DE10121346A1

DE10121346A1 - Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv für die Halbleiter-Lithographie

Info

Publication number: DE10121346A1
Application number: DE10121346A
Authority: DE
Inventors: Karlfrid Osterried; Thomas Petasch; Jens Kugler
Original assignee: Carl Zeiss AG
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2001-05-02
Filing date: 2001-05-02
Publication date: 2002-11-07
Also published as: US20020167740A1; US7061698B2; JP2003029117A

Abstract

Bei einem Objektiv (1), insbesondere bei einem Projektionsobjektiv für die Halbleiter-Lithographie, ist wenigstens ein optisches Element, insbesondere das in Strahlrichtung letzte optische Element, in Form einer Abschlußplatte (3) austauschbar. Zwischen dem auszutauschenden optischen Element (3) und einer Fassung (5) oder einem mit einer Fassung (5) verbundenen Teil ist zur Justage des optischen Elementes (3) eine optische Paßformgenauigkeit mit Flächenpassung (6) eingestellt.

Description

Die Erfindung betrifft ein Objektiv, insbesondere Projekti onsobjektiv für die Halbleiter-Lithographie, nach der im Ober begriff von Anspruch 1 näher definierten Art.

Bei Objektiven in der Halbleiter-Lithographie sind mitunter nachträgliche Korrekturen vorzusehen, um Abbildungsfehler zu beseitigen oder die Abbildungsgenauigkeit zu erhöhen. Aus die sem Grund sind einzelne optische Elemente, wie z. B. die Ab schlußplatte, austauschbar auszubilden, damit z. B. Objektiv- Bildfehler optimiert werden können. Gleiches gilt auch bei ei ner Beschädigung oder einem Verschleiß eines optischen Elemen tes. Dies gilt insbesondere für die Abschlußplatte in einem Projektionsobjektiv. Bei einem derartigen Austausch soll jedoch eine Reproduzierbarkeit erreicht werden, damit sich nicht neue Fehler einschleichen.

Aus der US 5,973,863 ist es hierzu bereits bekannt, die Ab schlußplatte eines Objektives in der Halbleiter-Lithographie austauschbar mit der Fassung zu verbinden, damit sphärische Aberrationen oder andere Bildfehler des Projektionssystemes korrigiert werden können. Hierzu wird eine Schraubverbindung der Abschlußplatte mit der Fassung vorgeschlagen.

Um eine Austauschbarkeit eines optischen Elementes in einem Ob jektiv zu erreichen, ist es grundsätzlich allgemein bereits be kannt, statt einer Klebeverbindung des optischen Elementes mit seiner Fassung eine andere Verbindungsart vorzusehen. Hierzu wird beispielsweise auf die ältere Anmeldung 199 29 403.8 ver wiesen, wobei ein Abschlußelement mit dem benachbart dazu lie genden optischen Element durch ein Ansprengen verbunden wird.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine klebefreie Verbindungsart eines optischen Elementes mit der dazugehörigen Fassung oder einem mit einer Fassung verbundenen Teil vorzusehen, die im Bedarfsfall eine einfache Austauschbar keit eines optischen Elementes mit hoher Reproduzierbarkeit schafft.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die im kennzeichnenden Teil von Anspruch 1 genannten Merkmale gelöst.

Erfindungsgemäß wird bei einer kleberfreien Verbindung unter anderem erreicht, daß die Fassung oder das mit der Fassung ver bundene Teil auf einer interferometrisch-optischen Skala die selbe Paßform besitzt wie das optische Element. Auf diese Weise können folgende Forderungen erfüllt werden:

- ein Ausschluß bzw. eine Verringerung und Verspannung der Op tik durch Montage und durch Druckdifferenzen und damit eine Verbesserung der Abbildungseigenschaft
- eine Reproduzierbarkeit der Abbildungseigenschaften des Ob jektives bei Aus- und Einbau
- eine Austauschbarkeit im Feld gegen ein optisch äquivalentes Element (z. B. Mittendicke, Radien, Brechungsindex, Wellen front in doppeltem Durchtritt)
- eine starke Verringerung der innendruckbedingten Durchbiegung bei einer Abschlußplatte als optisches Element oder bei einer relativ dünnen Linse wegen "allseits eingespannter" Lagerbe dingung
- eine Verbesserung der Transmission durch Ausschluß von Konta minationen und einem Verzicht auf Kleberschutz wegen des feh lenden Klebers
- eine Abdichtung bei einer 360° umlaufenden Fassung.

