JP2005156555A - 磁気誘導式流量測定機器の動作のための方法 - Google Patents

磁気誘導式流量測定機器の動作のための方法 Download PDF

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Abstract

【課題】磁気誘導式流量測定機器のユーザに付加利用価値を提供する磁気誘導式流量測定機器の動作のための方法を提供することである。
【解決手段】上記課題は、流れる媒体にひたされている2つの電極の間には予め設定された電流が印加され、これら2つの電極の間に又はこれら2つの電極のうちの1つと流れる媒体にひたされている1つの別の電極との間に現れる電圧が測定され、印加された電流の測定された電圧に対する比から抵抗値がもとめられることによって解決される。
【選択図】図1

Description

本発明は、流量測定機器は導電性媒体が貫流する測定管、媒体とガルヴァニックに導電的に接続している少なくとも2つの電極及び少なくとも1つの磁気コイルを有し、この少なくとも1つの磁気コイルによって媒体を少なくとも部分的に貫通する磁界が発生される、磁気誘導式流量測定機器の動作のための方法に関する。
磁気誘導式流量測定機器及び冒頭に挙げた種類の磁気誘導式流量測定機器の動作のための方法は既に以前から周知であり、様々な使用領域において多様に使用されている。流れる媒体に対する磁気誘導式流量測定機器の基本原理はファラデーにまでさかのぼり、彼は1832年に流速測定のための電気力学的誘導の原理を適用することを提案した。ファラデーの誘導法則の後では電荷担体を共に運びかつ磁界を貫流する流れる媒体において流れ方向及び磁界に対して垂直に電界強度が生じる。ファラデーの誘導法則は、磁気誘導式流量測定機器において、一般的にそれぞれ磁気コイルを有する2つの磁極から成るマグネットが大抵の場合流れ方向に垂直に磁界を測定管の中で発生することによって利用される。この磁界内部では、磁界を貫いて運動しかつある程度の個数の電荷担体を有する流れる媒体の各ボリュームエレメントがこのボリュームエレメントにおいて生じる電界強度によって測定電極を介して取り出し可能な測定電圧に寄与する。
測定電極は周知の磁気誘導式流量測定機器においては、ガルヴァニックに又は容量的に流れる媒体と結合されるように構成される。本発明は測定電極の流れる媒体とのガルヴァニックな結合が存在するような流量測定機器に関する。磁気誘導式流量測定機器の特徴は結局は測定電圧と測定管の断面に亘る媒体の平均流速との間の、すなわち測定電圧と体積流量との間の比例関係である。
本来の流量測定動作では磁気誘導式流量測定方法では一般的に磁界が時間的に交互に切り替えられる。このために交流磁界の使用のような様々なやり方が周知であり、とりわけすなわちマグネットの磁気コイルを直接的に電源へ接続し、この結果、正弦波状の50Hz交流磁界が生じる。しかし、今日ではトランスの妨害電圧及び電源妨害電圧を回避するために一般的にはスイッチングされる直流磁界によって作動される。このようなスイッチングされる直流磁界は、マグネットの磁気コイルに時間的に矩形状の経過を有する電流が供給されることによって得られ、この電流はその極性が時間的に交互に変化する。しかし、脈動する直流磁界による磁気誘導式流量測定も可能であり、この脈動する直流磁界はマグネットの磁気コイルに単に周期的に時間的に矩形状の、常に同じ極性を有する電流が供給されることによって得られる。しかし、界磁電流が周期的に極性転換される方法は有利である。なぜなら、磁界の極性の変化によって化学的妨害パラメータのような妨害パラメータが抑圧されうるからである。
流量に比例する測定電極間の電圧は一般的に非常に小さく、すなわちマイクロボルト領域にある。この電圧は高い分解能(約100nV)によって測定されなければならない。さらに、測定周波数はスイッチングされる直流磁界の原理によって作動する公知の磁気誘導式流量測定機器においては1〜100Hzの領域にある。
磁気誘導式流量測定機器による流量測定の方法は実質的に充分に導電性のある媒体への要求によってのみ限定される。しかし、媒体の導電率はしばしば既知ではない。従って、簡単なやり方で測定管を貫流する媒体の導電率が検出できる磁気誘導式流量測定機器は磁気誘導式流量測定機器のユーザに付加利用価値を提供する。磁気誘導式流量測定機器のユーザに対する更に別の付加利用価値は、電極のリーケージを識別することができることにあり、電極の、大抵の場合は測定管の底部にある基準電極の後ろに液体が集まる状態を識別することができることにある。
