JP2005107297A - 表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】断線を確実にかつ配線抵抗の増大を抑えて修復する。
【解決手段】同一の基板10の上に形成され、互いに同一電位に設定される例えば電源ライン124の形成後、直ちに欠陥検査を行ってその欠損欠陥(断線)部分を繋ぐように電源ライン124を直接覆って修復配線128を形成する。修復配線128は、断線端部124d1,d2同士を結ぶように、例えばタングステンなどの導電材料のガス雰囲気中でレーザビームで走査することで、描画して形成することができる。電源ライン124を直接覆ってその断線を修復することで配線抵抗の上昇を抑え、修復配線128の上での平坦性の一層の向上を図る。
【選択図】図9
【解決手段】同一の基板10の上に形成され、互いに同一電位に設定される例えば電源ライン124の形成後、直ちに欠陥検査を行ってその欠損欠陥(断線)部分を繋ぐように電源ライン124を直接覆って修復配線128を形成する。修復配線128は、断線端部124d1,d2同士を結ぶように、例えばタングステンなどの導電材料のガス雰囲気中でレーザビームで走査することで、描画して形成することができる。電源ライン124を直接覆ってその断線を修復することで配線抵抗の上昇を抑え、修復配線128の上での平坦性の一層の向上を図る。
【選択図】図9
Description
本発明は、表示装置などにおける回路配線パターンの欠陥修復に関する。
半導体装置の一種である例えば表示装置では、各画素に、表示素子を駆動するための薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor、以下TFT)などを設けたいわゆるアクティブマトリクス型表示装置がよく知られている。このうち、表示素子として液晶を用いたアクティブマトリクス型の液晶表示装置(以下、LCD)は、既に、コンピュータのモニターや、テレビジョンモニターを始め、多くの高精細表示装置に採用されている。このようなアクティブマトリクス型液晶装置では、各画素のTFTや表示素子の素子自体や、及びこれらに電力・データを供給する配線などの回路配線パターンを欠陥なく製造することが、表示品質の向上及び歩留まり向上などの観点から望まれる。
ところが、現実には、ディスプレイの一層の高精細化や大画面化が進む中、画素数の増加や集積度の増大が避けられずTFTや配線などにおける欠陥の発生を完全に防ぐことはできない。1枚の基板(1パネル)に形成されるこれらの素子や配線等の配線パターンに欠陥が発生したパネルを全て破棄したのでは、歩留まりの著しい低下と、製造コストの著しい上昇を招くため、欠陥を修復して良品とする作業が行われている。
上記アクティブマトリクス型液晶表示装置における欠陥は、従来は、1枚の基板に本来形成されるべきほとんど全ての回路素子を形成した後、例えば各画素を選択して表示動作を行わせるなどして欠陥を判定していた。
しかし、1画素には、少なくとも1つのTFT、データを保持する保持容量、そして画素電極などが含まれており、最終的に駆動される表示素子での表示や、電極電極の電位を観察しただけでは、欠陥の原因を特定できないことが多い。また欠陥領域の上には、既に他の回路が形成されていて修復が物理的にできないこともあった。
そこで、アクティブマトリクス型液晶表示装置では、各画素が完成する前、具体的には2枚の基板を間に液晶を挟んで貼り合わせてLCDを構成する前のTFT基板が完成した時点でこのTFT基板上に形成されたTFT、及びこのTFTを駆動・制御する走査配線(ゲート配線)、データ配線などにおける断線や短絡などの欠陥を検査し、修復する方法が考えられる。このようなTFT基板の欠陥の検査・修復は、回路素子の静電気などからの保護の観点から、少なくとも、TFT中の一番上の配線層を絶縁膜で覆うまで形成した後に施される。
