JP2005104814A - 金属内包カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
金属内包カーボンナノチューブの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【構成】 シリコン基板(1)の表面にSiO2、SiNx、Mo又はWのいずれか一種の第1の薄膜(2)を形成させ、第1の薄膜の表面にカーボンナノチューブに内包させる金属による第2の薄膜(3)を形成させた後、第2の薄膜をナノパーティクル状にし、金属ナノパーティクルを起点としてカーボンナノチューブ(4)を成長させることにより、カーボンナノチューブの先端に存在する金属ナノパーティクルの一部から金属が、第1の薄膜表面上の金属ナノパーティクルに向かって延び、金属がカーボンナノチューブに内包される。
【選択図】図1
Description
2 第1の薄膜
3 第2の薄膜
4 カーボンナノチューブ
5 成長中のカーボンナノチューブ
6 金属内包カーボンナノチューブ
Claims (5)
- 金属が内包されたカーボンナノチューブの製造方法であり、シリコン基板の表面にSiO2、SiNx、Mo又はWのいずれか一種の第1の薄膜を形成させ、第1の薄膜の表面にカーボンナノチューブに内包させる金属による第2の薄膜を形成させた後、第2の薄膜をナノパーティクル状にし、金属ナノパーティクルを起点としてカーボンナノチューブを成長させることにより、カーボンナノチューブの先端に存在する金属ナノパーティクルの一部から金属が、第1の薄膜表面上の金属ナノパーティクルに向かって延び、金属がカーボンナノチューブに内包されることを特徴とする金属内包カーボンナノチューブの製造方法。
- カーボンナノチューブの成長中にシリコン基板に負のバイアスを印加する請求項1記載の金属内包カーボンナノチューブの製造方法。
- 金属が内包されたカーボンナノチューブの製造方法であり、金属基板の表面に高融点金属の第1の薄膜を形成させ、第1の薄膜の表面にカーボンナノチューブに内包させる金属による第2の薄膜を形成させた後、第2の薄膜をナノパーティクル状にし、金属ナノパーティクルを起点としてカーボンナノチューブを成長させることにより、カーボンナノチューブの先端に存在する金属ナノパーティクルの一部から金属が、第1の薄膜表面上の金属ナノパーティクルに向かって延び、金属がカーボンナノチューブに内包されることを特徴とする金属内包カーボンナノチューブの製造方法。
- 高融点金属基板の場合、第1の薄膜を省略する請求項3記載の金属内包カーボンナノチューブの製造方法。
- カーボンナノチューブの成長中に金属基板に負のバイアスを印加する請求項3又は4記載の金属内包カーボンナノチューブの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005213104A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | New Industry Research Organization | 高配向カーボンナノチューブの生成方法、及び高配向カーボンナノチューブの生成に適した装置。 |
JP2005350339A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-12-22 | Fujitsu Ltd | カーボンナノチューブ複合材料及びその製造方法、並びに、磁性材料及びその製造方法 |
JP2007277061A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Nagoya Institute Of Technology | 強磁性金属充填カーボンナノチューブ素子及びそれを用いたデバイス |
JP2010521819A (ja) * | 2007-03-15 | 2010-06-24 | 矢崎総業株式会社 | 炭素及び非炭素化合物の組織化されたアセンブリを含むキャパシタ |
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2003
- 2003-10-02 JP JP2003344405A patent/JP4471617B2/ja not_active Expired - Fee Related
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