本発明の課題は、磁気誘導式流量測定機器のユーザに付加利用価値を提供する磁気誘導式流量測定機器の動作のための方法を提供することである。
上記課題は、冒頭に挙げた方法から出発して、流れる媒体にひたされている2つの電極の間には予め設定された電流が印加され、これら2つの電極の間に又はこれら2つの電極のうちの1つと流れる媒体にひたされている1つの別の電極との間に現れる電圧が測定され、印加された電流の測定された電圧に対する比から抵抗値がもとめられることによって解決される。
電極は基本的に磁気誘導式流量測定機器の任意の電極である。一般に磁気誘導式流量測定機器は少なくとも2つの測定電極を有し、これら2つの測定電極は互いに対向配置されており、これらの測定電極の接続ラインは媒体のフロー方向に対しても磁界方向に対しても垂直である。さらに、磁気誘導式流量測定機器においては更に別の電極が設けられており、すなわち、基準電極が大抵の場合測定管の底部に設けられ、さらに充填レベル監視電極が測定管の上部内壁領域に設けられている。この場合、例えばほんの部分的に充填された測定管は基準電極と測定電極との間の抵抗が非常に高いことによって検出される。なぜなら、測定管を貫流する導電性媒体が充填レベル監視電極にまで達していないからである。
本発明によれば、印加された電流の測定された電圧に対する比からもとめられる抵抗値はこの磁気誘導式流量測定機器のユーザに以下において詳しく挙げるような様々な付加利用価値を可能にする。
本発明の有利な実施形態によれば、印加された電流の測定された電圧に対する比からもとめられる抵抗値によって、測定管を貫流する媒体の導電率がもとめられる。測定管を貫流する媒体のこの導電率値は次いで磁気誘導式流量測定機器においてさらに処理され、付加的に又は代替的にユーザへの導電率値の出力が行われる。本発明の特に有利な実施形態によれば、この場合、測定管を貫流する媒体の導電率Kは次の式
K=c(1/R)
によって決定され、ここでcは定数であり、Rは印加された電流の測定された電圧に対する比からもとめられる抵抗値である。本発明のきわめて有利な実施形態によれば、とりわけ直径dを有する円形状の電極の場合には、定数cの代わりに値1/(2d)を使用する。
原理的には2つの電極の間に印加される電流として任意の電流が使用される。とりわけ印加される電流は交流電流又は周期的に矩形状の経過を有する電流である。本発明の有利な実施形態によれば、この場合、印可される電流の振幅は10μA、有利にはμAを超えない。
さらに、本発明の有利な実施形態によれば、印加される電流は100〜500Hzまでの領域の周波数を有する。本発明のこの有利な実施形態は、次のような観察に基づいている。すなわち、約100Hzと約500Hzとの間の周波数領域では、電極の抵抗は、ところで周知のように電気化学的な二重層によって形成される電極から貫流媒体への中間領域によっても決定されるのだが、周波数に依存する。ガルヴァニックエレメントを形成する二重層は、すなわち、100〜500Hzまでの周波数の外側では周波数が上昇すると抵抗が低下するという周波数依存性を示す。しかし、100〜500Hzまでの周波数の内部では、抵抗は実質的に一定である。オームの法則が適用されうるのである。
印加される電流に対して相対的な電圧の測定は様々なやり方で行われる。しかし、有利な実施形態によれば、電圧の測定は印加される電流に対して位相固定的に行われる。このやり方によって実部抵抗成分と虚部抵抗成分とは区別され、絶対値又は実部抵抗成分が抵抗値の決定のために使用される。
本発明の有利な実施形態によれば、2つの電極は測定電極として設けられる。この場合、予め設定された電流が測定電極の間に印加され、これらの測定電極の間に現れる電圧が測定され、抵抗値として測定電極の間に現れる電圧の測定電極の間に印加される電流に対する比が使用される。これは、電圧が測定されるのと同じ電極の間に電流が印加される2点測定に相応する。
