JP2005163156A - 蒸発材料の供給方法、及び真空成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空チャンバ1と、蒸発材料保持容器2a等を備える蒸発源2と、ホッパ式蒸発材料供給手段10を備える真空成膜装置50において、蒸発材料保持容器2a等に蒸発材料を供給するにあたり、計量カップ21を用いて行う。
ホッパ式蒸発材料供給手段10の供給ホッパ11に蓄えられる蒸発材料より振動フィーダユニット20によって一定量が調整されて送出される。振動フィーダユニット12より送出された蒸発材料は計量カップ21に供給される。そして、計量カップ21によって特定量の蒸発材料を蓄えておき、この特定量の蒸発材料を計量カップ21により蒸発材料保持容器2aに供給する。
【選択図】 図1
Description
前記蒸発材料保持容器に供給するべき特定量の蒸発材料を計量する計量カップに、前記調整手段より蒸発材料を送出して供給する第一の工程と、
前記計量カップにより蒸発材料を蓄えることに基づき蒸発材料の特定量を計量する第二の工程と、
前記計量された特定量の蒸発材料を前記計量カップにより前記蒸発材料保持容器に一括して供給する第三の工程とを備えることを特徴としている(請求項1)。
前記蒸発材料保持容器の一部により蒸発材料を蒸発させている間に前記第一の工程乃至第三の工程を行い、
前記第三の工程を前記一部の蒸発材料保持容器以外の蒸発材料を蓄えない他の蒸発材料保持容器により行うことができる(請求項3)。
前記蒸発材料定量供給装置は、
前記蒸発材料保持容器に供給するべき特定量の蒸発材料を計量すべく、真空チャンバ内に配置される計量カップと、
前記調整手段より前記一定量の蒸発材料を前記計量カップに供給するための操作を行うとともに、前記計量カップにより蒸発材料を蓄えることに基づき計量された特定量の蒸発材料を計量カップにより蒸発材料保持容器に一括して供給するための操作を行う蒸発材料供給操作手段と、を備えることを特徴とする真空成膜装置である(請求項5)。
前記計量カップが前記第一の位置に位置決めされると前記調整手段より一定量の蒸発材料が計量カップに供給されるとともに、前記計量カップが前記第二の位置に位置決めされると前記特定量の蒸発材料が前記蒸発材料保持容器に供給されるようにすることができる(請求項6)。
前記計量カップに対する上側に、蒸発材料を前記調整手段より前記計量カップに導くためのシュート部材をさらに設け、
前記調整手段より送出された蒸発材料が、前記シュート部材の下端から前記第一の位置に位置決めされた前記計量カップに流入するようにすることができる(請求項7)。
前記計量カップを収納するための水平方向に沿って配設された計量カップ用ハウジングをさらに設け、前記計量カップ及び前記計量カップ用ハウジングを前記蒸発材料保持容器に対する上側にあたる位置に配設し、
前記計量カップ用ハウジングを、計量カップ上端の受け側開口を上方に開放して該受け側開口が前記シュート部材の下端を臨むように設け、前記計量カップを上側に収納する底板部を設け、該底板部の前記第二の位置にあたる部分に上下方向に貫通する蒸発材料供給孔を形成し、
前記蒸発材料供給操作手段は、水平方向の前後に位置する前記第一の位置と第二の位置との間で前記計量カップを直線的に移動させるようにされており、
前記蒸発材料供給操作手段が計量カップを前記第二の位置に移動させると、計量カップにより計量された蒸発材料が、計量カップの送り側開口及び計量カップ用ハウジングの底板部の蒸発材料供給孔をとおって蒸発材料保持容器に供給されるようにすることができる(請求項8)。
前記往復回転手段が前記回転軸を往復回転させると、第一のリンクが回転軸とともに回転軸の回りに往復回転するとともに第二のリンクの先端が前後方向に直線的に往復移動し、前記計量カップが第一の位置と第二の位置との間を往復するようにすることができる(請求項9)。
