JP2005153034A - 精密送り装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 停電により移動体が落下するような事態になっても、案内面などをかじらせ傷つけることのないリニアモータ駆動の精密送り装置を提供する。
【解決手段】 コラム4の前面に平行に配置される一対の案内面8a、8bと、案内面8a、8bの反対側に一対のスライド面17a、17bを形成し、テーブル6の背面側に取り付けられエアの噴出によりスライド面17a、17bと非接触状態を保持する静圧エアパッド部18を設け、テーブル6の背面側に配置されるコイル22と、テーブル6をコラム4に引き付ける方向に吸引力が作用するようにコラム4に配置される永久磁石12と、からリニアモータ15を構成する。
【選択図】 図2

Description

本発明は、工作機械等における移動体の精密送り装置に係り、特に、リニアモータ駆動の精密送り装置に関する。
工作機械でテーブルなどの移動体を移動させる送り装置において、従来は一般にボールネジ送り機構が利用されてきた。近年では、ボールネジに代えて、リニアモータ駆動の送り装置が精密加工機を中心に用いられるようになってきている。
リニアモータ駆動式の送り装置では、リニアモータの他に、テーブルなどの移動体の移動を案内する案内面を有するガイド部材と、圧縮空気を噴射するなどしてテーブルをガイド部材に対して非接触に保つ手段が設けられている(特許文献1参照)。
リニアモータは、電磁コイルからなるステータと永久磁石から構成され、ステータと永久磁石の反発力を移動体の推力に利用するものであるが、ステータを移動体側に取り付け、永久磁石をコラムなどの固定体側に配置した場合、永久磁石は常に移動体に吸引力を及ぼすので、精密加工機のように高精度の運動精度が要求される機械では、永久磁石の吸引力が移動体の運動精度に悪影響を及ぼすことが問題とされる。
そこで、永久磁石の吸引力が移動体に作用してないように構成したリニアモータ駆動式送り装置が提案されている(特許文献2参照)。この送り装置では、テーブルの駆動に用いる駆動用リニアモータに加えて、駆動に関与しないダミーのリニアモータを駆動用リニアモータに対向させて対称に配置し、ダミーのリニアモータと駆動用リニアモータの永久磁石同士で吸引力を相殺させている。
実開平7−44457号公報 特開2002−176763号公報
リニアモータ駆動式の送り装置は、ベッド上を水平方向に移動する移動体だけでなく、例えば、コラムの案内面に沿って鉛直方向にする移動体を送るのにも広く利用されている。
鉛直方向に移動する移動体の送り装置の場合、問題となるのは移動体とコラムとを非接触の状態を保つために供給するエアの供給が、停電などが原因で機械の稼働中に停止してしまうことである。
エアの供給が停止すると、移動体とコラムの間に本来必要な隙間がなくなることから、テーブルが僅かながらも前倒れの姿勢に傾き、落下する際に案内面をかじらせ傷をつけてしまうという問題があった。
そこで、本発明の目的は、前記従来技術の有する問題点を解消し、停電により移動体が落下するような事態になっても、案内面などをかじらせ傷つけることのない精密送り装置を提供することにある。
前記の目的を達成するために、本発明は、
固定構造体の案内面に沿って移動する移動体をリニアモータを駆動源にして送る精密送り装置において、
前記固定構造体の前面に平行に配置される一対の案内面と、
前記移動体の背面側に配置されるコイルと、前記移動体を前記固定構造体に引き付ける方向に吸引力が作用するように当該固定構造体に配置される永久磁石と、からなるリニアモータと、
前記固定構造体の前記案内面の反対側に形成され、前記案内面と平行に延びる一対のスライド面と、
前記移動体の背面側に取り付けられエアの噴出により前記スライド面と非接触状態を保持する静圧エアパッド部と、
を具備したことを特徴とするものである。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、停電により移動体が落下するような事態になっても、案内面などをかじらせ傷つけることのない精密送り装置とすることができる。
以下、本発明による精密送り装置の一実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。
図1は、移動体としてのテーブルを鉛直方向に送る垂直軸に本発明を適用した実施の形態を示す。図1において、参照番号2はベッドを示す。参照番号4は固定構造体としてのコラムで、参照番号6が移動体としてのテーブルである。ベッド2の上面から鉛直に立ち上がるこのコラム4の前面には、テーブル6の移動を案内する案内面としての平行な一対のV溝転がり案内面8a、8bが設けられている。
コラム4ではV溝転がり案内面8a、8bの間に高さ方向に延びる箱形の凹部10が形成されている。参照番号15は、テーブル6の駆動源として用いられるリニアモータを示し、コラム4の凹部10の底面中央には、リニアモータ15を構成する複数の永久磁石12からなる永久磁石列がV溝転がり案内面8a、8bと平行にかつ中心線上に配列されている。
