JP2005121775A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
【課題】
本発明は、塗布性良好で、表面荒れがなく、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる液晶表示装置を構成する透明膜形成用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】
（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）光重合開始助剤および（Ｅ）溶剤を含む感光性樹脂組成物において、（Ｃ）光重合開始剤が２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オンであり、（Ｄ）光重合開始助剤として少なくとも１種のアミン系化合物を含み、（Ｃ）光重合開始剤および（Ｄ）光重合開始助剤の合計量が、（Ａ）バインダーポリマーおよび（Ｂ）光重合性化合物の合計量１００質量部に対して０．１質量部以上２０質量部以下であり、（Ｄ）光重合開始助剤が、（Ｃ）光重合開始剤１質量部に対して０．１質量部以上５質量部以下である感光性樹脂組成物。
【選択図】 なし
本発明は、塗布性良好で、表面荒れがなく、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる液晶表示装置を構成する透明膜形成用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】
（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）光重合開始助剤および（Ｅ）溶剤を含む感光性樹脂組成物において、（Ｃ）光重合開始剤が２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オンであり、（Ｄ）光重合開始助剤として少なくとも１種のアミン系化合物を含み、（Ｃ）光重合開始剤および（Ｄ）光重合開始助剤の合計量が、（Ａ）バインダーポリマーおよび（Ｂ）光重合性化合物の合計量１００質量部に対して０．１質量部以上２０質量部以下であり、（Ｄ）光重合開始助剤が、（Ｃ）光重合開始剤１質量部に対して０．１質量部以上５質量部以下である感光性樹脂組成物。
【選択図】 なし
Description
本発明は、感光性樹脂組成物およびそれを用いるカラーフィルタに関する。
近年、液晶素子に色分解用カラーフィルタを組み合わせたカラー液晶表示素子が種々提案されている。ここで、カラーフィルタとは、光透過性基板上に形成された赤、緑、青の３原色の画素を一絵素とした多数の絵素から構成され、各画素間には、表示コントラストを高めるために、一定の幅をもつ遮光領域（ブラックマトリクス）が設けられている場合もある。また、オーバーコートやフォトスペーサー、着色パターンの膜厚をあわせるための透明コート材、透明電極を配しているものもある。このような画素およびブラックマトリクスを構成する樹脂成分として、また、オーバーコートやフォトスペーサー、着色パターンの膜厚をあわせるための透明コート材（以下、透明コート材等ということがある。）に用いる樹脂成分として、従来、シロキサンポリマー、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等が使用されてきた。しかしながら、上記の樹脂を含む従来具体的に知られていた組成物を用いて透明コート材等を形成すると、得られた透明膜の表面に荒れが発生するため、光散乱により透過率が低下して、透明コート材等として機能しにくいという問題があった。
また、前記の樹脂を含む従来の感光性樹脂組成物では、透明層を作成する際に、抜け性が悪いという問題があった。抜け性が悪いと、半透過型カラーフィルタに使用する場合、反射部と透過部の境で色が異なり、これがカラー液晶表示装置により表示されるカラー画像やカラー固体撮像素子により撮影されるカラー画像などの品質を低下させる。
また、フォトスペーサーに使用する場合、フォトスペーサーの大きさとしては、例えば、数μｍ角から２０μｍ角程度が一般に用いられていることから（特許文献１）、抜け性が悪いとフォトスペーサーの大きさをコントロールできないという問題があった。逆に、抜け性が良好すぎると、透明レジストのように細線を抜く場合は性能良好であるが、フォトスペーサーのような細いパターンを残すだけであると密着性が不良となり、現像工程でパターンが飛んでしまうという問題がある。
また、優れた光硬化性（熱硬化が不要）と現像性を有し、基板密着性と硬化性に優れ、更に長期保存安定性と使用環境依存性が良好で、ＬＣＤ用スペーサーの形成用として好適な放射線硬化性組成物が知られているが、その実施例において、具体的に例示されているバインダーポリマーは、（メタ）クリロイル基とともにイソホロンジイソシアナートから導かれる構成単位を有しているもの（特許文献２参照）、またバインダーポリマーがスチレン系樹脂であるもの（特許文献１参照）が知られている。
また、フォトスペーサーに使用する場合、フォトスペーサーの大きさとしては、例えば、数μｍ角から２０μｍ角程度が一般に用いられていることから（特許文献１）、抜け性が悪いとフォトスペーサーの大きさをコントロールできないという問題があった。逆に、抜け性が良好すぎると、透明レジストのように細線を抜く場合は性能良好であるが、フォトスペーサーのような細いパターンを残すだけであると密着性が不良となり、現像工程でパターンが飛んでしまうという問題がある。
また、優れた光硬化性（熱硬化が不要）と現像性を有し、基板密着性と硬化性に優れ、更に長期保存安定性と使用環境依存性が良好で、ＬＣＤ用スペーサーの形成用として好適な放射線硬化性組成物が知られているが、その実施例において、具体的に例示されているバインダーポリマーは、（メタ）クリロイル基とともにイソホロンジイソシアナートから導かれる構成単位を有しているもの（特許文献２参照）、またバインダーポリマーがスチレン系樹脂であるもの（特許文献１参照）が知られている。
本発明は、塗布性良好で、表面荒れがなく、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる液晶表示装置を構成する透明膜形成用感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
そこで本発明者は、鋭意検討の結果、光重合開始剤および光重合開始助剤としてそれぞれ特定の構造を有する化合物を特定の割合で含む感光性樹脂組成物を用いると、露光量を高くしてもパターンを形成しうることおよび抜け性が良好であることを見出し、本発明に至った。
すなわち本発明は、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）光重合開始助剤および（Ｅ）溶剤を含む感光性樹脂組成物において、（Ｃ）光重合開始剤が２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オンであり、（Ｄ）光重合開始助剤として少なくとも１種のアミン系化合物を含み、（Ｃ）光重合開始剤および（Ｄ）光重合開始助剤の合計量が、（Ａ）バインダーポリマーおよび（Ｂ）光重合性化合物の合計量１００質量部に対して０．１質量部以上２０質量部以下であり、（Ｄ）光重合開始助剤が、（Ｃ）光重合開始剤１質量部に対して０．１質量部以上５質量部以下である感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して該層を露光し、現像するパターンの形成方法、該方法で形成されたパターンを含むカラーフィルタおよび該カラーフィルタを使用した液晶表示装置を提供するものである。
本発明の感光性樹脂組成物によれば、塗布性良好で、表面荒れがなく、粒状異物等の塗布欠陥が発生せず、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる感光性樹脂組成物を提供することができ、液晶表示装置を構成する透明材料、例えば、オーバーコート、フォトスペーサー、着色パターンの膜厚を合わせるための透明コート層などを形成するのに有用である。
