JP2005129637A - 研磨スラリー、半導体集積回路装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる膜を有する半導体集積回路装置の製造過程において、この膜上に1以上の他の材料が積層された表面を、少なくとも、水と、砥粒と、エーテル結合を側鎖または末端に有するポリエーテル変性シリコーンとを含む研磨スラリーで研磨する。
【選択図】 なし
Description
=研磨スラリーの調製=
下記の材料を混合し、pH10.45の研磨スラリーを得た。
Al2O3・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・1%
K2CO3・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3%
尿素・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・1%
グリシルグリシン・・・・・・・・・・・・・・・・・1%
KF−618・・・・・・・・・・・・・・・・・・・0.05%
(信越化学工業株式会社製、ポリエーテル変性シリコーン)
水・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・残部%
[例2]
=研磨スラリーの調製=
ポリエーテル変性シリコーンKF−618を除いた以外は、例1と同様にして(すなわち、ポリエーテル変性シリコーン以外の材料については、スラリー合計量99.95%に対して実施例1と同じ量を使用)、pH10.45の研磨スラリーを得た。
=研磨スラリーの調製=
下記の材料を混合し、pH8.3の研磨スラリーを得た。
KF−618:・・・・・・・・・・・・・・・・・・・0.1%
(信越化学工業株式会社製、ポリエーテル変性シリコーン)
水・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・残部%
[例4]
=研磨スラリーの調製=
実施例3のKF−618をKF−700(信越化学工業株式会社製、硫酸塩変性シリコーン)に変えた他は、例3と同様にして、pH8.3の研磨スラリーを得た。
=研磨スラリーの調製=
ポリエーテル変性シリコーンKF−618を除いた以外は、例3と同様にして(すなわち、ポリエーテル変性シリコーン以外の材料については、スラリー合計量99.9%に対して実施例3と同じ量を使用)、pH8.3の研磨スラリーを得た。
膜厚1500nmの銅をメッキ法で成膜した半導体基板を使用した。
膜厚200nmのTaをスパッタ法で成膜した半導体基板を使用した。
膜厚700nmのケイ素酸化物膜をTEOS(テトラエトキシシラン)を使用したプラズマCVD法で成膜した半導体基板を使用した。
膜厚500nmのBlack Diamondを成膜した半導体基板を使用した。
研磨機:Strasbaugh社製6EC
研磨パッド:IC−1000 K−Grooved(同心円状グルーブ)
研磨スラリー供給量:200mL/min
研磨時間:1min
研磨圧力:2.07×104Pa
研磨パッドの回転数:head 77回転/分(rpm), platen 83rpm。
2 バリア層
3 キャップ層
4 本有機ケイ素材料膜
Claims (7)
- 半導体集積回路装置の製造過程においてC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる膜上に1以上の他の材料が積層された表面を研磨するための研磨スラリーであって、
少なくとも、水と、砥粒と、エーテル結合を側鎖または末端に有するポリエーテル変性シリコーンとを含む、
研磨スラリー。 - 当該他の材料が積層された表面が、主としてケイ素酸化物からなる材料と、TaおよびTaNの少なくとも一方からなるタンタル材料と、金属銅とが積層された表面である、請求項2に記載の研磨スラリー。
- カリウムイオンと銅の酸化防止剤とを含む、請求項3に記載の研磨スラリー。
- C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる膜を有する半導体集積回路装置の製造方法において、当該C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる膜上に1以上の他の材料が積層された表面を、請求項1,2または3に記載の研磨スラリーを使用して研磨することを特徴とする、半導体集積回路装置の製造方法。
- C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる膜を有する半導体集積回路装置の製造方法において、当該C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる膜上に、主としてケイ素酸化物からなる材料と、TaおよびTaNの少なくとも一方からなるタンタル材料と、金属銅とが積層された表面を、請求項4に記載の研磨スラリーを使用して研磨することを特徴とする、半導体集積回路装置の製造方法。
- 請求項5または6に記載の半導体集積回路装置の製造方法により製造された半導体集積回路装置。
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