このようなTFT基板の断線の修復方法としては、CVDリペアという方法が考えられる。CVDリペアは、図10(a)に示すように本来接続されているべき配線が断線している場合に、配線を覆った絶縁膜の上に、選択的にCVD法によって修復用導電性材料のパターンを堆積させて断線部分を接続するやり方である。より具体的には、図10(b)に示すように、絶縁層で覆われている配線の断線部分(欠損欠陥部分)の手前で、それぞれレーザによって層間絶縁層を貫通するコンタクトホールを形成し、底に配線を露出させる。次に、図10(c)のように、コンタクトホールの間、即ち、断線部分を原料ガスMG中でレーザビームで走査することで、任意の修復配線パターンrlを描画するというやり方である。
上記CVDリペアを採用するとTFT基板に対して高い自由度で確実に断線部を接続することが可能となるが、配線を構成する導電材料とは異なる修復用材料を用いて修復パターンを形成するので接続部分に大きな抵抗成分が生ずる。また、配線を覆う絶縁膜にコンタクトホールを形成し、絶縁膜の上に修復用材料パターンを形成するので、断線のない配線と比べ、少なくとも絶縁膜の厚さの2倍分の配線長が長くなり、それだけ配線抵抗が大きくなることが避けられない。
また、断線の修復は、断線した部分のみを修復用材料パターンで接続すると共に、上述のように配線を覆う絶縁膜にコンタクトホールを形成し、絶縁膜の上に修復用材料パターンを形成するので、修復箇所には断線のない配線部分と比較して局所的に大きな凸凹が生じてしまう。
本発明は、上記課題に対し、欠損欠陥である断線を確実に、かつ配線抵抗の増大を抑えて修復することを可能とする。
本発明では、表示装置において、基板上に、それぞれ表示素子を備える複数の画素のそれぞれに対し同一電源からの電力を供給するための複数の配線パターンを備え、前記配線パターンの欠損欠陥部分において、欠損端部同士が該端部を直接覆う修復用導電材パターンによって接続され、前記複数の配線パターン及び前記修復用導電材パターンを覆って絶縁膜が形成されている。
本発明の他の態様では、前記絶縁膜の上方に前記表示素子が形成されている。
本発明の他の態様では、前記修復用導電材パターンは、前記修復用導電材パターンの堆積形成に続けて堆積形成された保護膜に覆われている。
本発明の他の態様では、上記表示装置において、前記表示素子は、有機層を備える有機電界発光素子である。
本発明の他の態様では、上記表示装置において、前記欠損端部同士と、前記欠損欠陥の発生した配線パターンに隣接する配線パターンとが前記修復用導電材パターンによって互いに接続されている。
以上説明したように、本発明によれば、アクティブマトリクス型の表示デバイスや、その他半導体装置などにおいて形成される薄膜トランジスタやそれらのための配線に発生した断線(欠損欠陥)対し、低い配線抵抗でかつ上層の平坦性を維持しながら修復用導電材パターン(修復配線)を形成することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態(以下、実施形態)について、図面に基づいて説明する。
[実施形態1]
本発明の実施形態1に係る表示装置は、特に各画素に表示素子とこれを駆動するTFTを備えたアクティブマトリクス型表示装置に適用され、以下においては表示素子にエレクトロルミネッセンス(Electroluminescence:以下EL)素子を用い、各画素に有機EL素子とこれを制御・駆動するTFTを備えたアクティブマトリクス型EL表示装置を例に挙げて説明する。
本発明の実施形態1に係る表示装置は、特に各画素に表示素子とこれを駆動するTFTを備えたアクティブマトリクス型表示装置に適用され、以下においては表示素子にエレクトロルミネッセンス(Electroluminescence:以下EL)素子を用い、各画素に有機EL素子とこれを制御・駆動するTFTを備えたアクティブマトリクス型EL表示装置を例に挙げて説明する。
アクティブマトリクス型の表示装置のなかで、EL素子、特に発光材料に有機材料を用いた有機EL素子を用いたアクティブマトリクス型表示装置は自発光タイプで、光源が不要であるためLCDなどと比較してより薄型の表示装置を実現でき、現在研究が盛んに行われている。