本発明の別の有利な実施形態によれば、2つの電極は測定電極として設けられ、さらに別の電極が基準電極又は充填レベル監視電極として設けられる。この場合、予め設定された電流が測定電極とさらに別の電極との間に印加され、測定電極の間に現れる電圧が測定され、抵抗値として測定電極の間に現れる電圧の測定電極と更に別の電極との間に印加される電流に対する比が使用される。これは3点測定である。前述した本発明の有利な実施例のようにこの場合でも、このやり方で得られる抵抗値は詳細はもう述べたが例えば測定管を貫流する媒体の導電率の決定のために使用される。
さらに、本発明の有利な実施形態によれば、2つの電極が測定電極として設けられ、さらに別の電極が基準電極又は充填レベル監視電極として設けられ、予め設定された電流が1つの測定電極と1つの更に別の電極との間に印加され、測定電極の間に現れる電圧が測定され、測定される電圧の印加された電流に対する比から第1の抵抗値がもとめられ、予め設定された電流がもう1つの測定電極と1つの更に別の電極との間に印加され、この場合測定電極の間に現れる電圧が測定され、測定される電圧の印加された電流に対する比から第2の抵抗値がもとめられ、第1の抵抗値の第2の抵抗値に対する比及び/又は差が形成され、形成された比乃至は形成された差が予め設定された値域の外にある場合には、2つの測定電極のうちの少なくとも1つの測定電極のクリティカルな付着物が検出される。とりわけこの場合、2つの測定電極のうちの少なくとも1つの測定電極のクリティカルな付着物に関する状態出力が行われる。
2つの電極が測定電極として設けられ、更なる電極として基準電極及び充填レベル監視電極が設けられる場合には、本発明の更に別の有利な実施形態によれば、予め設定された電流が1つの測定電極と1つの更に別の電極との間に印加され、この際にこれらの測定電極の間に現れる電圧が測定され、測定された電圧の印加された電流に対する比から第1の抵抗値がもとめられ、予め設定された電流が別の測定電極と更に別の電極との間に印加され、この際にこれらの測定電極の間に現れる電圧が測定され、測定された電圧の印加された電流に対する比から第2の抵抗値がもとめられ、予め設定された電流が基準電極と充填レベル監視電極との間に印加され、この際に基準電極と充填レベル監視電極との間に現れる電圧が測定され、測定された電圧の印加された電流に対する比から第3の抵抗値がもとめられ、第3の抵抗値が第1の抵抗値と第2の抵抗値の和から予め設定された絶対値よりも大きく偏差している場合には、クリティカルな状態が検出される。
とりわけこうして本発明の有利な実施形態によれば、基準電極のリーケージも検出可能である。基準電極のこのようなリーケージは本発明のこの有利な実施形態では、第3の抵抗値が第1の抵抗値と第2の抵抗値との和よりも、予め設定された絶対値よりも大きい値だけ小さいことによって検出される。相応のことは、基準電極の後ろに媒体がリーケージのために集まった場合にも生じる。これによって基準電極の抵抗が予期したよりも小さくなる。なぜなら、表面積が拡大するからである。とりわけ本発明の有利な実施形態によれば、この場合、状態出力「リーケージ」が出力される。さらに、この場合、値又は指示の全ての他の上述された出力のように、これらが磁気誘導式流量測定機器のローカル表示部を介して及び/又は流量測定機器のデジタルインターフェースを介して出力されうる。
もとめられた抵抗値は時間的に様々なやり方でもとめられうる。しかし、本発明の有利な実施形態によれば、複数の抵抗値の検出の際にこれらは時間的に連続して次々にもとめられる。この場合、これらの抵抗値は後続処理なしに直接使用されうる。しかし、本発明の有利な実施形態によれば、基本的には各抵抗値に対して時間平均化及び/又はローパスフィルタリングが実施される。
抵抗値の決定は基本的には流量測定の間に行われる。しかし、本発明の有利な実施形態によれば、抵抗値の決定の間には流量測定は行われない。とりわけ交流磁界又はスイッチングされる直流磁界の形式における磁界の使用の際には、抵抗値の決定は磁界の切り替えフェーズに行われる。
基本的には、磁気誘導式流量測定機器の動作のための本発明の方法は各磁気誘導式流量測定機器によって実施される。これらの各磁気誘導式流量測定機器は相応の電極を有し、さらに相応の電流の印加及び相応の電圧の測定を許容する。しかし、電極までの導線のシールドに関しては、本発明の有利な実施形態では、ケーブル容量の影響を低減するために電気的に各電極の電位にもたらされる。
本発明の有利な実施例を図面に示して説明する。
