JP2005158198A

JP2005158198A - 磁気ヘッドの製造方法および製造装置

Info

Publication number: JP2005158198A
Application number: JP2003398383A
Authority: JP
Inventors: Kazuaki Takanuki; 一明高貫; Osamu Shindo; 修進藤; Akemasa Nakao; 明正中尾; Satoru Yamaguchi; 哲山口
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2003-11-28
Filing date: 2003-11-28
Publication date: 2005-06-16
Anticipated expiration: 2023-11-28
Also published as: CN1315113C; CN1622203A; US20050115057A1; JP3971743B2

Abstract

【課題】サスペンションとアクチュエータブロックとを先に組み付けた状態であっても、スライダを後付けすることが可能になり、スライダがＥＳＤ等によって破壊されるのを防止することができる磁気ヘッドの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】まず対面する複数のサスペンションを押開き、スライダの取り付け対象となるサスペンションの先端に規定高さからなる隙間を形成する。そして把持機構に設けられた押圧面にてスライダの両側面を把持するとともに、この把持機構に形成された水平規制面にスライダのＡＢＳを当接させることでスライダの水平姿勢を規制する。次いで把持機構によって保持されたスライダを隙間へと挿入し、接続手段を介して前記スライダの背面を前記サスペンションの先端に取り付けるようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、磁気ヘッドの製造方法および製造装置に係り、特にアクチュエータブロックに取り付けられたサスペンションに対し、スライダの後取付をなすのに好適な磁気ヘッドの製造方法および製造装置に関する。

固定磁気記録装置（以下、ＨＤＤと称す）は、容量の増大とともに薄型化が進み、これに伴い磁気ヘッド（２０％、３０％スライダ）も小型化が進んでいる。

ところで従来の磁気ヘッドの製造工程では、ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive ）素子が形成されたスライダとサスペンションとを接合する際、まずスライダの外形を基準として前記スライダの位置決めを行う。そして前記スライダの位置決めを行った後は、当該スライダの背面側（ＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成された面の反対側）に接着剤を塗布するとともに、ツーリングホール等によって位置決めされたサスペンションの先端にスライダの背面側を接触させ、接着剤を介して双方を接合するようにしている。なおサスペンションの先端にスライダを移動させるには、スライダの面積より一回り小さな吸着ノズルが用いられるのが一般的である。

こうしてスライダとサスペンションとを接合し、ＨＧＡ（ヘッド・ジンバル・アッセンブリ）の形態にした後は、当該ＨＧＡをアクチュエータブロックに組み付けＨＳＡ（ヘッド・スタック・アッセンブリ）の形態とする（例えば、特許文献１を参照）。

特開平４−１７１７４号公報（［図４］、［図５］）

しかし上述した従来の磁気ヘッドの製造工程では、以下に示すような問題点があった。

すなわちスライダは、ＨＧＡとして組み立てられた後、さらにＨＳＡとして組み立てられる工程を経るので通過する工程が長く、このためＥＳＤ（Electro Static Discharge：静電気放電）などの要因によってスライダ内の素子が破壊されてしまうおそれがあった。そして前記ＨＧＡの組み立て段階では良品だったスライダが工程途中で不良になった場合、そのスライダの不良はＨＳＡ組み立て後に判明するので、完成品の歩留まりが低下するとともにコストダメージが大きなものになっていた。

このような問題点を解決するため、サスペンションとアクチュエータブロックとを先に組み付け、その後にスライダを後付する方式も考えられたが、ＨＳＡにおいては、磁気ディスクを挟み込む一対のサスペンションが対面しているので、従来の吸着ノズルを用いて鉛直方向からスライダの取り付けを行う方式では、前記吸着ノズルが対面する他方サスペンションに干渉してしまい、スライダの取り付けができないという問題があった。

本発明は、上記従来の問題点に着目し、サスペンションとアクチュエータブロックとを先に組み付けた状態であっても、スライダを後付けすることが可能な磁気ヘッドの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。

本発明は、アクチュエータブロックに取り付けられたサスペンションの先端高さを正確に保持するとともに、把持機構を用いてスライダを対面するサスペンション間に挿入すれば、スライダをサスペンション先端に取り付けることができるという知見に基づいてなされたものである。