次に、図2は、図1のII−II横断面を示す。テーブル6の裏面側には、コラム4の凹部10に嵌入する中央凸部14が形成されているとともに、中央凸部14の両側には、V溝転がり案内面8a、8bを転動するV形断面のスライド部16a、16bが設けられている。
コラム4の凹部10は、左右両側の段部を介して奥行きが拡がるようになっており、この左右両側の段部はスライド面としての平滑面17a、17bが形成されている。
他方、テーブル6の中央凸部14の背面には、静圧エアパッド部18が取り付けられている。この静圧エアパッド部18の内部にはエア通路19から左右に何本もの通路20が延びており、エア通路19には、図示しない外部の精密制御レギュレータを介して精密に圧力制御されたエアが供給されている。これらの通路20の末端は静圧エアパッド部18の両側部の裏面に噴出口21として開口しており、上記した平滑面17a、17bに向けてエアを噴出し、これにより、静圧エアパッド部18と平滑面17a、17bの間に隙間が形成され、非接触状態が保持されているようになっている。
静圧エアパッド部18の背面には、リニアモータ15を構成する複数のコイル22からなるコイル列が永久磁石12と対向するように配列されている。
本実施形態による精密送り装置は、以上のように構成されるものであり、次に、その作用並びに効果について説明する。
コイル22に通電し、リニアモータ15を駆動すると、コイル22の列と永久磁石12の列の相互の反発力はテーブル6の推力となり、この推力を利用してテーブル6はV溝転がり案内面8a、8bに案内されて上下方向に移動する。
テーブル6がリニアモータ15に駆動されて移動する間は、静圧エアパッド部18にはエアの供給があり、噴出口21からのエアの噴出によってコラム4側の平滑面17a、17bとの間に隙間が確保されているので、テーブル6を円滑に高い運動精度で送ることができる。
図3に示すように、矢印Aは静圧エアパッド部18が受けるエアの反力、矢印Bは永久磁石22の吸引力を示している。本実施形態による精密送り装置では、エアの反力Aと吸引力Bが同じ方向でかつ平行であり、その合力でテーブル6をコラム4に対して引き付け、これによりV溝転がり案内面8a、8bには十分な押し付ける力が付加される構造となっている。しかも、吸引力Bはテーブル6に対してモーメントを与える方向に働かないので、テーブル6の運動精度に悪影響を及ぼすことがない。
なんらかの原因により停電が発生して電源から電力が供給されなくなった場合には、コイル22の通電がなくなりリニアモータ15が停止すると同時に静圧エアパッド部18にエアが供給されなくなってしまう。
本実施形態による精密送り装置では、正常に働いていた段階で、静圧エアパッド部18が受けるエアの反力Aと、永久磁石の吸引力Bの合力によってV溝転がり案内面8a、8bにテーブル6が押し付けられた状態になっているので、急に停電しても、テーブル6が正面手前側に倒れにくくなっており、しかも、コイル22に通電されなくても永久磁石12の吸引力は常にテーブル6を引き付けているので、テーブル6が落下する間も平滑面17a、17bをかじり傷つけることがない。
次に、図4は、他の実施形態として、コラム4の案内面として図1のV溝転がり案内面8a、8bの代わりにV溝すべり案内面30a、30bを適用した実施の形態である。他の構成要素は図2と同一であり、その説明は省略する。
この実施形態のように、案内面としてV溝すべり案内面30a、30bを用いる場合は、停電時にテーブル6が落下しても、V溝すべり案内面30a、30b、また平滑面17a、17bをかじり傷つけることがない。
以上、本発明の精密送り装置について、垂直軸の送り装置として構成した実施形態を挙げて説明したが、本発明は水平軸の送り装置として構成できることはもちろんである。すなわち、コラム4がベッドに相当する以外は、図2または図4の構成をそのまま適用するができる。
この水平軸の送り装置の場合には、垂直軸の場合とちがって停電時に案内面やスライド面をかじり傷つける可能性はもともとないので、案内面やスライド面のかじり防止という効果はないが、従来のように永久磁石の吸引力を相殺する構造を不要とすることにより、よりコンパクトなリニアモータの構造とすることができるという利点がある。
本発明による精密送り装置の一実施形態を示す正面図。 同精密送り装置のII−II横断面図である。 同実施形態による精密送り装置においてエア反力と永久磁石の吸引力の作用を示す図。 本発明の他の実施形態による精密送り装置の横断面図。
符号の説明
2 ベッド
4 コラム(固定構造体)
6 テーブル(移動体)
8a、8b V溝転がり案内面
12 リニアモータの永久磁石
15 リニアモータ
16a、16b スライド部
17a、17b 平滑面(スライド面)
18 静圧エアパッド部
19 エア通路
20 噴出口
22 リニアモータのコイル
30a、30b V溝すべり案内面

