JP2005158982A - Cvd装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 RF電極3は、フランジ30の下部に垂下され、RF電極3と、フランジ30は二つの吊り金具43によって一体化されている。CVD装置をメンテナンスする場合は、フランジ30のネジを外し、クレーン等によってフランジ部分を引き上げる。その結果、RF電極3はその面に沿ってスライド移動し、フランジ30の上昇に伴ってRF電極3が電極用開口部21から取り出される。成膜室内では、多数のRF電極3とヒータが平行に配置されているが、RF電極3を面方向に移動させて抜き出すので、RF電極3を抜き出す際に抜き出されるRF電極3が隣接するヒータ等と干渉することがない。
【選択図】 図7
Description
2 成膜室
3 RF電極
5 ヒータ
10 天面
21 電極用開口部
22 ヒータ用開口部
24 ガイド部材
30 フランジ
43 吊り金具
44 上部側周端
45 電気・ガス供給ユニット
46 電力供給部
47 ガス供給部
48 高周波電源(RF電源)
50 直流電源
52 マッチング回路
60 フランジ
Claims (9)
- 基体に対して薄膜を成膜するCVD装置であって、高周波電力が供給されてグロー放電を発生させる電極と、基体を加熱又は保温するヒータと、前記電極及びヒータが設置され基体を収納して基体に成膜を行う成膜室を有するCVD装置において、前記電極又はヒータの少なくともいずれかは面状であり、前記電極又はヒータの少なくともいずれかは成膜室に設置された状態から前記面に沿った方向に移動可能であり、成膜室を構成する壁面の一部であって電極又はヒータの移動方向の位置に開閉可能な開口部が設けられ、前記電極又はヒータの少なくともいずれかを面に沿った方向に移動させて前記開口部から成膜室の外部に取り出し可能であることを特徴とするCVD装置。
- 基体に対して薄膜を成膜するCVD装置であって、高周波電力が供給されてグロー放電を発生させる電極と、基体を加熱又は保温するヒータと、前記電極及びヒータが設置され基体を収納して基体に成膜を行う成膜室を有するCVD装置において、前記電極又はヒータの少なくともいずれかは略板状であり、成膜室を構成する壁面の一部であって前記電極又はヒータの少なくともいずれかの周端の一部と対向する位置に開閉可能な開口部が設けられ、前記電極又はヒータの少なくともいずれかを前記開口部から成膜室の外部に取り出し可能であることを特徴とするCVD装置。
- 成膜室には基体を出し入れする成膜室出入口が有り、前記電極又はヒータの少なくともいずれかは前記成膜室出入口以外から取り出されることを特徴とする請求項1又は2に記載のCVD装置。
- 前記開閉可能な開口部には蓋体が設けられ、当該蓋体を取り外すことによって開口部を開放可能であり、電極又はヒータは前記蓋体に取り付けられ、蓋体の取り外しに伴って電極又はヒータが成膜室から取り出されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のCVD装置。
- 蓋体はフランジ状であり、当該蓋体を閉じることによって成膜室の気密性が保持されることを特徴とする請求項4に記載のCVD装置。
- 前記開閉可能な開口部は成膜室の天面部に設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のCVD装置。
- 成膜室に設置された電極及びヒータはいずれも複数であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のCVD装置。
- 電極は板状であり、その両面が放電面として機能し、電極の両側に放電領域が形成され、各放電領域に基体が設置されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のCVD装置。
- 電極は板状であり、成膜室内に複数の電極が設置され、各電極にはそれぞれ個別の一つの高周波電源から個別のマッチング回路を介して高周波電力が供給され、各電極の両面が放電面として機能し、各電極の両側に放電領域が形成され、各放電領域に基体が設置されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のCVD装置。
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