複数の蒸発材料保持容器のうち蒸発材料を蓄えた一部の蒸発材料保持容器により蒸発材料を蒸発させている間に、蒸発材料を蓄えていない他の蒸発材料保持容器であり蒸発材料を供給されるための位置に配置された蒸発材料保持容器に、蒸発材料を供給するようにすることができる(請求項10)。
前記粒子量測定センサにより蒸発材料の一定量を測定することにより、前記調整手段より一定量の蒸発材料を送出するようにすることもできる(請求項11)。
1a 真空チャンバの底壁
2 蒸発源
2a、2b、2c、2d 抵抗ボート
2g 蒸発源駆動軸
2h 回収用受け皿
5 蒸発源駆動モータ
10 ホッパ式蒸発材料供給手段
11 供給ホッパ
11a 供給口
12 振動フィーダユニット
12a 振動フィーダ
12b 加振源
12c 送出口
15 粒子量測定センサ
19 シュート部材
20 蒸発材料定量供給装置
21 計量カップ
21a 中空部
21b 受け側開口
21c 送り側開口
22 計量カップ保持体
22a 計量カップ収納部
22b 余剰材導出部
22f ガイドローラ
23 計量カップ用ハウジング
23a サイドガイド
23b 底板部
23c 蒸発材料供給孔
23d 下部排出孔
31 第一のリンク
32 第二のリンク
33 回転軸
35 回転エアシリンダ
36 第一の支点軸
37 第二の支点軸
50 真空成膜装置
Claims (11)
- 内側の空間で蒸発材料が蒸発することにより基材が成膜処理される真空チャンバと、蒸発材料を蓄えつつ蒸発させるための蒸発材料保持容器を備え該蒸発材料保持容器が前記真空チャンバ内に配置される蒸発源と、前記真空チャンバ内に設置され粒子状の蒸発材料を蓄える供給ホッパと、供給ホッパに蓄えられる蒸発材料より一定量の蒸発材料を調整して送出する調整手段とを備える真空成膜装置の前記蒸発源の蒸発材料保持容器に蒸発材料を供給する蒸発材料の供給方法であって、
前記蒸発材料保持容器に供給するべき特定量の蒸発材料を計量するための計量カップに、前記調整手段より蒸発材料を送出して供給する第一の工程と、
前記計量カップにより蒸発材料を蓄えることに基づき蒸発材料の特定量を計量する第二の工程と、
前記計量された特定量の蒸発材料を前記計量カップにより前記蒸発材料保持容器に一括して供給する第三の工程と、を備える蒸発材料の供給方法。 - 前記調整手段が蒸発材料を送出するにあたり前記計量カップの上方から溢れる程度に蒸発材料を一定量づつ送出し、前記計量カップは該計量カップからこぼれずに安定して堆積できる量を蓄えることに基づき前記特定量が計量される請求項1に記載の蒸発材料の供給方法。
- 前記蒸発源が複数の蒸発材料保持容器を備え、該複数の蒸発材料保持容器のうち蒸発材料を蓄える一部の蒸発材料保持容器によって蒸発材料を蒸発させる場合に、
前記蒸発材料保持容器の一部により蒸発材料を蒸発させている間に前記第一の工程乃至第三の工程を行い、
前記第三の工程を、前記一部の蒸発材料保持容器以外の蒸発材料を蓄えない他の蒸発材料保持容器により行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の蒸発材料の供給方法。 - 前記調整手段には送出した蒸発材料の粒子量を測定するための粒子量測定センサが設けられており、
前記粒子量測定センサにより蒸発材料の一定量を測定することにより、前記調整手段より一定量の蒸発材料を送出する請求項1乃至3のいずれかに記載の蒸発材料の供給方法。 - 内側の空間で蒸発材料が蒸発することにより基材が成膜処理される真空チャンバと、蒸発材料を蓄えつつ蒸発させるための蒸発材料保持容器を備え該蒸発材料保持容器が前記真空チャンバ内に配置される蒸発源と、前記真空チャンバ内に設置され粒子状の蒸発材料を蓄える供給ホッパと、供給ホッパに蓄えられる蒸発材料より一定量の蒸発材料を調整して送出する調整手段と、前記蒸発材料保持容器に前記蒸発材料を供給する蒸発材料定量供給装置とを備え、
前記蒸発材料定量供給装置は、
前記蒸発材料保持容器に供給するべき特定量の蒸発材料を計量すべく、真空チャンバ内に配置される計量カップと、