本発明において用いられる（Ａ）バインダーポリマーとしては、アクリル系共重合体が使用でき、例えば、カルボキシル基含有モノマーおよびこれと共重合可能な他のモノマーとの共重合体などが挙げられる。さらに、好ましくは、（Ａ）バインダーポリマー内に反応性基を持つものが好ましい。
例えば、式（Ｉ）で示される構成単位を含んで構成される。
前記の（Ａ）バインダーポリマーにおいて、式（Ｉ）で表される構成単位の含有量は、（Ａ）バインダーポリマーを構成する全構成単位に対して、モル分率で、５％以上２０％以下である。式（Ｉ）で表される構成単位の含有量が前記の範囲にあると、露光部の表面荒れが良好で、解像度が向上する傾向があり、好ましい。
また、前記の（Ａ）バインダーポリマーは、式（Ｉ）の構成単位に加えて（メタ）アクリル酸を含むことが好ましい。ここで、本明細書中における（メタ）アクリル酸の記載は、アクリル酸および／またはメタクリル酸を表す。
前記の（メタ）アクリル酸単位の含有量は、（Ａ）バインダーポリマーを構成する全構成単位中、モル分率で、１０％以上３０％以下であることが好ましく、１２％以上２８％以下であることがより好ましく、１５％以上２５％以下であることが特に好ましい。前記の（メタ）アクリル酸単位の含有量が、（Ａ）バインダーポリマーを構成する全構成単位中、モル分率で、１０％以上３０％以下であると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり好ましい。
その他の共重合可能な他のモノマーとしては、例えば、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル類、不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、カルボン酸ビニルエステル類、不飽和エーテル類、シアン化ビニル化合物、不飽和アミド類、不飽和イミド類、脂肪族共役ジエン類などを挙げることができる。
本発明の透明膜形成用感光性樹脂組成物に用いられる（Ａ）バインダーポリマーの酸価は、通常４０〜１３０、好ましくは、４５〜１１０、更に好ましくは、５０〜１００であることが好ましい。前記の酸価が、４０〜１３０であると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり好ましい。酸価は、アクリル酸系重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
前記のアクリル系重合体としては、例えば、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／前記（Ｉ）式で示される構成成分共重合体［式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン／前記（Ｉ）式で示される構成成分共重合体［Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／イソボルニルメタクリレート／前記（Ｉ）式で示される構成成分共重合体［Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］、メタクリル酸／スチレン／ベンジルメタクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド／前記（Ｉ）式で示される構成成分共重合体［Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］などが挙げられる。
前記のアクリル系重合体としては、例えば、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／前記（Ｉ）式で示される構成成分共重合体［式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン／前記（Ｉ）式で示される構成成分共重合体［Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／イソボルニルメタクリレート／前記（Ｉ）式で示される構成成分共重合体［Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］、メタクリル酸／スチレン／ベンジルメタクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド／前記（Ｉ）式で示される構成成分共重合体［Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］などが挙げられる。
中でも、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／前記（Ｉ）式で示される共重合体［Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン／前記（Ｉ）式で示される構成成分共重合体［Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］などが好ましい。
（Ｉ）式で示される構成成分を有するバインダーポリマーとして、例えばメタクリル酸／前記（Ｉ）式で示される構成成分［Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］／ベンジルメタクリレート共重合体は、メタクリル酸とベンジルメタクリレートを重合させて２成分重合体を得て、得られた２成分重合体と下記式（ＩＩ）で示される成分とを反応させて得ることができる。
（Ｉ）式で示される構成成分を有するバインダーポリマーとして、例えばメタクリル酸／前記（Ｉ）式で示される構成成分［Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］／ベンジルメタクリレート共重合体は、メタクリル酸とベンジルメタクリレートを重合させて２成分重合体を得て、得られた２成分重合体と下記式（ＩＩ）で示される成分とを反応させて得ることができる。
前記のアクリル系重合体において、そのポリスチレン換算重量平均分子量は、通常５，０００〜２０，０００であり、好ましくは５，０００〜１５，０００であり、とりわけ好ましくは５，０００〜１０，０００である。ポリスチレン換算重量平均分子量が５，０００〜２０，０００であると、塗布性良好で、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好ましい。前記のポリスチレン換算重量平均分子量は、ＧＰＣ法を用いて測定することができる。
前記の（Ａ）バインダーポリマーは、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常２０質量％以上８０質量％以下、好ましくは３０質量％以上７０質量％以下、とりわけ好ましくは４０質量％以上６５質量％以下の範囲で用いられる。前記の（Ａ）バインダーポリマーの含有量が、２０質量％以上８０質量％以下であると、パターンが形成でき、また解像度および残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
前記の（Ａ）バインダーポリマーは、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常２０質量％以上８０質量％以下、好ましくは３０質量％以上７０質量％以下、とりわけ好ましくは４０質量％以上６５質量％以下の範囲で用いられる。前記の（Ａ）バインダーポリマーの含有量が、２０質量％以上８０質量％以下であると、パターンが形成でき、また解像度および残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
中でも（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体などが好ましい。