すなわち本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、サスペンションにスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法であって、前記スライダの取り付け対象となる前記サスペンションの先端を規定高さに設定した後、把持機構に設けられた押圧面にて前記スライダの両側面を把持するとともに、この把持機構に形成された水平規制面に前記スライダのＡＢＳを当接させることで前記スライダの水平姿勢を規制し、前記把持機構によって保持された前記スライダを前記サスペンションの先端へと移動させるとともに、接続手段を介して前記スライダの背面を前記サスペンションの先端に取り付ける手順とした。

そして他の本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、アクチュエータブロックに取り付けられたサスペンションにスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法であって、対面する複数の前記サスペンションを押開き、前記スライダの取り付け対象となる前記サスペンションの先端に規定高さからなる隙間を形成した後、把持機構に設けられた押圧面にて前記スライダの両側面を把持するとともに、この把持機構に形成された水平規制面に前記スライダのＡＢＳを当接させることで前記スライダの水平姿勢を規制し、前記把持機構によって保持された前記スライダを前記隙間へと挿入し、接続手段を介して前記スライダの背面を前記サスペンションの先端に取り付ける手順とした。

また前記サスペンションに対する前記把持機構の挿入は、前記サスペンションの長手方向の側方より行い、前記スライダの端子電極が形成される面との干渉防止を図るようにすることが望ましく、さらに前記把持機構による前記スライダの保持は、前記押圧面で前記スライダの両側面を把持した後、前記把持機構を前記スライダに接近させ前記水平規制面を前記スライダのＡＢＳに当接させる手順とすることが好ましい。

一方、本発明に係る磁気ヘッドの製造装置は、サスペンションにスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造装置であって、
このサスペンションの先端を規定高さに保持する位置決め部材と、
互いに摺動可能な２ブロック構造体からなり、これらブロック体に押圧面をそれぞれ形成し前記押圧面による押圧にて前記スライダの把持を可能にするとともに、いずれか一方の前記ブロック体に前記スライダのＡＢＳとの当接をなす水平規制面を形成し前記スライダの水平規制をなす把持機構と、
前記サスペンションの先端の位置情報と前記把持機構により保持されたスライダの位置情報とを基に、前記把持機構を稼働させ前記サスペンションの先端にスライダを移動させるとともに前記スライダを前記サスペンションの先端に押付可能にする駆動手段とを少なくとも備えるように構成した。

さらに他の本発明に係る磁気ヘッドの製造装置は、アクチュエータブロックに取り付けられたサスペンションにスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造装置であって、
対面する複数の前記サスペンションの間に挿入し、前記スライダの取り付け対象となる前記サスペンションの先端を規定高さに保持し対面する前記サスペンションの間に隙間を形成する挿入部材と、
互いに摺動可能な２ブロック構造体からなり、これらブロック体に押圧面をそれぞれ形成し前記押圧面による押圧にて前記スライダの把持を可能にするとともに、いずれか一方の前記ブロック体に前記スライダのＡＢＳとの当接をなす水平規制面を形成し前記スライダの水平規制をなす把持機構と、
前記サスペンションの先端の位置情報と前記把持機構により保持されたスライダの位置情報とを基に、前記把持機構を稼働させ前記サスペンションの隙間にスライダを挿入するとともに前記スライダを前記サスペンションの先端に押付可能にする駆動手段とを少なくとも備えるように構成した。

そして前記把持機構は、前記サスペンションの長手方向の側方に配置され、前記スライダの端子電極が形成される面との干渉防止を図るようにすることが望ましい。

さらに前記押付面による前記スライダへの付勢力をこれらブロック体の間で不均等に設定し、付勢力が大きく設定された前記ブロック体の押圧にて前記把持機構に対する前記スライダの位置を設定することが望ましく、さらに回転軸が前記ブロック体の押圧にて設定された前記スライダの重心近傍を通過するよう前記把持機構に回転駆動手段を取り付け、この回転駆動手段の稼働にて前記把持機構とともに前記スライダの回転を可能にすることが好ましい。

