図４を参照して本発明の実施例２を説明する。図４は実施例２を備えたマグネットホルダ５の側面図である。このマグネットホルダ５には、実施例１で説明したような第１の切り欠き部５ａと第２の切り欠き部５ｂとが設けてあり、マグネット６とヨーク７が固定される位置は、実施例１と同一である。
本実施例における実施例１と異なるところは、ヨーク７における対向する２辺にＶ字形の切り欠き７ｃが設けてあり、かつマグネットホルダ５におけるこのヨーク７との第２の当接面５ｄには半円状の突起５ｊが設けてある。この突起５ｊは第２の当接面５ｄから略垂直に突出する。
そして、図４に示すようにヨーク７におけるＶ字形の切り欠き７ｃにマグネットホルダ５の半円状の突起５ｊが填り込むようにして嵌合して当接し、位置決めできるようにした点が異なる。

本実施例においても実施例１と同様に接着面積を広くすることにより、接着力を向上させることができること、位置決めを確実に行うことができること、装置の小型化が可能となること、マグネット保持治具が不要となる効果が得られる。
加えて、前記Ｖ字形の切り欠き７ｃと半円状の突起５ｊとを嵌合させる形状にしたことにより、ヨーク７をマグネットホルダ５に組み付ける際に容易に載置でき、ヨーク７の前後方向（図４のＺ方向）の位置決めが容易にできるという効果がある。

次に、図５（Ａ）、図５（Ｂ）を参照して本発明の実施例３を説明する。図５（Ａ）は本実施例を備えたマグネットホルダ５の正面図、図５（Ｂ）は側面図である。
本実施例においては、ヨーク７の上下両端近傍の２箇所に貫通孔７ｄを設け、かつマグネットホルダにおけるのヨーク７との第１の当接面５ｅにおける２箇所に、該第１の当接面５ｅから略垂直に延在する突起５ｋを設けている。そして、ヨーク７をマグネットホルダの第１の当接面５ｅに当て付けて位置決めする場合、各突起５ｋが前記貫通孔７ｄに嵌合するように挿入され、簡単に位置決めできるようにしていることを特徴とする。
本実施例においても、実施例２と同様に図５（Ｂ）のＺ方向の位置決めが容易となる効果が得られる。また、実施例１で説明したような、接着力の向上、位置決めを確実に行うこと、装置の小型化ができること、マグネット保持治具が不要となるという効果も得られる。

次に、図６（Ａ）、図６（Ｂ）を参照して本発明の実施例４を説明する。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は本実施例を備えたマグネットホルダ５の正面図であり、この場合、図６（Ａ）は突起を熱かしめする前の状態を示し、図６（Ｂ）は熱かしめした後の状態を示す。本実施例では、実施例３と同様にヨーク７に貫通孔７ｄを設けている。
またマグネットホルダ５には、突起５ｌを設けている。ヨーク７を位置決めして固定する際、突起５ｌは、ヨーク７の貫通孔７ｄを貫通して、ヨーク７はマグネットホルダ５に当接するが、マグネットホルダ５の突起５ｌの突出量は、ヨーク７外側の面７ａより、突起５ｌの先端が突出するような突出量にしてあり（図６（Ａ））、その後、前記突起５ｌを熱かしめしたこと（図６（Ｂ））を特徴とする。
すなわち熱を加えて突起５ｌの先端に加圧して突起先端を平たく潰し、ヨーク７周辺部を突起５ｌの変形部５ｌ′で固着したことを特徴とする。

本実施例の構成にすることにより、ヨーク７は、マグネットホルダ５の樹脂（突起５ｌの先端）で確実に固着されるため位置ずれや剥がれの問題は生じない。また、実施例３と同じようにヨーク７の貫通孔７ｄにマグネットホルダ５の突起５ｌを挿入、嵌合することにより位置決めが容易にできる。
また、これまでの実施例と同様に、ヨーク７を先にマグネットホルダ５にかしめた後にマグネット６をヨーク７に磁気吸着させて挿入すれば、マグネット保持治具も不要となる。
またヨーク７の外形面７ａから外側にはみ出してヨーク７を固定する変形部５ｌ′の先端のはみ出し量はわずかで済み、装置の小型化に関して不利になることはない。

次に図７（Ａ）、図７（Ｂ）を参照して本発明の実施例５を説明する。図７（Ａ）は本実施例のマグネットホルダ５の正面図であり、図７（Ｂ）は側面図である。
本実施例は上述の実施例４で説明したマグネットホルダ５の熱かしめによる変形部５ｌ′の位置を変更したものであり、図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すように、ヨーク７の両端部にかしめ部５ｍを設けている。
具端的には、図４の実施例２で説明した、ヨーク７の両端に設けたＶ字形の切り欠き７ｃと嵌合する、マグネットホルダ５の半円状突起の高さをヨーク７の外形面７ａより外側に突出させており、熱かしめにより突出する先端を変形させてかしめ部５ｍにしている。 本実施例にすることにより、実施例２で説明したとおり位置決めが容易にでき、実施例４で説明したようにヨーク７をマグネットホルダ５に強固に固着できる。またマグネット保持治具も不要となる効果も前述の実施例と同様である。