該アクリル系重合体は、そのポリスチレン換算重量平均分子量が３，０００〜４００，０００の範囲であることが好ましく、より好ましくは５，０００〜１００，０００の範囲であり、とりわけ好ましくは２０，０００〜４０，０００である。また、酸価は３０〜２５０が好ましく、より好ましくは６０〜１８０の範囲であり、とりわけ好ましくは９０〜１６０の範囲である。ここで酸価はアクリル系重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
該（Ａ）バインダーポリマーは、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常５質量％以上９０質量％以下、好ましくは１０質量％以上８０質量％以下、とりわけ好ましくは２０質量％以上７０質量％以下の範囲で用いられる。
該（Ａ）バインダーポリマーは、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常５質量％以上９０質量％以下、好ましくは１０質量％以上８０質量％以下、とりわけ好ましくは２０質量％以上７０質量％以下の範囲で用いられる。
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる（Ｂ）光重合性化合物は、光を照射されることによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化合物であって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
前記の（Ｂ）光重合性化合物は、４官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。４官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。該光重合性化合物は、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられ、その含有量は感光性樹脂組成物の質量分率で通常５質量％以上９０質量％以下、好ましくは１０質量％以上８０質量％以下、とりわけ好ましくは２０質量％以上７０質量％以下の範囲で用いられる。
本発明において用いられる（Ｃ）光重合開始剤は、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オンである。
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる（Ｄ）光重合開始助剤は、光重合開始剤と組み合わせて用いられ、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物である。光重合開始助剤としては、少なくとも１種のアミン系化合物を含む。
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。また、複数のアミン系やその他の光重合開始助剤を組み合わせて使用してもよい。その他の光重合開始助剤としては、例えば、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。また、複数のアミン系やその他の光重合開始助剤を組み合わせて使用してもよい。その他の光重合開始助剤としては、例えば、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
また、光重合開始助剤として市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤としては、例えば、商品名「ＥＡＢ−Ｆ」（保土谷化学工業（株）製）などが挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物における光重合開始剤および光重合開始助剤の組み合わせとしては、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オンのオリゴマー／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの組み合わせなどが挙げられ、好ましくは２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの組み合わせが挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物における光重合開始剤および光重合開始助剤の使用量は、その合計量が（Ａ）バインダーポリマーおよび光重合性化合物の合計量１００質量部に対して通常０．１質量部以上２０質量部以下、好ましくは０．５質量部以上１５質量部以下、さらに好ましくは１質量部以上１０質量部以下である。また、光重合開始助剤の使用量は、光重合開始剤１質量部あたり０．６質量部以上１０質量部以下が好ましく、さらに１質量部以上８質量部以下であることが好ましく、とりわけ１．５質量部以上５質量部以下であることが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる（Ｅ）溶剤としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
前記のエーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
前記の芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
前記のケトン類としては、例えば、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
前記のアルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
前記のエステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
前記のアミド類としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。
その他の溶剤としては、例えば、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
前記の芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
前記のケトン類としては、例えば、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
前記のアルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
前記のエステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
前記のアミド類としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。
その他の溶剤としては、例えば、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
前記の溶剤（Ｅ）の中でも、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、２−ヘプタノンなどが好ましく用いられる。
前記の溶剤（Ｅ）は、それぞれ単独でまたは２種類以上を組み合わせて用いることができ、その使用量は感光性樹脂組成物における含有量が質量分率で通常５０質量％以上９０質量％以下、好ましくは６０質量％以上８５質量％以下となる程度である。
本発明の感光性樹脂組成物は、充填剤、（Ａ）バインダーポリマー以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよい。
前記の充填剤としては、例えば、ガラス、アルミナなどの微粒子が挙げられる。
前記の、（Ａ）バインダーポリマー以外の高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート、分散剤などが挙げられる。