Erfindungsgemäß wird man im allgemeinen eine Paßformgenauigkeit von < 20 nm vorsehen.

Die Haftung des optischen Elementes an der Fassung kann kon struktiv durch folgende Lösungen erreicht werden:

1. Erzeugung eines pneumatischen Unterdruckes
2. durch Adhäsionskräfte zwischen Flächenpassungen, dem soge nannten Ansprengen
3. durch eine Klemmverbindung, z. B. durch einen Klemmring mit Federelementen.

Gegebenenfalls sind die drei Lösungen auch noch untereinander kombinierbar.

Die Einzellösungen sind dabei so auszulegen, daß die Haftkräfte ausreichen, um das optische Element gegen transportbedingte De zentrierung abzusichern und gegebenenfalls abzudichten oder auch gegen einen Innendruck und das Eigengewicht zu halten.

Aus Sicherheitsgründen kann zusätzlich noch in vorteilhafter Weise ein Sicherungsbügel für das optische Element vorgesehen werden.

Wenn eine Deformationsentkopplung gewünscht wird, kann auch vorgesehen sein, daß die Fassung für das auszutauschende opti sche Element zweiteilig ausgeführt ist, nämlich mit einer In nenfassung, die für die optische Paßformgenauigkeit mit Flä chenpassung vorgesehen ist, und eine entsprechend steifere Au ßenfassung.

Als Fassung für die optische Paßformgenauigkeit mit Flächenpas sung kann die eigene Fassung des optischen Elementes vorgesehen werden oder alternativ hierzu auch die Fassung des benachbart dazu liegenden optischen Elementes.

Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den übrigen Unteransprüchen und aus den nach folgend anhand der Zeichnung prinzipmäßig beschriebenen Ausfüh rungsbeispielen.

Es zeigt:

Fig. 1 einen Längsschnitt (teilweise) durch den unteren Be reich eines Objektives mit einer Abschlußplatte;

Fig. 2 eine Draufsicht auf das Objektiv nach der Fig. 1 im unteren Bereich in Prinzipdarstellung;

Fig. 3 ausschnittsweise eine Abschlußplatte mit einer Klemmeinrichtung;

Fig. 4 Ansicht des Klemmringes nach der Fig. 3 von unten;

Fig. 5 eine Ausschnittsvergrößerung des Klemmringes in Sei tenansicht mit Federelementen;

Fig. 6 eine Ausschnittsvergrößerung entsprechend VI in der Fig. 3 des Andrückbereiches der Federelemente;

Fig. 7 eine Ausschnittsvergrößerung entsprechend Fig. 6 in einer anderer Ausgestaltung;

Fig. 8 eine Ausgestaltung des unteren Teiles eines Objekti ves;

Fig. 9 eine Draufsicht auf einen Flanschring in einer Ab wandlung der Fig. 8;

Fig. 10 eine zweiteilige Abschlußplatte im Schnitt; und

Fig. 11 perspektivische Ansicht der zweiteiligen Abschluß platte nach Fig. 10 von unten.

Ein Projektionsobjektiv 1 (nur teilweise dargestellt) für die Halbleiter-Lithographie weist mehrere Linsen 2 (nur die letzte dargestellt) auf und eine Abschlußplatte 3 als letztes opti sches Element. Die Linse 2 ist in einer Innenfassung 4 gela gert, welche auf nicht näher dargestellte Weise mit einer Au ßenfassung 5 des Projektionsobjektives 1 verbunden ist.