また、本発明はこれまでの実施例において述べてきたような回動型ガルバノミラー駆動装置のみならず、光記録／再生用の対物レンズアクチュエータなどの並進駆動装置にも使用することができる。
図８（Ａ）は本発明の実施例６の斜視図、図８（Ｂ）は同分解図である。図８（Ａ）において、対物レンズ１０は、非導電性の液晶ポリマーで形成されたレンズホルダ１１に接着固定されており、レンズホルダ１１の側面外周にはフォーカスコイル１２が巻き線され、接着固定されている。
また、フォーカスコイル１２の対向する２側面１２ａ、１２ｂには（連結した）片側２個ずつのトラッキングコイル１３、１８が接着固定されている。

上記対物レンズ１０、レンズホルダ１１、フォーカスコイル１２、トラッキングコイル１３、１８で可動部が構成される。
レンズホルダ１０の下側には、非導電性の液晶ポリマーで成形され、光透過用の貫通孔１４ｃを設けたマグネットホルダ１４が配置され、マグネットホルダ１４に接着固定された４本の板バネ１５によって可動部がＹ方向及びＺ方向に並進自在に支持される。
具体的には、可動部は以下のように支持されている。

レンズホルダ１１の上下面４箇所、図８（Ａ）のＹ方向、Ｚ方向に関してレンズホルダ１１の中心に関して対称となるような位置からレンズホルダ１１の上下面かつ外側に突出して上下面に対向なコの字形状をした突出部１１ａ、１１ｂが設けてある。

さらにこの４箇所の突出部１１ａ、１１ｂには、切り欠きが設けてあり、先端に各々の部分１１ｃと１１ｄで２つに分かれた形状をとっている。先端側（図８の＋Ｘ方向寄り）の部分１１ｃがバネ受け部であり、バネ１５が載置されて接着剤にて固定される。またマグネットホルダ１４にも４箇所にバネ受け部１４ａ、１４ｂが設けられており、バネ受け部１４ａ、１４ｂにおいて、板バネ１５の（−Ｘ方向の）後端部が接着剤により固定される。
なお、板バネ１５には、その先端部には突出部１５ａ、後端部にも突出部１５ｂが設けてあり、レンズホルダ１１およびマグネットホルダ１４に載置する際に容易に位置決めが可能な形状となっている。
また、レンズホルダ１１の突出部１１ａ、１１ｂの−Ｘ方向寄りの部分１１ｄは、バネ１５と当接しておらず、ここに紫外線硬化型シリコーンゲルがバネ１５を包含するように塗布されて、ダンピング機能を果たす。

なお、接着やダンピング材塗布の際、具体的にはマグネットホルダ１４とレンズホルダ１１を治具によって保持し、４本のバネ１５のうち、バネ受け部１４ａ側に固定される２本は上側から、バネ受け部１４ｂ側に固定される２本は下側から、治具を反転させてバネ１５を載置して接着剤およびダンピング材を塗布して、硬化される。
マグネットホルダ１４は、可動部のトラッキングコイル１３、１８の外側の近接した位置に置いて、例えば実施例１で説明したような形状で図８のＸ方向に着磁されたマグネット１６と、ヨーク１７が接着固定される。

つまり、マグネットホルダ１４には、図２のマグネットホルダ５におけるヨーク７を位置決め収納して固定するための第１の切り欠き部５ａに対応して、ヨーク１７を位置決め収納して固定するための切り欠き部１４ｄと、マグネットホルダ５におけるマグネット６を位置決め収納して固定するための第２の切り欠き部５ｂに対応して、マグネット１６を位置決め収納して固定するための切り欠き部１４ｅとが設けてある。
そして、マグネットホルダ１４における切り欠き部１４ｄに形成される当接面にてヨーク１７が接着固定され、また、切り欠き部１４ｅにマグネット１６を位置決めしてヨーク１７に当接させてマグネット１６が接着固定され、それぞれ十分な剛性を保持した状態でマグネットホルダ１４に固着される。
フォーカスコイル１２の２本の端末（図示しない）は、バネ１５のうち、２本の可動部側先端部１５ｃ、１５ｄに絡げて半田付けされている。

またトラッキングコイル１３，１８の４本の端末（図示しない）は、トラッキングコイル１３の片側の端末１本と、トラッキングコイル１８の片側の端末どうしが絡げて連結されて半田付けされ、この連結部は、レンズホルダ１１表面に接着剤で固定される。