また前記スライダの背面側に露出する前記押圧面の端部に面取部を形成し、当該面取部の両側に配置するブロック本体と前記スライダとに対し反射率を低減させることが望ましい。

上記構成によれば、まず複数のサスペンションが取り付けられたアクチュエータブロックを固定した後、複数の前記サスペンションの間に隙間が形成されるよう挿入部材を入れ込む。当該挿入部材を複数の前記サスペンションの間に入れ込めば、スライダの取り付け対象となすサスペンションの先端は、例えばアクチュエータブロックにおける基準面（例えば加工基準やＨＤＤへの取り付け基準面となる底面など）に対して、あらかじめ定めた高さに設定される。

一方、サスペンションへの取り付け対象となるスライダに対しては、当該スライダのＡＢＳが上面になるようその姿勢を整えた後、まず駆動手段によって把持機構を前記スライダの上方まで移動させる。そして把持機構をスライダの上方まで移動させた後は、前記把持機構の水平規制面がスライダのＡＢＳに接触する直前まで把持機構を降下させ、その後、２つのブロック体に形成された一対の対面する押圧面の間隔を狭め、スライダの両側部を把持する。そして前記スライダの両側部を把持した後は、更に把持機構を降下させ、水平規制面にスライダのＡＢＳ面を接触させ、スライダの姿勢を把持機構側に倣わせる。このようにスライダを押圧面によって把持した後に、水平規制面にＡＢＳを当接させれば、ＡＢＳが水平規制面と摺動することなく、当該ＡＢＳが損傷するのを防止することができる。

なおこうしてスライダを把持機構によって挟んだ際に、スライダの図心（重心）が回転駆動手段の回転軸と略一致するよう位置関係を設定しておけば、前記スライダの重心を基点とした回転が可能になるので、スライダの姿勢修正を最小限度の領域で行うことができる。

また押圧面の端部に面取りを形成しておけば、スライダ周囲の光の反射率がスライダの背面に対し低減する。このためスライダの輪郭が明確となり、画像認識によってスライダの外形を正確に把握することができる。

さらにスライダを押圧面によって把持する際、あらかじめ設定したブロック側の押圧面の付勢力を他方側より大きく設定しておけば、スライダを把持する際、当該スライダは、付勢力の大きい側のブロックに押され、付勢力の弱い側の摺動範囲内で移動する。このためスライダを把持する際、当該スライダの把持位置を特定することが容易になり、その後のスライダの位置検出等を容易に行うことが可能になる。

そして把持機構によってスライダの把持を行った後は、再び駆動手段を稼働させ、把持機構を挿入部材によって形成された複数のサスペンションの間の隙間に挿入する。なお把持機構を前記隙間に挿入する際、あらかじめサスペンションの先端位置と、取り付け対象となるスライダの位置とを画像認識等によって把握しておき、この位置情報を基に、駆動手段によってスライダをサスペンション先端の位置に合わせるようにすればよい。

ところでサスペンションの先端の高さ方向は挿入部材によって正確な寸法で管理されている。このため把持機構を高さ方向に移動させ、サスペンションの先端に対しスライダを接触させれば、過大な負荷をスライダやサスペンションに加えることなく、例えば事前にスライダの背面に塗布された接着剤や、半田による仮止め、あるいはこれらの組み合わせによる接続手段によって、サスペンションの先端に対しスライダを取り付けることが可能になる。

なお上述した説明は、サスペンションをアクチュエータブロックに取り付けた後にスライダの取付をなす手順を説明したが、この形態に限定されることもなく、例えばサスペンション単体にスライダを後付けしたり、あるいはサスペンションとアームとを組み付けた後にスライダを後付けしてもよい。
このような場合では、対面する側にサスペンションが位置していないため、スライダの取付対象となるサスペンションを押圧し、このサスペンションの先端をあらかじめ設定した高さまで移動させる。そしてサスペンションの先端を規定高さまで移動させた後は、アクチュエータブロックに取り付けられたサスペンションと同様、把持機構によってスライダを保持し、サスペンションの先端との位置合わせを完了させた後、前記サスペンションの先端にスライダを取り付ければよい。またサスペンションの押圧によって当該サスペンションの先端を規定高さに設定するだけでなく、例えば前記サスペンションにおける先端高さの設定は、図示しないステージ上にサスペンションを搭載して行うようにしてもよい。なお把持機構においては、スライダの側壁を把持し、その後、水平規制面にＡＢＳを密着させスライダの水平姿勢を整えるようにしたので、ＡＢＳが損傷することがない。このためスライダは安定した浮上姿勢および浮上量を得ることが可能になり良好な電気特性を得ることができる。