Eine Verbindungsfläche als Flächenpassung 6 zur Abschlußplatte 3 ist optisch plan. Sie ist von Bohrungen 7, die ein Verteiler system pneumatischer Kanäle 8 in der Fassung 5 bilden, unter brochen. Ziel ist eine flächenmäßig homogene Kraftwirkung auf die Abschlußplatte 3, wobei ein lokales Durchbiegen vermieden werden soll. Die Anzahl, die Größe und die Dichte der Bohrungen 7 richtet sich nach dem Anwendungsfall und dem pneumatischen Druck. Die Form der Bohrlochöffnungen sollte fertigungstech nisch so gewählt werden, daß auch an den Bohrlochkanten eine durchgehende Flächenpassung erreicht wird. Als Material für die Fassung 5 hat sich aus diesem Grund Glas oder Keramik als be sonders geeignet herausgestellt. Die einzelnen Kanäle 8 werden durch einen Ringkanal 9 verbunden, so daß als Druckversorgung nur eine Zuleitung 10 notwendig ist. Der Ringkanal 9 wird durch eine umlaufende Nut in einem Aufschraubring 11 mit Innengewinde gebildet, der auf die Fassung 5 geschraubt wird. Die Schraub verbindung ist dabei gasdicht auszuführen. Der Aufschraubring 11 enthält gleichzeitig einen Anschluß für die Zuleitung 10.

Zur Sicherung der Abschlußplatte 3, z. B. beim Transport, können ein oder mehrere Sicherungsbügel 12 als selbständige Bauteile vorgesehen sein, die nach der Endbearbeitung der Fassung 5 be festigt werden. Da die Sicherungsbügel 12 nur dem Eigengewicht der Abschlußplatte 3 standhalten müssen, kann eine Ausgestal tung mit drei einzelnen über den Umfang verteilt angeordneten Bügeln in elastischer Ausführung ausreichend sein, so daß die Montage der Sicherungsbügel 12 die Passequalität der Verbin dungsfläche als Flächenpassung 6 nicht beeinträchtigt.

Gegebenenfalls können die Sicherungsbügel 12 auch in den Auf schraubring 11 mit einer entsprechenden Verlängerung integriert werden. Der Aufschraubring 11 kann im Bedarfsfalle auch zur Zentrierung verwendet werden. Hierzu kann er mit entsprechenden Zentrierbünden versehen sein. Gleiches gilt auch für Zentner bünde an der Abschlußplatte 3. Über eine gestrichelt darge stellte Montagedose 13 kann dann die Zentrierung bei der Monta ge erfolgen.

In den Fig. 3 bis 7 ist eine Verbindung der Abschlußplatte 3 als auszutauschendem optischen Element in Form einer Klemmein richtung mit einem Klemmring 14 vorgesehen, der eine Vielzahl von Federelementen 15 aufweist. Die Federelemente 15 pressen die Abschlußplatte 3 an die Flächenpassung 6 der Fassung 5. Der Klemmring 14 weist im Querschnitt eine L-Profilform auf, wobei die Federelemente 15 durch radiale Einschnitte gebildet sind, auf denen dann die Abschlußplatte 3 aufliegt. Der andere L- Schenkel besitzt an seinem Ende Federlamellen bzw. Widerhaken 16, mit denen der Klemmring 14 an einem entsprechenden Absatz der Fassung 5 einrastet. Im Bedarfsfalle kann anstelle eines umlaufenden Absatzes an der Fassung 5 auch eine Art Verzahnung vorgesehen sein, wobei die Widerhaken 16 dann an den Zähnen aufliegen. Ein Trennen des Klemmringes 14 zum Austauschen der Platte 3 kann dann auf einfache Weise durch ein geringes Ver drehen des Klemmringes 14 erfolgen, bis die Widerhaken 16 bzw. Federlamellen auf Lücke zu den Zähnen stehen. Auf diese Weise ist eine Art Bajonettverschluß gebildet.

Die Fassung 5 kann aus Stahl oder besser aus Glas, Quarz, Kal ziumfluorid oder aus Keramik bestehen. Ebenso kann die Fassung 5 aus zwei Materialien gebildet sein. Ein Materialübergang in nerhalb der Fassung 5 kann dann durch ein entsprechendes Ent koppelungselement erfolgen.