図1には概略的に本発明の方法による使用のための磁気誘導式流量測定機器が示されている。磁気誘導式流量測定機器は測定管1、2つの測定電極2、3、基準電極4及び充填レベル監視電極5を有する。この測定管1を貫通する磁界の発生のためにさらに2つの磁気コイル6を有するマグネットが設けられる。
電流Iは1つの電極2、3、4、5からもう1つの電極2、3、4、5に印加され、2つの電極2、3、4、5の間の電圧降下Uが測定されると、オームの法則を介して関与する電極の抵抗Rが次式
R=U/I
によって決定される。
既に述べたように、電極2、3、4、5から媒体への中間領域は電気化学的な二重層によって形成される。これはガルヴァニックエレメントとして非常に敏感で、電流フローに依存し、その抵抗はとりわけ周波数に依存する。よって、電極抵抗の周波数経過は原理的に図2に図示されているように表されることが確認される。領域f<f<fでは、電極抵抗はまったくオーム抵抗的である。円形状の電極2、3、4、5の場合にはこの領域において例えば
K=1/(2dR)
が成り立ち、この場合、Kは測定管1を貫流する媒体の導電率、Rは電極抵抗、dは電極直径である。
印加された電流の周波数に対する電極抵抗の依存性のこの確認は、fとfとの間の周波数領域を離れないことに対する理由である。ところで、実際には、有効利用可能な周波数領域の下限乃至は上限は約100Hz乃至は500Hzにあることがわかっている。
ここに記述される方法の基礎は基本的に次のようなやり方である:2つの電極2、3、4、5の間に予め設定された電流を印加する。個別にこれはどの電極でありうるのか及びこれによって何を目的とするのかは、後で詳しく述べる。この印加される電流は例えば矩形状の経過及び100Hzと500Hzとの間の周波数を有する交流電流であり、この結果、先に述べたように、電極抵抗の以下に挙げる決定の際に実質的に全くのオーム抵抗に帰する。
さらに、2つの電極2、3、4、5の間において印加された電流に基づいて発生した電圧が測定され、一方ではこれらの電極2、3、4、5はちょうど予め設定された電流が印加された2つの電極である。この場合、2点測定が行われるのである。他方では、電流が印加される2つの電極のうちのただ1つの電極と電極2、3、4、5との間でも電圧が測定される。最後に、印加された電流の測定された電圧に対する比から抵抗値がもとめられる。この抵抗値によって、例えば測定管を貫流する媒体の導電率がもとめられ、すなわち前述のように、円形状の電極2、3、4、5の場合には、式K=1/(2dR)によってもとめられる。このように決定された導電率はついで流量の他に付加的な測定値として出力され、これは磁気誘導式流量測定機器のユーザに付加利用価値を提供する。
電極抵抗は様々なやり方で決定される:例えば、1つの測定電極2、3と基準電極4との間に電流が印加され、2つの測定電極2、3の間で電圧が測定される。これは3点測定であり、測定電極2、3のうちの1つの抵抗だけが、すなわち測定電極2の抵抗だけが又は測定電極3の抵抗だけが決定される。上記の2点測定、すなわち例えば2つの測定電極2、3の間に電流を印加して同様に測定電極2、3の間の電圧を測定する場合には、抵抗値として、一方で測定電極2及び他方で測定電極3に対する抵抗値の和が得られる。
さらに、予め設定された電流が基準電極4と充填レベル監視電極5との間にも印加され、この場合も基準電極4と充填レベル監視電極5との間で電圧が測定される。抵抗値として測定された電圧の印加された電流に対する比からこの場合には一方で基準電極4と他方で充填レベル監視電極5に対する抵抗の和が得られる。これも2点測定に相応する。
全ての電極が構造上同じである場合には、2点測定においてもとめられる抵抗値は3点測定においてもとめられる測定値のちょうど2倍の大きさであるはずであり、一方で2点測定においても及び他方で3点測定においてもとめられる抵抗値は常に等しいはずである。
磁気誘導式流量測定機器には常に測定電極2、3が存在するので、測定管1を貫流する媒体の導電率は常に2つの次の式のうちの1つから決定される:
Figure 2005156555
ただしここでKは測定管1を貫流する媒体の導電率であり、dは電極2、3、4、5の直径であり、Rは測定電極2の抵抗値であり、Rは測定電極3の抵抗値であり、それぞれ3点測定によってもとめられ、さらにR23は2点測定によってもとめられる測定電極2及び3いっしょの抵抗値である。