またトラッキングコイル１８の連結されていない端末１本は、レンズホルダ１１の表面に沿ってバネ１５のうちの１本の先端側１５ｅに誘導され、バネ先端部に絡げて半田付けされる。
またトラッキングコイル１３の連結されていない端末１本は、バネ１５のうちの１本の先端部１５ｆに絡げて半田付けされている。マグネットホルダ１４の後端面１１ｂには図示しないフレキシブルケーブルが粘着材にて貼付けされ、このフレキシブルケーブルに設けられた端子と、マグネットホルダ１４側のバネ後端部１５ｂが半田付けされる。
そしてフレキシブルケーブルに電圧を印加し、バネ１５を介してフォーカスコイル１２およびトラッキングコイル１３、１８に通電することが可能となり、マグネット１６の磁力を受けて可動部を図８のＹ方向（トラッキング方向）、およびＺ方向（フォーカス方向）に独立に並進駆動させる磁気回路が構成される。

なお、マグネットホルダ１４の下面からコリメートされたレーザー光は、マグネットホルダ１４の貫通孔１４ｃを通過し、レンズホルダ１１に固定された対物レンズ１０に入射し、対物レンズ１０にて集光され、上方に配置される光ディスクの記録面上のトラックに光スポットを形成するように変位させる。
上述した可動部の駆動装置により、対物レンズ１０をフォーカス方向、トラッキング方向に駆動することにより、ディスクが偏心や外乱振動などの影響から記録面が振動、変位しても、常に記録面のトラックに沿ってレーザー光の光スポットが追尾するようにトラッキングさせ、かつ合焦させることが可能にしている。
以上説明したような２軸駆動のアクチュエータの磁気回路にも本発明は実施可能である。
本実施例によれば、実施例１〜４で述べたような効果が得られる。
なお、上述した各実施例等を部分的に組み合わせる等して構成される実施例等も本発明に属する。

光磁気ディスクドライブ等の情報記録再生装置や光偏向器等に広く使用されるガルバノミラー或いは対物レンズ等の光学素子をマグネット及びヨークを用いた磁気回路により駆動する場合に適する。

本発明の実施例１を備えたガルバノミラーの斜視図。 本発明の実施例１を構成するマグネットホルダを示す斜視図。 図２のマグネットホルダの正面、側面、および背面を示す図。 本発明の実施例２を示す側面図。 本発明の実施例３の正面および側面を示す図。 本発明の実施例４の正面図。 本発明の実施例５の正面および側面を示す図。 本発明の実施例６を備えた２軸駆動型レンズアクチュエータの構成を斜視および分解して示す図。 従来例のガルバノミラーを示す斜視図。 従来例のガルバノミラーを使用した光路切り替え装置の概略の構成図。 従来例のガルバノミラーの構成を分解して示す図。 従来例のガルバノミラーを正面から見た場合及びミラー内側の構造を示す図。 従来例のガルバノミラーの垂直方向からの断面構造を示す平面断面図。 従来例のガルバノミラーを水平面で切り欠いて傾きセンサの光学系の構成を示す斜視図。 従来例のマグネットホルダの斜視図。 従来例においてマグネット、ヨークの位置ずれを示す図。 マグネットホルダにヨークの当てつけ部を設けた構造を示す斜視図。 従来例のガルバノミラーを隣接して配置して、ミラー部を正面から見た略図。 従来例のマグネットホルダの背面を示す斜視図。

符号の説明

１…ガルバノミラー
５…マグネットホルダ
５ａ，５ｈ…第１の切り欠き部
５ｂ，５ｉ…第２の切り欠き部
５ｄ…第２の当接面
５ｅ…第１の当接面
５ｆ…面
６、８…マグネット
７、９…ヨーク
５１、５２…回転軸
５６…ミラー
代理人 弁理士 伊藤 進

Claims (8)

1. 光の方向を偏向又は変位させる光学素子と、少なくとも前記光学素子を含む可動部を固定部に対して回動及び／または並進自在に支持する支持部材と、前記光学素子を所定の軸を中心に回動及び／または並進させる駆動部とを有する光学素子駆動装置に用いられ、
   前記固定部は、マグネットとヨークとを有し、前記ヨークは前記マグネットの当接面に固定されるとともに、前記ヨークの当該当接面の一部を前記固定部の当接面に固定することを特徴とするヨークの保持機構。
2. 前記ヨークの両端に形成された切り欠きと、前記固定部に設けられた切り欠き部に形成される第１の当接面、又は第２の当接面より略垂直に突出する突起とを有し、
   前記ヨークの切り欠きと前記突起が当接して前記ヨークが固定されることを特徴とする請求項１記載のヨークの保持機構。
3. 前記切り欠きが略Ｖ字形状である請求項２記載のヨークの保持機構。
4. 前記突起が略半円形状である請求項２記載のヨークの保持機構。
5. 前記突起と前記切り欠きが熱かしめされている請求項２記載のヨークの保持機構。
6. 前記ヨークは、当該ヨークの両側に孔が形成され、前記固定部は、前記第１の当接面より略垂直に延在する２つの突起を有し、
   前記ヨークは、当該ヨークの両側に形成された前記孔と、前記２つの突起とで嵌合され前記第１の当接面に固定されることを特徴とする請求項２記載のヨークの保持機構。
7. 前記第１の当接面より略垂直に延在する突起が略円形状である請求項６記載のヨークの保持機構。
8. 前記突起と前記孔とが熱かしめされている請求項６記載のヨークの保持機構。

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