Wie aus der vergrößerten Darstellung der Fig. 6 ersichtlich ist, drücken die Federelemente 15 jeweils mit einer abgerunde ten Fläche 17 von unten her auf die Abschlußplatte 3. Eine seitliche Verschiebung ist bei geringer Haftreibung der Kon taktflächen, die hierzu entsprechend poliert sein sollten, mög lich.

Fig. 7 zeigt eine Alternative zu der Ausgestaltung gemäß Fig. 6. Wie ersichtlich, ist dabei ein Andruckring 18 vorgesehen, der zwischen der Abschlußplatte 3 und den einzelnen Federele menten 15 vorgesehen ist. Der Andruckring 18 liegt flächenför mig an der Abschlußplatte 3 an. Die Verbindung zu den Federelementen 15 erfolgt über eine Spitze-Kerbeverbindung, wodurch ei ne exakte Positionierung erreicht wird. Hierzu weist der An druckring 18 auf seiner Unterseite eine entsprechende Kerbe 19 im Bereich der Federelemente 15 oder auch einen umlaufenden Kerbring auf und die Federelemente 15 enden jeweils in einer Andruckspitze 20, die in den Kerbring 19 drückt.

Der Klemmring 14 mit seinen einzelnen Federelementen 15 und den Widerhaken 16 kann durch Erodierschnitte gebildet werden, wo durch identische Andruckkräfte erzeugt werden. Die Vielzahl der Federelemente 15 bewirkt eine auf den ganzen Umfang der Ab schlußplatte 3 gleichmäßig verteilte Andruckkraft.

Für die vorstehend beschriebene Verbindungsart wird im allge meinen eine deutliche Vergrößerung des Durchmessers der Ab schlußplatte 3 erforderlich sein. Damit keine zu große Bauraum vergrößerung eintritt, kann die Abschlußplatte auch in dem Be reich, in welchem die Linse 2 auf Auflagefüßchen 22 der Innen fassung 4 liegt, mit einer reduzierten Dicke in Form einer ringförmigen Einfräsung 3' versehen sein (siehe gestrichelte Darstellung der Fig. 1). Auf diese Weise läßt sich die Ab schlußplatte 3 zur Bauraumeinsparung näher an die Linse 2 her anrücken.

Als Alternative hierzu kann vorgesehen sein, daß zur Vermeidung von Bauraumproblemen die Linse 2 eine Radienfase 21 erhält, an denen dann die Auflagefüßchen 22 angreifen (siehe gestrichelte Darstellung in der Fig. 1). Bei dieser Ausgestaltung kann der Durchmesser der Abschlußplatte 3 auch geringer sein.

Fig. 8 zeigt die Ausgestaltung des unteren Teiles eines Objek tives 1, wobei die Abschlußplatte 3 in einer mehrteiligen Fas sung 5 gelagert ist. Den direkten Kontakt mit der Abschlußplat te 3 stellt dabei ein Flanschring 5a her, der für die Verbin dung mit einer optischen Paßformgenauigkeit mit der Flächenpas sung 6 versehen ist. An dem von der Abschlußplatte 3 abgewand ten Ende des Flanschringes 5a schließt sich ein ringförmiges Entkopplungselement 5b an, das zur Deformationsentkopplung dient und unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten aus gleicht. An das ringförmige Entkopplungselement 5b kann sich dann ein Stahlfassungsteil 5c anschließen. Der ringförmige Flansch 5a besteht vorzugsweise aus Glas oder Keramik. Die Ver bindung bzw. Lagerung der Abschlußplatte 3 über die Flächenpas sung 6 kann entweder durch Ansprengen oder auch - wie gestri chelt dargestellt - durch eine Klemmeinrichtung mit dem Klemm ring 14 gemäß Fig. 3 bis 7 erfolgen.

Selbstverständlich ist es jedoch auch möglich, eine pneumati sche Verbindung zu schaffen, wie es in den Fig. 1 und 2 be schrieben ist.