実際に存在する抵抗値R及びRは信頼できる導電率測定において大体のところ同じ大きさでなければならない。RとRとの比が1の周囲の(例えば0.8〜1.2の)予め設定された又は調整可能なインターバル内にない場合には、測定電極2、3のうちの1つの測定電極のクリティカルな付着物を想定しなければならない。いずれにせよ、この場合、測定電極2、3のうちの一方は他方よりも付着物がより多く付着していると認められる。このような場合には、状態メッセージ「電極付着物」が磁気誘導式流量測定機器から出力される。
図1に示されいるように磁気誘導式流量測定機器に4つの電極2、3、4、5が存在する場合、すなわち、2つの測定電極2、3、基準電極4及び充填レベル監視電極5が存在する場合、付加的な診断は基準電極4及び充填レベル監視電極5を介して行われうる。基準電極4と充填レベル監視電極5との間の2点測定によってもとめられる基準電極4及び充填レベル監視電極5いっしょの抵抗値が測定電極2及び測定電極3の抵抗値の和の周囲の予め設定された又は調整可能なインターバルの中にある場合には、ノーマル動作が存在しており、全ては問題なく作動している。しかし、基準電極4及び充填レベル監視電極5いっしょの抵抗値が測定電極2の抵抗値及び測定電極3の抵抗値の和よりもはるかに大きい場合には、測定管1は一般的に完全には充填されておらず、状態メッセージ「測定管はフルに充填されてはいない」が出力される。同じ状態メッセージは、基準電極4及び充填レベル監視電極5いっしょの抵抗値が予め設定された又は調整可能な絶対閾値を超えた場合にも出力される。この絶対閾値が測定電極2及び測定電極3の抵抗値によっても超えられた場合には、状態メッセージ「測定管は空である」が出力される。
さらに、基準電極4及び充填レベル監視電極5いっしょの抵抗値が測定電極2及び測定電極3の抵抗値の和よりも予め設定された大きさだけ小さい場合には、電極リーケージが存在し基準電極4の後ろに液体が集まったと想定される。これによって基準電極4の抵抗は予期したよりも小さくなる。なぜなら、表面積が拡大するからである。この場合には状態メッセージ「電極リーケージ」が出力される。
要するに、各状態メッセージは状態出力側を介して、さらに磁気誘導式流量測定機器のローカル表示部及び/又はデジタルインターフェースを介して出力される。さらに、抵抗測定は同時にではなく連続して次々とおこなわれる。4つの電極、測定電極2、3、基準電極4及び充填レベル監視電極5の場合には、すなわち例えば次々に測定電極2の抵抗、測定電極3の抵抗及び基準電極4及び充填レベル監視電極5いっしょの抵抗が決定される。この場合、各抵抗値毎に平均化又はローパスフィルタリングが行われる。
既に上で述べたように、磁気誘導式流量測定機器にはとりわけ長い導線が設けられ、電極2、3、4、5への導線には、それぞれ電気的に整合されるシールドが設けられており、この結果、シールドがそれぞれの電極2、3、4、5の電位にもたらされることによってケーブル容量の影響が低減されうる。
きわめて重要なポイントは、上記の本発明の有利な実施例では抵抗測定のための測定周波数が流量測定のための測定周波数よりも大きいことである。抵抗測定のための測定周波数は有利には100Hzと500Hzとの間の領域にあり、他方で流量測定のための周波数は典型的には100Hzの領域においてその上限を有する。従って、例えば200Hzの領域に測定周波数があり、他方で流量測定が50Hzの領域の周波数の実施される動作が考えられる。この場合、両方の周波数は時間的に互いに同期されている。
図面を参照しつつ記述された本発明の有利な実施例では、さらに、流量測定は抵抗測定の間には中断される。とりわけ、抵抗測定は周期的に交番する矩形状の磁界の切り替えフェーズに行われる。最後に、電圧測定が印加される電流に対して位相固定的に行われる。従って、実部抵抗成分と虚部抵抗成分とが区別されうる。絶対値又は実部抵抗成分が評価される。
本発明の方法により使用するための磁気誘導式流量測定機器の概略図を示す。
印加される電流の周波数と電極抵抗との間の関係を示す線図である。
符号の説明
1 測定管
2 測定電極
3 測定電極
4 基準電極
5 充填レベル監視電極
6 磁気コイル

Claims (10)

  1. 磁気誘導式流量測定機器の動作のための方法であって、
