JP2005136430A - パターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フォトレジストを塗布後プリベーク温度及びプリベーク時間を制御(135〜150℃、130〜150秒又は100〜135℃、150〜170秒)し、さらに、ハーフ現像部の露光量を45〜65mJ/cm2とすることによりハーフ現像部の膜厚を400±100nmに収めることができ、その結果、ハーフ現像部をマスクとして形成されるエッチングパターンの幅のばらつきを1μm以内に抑えることが可能となった。
【選択図】 図2
Description
通常、1回のフォトリソグラフィで1つのパターンを形成でき、薄膜トランジスタなどは、このフォトリソグラフィを5〜8回通ることによって完成する。
本発明は、ハーフ現像によるフォトレジストパターンのパターン精度を良くして、ハーフ現像のフォトレジストパターンをマスクとして形成されるエッチングパターンのパターン精度を良くするパターン形成方法を提供することにある。
フォトレジスト塗布後のプリベークは、フォトレジスト中の不要な溶媒を飛ばし、レジスト特性を安定させるために行う。しかし、この時のプリベークを135℃以上の高温で150秒程度行うと、フォトレジスト中のノボラック樹脂の酸化やエステル化、あるいはDNQ(ジアゾナフトキノン)の熱分解が起こり、フォトレジストの現像液への溶解速度が遅くなる。通常、150秒以内でプリベークを行った場合は、135℃付近にフォトレジストの露光感度の転移点が存在し、135℃以上の温度で露光感度が急激に減少する(図3(a))。
この後、図2(c)に示すように、残存レジストパターン22をマスクとして金属膜3のみを選択的にエッチング除去すると金属膜3からなる金属配線23が形成されると共に、絶縁膜2には開口部34が形成される。
2 絶縁膜
3 金属膜
4 ポジ型フォトレジスト膜
5,8 フォトマスク
6 第1露光領域
7 第1未露光領域
9 第2露光領域
10 第2未露光領域
11,31,111 ハーフ現像部
12 フル現像部
14,34 開口部
20,40,120 厚レジスト部
22,42,122 残存レジストパターン
23 金属配線
43,103 被エッチング膜
Claims (7)
- 被エッチング膜の上にポジ型のレジスト膜を塗布する工程と、前記レジスト膜を熱処理した後、前記レジスト膜のうち前記レジストパターンが形成されない領域のレジスト膜が第1の露光量で、前記レジスト膜のうち薄レジストパターンの形成予定領域が前記第1の露光量よりも少ない第2の露光量でそれぞれ選択的に露光する工程と、前記レジスト膜を現像液で現像することにより前記厚レジストパターンおよび前記薄レジストパターンからなる前記レジストパターンからなるレジストパターンを形成する工程と、を含み、前記熱処理は、前記レジスト膜の前記現像液の溶解速度を減少させる温度および時間条件下で行われることを特徴とするパターン形成方法。
- 前記第1の露光量及び前記第2の露光量が、光透過量の異なる3つのパターンが形成されたマスクパターンに光を当てることにより得られ、前記第1の露光量が前記異なる3つのパターンのうち最も光透過量の多いパターンを通して、前記第2の露光量が前記異なる3つのパターンのうち2番目に光透過量の多いパターンを通して、それぞれ得られる請求項1に記載のパターン形成方法。
- 前記第1の露光量及び前記第2の露光量が、異なるパターンが形成された2つのマスクに光を当てることにより得られ、前記第1の露光量が、主として、前記レジストパターンが形成されない領域を光透過領域とするマスクパターンに光を当てることにより得られ、前記第2の露光量が前記レジストパターンが形成されない領域及び前記薄レジストパターン形成予定領域を光透過領域とするマスクパターンに光を当てることにより、それぞれ得られる請求項1または2に記載のパターン形成方法。
- 前記厚レジストパターンおよび前記薄レジストパターンからなるレジストパターンを形成する工程の後に、さらに前記厚レジストパターンおよび前記薄レジストパターンからなる前記レジストパターンをマスクに前記被エッチング膜をその表面からその膜厚全体に渡って除去する工程と、前記レジストパターンを前記薄レジストパターンが完全に除去される時点まで表面から一様にエッチングし、前記厚レジストパターンの残存レジストパターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
- 前記レジストパターンをその表面から一様にエッチングする工程が、前記レジストパターンをアッシング処理することにより行われる請求項4に記載のパターン形成方法。
- 前記アッシング処理が、酸素ガス雰囲気中の反応性イオンエッチング、或いは、ハロゲン系のガスと酸素を混合したガス雰囲気中のプラズマエッチングである請求項5記載のパターン形成方法。
- 前記被エッチング膜は、基板の上に堆積した下層膜及び上層膜からなる積層膜であり、前記レジストパターンのうち厚レジストパターンの一部を前記被エッチング膜上に残して前記厚レジストパターンを残存レジストパターンとする工程の後に、さらに前記残存レジストパターンをマスクとして前記上層膜を選択的にエッチング除去する工程を含む請求項4〜6のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
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CN113993288A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-01-28 | 上达电子(深圳)股份有限公司 | 一种半显影干膜法实现精细线路的蚀刻方法 |
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US20100255421A1 (en) * | 2009-04-07 | 2010-10-07 | Nec Electronics Corporation | Method for forming resist pattern and method for manufacturing semiconductor device |
US8404433B2 (en) * | 2009-04-07 | 2013-03-26 | Renesas Electronics Corporation | Method for forming resist pattern and method for manufacturing semiconductor device |
CN113993288A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-01-28 | 上达电子(深圳)股份有限公司 | 一种半显影干膜法实现精细线路的蚀刻方法 |
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