前記の分散剤としては、例えば、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１５、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６２、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６３、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６４、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６６、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６７、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６９、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７４、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８２（いずれもＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。
前記の分散剤としては、例えば、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１５、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６２、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６３、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６４、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６６、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６７、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６９、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７４、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８２（いずれもＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。
前記の密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
前記の酸化防止剤としては、例えば、４，４’−チオビス（６−ｔ−ブチル−３−メチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェノールなどが挙げられる。
前記の紫外線吸収剤としては、例えば、２−（２−ヒドロキシ−３−ｔ−ブチル−５−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾールなどのベンゾトリアゾール系、２−ヒドロキシ−４−オクチルオキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル−３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンゾエートなどのベンゾエート系、２−（４，６−ジフェニル−１，３，５−トリアジン−２−イル）−５−ヘキシルオキシフェノールなどのトリアジン系などが挙げられる。
前記の凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
前記の有機酸としては、例えば、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸類；
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類；
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類；
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類；
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類；
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類；
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類；
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類；
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類；
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
前記の有機アミン化合物としては、例えば、ｎ―プロピルアミン、ｉ−プロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ｉ−ブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類；
シクロヘキシルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類；
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルｎ−プロピルアミン、エチルｎ−プロピルアミン、ジｎ−プロピルアミン、ジｉ−プロピルアミン、ジｎ−ブチルアミン、ジｉ−ブチルアミン、ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジｔ−ブチルアミン、ジｎ−ペンチルアミン、ジｎ−ヘキシルアミンなどのジアルキルアミン類；
メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルモノシクロアルキルアミン類；
ジシクロヘキシルアミンなどのジシクロアルキルアミン類；
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルｎ−プロピルアミン、ジエチルｎ−プロピルアミン、メチルジｎ−プロピルアミン、エチルジｎ−プロピルアミン、トリｎ−プロピルアミン、トリｉ−プロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、トリｉ−ブチルアミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、トリｔ−ブチルアミン、トリｎ−ペンチルアミン、トリｎ−ヘキシルアミンなどのトリアルキルアミン類；
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシクロアルキルアミン類；
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキルアミン類；
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノールなどのモノアルカノールアミン類；
４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミン類；
ジエタノールアミン、ジｎ−プロパノールアミン、ジｉ−プロパノールアミン、ジｎ−ブタノールアミン、ジｉ−ブタノールアミン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジｎ−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン類；
ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジシクロアルカノールアミン類；