以上説明したように本発明によれば、アクチュエータブロックに取り付けられたサスペンションにスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法であって、対面する複数の前記サスペンションを押開き、前記スライダの取り付け対象となる前記サスペンションの先端に規定高さからなる隙間を形成した後、把持機構に設けられた押圧面にて前記スライダの両側面を把持するとともに、この把持機構に形成された水平規制面に前記スライダのＡＢＳを当接させることで前記スライダの水平姿勢を規制し、前記把持機構によって保持された前記スライダを前記隙間へと挿入し、接続手段を介して前記スライダの背面を前記サスペンションの先端に取り付けるようにしたり、あるいはアクチュエータブロックに取り付けられたサスペンションにスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造装置であって、対面する複数の前記サスペンションの間に挿入し、前記スライダの取り付け対象となる前記サスペンションの先端を規定高さに保持し対面する前記サスペンションの間に隙間を形成する挿入部材と、互いに摺動可能な２ブロック構造体からなり、これらブロック体に押圧面をそれぞれ形成し前記押圧面による押圧にて前記スライダの把持を可能にするとともに、いずれか一方の前記ブロック体に前記スライダのＡＢＳとの当接をなす水平規制面を形成し前記スライダの水平規制をなす把持機構と、前記サスペンションの先端の位置情報と前記把持機構により保持されたスライダの位置情報とを基に、前記把持機構を稼働させ前記サスペンションの隙間にスライダを挿入するとともに前記スライダを前記サスペンションの先端に押付可能にする駆動手段とを少なくとも備えるようにしたので、サスペンションとアクチュエータブロックとを先に組み付けた状態であっても、スライダを後付けすることが可能になり、スライダがＥＳＤ等によって破壊されるのを防止することができる。

以下に本発明に係る磁気ヘッドの製造方法および装置に好適な具体的実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。

図１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造装置の構造を示す装置説明図である。同図（１）に示すように本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造装置１０は、スライダ１２の取り付け対象となるサスペンション１４とこれに対面するサスペンション１６との間に差し込まれる挿入部材１８と、当該挿入部材１８のサスペンション間への差し込みによって形成される隙間２０に前記スライダ１２を挿入させ、当該スライダ１２をサスペンション１４の先端に取り付ける把持機構２２とを有している。

サスペンション１４とサスペンション１６とを押し開く挿入部材１８の位置は、アクチュエータブロック２４におけるＨＤＤ取り付け基準面２６に対し精度良く組み付けられており、この挿入部材１８をサスペンション１４とサスペンション１６との中腹部分に接触させることで、スライダ１２の取り付け対象となるサスペンション１４の先端部分をあらかじめ設定された寸法（図中、Ａ寸法）に精度良く保持させるようにしている。

一方、サスペンション１４の先端部分に対してスライダ１２の取り付けをなす把持機構２２は、２ブロックからなる構造体（詳細な構造については後述）で構成されている。なお同図（１）においては、把持機構２２をサスペンション１４およびサスペンション１６の先端側に図示しているが、これは把持機構２２が隙間２０に挿入されることを図示したものであり前記把持機構２２がサスペンション先端側（すなわちスライダ２２の端子電極が形成された側）より挿入されることを示すものではない。

隙間２０に把持機構２２が挿入される方向を同図（２）に示す。すなわち同図（２）に示すように前記把持機構２２は、図中矢印２８又は矢印３０に示す方向（サスペンションの長手方向の側方）または矢印３４に示す方向から挿入される。このとき把持機構２２は、スライダ１２の端子電極面以外を把持しているので、サスペンション１４の先端に取り付けた後、当該スライダ１２の先端側３２に形成された端子電極（図示せず）の電気的接続をなす機構が矢印３４の方向から接近してきた場合であっても、スライダ１２の電気的接続をなす機構と前記把持機構２２とが干渉することがない。

