JP2005140893A - 回折光学素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板10上に微細構造を形成することによって作製されている回折光学素子11、12において、基板10上に回折光学素子11、12と並列してその近傍に同一タイプの微細構造からなる回折格子1が設けられている回折光学素子。
【選択図】 図1
Description
特許文献1の請求項1に示された製造方法によって製造する。すなわち、特許文献1の請求項1に示された製造方法は、光屈折系の媒体からなる板状の加工用素材の表面に、レジストの塗布、描画露光、現像の各処理を行う製版処理を施し、製版処理後のレジストの開口領域の全域あるいは所定域の加工用素材をドライエッチング加工する、一連の処理からなる製版処理を伴なうドライエッチング加工工程を、複数回段階的に繰り返す、多段階のエッチング加工方法により、前記加工用素材の表面に階段部を形成して回折光学素子を作製する、回折光学素子の製造方法であって、順に、(A)製版処理を伴なうドライエッチング加工工程を所定数だけ繰り返し、作成する階段部の各段の境に、各階段部領域を狭める壁あるいは突起を残した形態に加工用素材を加工する、ドライエッチング加工処理と、(B)加工用素材の、壁あるいは突起が残っている側の面全体にウエットエッチングを施し、前記壁あるいは突起を除去するウエットエッチング処理とを行うことを特徴とする回折光学素子の製造方法である。
特許文献1の請求項1に示された製造方法によって製造する。ただし、この場合は、特許文献1の請求項1に示された製造方法の(A)のドライエッチング処理を行い、その後に(B)のウエットエッチング処理も行って、図3(k)に示すように、余分な壁部115が回折光学素子上に残らないようにしている。
検査パターンの1次回折光の回折効率 60% 90%
フレネルゾーンプレートの集光効率 58% 89%
光拡散板の拡散効率 59% 88% 。
10…基板
11…フレネルレンズ(フレネルゾーンプレート)
12…光拡散板(CGH)
20…ヘリウムネオンレーザ
21…測定光
22…偏光板
23…パワーメータ
24…マスク回転台
25…パワーメータ回転台
26…座標表示計
27…パワー表示計
28…ディテクター
29…アパーチャー
30…0次透過光
31…拡散光(回折光)
32…パワーメータ
110…加工用素材
111…エッチング加工部
111a、111b…ドライエッチング加工部
115…壁部
120…クロム膜
121…クロム膜の開口
130…レジスト
131…レジストの開口
135…レジスト
136…レジストの開口
601〜608…各段部の深さ
800…加工用素材
800a…段部
801〜804…描画データ
800b…壁部(突起部)
Claims (8)
- 基板上に微細構造を形成することによって作製されている回折光学素子において、前記基板上に前記回折光学素子と並列してその近傍に同一タイプの微細構造からなる回折格子が設けられていることを特徴とする回折光学素子。
- 前記微細構造のタイプが二段階以上の多段階の位相型構造であることを特徴とする請求項1記載の回折光学素子。
- 前記回折格子がマルチステップ位相型ブレーズド回折格子からなることを特徴とする請求項2記載の回折光学素子。
- 前記微細構造のタイプが屈折率変調による位相型構造であることを特徴とする請求項1記載の回折光学素子。
- 前記微細構造のタイプが振幅型構造であることを特徴とする請求項1記載の回折光学素子。
- 同一基板上に回折光学素子と並列してその近傍に回折格子を同じ製造工程を経て同時に作製することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
- 前記製造工程が、基板表面にレジストの塗布、描画露光、現像の各処理を行う製版処理を施し、製版処理後のレジストの開口領域の全域あるいは所定域の基板表面をエッチング加工する一連の処理からなる、製版処理を伴なうエッチング加工工程を複数回段階的に繰り返す多段階のエッチング加工方法により、前記基板表面に階段部を形成して前記回折光学素子及び前記回折格子を作製する工程からなることを特徴とする請求項6記載の回折光学素子の製造方法。
- 請求項1から6の何れか1項記載の回折光学素子を、前記回折格子の光学特性を検査又は測定することにより検査することを特徴とする回折光学素子の検査方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003375336A JP2005140893A (ja) | 2003-11-05 | 2003-11-05 | 回折光学素子及びその製造方法 |
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JP2005140893A true JP2005140893A (ja) | 2005-06-02 |
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Family Applications (1)
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JP2003375336A Pending JP2005140893A (ja) | 2003-11-05 | 2003-11-05 | 回折光学素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005140893A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012134259A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Canon Inc | 2次元フォトニック結晶面発光レーザ |
JP2015504237A (ja) * | 2011-10-18 | 2015-02-05 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | 屈折性または回折性光学装置を製造するための方法 |
US10831099B2 (en) | 2019-01-24 | 2020-11-10 | Nichia Corporation | Method for manufacturing optical member |
-
2003
- 2003-11-05 JP JP2003375336A patent/JP2005140893A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015504237A (ja) * | 2011-10-18 | 2015-02-05 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | 屈折性または回折性光学装置を製造するための方法 |
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