トリエタノールアミン、トリｎ−プロパノールアミン、トリｉ−プロパノールアミン、トリｎ−ブタノールアミン、トリｉ−ブタノールアミン、トリｎ−ペンタノールアミン、トリｎ−ヘキサノールアミンなどのトリアルカノールアミン類；トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類；
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオール類；
４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオールなどのアミノシクロアルカンジオール類；
１−アミノシクロペンタノンメタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類；
１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類；
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノカプロン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１−アミノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類；
アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−ｉ−プロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類；
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類；
ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類；
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
シクロヘキシルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類；
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルｎ−プロピルアミン、エチルｎ−プロピルアミン、ジｎ−プロピルアミン、ジｉ−プロピルアミン、ジｎ−ブチルアミン、ジｉ−ブチルアミン、ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジｔ−ブチルアミン、ジｎ−ペンチルアミン、ジｎ−ヘキシルアミンなどのジアルキルアミン類；
メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルモノシクロアルキルアミン類；
ジシクロヘキシルアミンなどのジシクロアルキルアミン類；
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルｎ−プロピルアミン、ジエチルｎ−プロピルアミン、メチルジｎ−プロピルアミン、エチルジｎ−プロピルアミン、トリｎ−プロピルアミン、トリｉ−プロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、トリｉ−ブチルアミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、トリｔ−ブチルアミン、トリｎ−ペンチルアミン、トリｎ−ヘキシルアミンなどのトリアルキルアミン類；
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシクロアルキルアミン類；
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキルアミン類；
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノールなどのモノアルカノールアミン類；
４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミン類；
ジエタノールアミン、ジｎ−プロパノールアミン、ジｉ−プロパノールアミン、ジｎ−ブタノールアミン、ジｉ−ブタノールアミン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジｎ−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン類；
ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジシクロアルカノールアミン類；
トリエタノールアミン、トリｎ−プロパノールアミン、トリｉ−プロパノールアミン、トリｎ−ブタノールアミン、トリｉ−ブタノールアミン、トリｎ−ペンタノールアミン、トリｎ−ヘキサノールアミンなどのトリアルカノールアミン類；トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類；
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオール類；
４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオールなどのアミノシクロアルカンジオール類；
１−アミノシクロペンタノンメタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類；
１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類；
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノカプロン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１−アミノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類；
アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−ｉ−プロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類；
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類；
ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類；
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
前記の硬化剤としては、例えば、加熱されることによって（Ａ）バインダーポリマー中のカルボキシル基と反応して（Ａ）バインダーポリマーを架橋することができる化合物が挙げられる。また、それ単独で重合してパターンを硬化させ得る化合物も挙げられる。該化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。
前記のエポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
前記のオキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
本発明の感光性組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基やオキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。前記の化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。
前記の多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、３，４−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類；
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類；
ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類；
ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
前記の多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類；
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類；
無水ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類；
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類；
無水ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類；
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
前記のカルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。該エポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、商品名「アデカハードナーＥＨ−７００」（旭電化工業(株)製）、商品名「リカシッドＨＨ」（新日本理化(株)製）、商品名「ＭＨ−７００」（新日本理化(株)製）などが挙げられる。
前記の硬化剤は、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
本発明の感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する方法としては、具体的には、本発明の感光性樹脂組成物を、基板または基板の上に先に形成した固体の着色感光性樹脂組成物層（以下、これを基板等ということがある。）の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層から溶剤など揮発成分を除去し、フォトマスクを介して揮発成分が除去された層を露光したのち、現像する方法が挙げられる。
基板としては、例えば、ガラス基板、シリコン基板、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミド基板、Ａｌ基板、ＧａＡｓ基板などの表面が平坦な基板が挙げられる。これらの基板は、シランカップリング剤などの薬品による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処理、スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理などの前処理が施されていてもよい。基板としてシリコン基板などを用いる場合、該シリコン基板などの表面には電荷結合素子（ＣＣＤ）、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ、Thin Film Transistor）などが形成されていてもよい。
前記の基板の上に感光性樹脂組成物を塗布するには、例えば、本発明の感光性樹脂組成物を回転塗布法（スピンコート法）、流延塗布法、ロール塗布法、スリットコート法、スリット＆スピンコート法などの通常の塗布方法で基板等の上に塗布し、基板等の上に感光性樹脂組成物の層を形成する。次いで加熱や減圧乾燥により、溶剤などの揮発成分を除去させればよい。このようにして、基板等の上に感光性樹脂組成物の固形分からなる層が形成される。
次いで、感光性樹脂組成物の固形分からなる層（以下、これを感光性樹脂組成物層ということがある。）を露光する。露光するには、例えば、フォトマスクを介して光線を照射すればよい。光線としては通常、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）と呼ばれる紫外線などが用いられる。光線はフォトマスクを介して照射されるが、ここでフォトマスクは、例えば、ガラス板の表面に光線を遮蔽する遮光層が設けられたものである。ガラス板のうちの遮光層が設けられていない部分は光線が透過する透光部であって、この透光部のパターンに従ったパターンで感光性樹脂組成物層が露光されて、光線が照射されなかった未照射領域と、光線が照射された照射領域とが生ずる。照射領域における光線の照射量は、（Ａ）バインダーポリマーの重量平均分子量、単量体比、含有量、光重合性化合物の種類や含有量、光重合開始剤の種類や含有量、光重合開始助剤の種類や含有量などによって適宜選択される。
露光後、現像する。現像するには、例えば、露光後の感光性樹脂組成物層を現像液と接触させればよく、具体的にはその表面上に感光性樹脂組成物層が形成された状態の基板を現像液に浸漬すればよい。現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性化合物の水溶液などが挙げられる。現像によって、感光性樹脂組成物層のうちの光線が照射されなかった未照射領域は除去される。その一方で、光線照射領域はそのまま残ってパターンを構成する。
現像後、通常は水洗し、乾燥することにより、目的とするパターンを得ることができる。乾燥後、加熱してもよい。パターンを加熱することによって硬化して、その機械的強度が向上する傾向にあり、感光性樹脂組成物として硬化剤を含有するものを用いた場合には、機械的強度をより向上することができる。加熱温度は通常１８０℃以上、好ましくは２００℃以上であり、通常２５０℃以下である。
このようにして得られる透明パターンを有するカラーフィルタは、液晶表示装置やプラズマディスプレイ、有機ＥＬ表示装置などの表示装置に好適に用いることができる。
上記において、本発明の実施の形態について説明を行なったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
本実施例で用いる成分は以下の通りで、以下、省略して表示することがある。
（Ａ）メタクリル酸、ベンジルメタクリレートおよび式（Ｉ）で示される成分［式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］との共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位と前記の式（Ｉ）で示される成分との組成比は物質量比（モル比）で２７：５８：１５、酸価は８８、ポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）は１５，０００である。］
（Ａ）メタクリル酸、ベンジルメタクリレートおよび式（Ｉ）で示される成分［式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］との共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位と前記の式（Ｉ）で示される成分との組成比は物質量比（モル比）で２７：５８：１５、酸価は８８、ポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）は１５，０００である。］
（Ｂ）光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（Ｃ）光重合開始剤：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン
（Ｄ）光重合開始助剤：４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
（Ｅ−１）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
（Ｅ−２）溶剤：３−エトキシプロピオン酸エチル
エポキシ化合物：オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業(株)製）
（Ｃ）光重合開始剤：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン
（Ｄ）光重合開始助剤：４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
