JP2005165306A - 光学装置のフランジ組立体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 光学装置のフランジ組立体を提供する。
【解決手段】 光学装置のフランジ組立体(1)は、第1のフランジ(2)と、補償部材(4)と、第2のフランジ(2′)とを有している。これらのフランジ(2、2′)および補償部材(4)は、ほぼ軸対称であり、両フランジ(2、2′)は、非破壊的および非積極的な軸方向分離可能な方法で光学装置の他の構成部品(10、11)に連結されるのに適している。2つのフランジ(2、2′)は、異なる線熱膨張率を有する異なる材料よりなる。補償部材(4)は、半径方向に柔らかいが、2つのフランジ(2、2′)をそれらの相対空間位置において堅く連結する。
【選択図】 図1
【解決手段】 光学装置のフランジ組立体(1)は、第1のフランジ(2)と、補償部材(4)と、第2のフランジ(2′)とを有している。これらのフランジ(2、2′)および補償部材(4)は、ほぼ軸対称であり、両フランジ(2、2′)は、非破壊的および非積極的な軸方向分離可能な方法で光学装置の他の構成部品(10、11)に連結されるのに適している。2つのフランジ(2、2′)は、異なる線熱膨張率を有する異なる材料よりなる。補償部材(4)は、半径方向に柔らかいが、2つのフランジ(2、2′)をそれらの相対空間位置において堅く連結する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光学装置のフランジ組立体に関する。更に、本発明は、2つのフランジを連結するための方法に関する。同様に、本発明は、対物レンズ、詳細には、半導体平版印刷法における投射対物レンズに関する。
異なる熱膨張率を有する2つの構成部品を連結する場合、これらの構成部品の直径の温度誘発変化の結果、応力が生じ、これらの応力により、精密装置では、構成部品の許容不可能な変形、摩擦連結の不可逆変化または破壊を引起すことがある。
特に、半導体を製造するための投射対物レンズを有する投射露光機械の場合、最小の変化でも、レンズのマウントと、支持構造体としての投射対物レンズのハウジングとの間に異なる熱膨張に基づいて応力が前記のようにして生じると、投射対物レンズの調整不良を引起すことがある。
この結果、特許文献1から明らかなように、このような設計の場合、異なる熱膨張を釣り合わせるようになっている弾性部材、しばしば、板ばね部材が使用されており、これらの部材は、異なる膨張率を有する2つの構成部品間に配置されているが、その結果、連結は、しばしば、所望の剛性では実施されることができない。個々の板ばね部材を製造するために、切欠きを有する連結部材が、これを縁部領域において引き切ることによって設けられなければならなく、或いはばね部材が個々に留められなければならない。同様に、この場合に不都合なのは、切込み連結部材の適切な平面性を達成するために処理する際の高い経費(曲がり部分を引き切るときに内部応力条件が乱れたり、処理力により板ばねが曲がったりする)、および個々の部材を調整する際の経費である。更に、気密性がない。
従来技術については、特許文献2ないし4を参照すればよい。
米国特許第6,166,868号
米国特許第6,229,651B1号
米国特許第6,097,553A号
米国特許第2002/176094A1号
従って、本発明の目的は、従来技術の初めに述べた欠点を回避し、構成部品を非常に堅く連結する、2つの構成部品間の異なる熱膨張を釣り合わせるためのフランジ組立体を提供することである。
この目的は、本発明によれば、請求項1の特徴により達成される。請求項24は、対物レンズに使用する種類に対して目的を達成する。
2つの構成部品、詳細には、例えばレンズマウントのような光学装置と、支持構造体、例えば、対物レンズとは、本発明によれば、それらの異なる線熱膨張率ができるだけレンズの変位またはレンズの変形を行わないようにして、互いに連結されるようになっている。フランジ間の連結は、本発明によれば、半径方向に柔らかく、2つのフランジをそれらの空間位置において堅く連結する補償部材を介して行なわれ、この補償部材は、有利には、薄肉の、詳細には、閉じられた横断面を有している。