この有機EL素子は、発光性有機材料を含む有機層を挟むように形成された陽極と陰極の間に流す電流に応じて発光するいわゆる電流駆動型表示素子である。従って、有機EL表示装置では、各画素に設けられる有機EL素子に電流を供給するための電流供給用配線が必要で、この電流供給用配線に流れる電流量は、例えば液晶を交流駆動する電圧駆動型の液晶表装置において、各画素に供給される電流量と比較しても非常に大きな値となる。このように配線に流れる電流量が多いので、配線抵抗のわずかな増加であっても大きな電圧降下が発生し、有機EL素子の発光輝度に画素間で大きなばらつきが生ずることになってしまう。従って、断線を修復したとしても、その断線修復部分における抵抗をできるだけ低く抑えることが極めて重要となる。
また、有機EL表示装置において、陽極と陰極の層間に形成される発光性有機材料を含む有機層は非常に薄い上、その耐久性にまだ大きな課題があるなどの理由から、有機層の形成表面はできる限り平坦で平滑であることが強く要求される。
一方で、アクティブマトリクス型有機EL表示装置では、有機EL素子が半導体プロセスへの耐性についても課題が多いこともあり、有機EL素子の形成よりも先(有機EL素子の下層)にTFTや配線を形成することが望ましい。さらに、TFTや配線の欠陥の修復についても、その上層に形成される配線や電極などが修復の妨げとならないよう、有機EL素子の形成前に実行するのが容易且つ確実である。そこで、本実施形態では、TFTおよび配線を基板上に形成した後、有機EL素子の形成前に欠陥検査および欠陥修復を実行することで製品の歩留まり向上を図るが、欠陥修復の後にその上に有機EL素子が形成されるため、欠陥修復部分における凹凸をできるだけ小さくし、その上方における有機EL素子の形成面が平坦になるようにすることが必要となる。
図1は、本実施形態にかかるアクティブマトリクス型有機EL表示装置の概略回路構成を示す。図2は、図1に示すアクティブマトリクス型有機EL表示装置の1画素において、電源ライン124に接続された第2薄膜トランジスタTr2と、このTr2に接続された有機EL素子50の概略断面構造を示している。ガラスなどの透明基板10上に、複数の画素がマトリクス状に配列された表示部120が形成されており、各画素にはそれぞれ有機EL素子(EL)50、この有機EL素子50での発光を画素毎に制御するためのスイッチ素子(ここでは薄膜トランジスタ:TFT)、及び表示データを保持する保持容量Cscが設けられている。
図1の例では、各画素には第1及び第2薄膜トランジスタTr1,Tr2が形成され、Tr1は、走査ライン(ゲートライン)114に接続され、走査信号が印加されてオン制御されたとき、対応するデータライン122に印加されている表示内容に応じた電圧信号が、Tr1を介してTr2のゲートに印加され、またTr1,Tr2の間に接続された保持容量Cscによって一定期間保持される。そして、Tr2は、この保持容量Cscで保持されてゲートに印加される電圧に応じた電流を電源(Pvdd)供給ライン(以下電源ライン)124から、このTr2に接続された有機EL素子の陽極(正孔注入電極)20に供給する。有機EL素子50は、この供給される電流量に応じた輝度で発光し、発光光は、ITOなど透明な第1電極20及び透明基板10を通過して外部に射出される。
有機EL素子50は、第1電極20と第2電極22との間に発光素子層30を備え、第1電極20は、ITO(Indium Tin Oxide)やIZO(Indium Zinc Oxide)などの透明導電材料からなり、ここでは正孔注入機能を備えている。この第1電極20の上に形成される発光素子層30は、少なくとも有機発光化合物を含む単層または多層構造を備え、この発光素子層30の上に、上記第1電極20と対向するように形成される第2電極22は、AlやAlの合金などの金属や、このような金属と電子注入障壁を緩和する例えばLiF等との積層構造からなり、電子注入機能を備える。