スライダ１２の把持するとともに、サスペンション１４への取り付けを行う把持機構２２を以下に説明する。

図２は、本実施の形態に係る把持機構の側面図であり、図３は、把持機構の開閉構造を示す説明図であり、図４は、図３の要部拡大図である。

これらの図に示すように、本実施の形態に係る把持機構２２は、前記スライダ１２の挟み込みが可能なように２つのブロック体となる第１ブロック３６と第２ブロック３８とで構成されている。

把持機構２２を構成する第１ブロック３６においては、その中央部に鉛直方向に延在する第１プレート部４０を備えており、その下方端部側には前記第１プレート部４０の側方からＬ字状に突出する第１突出片４２が形成されている。なお前記第１突出片４２の厚みは少なくとも把持対象となるスライダ１２の厚みよりも薄肉に形成されており、第１突出片４２の先端に形成された第１押圧面４４によってスライダ１２の側面を把持し当該スライダ１２を隙間２０へと挿入する際、前記第１突出片４２がサスペンション１４に干渉しないようにしている。

また第１ブロック３６における上方端部側には図示しないガイド機構が設けられており、第１押圧面４４に対し垂直方向にあらかじめ設定された範囲内で第１ブロック３６が往復移動できるようになっている。また第１ブロック３６においては、図３の矢印４６に示す方向に第１ブロック３６が付勢をなすよう、バネ（以下、第１バネと称す）が係止されている。

一方、第１ブロック３６とともに、把持機構２２を構成する第２ブロック３８も前記第１ブロック３６と同様、その中央部に鉛直方向に延在する第２プレート部４８を備えている。そして当該第２プレート部４８の下方端部側には、第２プレート４８の側方からＬ字状に突出する第２突出片５０が形成されている。なお第２突出片５０の先端部５２は中腹部５４に対し肉厚に形成されており、この中腹部５４から先端部５２に至る隆起部分に設けられた第２押圧面５６と、前記第１ブロック３６の先端に形成された第１押圧面４４とで、スライダ１２を把持可能にしている。また前記中腹部５４におけるスライダ１２のＡＢＳ５８と対面する側には水平規制面６０が設けられており、前記スライダ１２のＡＢＳ５８をこの水平規制面６０に密着させることで前記スライダ１２の姿勢を第２プレート部４８に倣わせることができる（スライダ１２を水平に把持することができる）。

また第２プレート部４８の上方端部側には、第１ブロック３６と同様、図示しないガイド機構が設けられており、第２押圧面５６に対し垂直方向にあらかじめ設定された範囲内で第２ブロック３８が往復移動できるようになっている。また第２ブロック３８においては、図３の矢印６２に示す方向に第２ブロック３８が付勢をなすよう、バネ（以下、第２バネと称す）が係止されている。なお本実施の形態においては第２バネよりも第１バネの力を強大にし、第２ブロック３８の付勢力に対して第１ブロック３６の付勢力が大きくなるように設定した（この付勢力の大小関係を図３における矢印４６と矢印６２の大きさで示す）。

このように第１ブロック３６と第２ブロック３８との付勢力の差を積極的に持たせれば、スライダ１２の一方の面位置は、第１ブロック３６の付勢力によって可動端面まで移動した第１押圧面４４を基準として位置決めされ、第２ブロック３８の第２押圧面５６はスライダ１２のもう一方の面の位置で決定される。このようにしてスライダ把持時におけるスライダ１２と把持機構２２との相対位置を一定に保つことが可能になる。

ところでばね付勢によって密着する第１ブロック３６と第２ブロック３８との拡開は、これら第１ブロック３６と第２ブロック３８の上方に配置されたエアシリンダ６４によって行われる。すなわち第１ブロック３６と第２ブロック３８には一対のローラ６６が配置されており、この一対のローラ６６に前記エアシリンダ６４のロッド６８を接触させれば、第１ブロック３６および第２ブロック３８の付勢力に打ち勝ち、これらブロック間を拡開させることができる。ゆえに前記エアシリンダ６４のロッド６８を往復移動させれば、これに応じてブロック間を開閉させることが可能になる。