特に円筒体の形状における補償部材の薄肉性質によれば、2つのフランジが互いに無関係で膨張することができ、処理において、フランジの平面性、丸みおよび同軸性が保持される。従来技術と対照的に、分断効果は、意識的には解放されない自由度で非常に制限された剛性のみを有するばね部材の曲げ柔軟性に基づいていない。本発明の構成により、フランジ組立体の剛性は、従来技術による装置の場合よりも、あらゆる方向において実質的に大きい。更に、フランジは、連続切込みで処理されることができ、これにより、きれいでより正確な表面が生じる。板ばねを使用する場合に、従来技術において必要されるような引き切りの必要がないので、本発明によるフランジ組立体における内部応力条件が、同様に乱されない。
フランジ組立体の本発明の構成により、CTEジャンプ(一方の材料の熱膨張率が他方の材料の熱膨張率と接触する位置)は、補償部材または結合部材の内側の少なくとも一方のフランジに対する安定な接合部まで移動されることができる。これは、例えば、補償部材が接着または溶接によりフランジに安定的に連結される部位までCTEジャンプが移動されることを意味している。この場合、接合部は、膨張差の場合、連結が損なわれないほどに安定であるように設計されることができる。CTEジャンプの領域に生じる応力は、特に、補償部材の薄肉性質により小さく保たれることができる。また、補償部材およびフランジのための剛性条件によれば、応力は、主として、補償部材の無害の変形を行い、その一方、フランジは、非常にわずかな変形のみを受ける。
フランジ組立体の更なる重要な利点は、例えば、接合から生じる応力条件が、幾何形状またはそれらの精度に影響しないこと、および内部応力および時間にわたるそれらの変化(緩和)が、従来技術における個々の板ばねと比較して、むしろフランジ組立体の精度において副次的な役割を果たすことである。同様に、小さい半径方向の空間要件およびフランジ組立体の簡単な設計が、更なる利点である。本発明によるフランジ組立体によれば、レンズマウントに支持されるレンズへの3葉クローバーの導入を防ぐことが有利に可能である。
本発明の特に有利な改良では、補償部材が少なくとも一方のフランジと一体であるようになっており、その結果、補償部材は、これが一体に具現化されるフランジの熱膨張率を有している。一体的な改良の利点は、フランジ組立体の簡単な製造である。何故なら、一方のフランジおよび補償部材が、共同で同心に設計されることができ、例えば、補償部材がほぼ寸法どうりに製造されることが可能であるからである。
本発明の模範的な実施の形態を添付図面により詳細に説明する。
図1は、好ましくは環状のフランジとして具現化される2つのフランジ2、2′を有する装置またはフランジ組立体1を示している。これらのフランジ2、2′は、原則として図3に示しように、例えば、光学組立体としてのレンズマウントを有するレンズ、および支持構造体、例えば、対物レンズハウジングのような2つの構成部品を連結する目的を果たす。2つのフランジ2、2′は、各々、相互に異なる線熱膨張率α1、α2を有しており、これらのフランジ2、2′は、各々の場合、それぞれ隣接した構成部品のものにほぼ対応することができる1つの熱膨張率を有することができる。これらのフランジ2、2′には、穴3、3′が設けられており、構成部品、詳細には、レンズマウントおよび支持構造体は、ねじ連結によりフランジ2、2′に連結されることができる。フランジ2、2′は、補償部材、即ち、連結要素4を介して互いに連結されている。補償部材4は、好ましくは円筒体または管の形状で薄肉の閉じられた横断面を有しており、この横断面は、好ましくは、ほぼ0,01mmないし3mm、詳細には0.1mmないし1mmの肉厚を有する円形、楕円形または多面体形である。
補償部材4が、フランジ2′と一体であることが特に有利であり、この一体性は、補償部材4がこれと一体部品であるフランジと同じ線熱膨張率α2を有することを意味している。