    この流量測定機器は導電性媒体が貫流する測定管(1)、媒体とガルヴァニックに導電的に接続している少なくとも2つの電極(2、3)及び少なくとも1つの磁気コイル(6)を有し、該少なくとも1つの磁気コイル(6)によって媒体を少なくとも部分的に貫通する磁界が発生される、磁気誘導式流量測定機器の動作のための方法において、
    流れる媒体にひたされている2つの電極(2、3)の間には予め設定された電流が印加され、これら2つの電極(2、3)の間に又はこれら2つの電極(2、3)のうちの1つと流れる媒体にひたされている1つの別の電極(4、5)との間に現れる電圧が測定され、印加された電流の測定された電圧に対する比から抵抗値がもとめられることを特徴とする、磁気誘導式流量測定機器の動作のための方法。
  2. 印加された電流の測定された電圧に対する比からもとめられる抵抗値によって測定管(1)を貫流する媒体の導電率がもとめられることを特徴とする、請求項1記載の方法。
  3. 測定管(1)を貫流する媒体の導電率Kは式K=c(1/R)によって決定され、cは定数であり、Rは印加された電流の測定された電圧に対する比からもとめられる抵抗値であることを特徴とする、請求項2記載の方法。
  4. 2つの電極が測定電極(2、3)として設けられており、更に別の電極が基準電極(4)又は充填レベル監視電極(5)として設けられており、予め設定された電流が測定電極(2)と更に別の電極(4、5)との間に印加され、この場合測定電極(2、3)の間に現れる電圧が測定され、測定された電圧の印加された電流に対する比から第1の抵抗値がもとめられ、予め設定された電流が別の測定電極(3)と更に別の電極(4、5)との間に印加され、この際に測定電極(2、3)の間に現れる電圧が測定され、測定された電圧の印加された電流に対する比から第2の抵抗値がもとめられ、第1の抵抗値の第2の抵抗値に対する比及び/又は差が形成され、形成された比乃至は形成された差が予め設定された値域の外にある場合には、2つの測定電極(2、3)のうちの1つの測定電極のクリティカルな付着物が検出されることを特徴とする、請求項1〜3のうちの1項記載の方法。
  5. 2つの測定電極(2、3)のうちの1つの測定電極のクリティカルな付着物に関する状態出力が行われることを特徴とする、請求項4記載の方法。
  6. 2つの電極が測定電極(2、3)として設けられており、更に別の電極が基準電極(4)及び充填レベル監視電極(5)として設けられており、予め設定された電流が測定電極(2)と更に別の電極(4、5)との間に印加され、この際に測定電極(2、3)の間に現れる電圧が測定され、測定された電圧の印加された電流に対する比から第1の抵抗値がもとめられ、予め設定された電流が別の測定電極(3)と更に別の電極(4、5)との間に印加され、この際に測定電極(2、3)の間に現れる電圧が測定され、測定された電圧の印加された電流に対する比から第2の抵抗値がもとめられ、予め設定された電流が基準電極(4)と充填レベル監視電極(5)との間に印加され、この際に基準電極(4)と充填レベル監視電極(5)との間に現れる電圧が測定され、測定された電圧の印加された電流に対する比から第3の抵抗値がもとめられ、第3の抵抗値が第1の抵抗値と第2の抵抗値の和から予め設定された絶対値よりも大きく偏差している場合には、クリティカルな状態が検出されることを特徴とする、請求項1〜3のうちの1項記載の方法。
  7. 第3の抵抗値が第1の抵抗値と第2の抵抗値の和よりも、予め設定された絶対値よりも大きい値だけ小さい場合には、基準電極(4)のリーケージが検出され、この場合相応の状態出力が行われることを特徴とする、請求項6記載の方法。
  8. ケーブル容量からの影響を低減するために、電極(2、3、4、5)への導線のシールドがそれぞれの電極(2、3、4、5)の電位に電気的にもたらされることを特徴とする、請求項1〜7のうちの1項記載の方法。
  9. 抵抗値の決定の間には流量測定が行われないことを特徴とする、請求項1〜8のうちの1項記載の方法。
  10. 磁界として交流磁界が又はスイッチングされる直流磁界が使用され、抵抗値の決定は磁界の切り替えフェーズにおいて行われることを特徴とする、請求項9記載の方法。
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