第1薄膜トランジスタTr1は、図2では省略しているが、図示するTr2とほぼ同様の構造を備えており、薄膜トランジスタTr1、Tr2は、この例ではいずれもその能動層110に、非晶質シリコンをレーザアニールにて多結晶化した多結晶シリコンを用いている。また本実施形態においてこの薄膜トランジスタTr1及びTr2は、能動層110を覆って形成されたゲート絶縁層112の上方にゲート電極114を備えるいわゆるトップゲート型TFTであり、能動層110のゲート電極114の下方領域はチャネル領域110cが形成され、チャネル領域110cの両側には所定導電型の不純物がドープされたソース領域110s及びドレイン領域110dが形成されている。但し、能動層110よりゲート電極114が下層に形成されるボトムゲート型TFT構成であってもよい。また、本実施形態ではゲート絶縁層112は、能動層110側からSiO2/SiNが順に積層された積層構造を備える。なお、能動層110と基板10との間には、基板10からのNaなどの不純物が能動層110に侵入することを防止するため、能動層110との接触側から順にSiO2/SiNの多層構造を有するバッファ層108が形成されている。
ゲート電極114を覆う基板のほぼ全面には、例えば下層側から順にSiN/SiO2が積層された多層構造の層間絶縁層116が形成され、層間絶縁層116に開口されたコンタクトホールを介してソース領域110s、ドレイン領域110dの一方に電源ライン124が接続され、他方にはコネクタ電極126が接続されている。また、これらの配線124、126を含む基板のほぼ全体を覆うように例えば樹脂などの有機材料(無機材料でもよい)からなる第1平坦化絶縁層130が形成され、この平坦化絶縁層130の上方に有機EL素子50の第1電極20が積層され、第1電極20の端部を覆うように第2平坦化絶縁層140が積層されている。第1電極20は、第1平坦化絶縁層130を貫通するコンタクトホールにおいてコンタクト電極126と接続されている。第1電極20の上には、発光素子層30、第2電極22がこの順に形成されている。
さらに、本実施形態では、第1平坦化絶縁層130と第1電極20の間に後述する欠陥の修復用配線パターンを覆う保護膜132が形成されている。なお、表示装置に用いられる有機ELパネルは、透明基板10上に以上のような回路素子を形成した後、不活性気体雰囲気中で第2電極側から封止基板を透明基板10に接着して完成する。この有機ELパネルの検査は、最上層の有機EL素子を形成してからでは、有機EL素子の発光状態が観察できるだけで、発光異常があっても、その原因が、有機EL素子を駆動するTFT(Tr1、Tr2等)や配線等での断線や短絡であるのかどうかを調べることができない。従って、上述のように多層配線構造であったり、有機EL素子50の耐性の問題の観点だけでなく、TFTや配線等に起因した欠陥かどうかを把握して修復するためにも、TFTを基板上に形成し、さらにこのTFTにデータ信号、電流を供給する配線(データライン120、電源ライン124)を形成した後、有機EL素子50の第1電極20を形成する前に、TFT、配線の検査を行い、欠陥が発見された場合、その欠陥を修復する。
また、その他の例としては、ITOの透明材料からなる第1電極を形成完了後に、そのITOを使用した検査方法を用いて画素内の欠陥検査を行う。その後、検出された欠陥部の修復を実施する。このとき、オープン不良(断線)の場合には、レーザCVDにより配線(接続)し、ショート不良(短絡)の場合には、レーザにより切断して修復をする。
その際、電極ラインと画素電極間の絶縁膜に凹凸が生じるため、欠陥部の修復以降に平坦化を目的とした層を設け、完成させる。この層としては、第2平坦化絶縁層140あるいはその膜の上に突起状に設けた有機EL材料の蒸着の際に用いる蒸着マスクの支持のための絶縁膜などを兼用することができる。兼用ができない場合には、別途平坦性を有する膜を設けても良い。
以下、有機EL素子に第2薄膜トランジスタTr2を介して電流を供給する電源ライン124に断線が発生した場合を例に、本実施形態に係る欠陥(ここでは、欠損欠陥:断線)の修復方法について説明する。なお、短絡欠陥については、レーザ等で短絡部分を焼き切るなどの処理を施す。