補償部材4がフランジ2′と一体でないなら、補償部材4の線熱膨張率は、温度変化の場合に補償部材4を有する対であるフランジ2、2′の膨張の最小の差のみを結果的に生じるために、2つのフランジ2、2′の線熱膨張率α1、α2の値の間にある値を有することができる。この結果、フランジ2または2′とのそれぞれの接合部の荷重が最小になる。
図2aないし2iは、フランジ2または2′との補償部材4の種々の可能な種類の接合部を示している。
図2aないし2cは、2つのフランジ2または2′を示しており、第1のフランジ2は、例えば、INVARまたはセラミックから製造されており、第2のフランジ2′は、例えば、鋼から製造されている。各々の場合、補償部材4は、ここでは、フランジと一体である。補償部材4とフランジ2との間の連結部位5は、はんだ付け、溶接、押し込み、収縮嵌めまたは付着により作成されることができる。フランジ2に連結されるべきである補償部材4の部分は、いくらか大きい肉厚を有することができる。
図2dは、更に、特にねじ連結部6を介して補償部材4をフランジ2に連結することができることを示している。ここでは、補償部材4は、雄ねじ部を有しており、フランジ2は、雌ねじ部を有している。従って、フランジ2は、ねじ付けにより補償部材4または更なるフランジ2′に連結されることができる。更に、ねじ連結部6の追加の接合または溶接により更にしっかりした連結を確保することができる。
フランジ2への補償部材4の連結は、図2eでは、円錐体7により実施される。この連結は、適切なら、接着剤により確保されることができる。Xに対応する拡大詳細図に詳細に示される円錐形部分には、同様に、溝8がフランジ2への連結面のところに設けられている。それにより、接着剤が導入時に軟化し、最適の保護を確保することが可能である。補償部材4の丸み許容度および直径許容度は、円錐体7により釣合わされることができる。また、連結は、接合のような一体連結なしに行なわれることもできる。すでに以上で述べたように、保護のために接着または溶接を行なうことが可能である。
図2eにおけるものと同様な連結可能なことが図2fに示されている。ここでは、薄肉である、好ましくは円筒形の補償部材4が、押込み(摩擦接合方法)(補償部材4の可塑性テーパに対して弾性)によりフランジ2に導入されている。補償部材4は、適切なら、接着剤が塗られて取着されることができる。取着および密封のために、溶接も可能である。
フランジ2への補償部材4の連結は、図2gでは、溶接により行なわれている。ここでは、図2aないし2cにおけるように、フランジ2に連結されるべきである補償部材4の部分は、補償部材の薄肉部分が溶接により損傷されないように、より大きい肉厚で具現化されている。溶接の一体接合方法は、接着剤を使用する必要はなく、従ってガス抜きが防がれるので、有利である。
また、図2hに示されるように、両フランジ2、2′を、各々の場合、補償部材4の一部と一体の部品として製造することも考えられ、その結果、接合部は、全体の補償部材4のほぼ中間に位置決めされる。それにより、接合部の影響はより小さい。これは、連結部位がさほど剛性ではなく設計され、従って、両側に曲がることができることを意味している。この結果、接合部の荷重が非常に小さくなる。
フランジ組立体1の内側の最も小さい応力は、線熱膨張率α3を有する第3の材料で製造され、第1および第2のフランジ2、2′間に位置すべきである補償部材により発生されることができる(図2i)。ここでは、利点は、α1からα2への変化が2つの部位にわたって分布されていることにある。非常に小さい線熱膨張率α3<2ppm/Kを有する第3の材料、例えば、INVARからの補償部材の製造は、2つのフランジ2、2′、例えば、アルミニウム、INVARまたは鋼の膨張率にかかわらず、長さの軸方向変化を最小にするために有利である。
