JP2005108939A - 印刷配線板、半導体装置、及びそれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
半導体素子を印刷配線板にフリップチップ実装したときの信頼性が高い印刷配線板、半導体装置、及びそれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】
複数の配線層及び絶縁層が交互に積層されるとともに配線層間がビア接続された多層配線層21と、多層配線層の第1の面に形成されるとともに半導体素子を搭載するための複数の第1の導電性パッド13と、第1の面の反対側の第2の面に形成された複数の第2の導電性パッド19と、を備え、第1の導電性パッド13と配線層15との間に、第1の導電性パッドと配線層とが直接接合するときよりも密着性を高める導電層14が介在し、第2の導電性パッドは、少なくとも配線層及び導電層を介して対応する第1の導電性パッドと電気的に接続することを特徴とする。
【選択図】
図1
Description
本発明の実施形態1に係る半導体装置及び印刷配線板について図面を用いて説明する。図1は、本発明の実施形態1に係る半導体装置の構成を模式的に示した(A)表面側からの斜視図、(B)裏面側からの斜視図、及び(C)部分断面図である。実施形態1に係る半導体装置は、フリップチップボールグリッドアレイ(FCBGA)を適用したものである。
本発明の実施形態2に係る半導体装置及び印刷配線板について図面を用いて説明する。図4は、本発明の実施形態2に係る半導体装置の構成を模式的に示した(A)表面側からの斜視図、(B)裏面側からの斜視図、及び(C)部分断面図である。実施形態2に係る半導体装置も、フリップチップボールグリッドアレイ(FCBGA)を適用したものである。実施形態2に係る半導体装置と実施形態1に係る半導体装置とは、第1の導電性パッド以外の構成についてほぼ同様であるが、第1の導電性パッドについてはその形状が異なる。
10 印刷配線板
11 金属板
11a 開口部
11b 凹状部
12 第1の絶縁層
12a 開口部
13 第1の導電性パッド
14 導電層
15 第1の配線層
16 第2の絶縁層
17 第2の配線層
18 第3の絶縁層
18a 開口部
19 第2の導電性パッド
20 第1のバンプ
21 多層配線層
22 エッチングレジスト
30 半導体素子
31 第2のバンプ
40 封止樹脂
Claims (13)
- 複数の配線層及び絶縁層が交互に積層されるとともに前記配線層間がビア接続された多層配線層と、
前記多層配線層の第1の面に形成されるとともに半導体素子を搭載するための複数の第1の導電性パッドと、
前記第1の面の反対側の第2の面に形成された複数の第2の導電性パッドと、
を備え、
前記第1の導電性パッドと、該第1の導電性パッドと接続される配線層との間に、前記第1の導電性パッドと配線層とが直接接合するときよりも密着性を高める導電層が介在し、
前記第2の導電性パッドは、少なくとも前記配線層及び前記導電層を介して対応する前記第1の導電性パッドと電気的に接続することを特徴とする印刷配線板。 - 複数の配線層及び絶縁層が交互に積層されるとともに前記配線層間がビア接続された多層配線層と、
前記多層配線層の第1の面に形成されるとともに半導体素子を搭載するための複数の第1の導電性パッドと、
前記第1の面の反対側の第2の面に形成された複数の第2の導電性パッドと、
を備え、
前記第1の導電性パッドと、該第1の導電性パッドと接続される配線層との間に、前記第1の導電性パッドと配線層とが直接接合するときよりも密着性を高める導電層が介在し、
前記第1の導電性パッドは、前記第1の面から突出した突起状パッドであり、
前記第2の導電性パッドは、少なくとも前記配線層及び前記導電層を介して対応する前記第1の導電性パッドと電気的に接続することを特徴とする印刷配線板。 - 前記導電層は、導電性銅ペーストよりなることを特徴とする請求項1又は2記載の印刷配線板。
- 前記第1の導電性パッドは、金、錫及び半田よりなる群から選択された少なくとも1種の金属又はその合金よりなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の印刷配線板。
- 前記第2の導電性パッドは、前記配線層側から順に、ニッケルめっき層及び金めっき層の2層よりなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の印刷配線板。
- 前記第1の面に積層されるとともに、前記半導体素子を収納するための貫通した開口部を有する金属板を備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の印刷配線板。
- 前記金属板は、ステンレス、鉄、ニッケル、銅及びアルミニウムよりなる群から選択された少なくとも1種の金属又はその合金よりなることを特徴とする請求項6記載の印刷配線板。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の印刷配線板と、
前記第1の導電性パッドに接続された半導体素子と、
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 金属板の表面に、複数の開口部を有する第1の絶縁層を形成する工程と、
前記第1の絶縁層の開口部に、半導体素子を搭載するための第1の導電性パッドを形成する工程と、
前記第1の導電性パッドの表面に導電層を形成する工程と、
前記導電層を含む前記第1の絶縁層の表面に、複数の配線層及び絶縁層が交互に積層され、前記配線層間がビア接続された多層配線層を形成する工程と、
前記多層配線層における最上部の絶縁層に形成された開口部から露出する配線層の表面に、少なくとも前記導電層及び前記配線層を介して対応する前記第1の導電性パッドと電気的に接続される第2の導電性パッドを形成する工程と、
を含み、
前記導電層は、前記第1の導電性パッドと配線層とが直接接合するときよりも密着性を高めることを特徴とする印刷配線板の製造方法。 - 金属板の表面に第1の絶縁層を成膜する工程と、
前記第1の絶縁層に、前記金属板を露出する複数の開口部を形成する工程と、
前記開口部より露出した前記金属板の部位に凹状部を形成する工程と、
前記凹状部に、半導体素子を搭載するための第1の導電性パッドを形成する工程と、
前記第1の導電性パッドの表面に導電層を形成する工程と、
前記導電層を含む前記第1の絶縁層の表面に、複数の配線層及び絶縁層が交互に積層され、前記配線層間がビア接続された多層配線層を形成する工程と、
前記多層配線層における最上部の絶縁層に形成された開口部から露出する配線層の表面に、少なくとも前記導電層及び前記配線層を介して対応する前記第1の導電性パッドと電気的に接続される第2の導電性パッドを形成する工程と、
を含み、
前記導電層は、前記第1の導電性パッドと配線層とが直接接合するときよりも密着性を高めることを特徴とする印刷配線板の製造方法。 - 前記第2の導電性パッドを形成する工程では、前記配線層側から順に、ニッケルめっき層及び金めっき層を形成することを特徴とする請求項9又は10記載の印刷配線板の製造方法。
- 前記金属板に、前記第1の導電性パットが形成されている領域を含むように、半導体素子を収納するための開口部を形成し、前記第1の導電性パッド及び前記第1の絶縁層を露出させる工程を含むことを特徴とする請求項9乃至11のいずれか一項に記載の印刷配線板の製造方法。
- 請求項9乃至12のいずれか一項に記載の方法により製造された印刷配線板の第1の導電性パッドに半導体素子を接続することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003337033A JP3800215B2 (ja) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | 印刷配線板、半導体装置、及びそれらの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005108939A true JP2005108939A (ja) | 2005-04-21 |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP3800215B2 (ja) |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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