本実施形態の第1の例では、層間絶縁層116のデータライン122、電源ライン124及びコンタクト電極126を形成し、これらを覆って第1平坦化絶縁層130まで形成したところで、欠陥の検査を実行する。なお、図1に示すように基板上の表示部100内で列方向にストライプ状に配列される電源ライン124は、表示部100の周囲で互いに接続され共通の電源端子Pvddに接続されている。この電源ライン124に図3(a)に示すように断線が発生した場合、本実施形態では、断線部分124dcを接続するだけでなく、図3(b)に示すように、断線した電源ライン124dの両側に隣接する電源ライン124n1、124n2とも接続するような格子状(十字状)のパターンとする。
図4(a)に示すように、電源ライン124の断線距離が短い場合には、修復配線128は、図3(b)のような格子パターンではなく、断線部分124dcを覆う幅で、かつ、この断線部分と、隣接電源ライン124n1及び124n2とを接続するような矩形パターンとすることもできる。もちろん、図3(b)のような格子状としてもよい。
さらに、図5(a)に示すように断線した電源ライン124dに隣接する電源ライン124nが断線電源ライン124dの片側にしか存在しない場合には、図5(b)に示すように、断線部分124dcを接続し(128r1)、かつこの断線部分124dcと隣接する1つの電源ライン124nとを接続(128r2)するT字状(逆T字状を含む)のパターンとするか、或いは、上記図4(b)のような矩形パターンとすることができる。
上述の図10のように断線部分だけをCVDによる修正パターン描画によって修復した場合、堆積パターンによる凹凸が大きく上層の平坦性に影響を及ぼす。これに対し、本実施形態では、図3(b)、図4(b)および図5(b)に示すように、断線部分と、断線した配線の隣接配線とを接続するパターンとすることで、局部的な凹凸を緩和できる。また、修復配線面積を実質的に大きくできるため修復パターン配線の抵抗値をその分低減することができる。
図6は、本実施形態に係る電源ライン124の断線部の修復手順を示している。以下図6及び上記図2〜図5を参照して手順を説明する。基板10に必要なTFTを形成し、これを覆って第1平坦化絶縁膜130を形成した後、欠陥検査を行い、断線の発見された電源ライン124dの該断線部分124dcに接した配線端部124d1、124d2に図6(a)に示すように第1平坦化絶縁膜130の上からパルスレーザを照射し、この第1平坦化絶縁膜130を除去してコンタクトホール124hを形成し、配線端部124d1,124d2の表面を露出させる。また、図3(b)に示されるように、断線した電源ライン124dの両側(又は片側)に配置されている隣接電源ライン124n1、124n2の断線部分124dcに最も近い位置にも第1平坦化絶縁膜130の上からパルスレーザを照射して該第1平坦化絶縁膜130を除去してコンタクトホール124hを形成し、隣接電源ライン124n1、124n2の表面を露出させる。
本実施形態では、次に、修復配線材料ガスとして、カルボニルのタングステン錯体ガス(W(CO)6)を用い、図6(b)に示すように、この(W(CO)6)ガス雰囲気中で、CW(連続波)レーザをコンタクトホール124hの形成領域にそれぞれ照射し、コンタクトホール中にコンタクト用タングステン膜128cを形成する。その後、図6(c)に示すように、CWレーザビームを断線端部124d1,d2間をできるだけ最短距離(通常、直線)で結ぶように走査し、修復配線128r1のパターンを第1平坦化絶縁膜130の上に描画形成する。修復配線128r1を形成した後、続けてこの修復配線128r1を横切るようにこの配線128r1と接続され、かつ、隣接電源ライン124n1、124n2と上記修復配線128r1とを最短(通常、直線)で結ぶように、同じくW(CO)6ガス雰囲気中で、CWレーザを走査し、修復配線128r2を描画形成する。なお、修復配線128r1および128r2は、それぞれ上記の通り接続する2点間を最短で結ぶ直線となるように形成することが配線抵抗を低くする上で好ましいが、異なる電位の配線を迂回する必要があるなどの事情がある場合には、もちろん、曲線であったり、途中で折れ曲がった直線パターンとしてもよい。