図3は、図1および図2に示されるフランジ組立体1の別の実施の形態を示している。ここでは、2つのフランジ2、2′の連結は、2つの同軸の薄肉補償部材4、4′により行なわれている。これらの補償部材4、4′に連結されようとするフランジ2は、この模範的な実施の形態に示されるように、円錐形に具現化されることができる。補償部材4、4′へのフランジ2のこの連結は、先行の模範的な実施の形態ですでに述べたように、種々の連結方法により行なわれることができる。すでに述べたように、フランジ2、2′は、フランジ組立体1を構成部品10、11に連結するために、ねじ9を保持するための穴3、3′を有しており、構成部品10は、半導体平版印刷法のための対物レンズ12(詳細には図示されていない)の支持構造体、例えば、対物レンズハウジングを構成しており、構成部品11は、レンズ11aを有するレンズマウントを構成している。フランジ組立体1が2つの補償部材4、4′を備えて具現化される場合、穴3は、ねじ頭部とともにねじ9を通すことができるために、大きい開口部を有することができる。その結果、ねじ9は、かくしてフランジ2を構成部品10に連結するために穴3′に挿入されることができる。
変更例として、補償部材4には、切欠きを設けることもでき、切欠きの任意の特定の形状のために優先はない。
軸方向における押し合わせにより、或いは収縮嵌めにより、安定で非常に正確な連結が可能になることができる。収縮嵌めの場合、補償部材4は、力なしでフランジ2に連結されることができる。ここでは、同様に、フランジ2には、押し合わせの場合のように、円錐体が設けられことができる。
互いに対する部材の同軸性は、両方法の場合に保持される。
フランジ2、2′は、模範的な実施の形態では環状のフランジとして設計されているが、もちろん、他の形状、例えば、三角形または多角形のフランジであることができる。
2つのフランジ2、2′の平面性、同軸および平行の性質は、フランジ組立体1の構成のために温度の変化がある場合にも保持されることができる。
1…フランジ組立て体,2…第1のフランジ,2’…第2のフランジ,4…補償部材,10,11…構成部品,11…マウント,11a…光学素子,
Claims (31)
- 第1のフランジ(2)と、補償部材(4)と、第2のフランジ(2′)とを具備している光学装置用のフランジ組立体であって、前記フランジ(2、2′)および補償部材(4)は、ほぼ軸対称であり、両フランジ(2、2′)は、非破壊的および非積極的な軸方向に分離可能な方法で光学装置の他の構成部品(10、11)に連結されるのに適しており、2つの前記フランジ(2、2′)は、異なる線熱膨張率を有する異なる材料により形成されており、前記補償部材(4)は、半径方向に柔らかいが、2つのフランジ(2、2′)をそれらの相対空間位置において堅く連結している、光学装置用のフランジ組立体。
- 前記補償部材(4)は、薄肉の横断面を有していることを特徴とする請求項1に記載のフランジ組立体。
- 前記補償部材(4)は、少なくともほぼ円筒形の形状であることを特徴とする請求項2に記載のフランジ組立体。
- 前記補償部材(4)は、多角形の横断面を有していることを特徴とする請求項2に記載のフランジ組立体。
- 前記横断面は閉じられていることを特徴とする請求項2、3または4に記載のフランジ組立体。
- 前記補償部材(4)は、少なくとも一方のフランジ(2または2′)と一体であることを特徴とする請求項1に記載のフランジ組立体。
- 前記フランジ(2、2′)は、各々の場合、それぞれ隣接した構成部品(10、11)のものにほぼ対応する線熱膨張率を有していることを特徴とする請求項1に記載のフランジ組立体。
- 前記補償部材(4)は、0.01mmないし3mmの肉厚を有していることを特徴とする請求項1、2、3、4または6に記載のフランジ組立体。
- 前記補償部材(4)の線熱膨張率は、2つのフランジ(2、2′)の線熱膨張率α1、α2の値の間にある値を有していることを特徴とする請求項1に記載のフランジ組立体。
- 前記補償部材(4)は、低い線熱膨張率α3、特に、α3<2ppm/Kを有していることを特徴とする請求項1に記載のフランジ組立体。
- 前記補償部材(4)には、切欠きが設けられていることを特徴とする請求項1に記載のフランジ組立体。
- 前記フランジ(2、2′)は、環状のフランジとして設計されていることを特徴とする請求項1に記載のフランジ組立体。
- 前記フランジ(2、2′)は、多角形のフランジとして設計されていることを特徴とする請求項1に記載のフランジ組立体。