Claims (5)

  1. 固定構造体の案内面に沿って移動する移動体をリニアモータを駆動源にして送る精密送り装置において、
    前記固定構造体の前面に平行に配置される一対の案内面と、
    前記移動体の背面側に配置されるコイルと、前記移動体を前記固定構造体に引き付ける方向に吸引力が作用するように当該固定構造体に配置される永久磁石と、からなるリニアモータと、
    前記固定構造体の前記案内面の反対側に形成され、前記案内面と平行に延びる一対のスライド面と、
    前記移動体の背面側に取り付けられエアの噴出により前記スライド面と非接触状態を保持する静圧エアパッド部と、
    を具備したことを特徴とする精密送り装置。
  2. 前記静圧エアパッド部の背面に前記コイルを固定し、このコイルに対向するように前記永久磁石を固定構造体に取り付け、前記静圧エアパッド部が受ける反力と同方向に前記永久磁石の吸引力を移動体に作用させ、前記反力と吸引力との協働により前記移動体を前記案内面に押付ける構造を構成したことを特徴とする請求項1に記載の精密送り装置。
  3. 前記固定構造体の案内面は、移動体を鉛直方向に送る垂直軸の案内面からなることを特徴とする請求項2に記載の精密送り装置。
  4. 前記案内面は、V溝転がり案内面からなることを特徴とする請求項3に記載の精密送り装置。
  5. 前記案内面は、V溝すべり案内面からなることを特徴とする請求項3に記載の精密送り装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010082795A (ja) * 2008-10-03 2010-04-15 Toshiba Mach Co Ltd 工作機械の精密送り装置
JP2010115744A (ja) * 2008-11-13 2010-05-27 Toshiba Mach Co Ltd 垂直移動テーブルの駆動装置
JP2010240792A (ja) * 2009-04-08 2010-10-28 Toshiba Mach Co Ltd 工作機械の精密送り装置

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JP2010082795A (ja) * 2008-10-03 2010-04-15 Toshiba Mach Co Ltd 工作機械の精密送り装置
JP2010115744A (ja) * 2008-11-13 2010-05-27 Toshiba Mach Co Ltd 垂直移動テーブルの駆動装置
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