JP2005128377A - レプリカ光学素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レプリカ基板21として、格子面が形成される側の面つまり接着剤22が塗布される面21aが光沢面(面粗さ:約5nmRMS)である基板を用い、この面21aに熱硬化型の接着剤22を塗布し、その後、離型剤である油膜13を介してアルミニウム薄膜23を形成したマスター回折格子10を張り合わせる。接着剤22が硬化した後に油膜13を境に両者を剥離させると、アルミニウム薄膜23がレプリカ基板21に反転転写され、レプリカ回折格子20が完成する。面21aの面粗さが小さいので、レプリカ回折格子20の格子面(薄膜23の表面)の面粗さをマスター回折格子10の面粗さと同程度に小さく抑えることができる。
【選択図】 図1
Description
11…平面ガラス基板
12…アルミニウム薄膜
13…油膜(離型剤)
20…レプリカ回折格子
21…レプリカ基板
22…接着剤
23…アルミニウム薄膜
Claims (2)
- マスター光学素子の光学処理面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して密着させた後に両者を剥離させ、前記金属薄膜を前記レプリカ基板に反転接着させることで形成されるレプリカ光学素子において、前記レプリカ基板は前記接着剤を介して前記金属薄膜と対向する面が光沢面であることを特徴とするレプリカ光学素子。
- レプリカ回折格子であることを特徴とする請求項1に記載のレプリカ光学素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003365627A JP2005128377A (ja) | 2003-10-27 | 2003-10-27 | レプリカ光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003365627A JP2005128377A (ja) | 2003-10-27 | 2003-10-27 | レプリカ光学素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005128377A true JP2005128377A (ja) | 2005-05-19 |
Family
ID=34644238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003365627A Pending JP2005128377A (ja) | 2003-10-27 | 2003-10-27 | レプリカ光学素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005128377A (ja) |
-
2003
- 2003-10-27 JP JP2003365627A patent/JP2005128377A/ja active Pending
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