- 前記フランジ(2、2′)は、穴(3、3′)により構成部品(10、11)に留めるために設けられていることを特徴とする請求項12または13に記載のフランジ組立体。
- 前記補償部材(4)への前記フランジ(2、2′)の連結は、一体接合方法、特に、溶接連結により行なわれることを特徴とする請求項1ないし14のうちのいずれか1つの項に記載のフランジ組立体。
- 前記補償部材(4)への前記フランジ(2、2′)の連結は、摩擦係止接合方法、詳細には、円錐体連結により行なわれることを特徴とする請求項1ないし14のうちのいずれか1つの項に記載のフランジ組立体。
- 少なくとも一方のフランジ(2、2′)補償部材(4)に連結される少なくとも一方の連結側に円錐形に具現化されていることを特徴とする請求項1ないし16のうちのいずれか1つの項に記載のフランジ組立体。
- 円錐体(7)を備えて具現化される少なくとも一方の連結側には、溝(8)、詳細には、接着剤溝が設けられていることを特徴とする請求項1ないし16のうちのいずれか1つの項に記載のフランジ組立体。
- 異なる線熱膨張率を有していて、補償部材を介して互いに連結される2つのフランジを連結する方法において、前記補償部材(4)は、第3の線熱膨張率を有しており、少なくとも一方のフランジ(2、2′)に収縮嵌めにより連結されることを特徴とする2つのフランジを連結する方法。
- 異なる線熱膨張率を有していて、補償部材を介して互いに連結される2つのフランジを連結する方法において、前記補償部材(4)は、第3の線熱膨張率を有しており、少なくとも一方のフランジ(2、2′)に押し嵌めにより連結されることを特徴とする2つのフランジを連結する方法。
- 少なくとも一方のフランジ(2、2′)は、補償部材(4)に連結される少なくとも一方連結側に円錐形に具現化され、連結は円錐押し嵌めにより行なわれることを特徴とする請求項19または20に記載の方法。
- 接合部が、一体接合方法により取着されることを特徴とする請求項19または20に記載の方法。
- 半導体平版印刷法における請求項1ないし18のうちのいずれか1つの項に記載のフランジ組立体の用途。
- 少なくとも1つの光学素子(11a)がマウント(11)に配置されている対物レンズハウジング(10)を有し、また第1のフランジ(2)と、保障部材(4)と、第2のフランジ(2′)とを有するフランジ組立体(1)を有している、半導体平版印刷法における対物レンズ、詳細には、投射対物レンズであって、前記フランジ(2、2′)および前記補償部材(4)は、ほぼ軸対称であり、両フランジ(2、2′)は、非破壊的および非積極的な軸方向に分離可能な方法で光学装置の対物レンズハウジング(10)およびマウント(11)に連結されるのに適しており、2つのフランジ(2、2′)は、異なる線熱膨張率を有する異なる材料よりなり、前記補償部材(4)は、半径方向に柔らかいが、それらの相対空間位置において2つのフランジ(2、2′)を堅く連結する、対物レンズ。
- 前記補償部材(4)は、薄肉の横断面を有していることを特徴とする請求項24に記載の対物レンズ。
- 前記補償部材(4)は、少なくともほぼ円筒形の形状のものであることを特徴とする請求項25に記載の対物レンズ。
- 前記横断面は閉じられていることを特徴とする請求項25または26に記載の対物レンズ。
- 前記補償部材(4)は、少なくとも一方のフランジ(2、2′)と一体であることを特徴とする請求項24、25または26に記載の対物レンズ。
- 前記フランジ(2、2′)は、環状のフランジとして設計されていることを特徴とする請求項24に記載の対物レンズ。
- 前記フランジ(2、2′)は、穴(3、3′)により対物レンズハウジング(10)およびマウント(11)に留めるために設けられていることを特徴とする請求項29に記載の対物レンズ。
- 前記補償部材(4)への前記フランジ(2、2′)の連結は、一体連結方法、詳細には、接着剤連結により行なわれることを特徴とする請求項24に記載の対物レンズ。
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