（Ｅ−１）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
（Ｅ−２）溶剤：３−エトキシプロピオン酸エチル
エポキシ化合物：オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業(株)製）
実施例１
〔感光性樹脂組成物１の調製〕
（Ａ） １．９８２質量部、
（Ｂ） ２．９７２質量部、
（Ｃ） ０．１４９質量部、
（Ｄ） ０．０５０質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２４８質量部
を混合して感光性樹脂組成物１を得た。
〔感光性樹脂組成物１の調製〕
（Ａ） １．９８２質量部、
（Ｂ） ２．９７２質量部、
（Ｃ） ０．１４９質量部、
（Ｄ） ０．０５０質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２４８質量部
を混合して感光性樹脂組成物１を得た。
〔パターンの形成〕
ガラス基板〔コーニング社製、「＃７０５９」〕の上に、上記で得た感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、１００℃で３分間乾燥して揮発分を揮発させて、感光性樹脂組成物層を形成した。
冷却後、この感光性樹脂組成物層にフォトマスクを介してｉ線〔波長３６５ｎｍ〕を照射して露光した。ｉ線の光源としては、超高圧水銀ランプを用い、照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ2とした。フォトマスクとしては、線幅３μｍ、５μｍ、７μｍ、１０μｍ、１５μｍ、２０μｍ、２５μｍ、３０μｍ、４０μｍ、および５０μｍのドット状の画素を形成するためのフォトマスクを用いた。
ガラス基板〔コーニング社製、「＃７０５９」〕の上に、上記で得た感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、１００℃で３分間乾燥して揮発分を揮発させて、感光性樹脂組成物層を形成した。
冷却後、この感光性樹脂組成物層にフォトマスクを介してｉ線〔波長３６５ｎｍ〕を照射して露光した。ｉ線の光源としては、超高圧水銀ランプを用い、照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ2とした。フォトマスクとしては、線幅３μｍ、５μｍ、７μｍ、１０μｍ、１５μｍ、２０μｍ、２５μｍ、３０μｍ、４０μｍ、および５０μｍのドット状の画素を形成するためのフォトマスクを用いた。
次いで露光後のガラス基板を現像液〔質量分率で水酸化カリウムを０．０５％、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％それぞれ含む水溶液〕に浸漬して現像し、純水で洗浄した。その後、２３０℃で２０分間加熱して、透明なパターンを形成した。得られたパターンには、粒状異物や塗布ムラは見られず、塗布性は良好であった。
〔評価〕
フォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥や表面荒れは見られず、２０μｍパターンを裾引きなく解像していた。
フォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥や表面荒れは見られず、２０μｍパターンを裾引きなく解像していた。
実施例２
〔感光性樹脂組成物２の調製〕
（Ａ） １．９４６質量部、
（Ｂ） ２．９１９質量部、
（Ｃ） ０．１４６質量部、
（Ｄ） ０．１４６質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２４３質量部
を混合して感光性樹脂組成物２を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物２に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥や表面荒れは見られず、２０μｍパターンを裾引きなく解像していた。
〔感光性樹脂組成物２の調製〕
（Ａ） １．９４６質量部、
（Ｂ） ２．９１９質量部、
（Ｃ） ０．１４６質量部、
（Ｄ） ０．１４６質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２４３質量部
を混合して感光性樹脂組成物２を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物２に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥や表面荒れは見られず、２０μｍパターンを裾引きなく解像していた。
実施例３
〔感光性樹脂組成物３の調製〕
（Ａ） １．８４６質量部、
（Ｂ） ２．７６９質量部、
（Ｃ） ０．１３８質量部、
（Ｄ） ０．４１５質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２３１質量部
を混合して感光性樹脂組成物３を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物３に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥や表面荒れは見られず、２０μｍパターンを裾引きなく解像していた。
〔感光性樹脂組成物３の調製〕
（Ａ） １．８４６質量部、
（Ｂ） ２．７６９質量部、
（Ｃ） ０．１３８質量部、
（Ｄ） ０．４１５質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２３１質量部
を混合して感光性樹脂組成物３を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物３に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥や表面荒れは見られず、２０μｍパターンを裾引きなく解像していた。
実施例４
〔感光性樹脂組成物４の調製〕
（Ａ） １．７５６質量部、
（Ｂ） ２．６３４質量部、
（Ｃ） ０．１３２質量部、
（Ｄ） ０．６５９質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２２０質量部
を混合して感光性樹脂組成物４を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物４に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥や表面荒れは見られず、２０μｍパターンを裾引きなく解像していた。
〔感光性樹脂組成物４の調製〕
（Ａ） １．７５６質量部、
（Ｂ） ２．６３４質量部、
（Ｃ） ０．１３２質量部、
（Ｄ） ０．６５９質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２２０質量部
を混合して感光性樹脂組成物４を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物４に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥や表面荒れは見られず、２０μｍパターンを裾引きなく解像していた。
比較例１
〔感光性樹脂組成物５の調製〕
（Ａ） ２．０００質量部、
（Ｂ） ３．０００質量部、
（Ｃ） ０．１５０質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２５０質量部
を混合して感光性樹脂組成物５を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物５に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥はみられないが、抜け性不良のため、２０μｍパターンは解像しなかった。
〔感光性樹脂組成物５の調製〕