またこれら第１ブロック３６および第２ブロック３８のさらに上方には、これらブロック３６、３８をＺ軸７０まわりに回転させる回転駆動手段となるサーボモータ７２が設けられている。なおサーボモータ７２の軸心となるＺ軸７０は、把持機構２２に保持されたスライダ１２の重心（図心）を通過するように設定されており前記スライダ１２の傾きを補正する際、スライダ１２がＺ軸７０より外れることがないので、装置自体の小型化を達成することができる。ところで本実施の形態では、把持機構２２に保持されたスライダ１２の重心（図心）をＺ軸７０が通過するように設定したが、この形態に限定されることもなく、例えば設計上の制約（例えばスペース等）によって、スライダ１２の重心（図心）をＺ軸７０が通過できない場合には、可能な限りＺ軸７０をスライダ１２の重心（図心）に接近させればよい。このように可能な限りＺ軸７０をスライダ１２の重心（図心）に接近させるようにすれば、スライダの傾き補正を最小限の範囲内で行うことが可能になる。

ところでスライダ１２を把持する第１押圧面４４と第２押圧面５６の縁部には面取部７４が形成されており、スライダ１２の背面７６と比較して鉛直方向の光の反射率が低減するように設定されている。

図５は、面取部の有無による画像認識の違いを示す説明図であり、同図（１）は面取部が無い場合の画像であり、同図（２）は面取部が有る場合の画像である。これらの図に示すように、第１押圧面４４と第２押圧面５６の縁部に面取部７４が無い場合は、スライダ１２の縁部境界線が不明確となり、スライダ１２の位置検出精度が低減するおそれがある。しかし同図（２）に示すように第１押圧面４４と第２押圧面５６の縁部に面取部７４が設けられている場合は、スライダ１２の縁部境界線が明確となり、スライダ１２の位置検出精度を向上させることができるのである。

なお上述した把持機構２２は、図示しないサーボモータ等の駆動手段に接続されており、図示しないカメラにて検出されたスライダ１２の外形および重心（図心）ならびにスライダ１２の取り付け対象となるサスペンション１４の先端の位置情報を基に、駆動手段は把持機構２２によりスライダ１２の把持を行うとともに、把持されたスライダ１２をサスペンション間の隙間２０に挿入し、当該スライダ１２を取り付け対象となるサスペンション１４の先端に押付可能にしている。

このように構成された磁気ヘッドの製造装置１０を用いれば、まず複数のスライダ１２が収容されたトレイ、あるいはこのトレイから仮置き台等に移動したスライダ１２を画像認識カメラで撮影し、その位置情報を把握する。そしてこのスライダ１２の位置情報を基に、駆動手段で把持機構２２をスライダ１２の上方に移動させるとともに、エアシリンダ６４のロッド６８を伸長させ、第１ブロック３６と第２ブロック３８とを離反させる。そして離反された両ブロック３６、３８を、第１押圧面４４と第２押圧面５６との距離をスライダ１２の幅方向より広くさせた後は、エアシリンダ６４のロッド６８を引き込み、両ブロック３６、３８の移動させ第１押圧面４４と第２押圧面５６によってスライダ１２を把持する。

図６は、第１押圧面と第２押圧面によるスライダの保持手順を示す説明図である。すなわち同図（１）に示すように、スライダ１２を挟み込む場合には、まずスライダ１２のＡＢＳ５８と水平規制面６０を離反させた状態で、スライダ１２を第１押圧面４４と第２押圧面５６とで挟み込む。そして第１押圧面４４と第２押圧面５６とでスライダ１２を挟み込んだ後は、同図（２）に示すように、把持機構２２を降下させ、水平規制面６０をＡＢＳ５８に当接させる。同図（１）から同図（２）に至る手順でスライダ１２の保持を行えば、ＡＢＳ５８が水平規制面６０に対し摺動（いわゆる横滑り）が発生しないので、ＡＢＳ５８に傷等がつくのを防止することができる。

