JP2005164286A - 光検出器及びそれを用いた分光器 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 103
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 24
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 20
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 108090000699 N-Type Calcium Channels Proteins 0.000 abstract description 4
- 102000004129 N-Type Calcium Channels Human genes 0.000 abstract description 4
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 108091006146 Channels Proteins 0.000 description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 108010075750 P-Type Calcium Channels Proteins 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000023077 detection of light stimulus Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J3/02—Details
- G01J3/0256—Compact construction
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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Abstract
【解決手段】 n型基板101及びp型エピタキシャル層102を有する光検出器1Aの基板10において、複数のフォトダイオード12(n型チャンネル領域121)を有するフォトダイオードアレイと、フォトダイオード12で検出する光を入射するために用いられる開口部からなる光入射部13とを設ける。さらに、エピタキシャル層102のうちでフォトダイオードアレイ11及び光入射部13の間にある層部分によって、光入射部13の近傍の基板部分で発生したキャリアを捕獲して電極61を介して外部へと排出するためのキャリア捕獲部60を構成する。
【選択図】 図3
Description
2…本体、20…板状部、21、22…支持部、21a、22a…本体側位置決め部、23…レンズ、24…反射型平面回折格子。
Claims (6)
- 基板と、
前記基板上に所定の配列で形成された複数の光検出素子を有する光検出素子アレイと、
前記光検出素子アレイに対して所定の位置関係で前記基板に形成された開口部を含み、前記光検出素子で検出する光を入射するために用いられる光入射部と、
前記光検出素子アレイ及び前記光入射部の間に設けられ、前記光入射部の近傍の基板部分に光が照射された際に発生するキャリアを捕獲して外部へと排出するためのキャリア捕獲部と
を備えることを特徴とする光検出器。 - 前記基板は、第1導電型基板、及び前記第1導電型基板上に形成された第2導電型エピタキシャル層を有するとともに、前記光検出素子として機能するチャンネル領域が前記エピタキシャル層内に形成され、
前記キャリア捕獲部は、前記第2導電型エピタキシャル層のうちで前記光検出素子アレイ及び前記光入射部の間にある層部分によって構成されていることを特徴とする請求項1記載の光検出器。 - 前記基板は、第1導電型基板、及び前記第1導電型基板内に形成された第2導電型ウエル領域を有するとともに、前記光検出素子として機能するチャンネル領域が前記ウエル領域内に形成され、
前記キャリア捕獲部は、前記第2導電型ウエル領域のうちで前記光検出素子アレイ及び前記光入射部の間にある層部分によって構成されていることを特徴とする請求項1記載の光検出器。 - 前記基板は、第1導電型基板を有し、前記光検出素子として機能するチャンネル領域が前記第1導電型基板内に形成されるとともに、前記第1導電型基板の前記光検出素子アレイ及び前記光入射部の間にある基板部分内にダミーチャンネル領域が形成され、
前記キャリア捕獲部は、前記ダミーチャンネル領域によって構成されていることを特徴とする請求項1記載の光検出器。 - 前記キャリア捕獲部に対し、捕獲されたキャリアを外部に排出するための電極が接続されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の光検出器。
- 請求項1〜5のいずれか一項記載の光検出器と、
前記光入射部から前記光検出素子アレイへの光路上となる所定の位置に前記光検出器に対して位置決めして設けられた分光素子を含む分光光学系とを備え、
前記光入射部から入射した光を前記分光素子によって分光し、得られたスペクトル成分を前記光検出素子アレイでの前記複数の光検出素子のそれぞれによって検出することを特徴とする分光器。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003400278A JP4627402B2 (ja) | 2003-11-28 | 2003-11-28 | 光検出器を用いた分光器 |
PCT/JP2004/017411 WO2005052523A1 (ja) | 2003-11-28 | 2004-11-24 | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
US10/580,841 US8125636B2 (en) | 2003-11-28 | 2004-11-24 | Photodetector and spectrometer using the same |
DK04819369.2T DK1693656T3 (da) | 2003-11-28 | 2004-11-24 | Fotodetektor og spektroskop anvendende samme |
EP04819369.2A EP1693656B1 (en) | 2003-11-28 | 2004-11-24 | Photo-detector and spectroscope using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003400278A JP4627402B2 (ja) | 2003-11-28 | 2003-11-28 | 光検出器を用いた分光器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005164286A true JP2005164286A (ja) | 2005-06-23 |
JP4627402B2 JP4627402B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=34631639
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003400278A Expired - Lifetime JP4627402B2 (ja) | 2003-11-28 | 2003-11-28 | 光検出器を用いた分光器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8125636B2 (ja) |
EP (1) | EP1693656B1 (ja) |
JP (1) | JP4627402B2 (ja) |
DK (1) | DK1693656T3 (ja) |
WO (1) | WO2005052523A1 (ja) |
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-
2003
- 2003-11-28 JP JP2003400278A patent/JP4627402B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-11-24 US US10/580,841 patent/US8125636B2/en active Active
- 2004-11-24 EP EP04819369.2A patent/EP1693656B1/en active Active
- 2004-11-24 WO PCT/JP2004/017411 patent/WO2005052523A1/ja active Application Filing
- 2004-11-24 DK DK04819369.2T patent/DK1693656T3/da active
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JP7054671B2 (ja) | 2015-08-31 | 2022-04-14 | メトラー-トレド ゲーエムベーハー | 分光器 |
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JP2018160648A (ja) * | 2016-06-07 | 2018-10-11 | 雫石 誠 | 光電変換素子とその製造方法、分光分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4627402B2 (ja) | 2011-02-09 |
EP1693656B1 (en) | 2013-11-06 |
EP1693656A1 (en) | 2006-08-23 |
EP1693656A4 (en) | 2010-12-08 |
US8125636B2 (en) | 2012-02-28 |
DK1693656T3 (da) | 2013-12-16 |
US20080259331A1 (en) | 2008-10-23 |
WO2005052523A1 (ja) | 2005-06-09 |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |