JP2005121633A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004248706A JP4386812B2 (ja) | 2003-08-27 | 2004-08-27 | X線検査装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003303188 | 2003-08-27 | ||
| JP2003330180 | 2003-09-22 | ||
| JP2004248706A JP4386812B2 (ja) | 2003-08-27 | 2004-08-27 | X線検査装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005121633A JP2005121633A (ja) | 2005-05-12 |
| JP2005121633A5 true JP2005121633A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) | 2007-04-26 |
| JP4386812B2 JP4386812B2 (ja) | 2009-12-16 |
Family
ID=34623546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004248706A Expired - Fee Related JP4386812B2 (ja) | 2003-08-27 | 2004-08-27 | X線検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4386812B2 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0415053D0 (en) * | 2004-07-05 | 2004-08-04 | Dage Prec Ind Ltd | X-ray manipulator |
| JP4926645B2 (ja) * | 2006-10-24 | 2012-05-09 | 名古屋電機工業株式会社 | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム |
| JP2008298480A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Beamsense Co Ltd | ステレオ透視装置およびそれを用いたステレオ観察方法 |
| JP5125423B2 (ja) * | 2007-11-01 | 2013-01-23 | オムロン株式会社 | X線断層画像によるはんだ電極の検査方法およびこの方法を用いた基板検査装置 |
| JP4818245B2 (ja) * | 2007-11-14 | 2011-11-16 | 株式会社 コアーズ | 加熱型x線観察装置 |
| JPWO2009078415A1 (ja) * | 2007-12-17 | 2011-04-28 | 株式会社ユニハイトシステム | X線検査装置および方法 |
| JP5396751B2 (ja) * | 2008-06-18 | 2014-01-22 | オムロン株式会社 | X線利用の基板検査装置 |
| CN102265143A (zh) * | 2008-12-22 | 2011-11-30 | 欧姆龙株式会社 | X射线检查方法和x射线检查装置 |
| JP5444718B2 (ja) * | 2009-01-08 | 2014-03-19 | オムロン株式会社 | 検査方法、検査装置および検査用プログラム |
| JP4574718B1 (ja) | 2009-04-22 | 2010-11-04 | 株式会社アドバンテスト | 電磁波測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 |
| JP5569061B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2014-08-13 | オムロン株式会社 | X線検査方法、x線検査装置およびx線検査プログラム |
| JP5220060B2 (ja) * | 2010-06-02 | 2013-06-26 | 株式会社アドバンテスト | 電磁波測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 |
| CN103733053B (zh) * | 2011-08-05 | 2016-08-17 | 株式会社岛津制作所 | 射线摄影装置 |
| JP2013061257A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Omron Corp | X線検査装置、x線検査装置の制御方法、x線検査装置を制御するためのプログラム、および、当該プログラムを格納した記録媒体 |
| KR101181845B1 (ko) * | 2011-12-22 | 2012-09-11 | 주식회사 쎄크 | Smt 인라인용 자동 엑스선 검사장치 |
| KR101381927B1 (ko) * | 2013-09-13 | 2014-04-24 | 김선택 | X선을 이용한 회로소자의 사위 촬영장치 및 방법 |
| KR101467478B1 (ko) * | 2013-09-13 | 2014-12-01 | (주)시스트 | X선을 이용한 회로소자의 촬영장치 및 방법 |
| EP2927943A1 (en) | 2014-04-04 | 2015-10-07 | Nordson Corporation | X-ray inspection apparatus for inspecting semiconductor wafers |
| JP6578369B2 (ja) * | 2016-02-04 | 2019-09-18 | エクスロン インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングYxlon International Gmbh | インテリジェントな経路曲線を用いたx線ctシステム内でのx線ct法において試験片を再構成する方法 |
| DK3690429T3 (en) * | 2019-02-04 | 2021-12-13 | Microtec Srl | Tunnel ct scanner |
| EP4414753A4 (en) * | 2021-10-08 | 2025-08-06 | Nuctech Co Ltd | POSTURE ADJUSTMENT STRUCTURE, TRANSMISSION DEVICE AND RADIATION IMAGING SYSTEM |
-
2004
- 2004-08-27 JP JP2004248706A patent/JP4386812B2/ja not_active Expired - Fee Related
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