こうして把持機構２２によってスライダ１２を保持した後は、スライダ１２の背面７６にサスペンション１４との接合用に接続手段となる接着剤を塗布するとともに、あらかじめ画像処理によって位置検出がなされたサスペンション１４の先端までスライダ１２を移動させる。なおスライダ１２の傾きについては、スライダ１２が隙間２０に挿入されるまでに補正されればよい。そしてサスペンション１４の先端に対するスライダ１２のＸＹ方向の位置決め、およびＺ軸７０回りの補正が完了した後は、把持機構２２を下降させ、前記接着剤によってサスペンション１４にスライダ１２を取り付ければよい。

なお本実施の形態では、挿入部材１８によってサスペンション１４の先端は精度良く保たれているので（図１のＡ寸法）、スライダ１２には過大な負荷（あるいはその逆）といった設定値から外れる負荷が加わることがない。このためスライダ１２のサスペンション１４に対する取り付けを精度良く行うことができる。そしてスライダ１２を後付するためにＥＳＤ等により前記スライダ１２が損傷するのを防止することが可能になる。

なお本実施の形態では、把持機構２２を２ピース構造としたが、この形態に限定されることもなく、例えば、把持機構２２を３ピース構造とし、これらブロックに第１押圧面、第２押圧面、水平規制面とをそれぞれ独立して形成してもよい。このように３ピース構造を用いれば、スライダ１２を保持する際、より細かな制御を行うことが可能になる。

さらに本実施の形態では、サスペンションをアクチュエータブロックに取り付けた後にスライダの取付をなす手順を説明したが、この形態に限定されることもなく、例えばサスペンション単体にスライダを後付けしたり、あるいはサスペンションとアームとを組み付けた後にスライダを後付けしてもよい。
このような場合では、対面する側にサスペンションが位置していないので上述した挿入部材１８に代えて位置決め部材を設置すればよい。そして当該位置決め部材をサスペンションの中腹部分の押圧をなす押圧部材とすれば、この押圧部材によって前記サスペンションの先端をあらかじめ設定した値になるまで移動させ、この先端の高さの設定が完了した後は、上述した把持機構２２を用いてスライダ１２の取付を行えばよい。なお位置決め部材は前記押圧部材に限定されることもなく、例えば押圧部材に代えて位置決め部材にステージを適用し、この図示しないステージ上にサスペンションを搭載して前記サスペンションにおける先端高さの設定を行うようにしてもよい。

ここで前記把持機構２２においては、スライダ１２の側壁を把持した後、水平規制面６０にＡＢＳを密着させスライダの水平姿勢を整えるようにしたので、ＡＢＳが損傷することがない。このため浮上姿勢および浮上量が安定したＨＧＡ（ヘッドジンバルアッセンブリィ）や、ＨＧＡとアームとを取り付けたＨＡＡ（ヘッドアームアッセンブリィ）を得ることができ、これらＨＧＡやＨＡＡをＨＤＤに組み込んだ際、良好な電気特性を得ることができる。

本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造装置の構造を示す装置説明図である。本実施の形態に係る把持機構の側面図である。把持機構の開閉構造を示す説明図である。図３の要部拡大図である。面取部の有無による画像認識の違いを示す説明図であり、同図（１）は面取部が無い場合の画像であり、同図（２）は面取部が有る場合の画像である。第１押圧面と第２押圧面によるスライダの保持手順を示す説明図である。

符号の説明

１０………磁気ヘッドの製造装置
１２………スライダ
１４………サスペンション
１６………サスペンション
１８………挿入部材
２０………隙間
２２………把持機構
２４………アクチュエータブロック
２６………ＨＤＤ取り付け基準面
２８………矢印
３０………矢印
３２………先端側
３４………矢印
３６………第１ブロック
３８………第２ブロック
４０………第１プレート部
４２………第１突出片
４４………第１押圧面
４６………矢印
４８………第２プレート部
５０………第２突出片
５２………先端部
５４………中腹部
５６………第２押圧面
５８………ＡＢＳ
６０………水平規制面
６２………矢印
６４………エアシリンダ
６６………ローラ
６８………ロッド
７０………Ｚ軸
７２………サーボモータ
７４………面取部
７６………背面