また、修復配線128r1とr2の上面の平坦性を向上させるために、図6(d)に示すように、断線端部124d1,d2間を接続する修復配線128r1の上を修復配線128r2が跨がないよう、修復配線r1と両側の隣接電源ライン124n1、124n2との間を修復配線r2とを接続することがより好ましい。CWレーザの修復配線ガス材料中での走査は、ステージ台に取り付けられている基板ホルダ上に載置された基板をステージ台ごとX,Y方向に移動させることで実行でき、基板を移動させて隣接電源ライン124n1、n2の一方から他方に向かって修復配線128r2を描画形成してゆき、例えば、修復配線128r1と交差したことを光学センサなどで判別し、CWレーザの照射を一旦止めて更に基板を移動させ、修復配線r1を通り過ぎてから再びCWレーザを照射して、修復配線128r2の描画を続けるなどの方法を採用することができる。
以上のようにして修復配線128を形成した後、本実施形態では、更に、図6(e)に示すように、修復配線128を覆って保護膜132を形成する。保護膜132によって修復配線128を覆ってから、その上に図2に示すように有機EL素子50等を形成することで、有機EL素子50の形成時、特に、素子の下層電極である20を画素毎の個別電極とするための、ホトリソグラフィ工程に際し、レジスト剥離液などから修復配線128を確実に保護することができる。とりわけ、上記実施形態のようにタングステンの修復配線128は、酸やアルカリ液に対して変質が起きやすく、レジスト剥離液や現像液でエッチング除去されてしまうため、保護膜132で覆うことが必要である。また、有機EL素子50の第1電極20がこの修復配線128のすぐ上層に形成されることは好ましくないので、保護膜132によって修復配線128と第1電極20とを絶縁することが必要である。
このような保護膜132としては、SiNxや、SiO2などの絶縁膜が採用可能であり、形成方法は特に限定されないが、例えば化学気相成長(CVD)を用いて成膜することができ、下層の修復配線128にダメージを与えることなく形成することができる。また、本実施形態の構成によれば、SiNxを用いて保護膜132を形成した場合、この保護膜132は上記のように修復配線128と第1電極20とを絶縁すると共に、第1平坦化絶縁膜130側から有機EL素子50への水分の侵入を防止する水分ブロック層としても機能することができる。有機EL素子50の有機層は、水分等による劣化が大きな課題であるが、保護膜132が第1平坦化絶縁膜130と素子50との間にあれば、例えば、吸湿性のある有機樹脂を用いた場合の第1平坦化絶縁膜130や、さらにその下層からの水分の侵入を遮ることができ、素子50の信頼性、寿命の向上にも寄与できる。さらに、水分の侵入防止を目的として、水分ブロック層を第1平坦化絶縁膜130と素子50との間に形成する構成に本実施形態の断線修復手法を採用する場合には、水分ブロック層をこの保護膜132と兼用させることで、保護膜132の形成工程を特別に追加することなく、保護膜を得ることが可能となる。
次に、本実施形態の第2の例について説明する。この例では、図7に示すように、第1平坦化絶縁膜130の形成前に、電源ライン124や、コンタクト電極126、図示しないデータライン120等を覆って、例えば、SiNxなどからなる絶縁膜134を形成しており、上記第1の例との相違は、第1平坦化絶縁膜130の形成後ではなく、この絶縁膜134の形成後、配線の欠陥検査と欠陥修復処理を行うことである。上述のように、水分に対して耐性の低い有機EL素子50にTFTの形成された基板側から水分が侵入することを防止することが望まれており、水分の遮蔽機能の高いSiNxからなる絶縁膜を図7のように第1平坦化絶縁膜130の下層に形成すれば、水分の有機EL素子50への侵入を防止できる。また、アルカリイオンなどの基板側からの不純物も有機EL素子50に悪影響を及ぼすが、それらの不純物の侵入を防止することもできる。反対に、有機EL素子50からTFTへの水分や不純物の侵入を防止することもできる。
