JP2005123581A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 接合対象物に形成された電極部に対して半田ボールの溶融にて接合を行う半田ボールの接合方法であって、
   吸着ノズルにて前記半田ボールを吸着し、前記半田ボールを前記電極部上に搬送し、
   前記吸着ノズルの吸着開口と同軸に配置されたレーザ照射部にて、レーザ光照射経路の主経路として作用する前記吸着ノズルにおける前記吸着開口、及び前記主経路の周囲に配置される副経路を通過するようにレーザ光を照射し、
   前記主経路を通過したレーザ光によって前記半田ボールを溶融すると共に、前記副経路を通過したレーザ光により前記電極の少なくとも一つを加熱することを特徴とする接合方法。
2. 半田接合装置であって、
   半田ボールを吸着保持し、前記半田ボールを接合対象物上に形成された電極部に搬送するために前記半田ボールを吸着する吸着開口を有する吸着ノズルと、
   レーザ光を照射可能なレーザ照射部と、を有し、
   前記吸着開口は、前記半田ボールに照射され且つ前記半田ボールを溶融する主レーザ光として作用する前記レーザ光の一部が通過する主経路として作用し、
   前記吸着ノズルは、前記電極部の少なくとも一つに照射され且つ前記少なくとも一つの電極部を加熱する副レーザ光として作用する前記レーザ光の一部が通過するように、前記吸着開口の周囲に形成された副経路を更に有することを特徴とする装置。
3. 前記副経路は前記吸着開口と繋がり且つスリット形状を有することを特徴とする請求項２記載の装置。
4. 前記副経路はスルーホール形状の前記主経路の周囲に配置されたスルーホール形状からなることを特徴とする請求項２記載の装置。
5. 前記吸着ノズルは少なくとも前記半田ボールと接触する領域上にDLC被覆部を有することを特徴とする請求項２記載の装置。
6. 第一の電極及び第二の電極の間に半田ボールを介在させ、レーザ光により前記半田ボールを溶融させて前記第一の電極及び前記第二の電極を接合する半田接合装置であって、
   レーザ光を照射可能なレーザ照射部と、
   前記レーザ光の一部が主レーザ光として通過して前記半田ボール上に全機種レーザ光を照射し、前記半田ボールを溶融する主経路と、
   前記レーザ光の一部が副レーザ光として通過して前記副レーザ光の照射領域を前記第一の電極或いは前記第二の電極の領域より小さくし、少なくとも前記第一の電極及び第二の電極の一方に前記副レーザ光を照射して、前記少なくとも前記第一の電極及び第二の電極の一方を加熱する、前記主経路の周囲に配置された副経路を有することを特徴とする装置。
7. 前記副経路は前記吸着開口と繋がり且つスリット形状を有することを特徴とする請求項６記載の装置。
8. 前記副経路はスルーホール形状の前記主経路の周囲に配置されたスルーホール形状からなることを特徴とする請求項６記載の装置。