Claims

サスペンションにスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法であって、前記スライダの取り付け対象となる前記サスペンションの先端を規定高さに設定した後、把持機構に設けられた押圧面にて前記スライダの両側面を把持するとともに、この把持機構に形成された水平規制面に前記スライダのＡＢＳを当接させることで前記スライダの水平姿勢を規制し、前記把持機構によって保持された前記スライダを前記サスペンションの先端へと移動させるとともに、接続手段を介して前記スライダの背面を前記サスペンションの先端に取り付けるようにしたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
アクチュエータブロックに取り付けられたサスペンションにスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法であって、対面する複数の前記サスペンションを押開き、前記スライダの取り付け対象となる前記サスペンションの先端に規定高さからなる隙間を形成した後、把持機構に設けられた押圧面にて前記スライダの両側面を把持するとともに、この把持機構に形成された水平規制面に前記スライダのＡＢＳを当接させることで前記スライダの水平姿勢を規制し、前記把持機構によって保持された前記スライダを前記隙間へと挿入し、接続手段を介して前記スライダの背面を前記サスペンションの先端に取り付けるようにしたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
前記サスペンションに対する前記把持機構の挿入は、前記サスペンションの長手方向の側方より行い、前記スライダの端子電極が形成される面との干渉防止を図るようにしたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の磁気ヘッドの製造方法。
前記把持機構による前記スライダの保持は、前記押圧面で前記スライダの両側面を把持した後、前記把持機構を前記スライダに接近させ前記水平規制面を前記スライダのＡＢＳに当接させる手順としたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の磁気ヘッドの製造方法。
サスペンションにスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造装置であって、
このサスペンションの先端を規定高さに保持する位置決め部材と、
互いに摺動可能な２ブロック構造体からなり、これらブロック体に押圧面をそれぞれ形成し前記押圧面による押圧にて前記スライダの把持を可能にするとともに、いずれか一方の前記ブロック体に前記スライダのＡＢＳとの当接をなす水平規制面を形成し前記スライダの水平規制をなす把持機構と、
前記サスペンションの先端の位置情報と前記把持機構により保持されたスライダの位置情報とを基に、前記把持機構を稼働させ前記サスペンションの先端にスライダを移動させるとともに前記スライダを前記サスペンションの先端に押付可能にする駆動手段とを少なくとも備えたことを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。
アクチュエータブロックに取り付けられたサスペンションにスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造装置であって、
対面する複数の前記サスペンションの間に挿入し、前記スライダの取り付け対象となる前記サスペンションの先端を規定高さに保持し対面する前記サスペンションの間に隙間を形成する挿入部材と、
互いに摺動可能な２ブロック構造体からなり、これらブロック体に押圧面をそれぞれ形成し前記押圧面による押圧にて前記スライダの把持を可能にするとともに、いずれか一方の前記ブロック体に前記スライダのＡＢＳとの当接をなす水平規制面を形成し前記スライダの水平規制をなす把持機構と、
前記サスペンションの先端の位置情報と前記把持機構により保持されたスライダの位置情報とを基に、前記把持機構を稼働させ前記サスペンションの隙間にスライダを挿入するとともに前記スライダを前記サスペンションの先端に押付可能にする駆動手段とを少なくとも備えたことを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。
前記把持機構は、前記サスペンションの長手方向の側方に配置され、前記スライダの端子電極が形成される面との干渉防止を図るようにしたことを特徴とする請求項５または請求項６に記載の磁気ヘッドの製造装置。
前記押付面による前記スライダへの付勢力をこれらブロック体の間で不均等に設定し、付勢力が大きく設定された前記ブロック体の押圧にて前記把持機構に対する前記スライダの位置を設定することを特徴とする請求項５または請求項６に記載の磁気ヘッドの製造装置。
回転軸が前記ブロック体の押圧にて設定された前記スライダの重心近傍を通過するよう前記把持機構に回転駆動手段を取り付け、この回転駆動手段の稼働にて前記把持機構とともに前記スライダの回転を可能にしたことを特徴とする請求項８に記載の磁気ヘッドの製造装置。
前記押圧面の縁部に面取部を形成し、当該面取部の両側に配置するブロック本体と前記スライダとに対し反射率を低減させたことを特徴とする請求項５または請求項６に記載の磁気ヘッドの製造装置。