（Ａ） ２．０００質量部、
（Ｂ） ３．０００質量部、
（Ｃ） ０．１５０質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２５０質量部
を混合して感光性樹脂組成物５を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物５に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥はみられないが、抜け性不良のため、２０μｍパターンは解像しなかった。
比較例２
〔感光性樹脂組成物６の調製〕
（Ａ） １．９９６質量部、
（Ｂ） ２．９９４質量部、
（Ｃ） ０．１５０質量部、
（Ｄ） ０．０１０質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２５０質量部
を混合して感光性樹脂組成物６を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物６に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥はみられないが、抜け性不良のため、２０μｍパターンは解像しなかった。
〔感光性樹脂組成物６の調製〕
（Ａ） １．９９６質量部、
（Ｂ） ２．９９４質量部、
（Ｃ） ０．１５０質量部、
（Ｄ） ０．０１０質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２５０質量部
を混合して感光性樹脂組成物６を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物６に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びのような欠陥はみられないが、抜け性不良のため、２０μｍパターンは解像しなかった。
比較例３
〔感光性樹脂組成物７の調製〕
（Ａ） １．７１４質量部、
（Ｂ） ２．５７１質量部、
（Ｃ） ０．１２９質量部、
（Ｄ） ０．７７１質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２１４質量部
を混合して感光性樹脂組成物７を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物７に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びの欠陥がみられ、２０μｍパターンは解像できなかった。
〔感光性樹脂組成物７の調製〕
（Ａ） １．７１４質量部、
（Ｂ） ２．５７１質量部、
（Ｃ） ０．１２９質量部、
（Ｄ） ０．７７１質量部、
（Ｅ−１） ８．６３７質量部、
（Ｅ−２） ０．９６０質量部および
エポキシ化合物 ０．２１４質量部
を混合して感光性樹脂組成物７を得た。
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物７に代える以外は実施例１と同様に操作して、パターンを得た。
〔評価〕
実施例１と同様にフォトスペーサーとして必要な２０μｍが解像できるかできないかを調べたところ、パターン飛びの欠陥がみられ、２０μｍパターンは解像できなかった。
本発明の感光性樹脂組成物はフォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる感光性樹脂組成物を提供することができ、液晶表示装置を構成する透明材料、例えば、オーバーコート、フォトスペーサー、着色パターンの膜厚を合わせるための透明コート層などを形成するのに有用である。
Claims (5)
- （Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）光重合開始助剤および（Ｅ）溶剤を含む感光性樹脂組成物において、（Ｃ）光重合開始剤が２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オンであり、（Ｄ）光重合開始助剤として少なくとも１種のアミン系化合物を含み、（Ｃ）光重合開始剤および（Ｄ）光重合開始助剤の合計量が、（Ａ）バインダーポリマーおよび（Ｂ）光重合性化合物の合計量１００質量部に対して０．１質量部以上２０質量部以下であり、（Ｄ）光重合開始助剤が、（Ｃ）光重合開始剤１質量部に対して０．１質量部以上５質量部以下である感光性樹脂組成物。
- （Ｄ）光重合開始助剤である少なくとも１種のアミン系化合物が４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンである請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して該層を露光し、現像するパターンの形成方法。
- 請求項３に記載の方法で形成されたパターンを含むカラーフィルタ。
- 請求項４に記載されたカラーフィルタを使用した液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003354764A JP2005121775A (ja) | 2003-10-15 | 2003-10-15 | 感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003354764A JP2005121775A (ja) | 2003-10-15 | 2003-10-15 | 感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005121775A true JP2005121775A (ja) | 2005-05-12 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003354764A Pending JP2005121775A (ja) | 2003-10-15 | 2003-10-15 | 感光性樹脂組成物 |
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| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003866A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Toppan Printing Co Ltd | 光硬化性樹脂組成物及びカラーフィルタ |
| WO2007139007A1 (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Mitsubishi Chemical Corporation | 保護膜用熱硬化性組成物、硬化物、及び液晶表示装置 |
| JP2009139932A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-25 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 重合性樹脂組成物、塗膜、パターンおよび表示装置 |
-
2003
- 2003-10-15 JP JP2003354764A patent/JP2005121775A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2009139932A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-25 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 重合性樹脂組成物、塗膜、パターンおよび表示装置 |
| KR101529728B1 (ko) * | 2007-11-16 | 2015-06-17 | 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤 | 중합성 수지 조성물 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090908 |