Fig. 9 zeigt eine Draufsicht auf den Flanschring 5a in einer Abwandlung der Fig. 8. Als Verbindung in Form einer Flächen passung 6 zur Abschlußplatte 3 dienen hier drei über den Umfang gleichmäßig verteilt angeordnete Verbindungsflächen in Form von Auflageflächen 6'. Die dazwischen liegenden Bereiche sind etwas zurückgesetzt und werden mit einer Flüssigkeit, vorzugsweise einer hochviskosen Flüssigkeit, in Form eines Spaltes 23 abge dichtet (siehe auch gestrichelte Darstellung links in der Fig. 8). Als hochviskose Flüssigkeit lassen sich z. B. Fette verwen den, die ausreichend abdichten.

Anstelle einer dreiteiligen Fassung gemäß Fig. 8 läßt sich selbstverständlich die Fassung 5 auch vollständig aus einem Ma terial, z. B. Keramik, herstellen. Der Vorteil einer Fassung 5 aus Keramik besteht darin, daß sie leicht und trotzdem, sehr steif ist und auch auf die gewünschte optische Genauigkeit be arbeitet werden kann. Darüber hinaus sind Keramiken verfügbar, die einen gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzen wie die Abschlußplatte 3.

Die Fig. 10 zeigt eine zweiteilige Abschlußplatte 3 im Schnitt, während die Fig. 11 eine perspektivische Ansicht hierzu darstellt.

Wie ersichtlich, besteht die zweigeteilte Abschlußplatte 3 aus einem dickeren Plattenteil 3a und einem kleineren und deutlich dünneren Plattenteil 3b. Das dünnere Plattenteil 3b kann an das dickere Plattenteil 3a angesprengt sein. Das dickere Platten teil 3a sorgt für die erforderliche mechanische Stabilität, während das dünnere Plattenteil 3b, welches gegebenenfalls auch nur als eine Folie ausgebildet sein kann, sich in dem optisch wirksamen Bereich befindet. Dies bedeutet, bei einem Austausch ist es lediglich erforderlich, das Plattenteil 3b auszutau schen. Das Plattenteil 3b kann rund oder rechteckig sein. Selbstverständlich sind statt einem Ansprengen an das dickere Plattenteil 3a auch noch andere Befestigungsmöglichkeiten denk bar, wie z. B. Kleben oder Kitten. Das dünnere Plattenteil 3b kann sich in seiner Form an das dickere Plattenteil 3a anpas sen. Voraussetzung hierfür ist, daß das dünnere Plattenteil 3b planparallel ist. Der Vorteil dieser Ausführungsform besteht darin, daß die Abdichtung für die dickere Platte 3a vereinfacht wird, da diese eingebaut bleiben kann.

Bei diesem Ausführungsbeispiel wird die optische Paßformgenau igkeit mit der Flächenpassung 6 zwischen den beiden Abschluß platten 3a und 3b eingestellt.

Claims

1. Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv für die Halblei ter-Lithographie, wobei wenigstens ein optisches Element, insbesondere das in Strahlrichtung letzte optische Element, in Form einer Abschlußplatte austauschbar ist, dadurch ge kennzeichnet, daß zwischen dem auszutauschenden optischen Element (3) und einer Fassung (5) oder einem mit einer Fas sung (5) verbundenen Teil zur Justage des optischen Elemen tes (3) eine optische Paßformgenauigkeit mit Flächenpassung (6) eingestellt ist.

2. Objektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die optische Paßformgenauigkeit mit Flächenpassung (6) die Fassung (5) oder das mit der Fassung (5) verbundene Teil mit einer polierten Fläche versehen ist.

3. Objektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fassung (5) oder das mit der Fassung (5) verbundene Teil aus Glas oder Keramik gebildet ist.

4. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn zeichnet, daß die Fassung (5) für das auszutauschende opti sche Element (3) aus einer Innenfassung (4) und einer Au ßenfassung (5c) besteht, wobei die Innenfassung (4) die op tische Paßformgenauigkeit mit Flächenpassung (6) zu dem auszutauschenden optischen Element (3) bildet, und wobei zwischen der Innenfassung (4) und der Außenfassung (5c) ein Deformationsentkoppelungselement (5b) angeordnet ist.

5. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn zeichnet, daß das optische Element (3) mit einem Siche rungsbügel (12) gegen ein Herausfallen gesichert ist.

6. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekenn zeichnet, daß bei einer Abschlußplatte (3) als auszutau schendem optischen Element diese einen vergrößerten Durch messerbereich aufweist, der die optische Paßformgenauigkeit mit Flächenpassung (6) zu der Fassung (5) bildet.

7. Objektiv nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß in dem erweiterten Durchmesserbereich der Abschlußplatte (3) eine ringförmige Einfräsung (3') vorgesehen ist.

8. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekenn zeichnet, daß die optische Paßformgenauigkeit mit Flächen passung (6) zwischen dem optischen Element (3) und der Fas sung (5) durch mehrere über den Umfang verteilt angeordnete Auflageflächen (6') gebildet ist, wobei jeweils zwischen den Auflageflächen (6') ein mit einer Abdichtflüssigkeit abgedichteter Zwischenspalt (23) vorhanden ist.

9. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn zeichnet, daß die optische Paßformgenauigkeit mit Flächen passung (6) durch ein Ansprengen gebildet ist.

10. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn zeichnet, daß die optische Paßformgenauigkeit mit Flächen passung (6) durch eine Pneumatikeinrichtung (7, 8, 9, 10) ge bildet ist, die einen Unterdruck zwischen dem auszutau schenden optischen Element (3) und der Fassung (5) erzeugt.

11. Objektiv nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß in der Fassung (5) eine Pneumatikzuleitung (10) angeordnet ist, die mit einer Ringleitung (9) verbunden ist, welche mit Kanälen (7) und Bohrungen (8), die sich in dem Bereich der Flächenpassung (6) befinden, verbunden ist.

12. Objektiv nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abdichtung ein Aufschraubring (11) vorgesehen ist.

13. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn zeichnet, daß die optische Paßformgenauigkeit mit Flächen passung (6) mit einer Klemmeinrichtung versehen ist.

14. Objektiv nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das auszutauschende optische Element (3) mit einem Klemmring (14) mit Federelementen (15) als Klemmeinrichtung versehen ist.

15. Objektiv nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Klemmring (14) im Schnitt ein L-Profil aufweist, wobei die Federelemente (15) durch radiale Einschnitte, auf denen das optische Element (3) aufliegt, in einem L-Schenkel gebildet sind, während der andere L-Schenkel als Widerhaken (16) die Verbindung zu der Fassung (3) herstellt.

16. Objektiv nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Federelemente (15) mit abgerundeten Auflageflächen (17) versehen sind.

17. Objektiv nach Anspruch 13, 14 oder 15, dadurch gekennzeich net, daß die Federelemente (15) mit Andruckspitzen (20) versehen sind, welche in einer Ringkerbe (19) eines An druckringes (18), der zwischen den Federelementen (15) und dem auszutauschenden optischen Element (3) angeordnet ist, eingedrückt sind.

18. Objektiv nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch ge kennzeichnet, daß die radialen Einschnitte durch Einsägen oder durch Erodierschnitte in dem Klemmring (14) gebildet sind.

19. Objektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Abschlußplatte (3) als auszutauschendem optischen Element die Abschlußplatte aus zwei Teilen (3a, 3b) aufge baut ist, wobei ein dickeres Plattenteil (3a) die Verbin dung zu der Fassung (5) bildet und sich ein dünneres Plat tenteil (3b) im optisch wirksamen Bereich befindet und wo bei die optische Paßformgenauigkeit mit Flächenpassung (6') zwischen dem dickeren Plattenteil (3a) und dem dünneren Plattenteil (3b) gebildet ist (Fig. 10, 11).

20. Objektiv nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß das dünnere Plattenteil (3b) an das dickere Plattenteil (3a) angesprengt ist.

21. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekenn zeichnet, daß die Fassung (5) mehrteilig ausgebildet ist, wobei ein Flanschring (5a) über die Flächenpassung (6') mit dem auszutauschenden optischen Element (3) verbunden ist, wobei sich an den Flanschring (5a) ein ringförmiges Ent kopplungselement (5b) anschließt und wobei das Entkopp lungselement (5b) mit einem Stahlfassungsteil (5c) verbun den ist.