本実施形態の第2の例において、絶縁膜134を形成した後、絶縁膜134の上からレーザを照射し、上述のように電源ライン124の断線部分に接する端部124d1,124d2および隣接ライン124n1,124n2の表面を露出させ、修復配線用のガス(W(CO)6)雰囲気中でCWレーザを走査し、修復配線128(128r1,128r2)を形成する。修復配線パターンを断線部分だけでなく隣接電源ライン124n1,n2とも接続するパターンとする。なお、これらの手順は、上記図6(a)〜6(d)と同一である。しかし、第2の例では、この修復配線128の上には、第1平坦化絶縁膜130が形成され、その上に有機EL素子50が形成される。従って、第1平坦化絶縁膜130によって修復配線128の存在による凹凸はより確実に平坦化され、有機EL素子50形成面をより平坦にすることができる。
[実施形態2]
上記実施形態1では、電源ライン124を覆って第1平坦化絶縁膜130や絶縁膜134を形成した後に断線の修復を行っているが、本実施形態2では、電源ライン124形成後、直ちに欠陥を検査し、図8に示すように、電源ライン124と直接接するように断線部分を修復する修復配線228を形成し、その後、第1平坦化絶縁膜130を形成している。なお、修復配線228の形成後、SiNx等からなる保護膜138を形成してから、第1平坦化絶縁膜130を形成すれば、例えばタングステンを修復配線228に採用した場合にも、後の工程で用いられるレジスト剥離液などからこの修復配線228を確実に保護することができる。
上記実施形態1では、電源ライン124を覆って第1平坦化絶縁膜130や絶縁膜134を形成した後に断線の修復を行っているが、本実施形態2では、電源ライン124形成後、直ちに欠陥を検査し、図8に示すように、電源ライン124と直接接するように断線部分を修復する修復配線228を形成し、その後、第1平坦化絶縁膜130を形成している。なお、修復配線228の形成後、SiNx等からなる保護膜138を形成してから、第1平坦化絶縁膜130を形成すれば、例えばタングステンを修復配線228に採用した場合にも、後の工程で用いられるレジスト剥離液などからこの修復配線228を確実に保護することができる。
実施形態2では、実施形態1における絶縁膜(130,134)除去のためのレーザ照射処理が不要であり、図9(a)に示すように、修復配線ガス(W(CO)6)の雰囲気中で、発見された断線部分124dcに接する電源ライン端部124d1,124d2の間をCWレーザで描画して修復配線228を形成し、端部124d1,124d2同士を接続する(図9(b))。
また、実施形態2では、修復配線228の形成後、図8及び図9(c)に示すように、必ず第1平坦化絶縁膜130の形成工程を経るため、修復配線228の存在による有機EL素子50の形成面における凹凸をほとんど無くすことができ、実施形態1の第1の例と比較して有機EL素子50の形成面の平坦性を一層高めることができる。またコンタクトホールを介さずに電源ライン124の上に直接修復配線228を形成するので、実施形態1の第2の例と比較してもコンタクトホールに起因した凹凸がなく有機EL素子50の形成面の平坦性を向上させることができる。