前記調整手段より前記一定量の蒸発材料を前記計量カップに供給するための操作を行うとともに、前記計量カップにより蒸発材料を蓄えることに基づいて計量された特定量の蒸発材料を計量カップにより蒸発材料保持容器に一括して供給するための操作を行う蒸発材料供給操作手段と、を備えることを特徴とする真空成膜装置。 - 前記蒸発材料供給操作手段は、前記計量カップを前記調整手段より蒸発材料を供給される第一の位置に位置決めするとともに、前記計量カップを前記特定量の蒸発材料を前記蒸発材料保持容器に供給するための第二の位置に位置決めするようにされており、
前記計量カップが前記第一の位置に位置決めされると前記調整手段より一定量の蒸発材料が計量カップに供給されるとともに、前記計量カップが第二の位置に位置決めされると、前記特定量の蒸発材料が前記蒸発材料保持容器に供給されるようにされた請求項5に記載の真空成膜装置。 - 前記計量カップは、上端に前記調整手段より蒸発材料の供給を受けるための受け側開口が形成されており、
前記計量カップに対する上側に、蒸発材料を前記調整手段より前記計量カップに導くためのシュート部材がさらに設けられており、
前記調整手段より送出された蒸発材料が、前記シュート部材の下端から前記第一の位置に位置決めされた前記計量カップに流入するようにされた請求項6に記載の真空成膜装置。 - 前記計量カップの下端に計量カップに蓄えられた蒸発材料を排出するための送り側開口が形成されており、
前記計量カップを収納するための水平方向に沿って配設された計量カップ用ハウジングをさらに備え、前記計量カップ及び前記計量カップ用ハウジングは前記蒸発材料保持容器に対する上側にあたる位置に配設されており、
前記計量カップ用ハウジングは、計量カップ上端の受け側開口を上方に開放して該受け側開口が前記シュート部材の下端を臨むように設けられており、前記計量カップを上側に収納する底板部を備え、該底板部の前記第二の位置にあたる部分には上下方向に貫通する蒸発材料供給孔が形成されており、
前記蒸発材料供給操作手段は、水平方向の前後に位置する前記第一の位置と第二の位置との間で前記計量カップを直線的に移動させるようにされており、
前記蒸発材料供給操作手段が計量カップを前記第二の位置に移動させると、計量カップにより計量された特定量の蒸発材料が、計量カップの送り側開口及び計量カップ用ハウジングの底板部の蒸発材料供給孔を通って蒸発材料保持容器に供給されるようにされた請求項7に記載の真空成膜装置。 - 前記蒸発材料供給操作手段が、板状をなす第一のリンクと、アーム状をなし基端が前記第一のリンクに連結され先端が前記計量カップ側に連結された第二のリンクと、前記板状の第一のリンクに対する垂直方向に配設され第一のリンクが固設された回転軸と、前記回転軸を往復回転させる往復回転手段とを備え、
前記往復回転手段が前記回転軸を往復回転させると、第一のリンクが回転軸とともに回転軸の回りに往復回転するとともに第二のリンクの先端が前後方向に直線的に往復移動し、前記計量カップが第一の位置と第二の位置との間を往復するようにされた請求項8に記載の真空成膜装置。 - 前記蒸発源は前記蒸発材料保持容器を複数備えており、該複数の蒸発材料保持容器は蒸発材料を蒸発させるための位置に配置されるとともに、前記蒸発材料定量供給装置により蒸発材料を供給されるための位置に配置されるようにされており、
複数の蒸発材料保持容器のうち蒸発材料を蓄えた一部の蒸発材料保持容器により蒸発材料を蒸発させている間に、蒸発材料を蓄えていない他の蒸発材料保持容器であり蒸発材料を供給されるための位置に配置された蒸発材料保持容器に、蒸発材料を供給するようにされた請求項5乃至9のいずれかに記載の真空成膜装置。 - 前記調整手段には送出した蒸発材料の粒子量を測定するための粒子量測定センサが設けられており、
前記粒子量測定センサにより蒸発材料の一定量を測定することにより、前記調整手段より一定量の蒸発材料を送出するようにされた請求項5乃至10のいずれかに記載の真空成膜装置。
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