JP2005153034A - 精密送り装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 コラム4の前面に平行に配置される一対の案内面8a、8bと、案内面8a、8bの反対側に一対のスライド面17a、17bを形成し、テーブル6の背面側に取り付けられエアの噴出によりスライド面17a、17bと非接触状態を保持する静圧エアパッド部18を設け、テーブル6の背面側に配置されるコイル22と、テーブル6をコラム4に引き付ける方向に吸引力が作用するようにコラム4に配置される永久磁石12と、からリニアモータ15を構成する。
【選択図】 図2
Description
固定構造体の案内面に沿って移動する移動体をリニアモータを駆動源にして送る精密送り装置において、
前記固定構造体の前面に平行に配置される一対の案内面と、
前記移動体の背面側に配置されるコイルと、前記移動体を前記固定構造体に引き付ける方向に吸引力が作用するように当該固定構造体に配置される永久磁石と、からなるリニアモータと、
前記固定構造体の前記案内面の反対側に形成され、前記案内面と平行に延びる一対のスライド面と、
前記移動体の背面側に取り付けられエアの噴出により前記スライド面と非接触状態を保持する静圧エアパッド部と、
を具備したことを特徴とするものである。
図1は、移動体としてのテーブルを鉛直方向に送る垂直軸に本発明を適用した実施の形態を示す。図1において、参照番号2はベッドを示す。参照番号4は固定構造体としてのコラムで、参照番号6が移動体としてのテーブルである。ベッド2の上面から鉛直に立ち上がるこのコラム4の前面には、テーブル6の移動を案内する案内面としての平行な一対のV溝転がり案内面8a、8bが設けられている。
4 コラム(固定構造体)
6 テーブル(移動体)
8a、8b V溝転がり案内面
12 リニアモータの永久磁石
15 リニアモータ
16a、16b スライド部
17a、17b 平滑面(スライド面)
18 静圧エアパッド部
19 エア通路
20 噴出口
22 リニアモータのコイル
30a、30b V溝すべり案内面
Claims (5)
- 固定構造体の案内面に沿って移動する移動体をリニアモータを駆動源にして送る精密送り装置において、
前記固定構造体の前面に平行に配置される一対の案内面と、
前記移動体の背面側に配置されるコイルと、前記移動体を前記固定構造体に引き付ける方向に吸引力が作用するように当該固定構造体に配置される永久磁石と、からなるリニアモータと、
前記固定構造体の前記案内面の反対側に形成され、前記案内面と平行に延びる一対のスライド面と、
前記移動体の背面側に取り付けられエアの噴出により前記スライド面と非接触状態を保持する静圧エアパッド部と、
を具備したことを特徴とする精密送り装置。 - 前記静圧エアパッド部の背面に前記コイルを固定し、このコイルに対向するように前記永久磁石を固定構造体に取り付け、前記静圧エアパッド部が受ける反力と同方向に前記永久磁石の吸引力を移動体に作用させ、前記反力と吸引力との協働により前記移動体を前記案内面に押付ける構造を構成したことを特徴とする請求項1に記載の精密送り装置。
- 前記固定構造体の案内面は、移動体を鉛直方向に送る垂直軸の案内面からなることを特徴とする請求項2に記載の精密送り装置。
- 前記案内面は、V溝転がり案内面からなることを特徴とする請求項3に記載の精密送り装置。
- 前記案内面は、V溝すべり案内面からなることを特徴とする請求項3に記載の精密送り装置。
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JP2003390998A JP4368667B2 (ja) | 2003-11-20 | 2003-11-20 | 精密送り装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010082795A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-15 | Toshiba Mach Co Ltd | 工作機械の精密送り装置 |
JP2010115744A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Toshiba Mach Co Ltd | 垂直移動テーブルの駆動装置 |
JP2010240792A (ja) * | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Toshiba Mach Co Ltd | 工作機械の精密送り装置 |
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2003
- 2003-11-20 JP JP2003390998A patent/JP4368667B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP2010115744A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Toshiba Mach Co Ltd | 垂直移動テーブルの駆動装置 |
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---|---|
JP4368667B2 (ja) | 2009-11-18 |
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