また、本実施形態2では、上記のように電源ライン124形成後、直ちにその断線部分に修復配線228を形成するので、修復配線228を上記実施形態1のようにコンタクトホールを介して絶縁膜の上に引き回す必要が無く、実効配線長が短くてすみ、その分配線抵抗を小さくすることができる。さらに、コンタクトホールが不要であるから、修復配線電源ライン124とこの修復配線228とが実際に接触する面積を大きくでき、電源ライン124と修復配線228との接続部の抵抗を低減することができる。このため、本実施形態2では、修復配線228は、実施形態1のように断線部分の他にその隣接電源ライン124との接続をとるパターンとする必要はない。また、修復配線228の存在が上記の通り有機EL素子50の形成面の平坦性に与える影響を非常に小さくできるので、この観点からも隣接電源ライン124にも接続する必要がない。従って、断線部分124dcのみを接続するパターンを採用でき、実施形態1と比較して修復配線228の形成時間は短くて済み、作業効率の向上を図ることができる。但し、配線抵抗の低減や、上層の平坦性の一層の向上を図るなどの目的のために、実施形態1の図3(b)、図4(b)、図5(b)に示すようなパターンを採用してもよい。
なお、以上実施形態1および2では、断線修復後に形成される素子として有機EL素子を挙げて説明したが、有機EL素子には限らず、例えば無機EL素子を用いた表示装置において各素子に交流電源を供給する電源ラインの断線修復に採用した場合においても、配線抵抗の上昇を抑えて電圧降下の少ない修復が可能となる。また、修復配線の上層における平坦性も確保できる。但し、有機EL素子においては、上述の通り、その形成面における平坦性の要求が強く、また電圧降下による輝度のばらつきも大きいため、以上の各実施形態のような断線修復方法を採用する効果が非常に大きい。さらに、もちろん、本発明の断線修復方法は、液晶表示装置にも採用可能である。アクティブマトリクス型の液晶表示装置では多層配線構造となり、液晶分子の配向の乱れを少なくするために画素電極の上面は平坦な方が好ましいこと、また液晶を低電圧で正確に制御する必要があり、また歩留まり向上が要求されるなどの理由から、対向基板の電極との間に構成される液晶容量を駆動するための画素電極の形成前に、該画素電極よりも先に形成されるTFT及びその配線の欠陥修復を低い配線抵抗で、かつ上層における凹凸を少なくして実行することの意義は高い。
表示装置の配線の断線修復に利用できる。
10 透明基板、20 第1電極(正孔注入電極)、22 第2電極(電子注入電極)、30 発光素子層、50 有機EL素子、100 表示部、108 バッファ層、110 能動層、112 ゲート絶縁層、114 走査ライン(ゲート電極)、116 層間絶縁層、120 データライン、124 電源ライン、124d1,124d2 断線配線端部、124n1,124n2 隣接電源ライン、126 コンタクト電極、128,128r1,128r2、228 修復配線パターン、130 第1平坦化絶縁層、132 保護膜、134 絶縁膜、140 第2平坦化絶縁層。
Claims (5)
- 表示装置において、
基板上に、それぞれ表示素子を備える複数の画素のそれぞれに対し同一電源からの電力を供給するための複数の配線パターンを備え、
前記配線パターンの欠損欠陥部分において、欠損端部同士が該端部を直接覆う修復用導電材パターンによって接続され、
前記複数の配線パターン及び前記修復用導電材パターンを覆って絶縁膜が形成されていることを特徴とする表示装置。 - 前記絶縁膜の上方に前記表示素子が形成されていることを特徴等する請求項1に記載の表示装置。
- 前記修復用導電材パターンは、前記修復用導電材パターンの堆積形成に続けて堆積形成された保護膜に覆われていることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の表示装置。
- 前記表示素子は、有機層を備える有機電界発光素子であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一つに記載の表示装置。
- 請求項1〜 請求項4のいずれか一つに記載の表示装置において、
前記欠損端部同士と、前記欠損欠陥の発生した配線パターンに隣接する配線パターンとが前記修復用導電材パターンによって互いに接続されていることを特徴とする表示装置。
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