JP2005098717A - 放射線像変換パネル及び放射線像変換パネルの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】気相堆積法により形成された柱状結晶10aからなる輝尽性蛍光体層10を有する放射線像変換パネル100において、該柱状結晶の結晶径の分布特性が、該蛍光体層の基板中心から等方的であり、結晶径の変動係数は50%以下とすることが好ましく、より好ましくは40%以下であり、さらに好ましくは30%以下、特に好ましくは20%以下、最も好ましくは10%以下とした。
【選択図】図1
Description
支持体上に、気相堆積法により柱状結晶からなる蛍光体層を形成した放射線画像変換パネルにおいて、該柱状結晶の結晶径の分布が該蛍光体層の基板中心から等方的であることを特徴とする。
前記柱状結晶の結晶径の変動係数が50%以下であることを特徴とする。
前記柱状結晶の結晶径の変動係数が40%以下であることを特徴とする。
前記柱状結晶の結晶径の変動係数が30%以下であることを特徴とする。
前記柱状結晶の結晶径の変動係数が20%以下であることを特徴とする。
前記柱状結晶の結晶径の変動係数が10%以下であることを特徴とする。
蛍光体が、基本組成式(I)で表されるハロゲン化アルカリを母体とする輝尽性蛍光体を含有することを特徴とする。
M1X・aM2X'2・bM3X''3:eA…(I)
[式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの各原子から選ばれる少なくとも1種の二価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの各原子から選ばれる少なくとも1種の三価金属原子であり、X、X'、X''はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e<1.0の範囲の数値を表す。]
請求項1から7のいずれか一項に記載の放射線像変換パネルの製造方法であって、
蛍光体層を、真空容器内に蒸発源、支持体回転機構を有する蒸着装置において、支持体を前記支持体回転機構部材に設置して、支持体を回転しながら蒸着することにより、気相堆積法から成る蒸着膜を形成することを特徴とする。
M1X・aM2X’2・bM3X”3:eA…(1)
[式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの各原子から選ばれる少なくとも1種の二価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの各原子から選ばれる少なくとも1種の三価金属原子であり、X、X’、X”はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e≦0.2の範囲の数値を表す。]
蛍光体原料としては、
(a)NaF、NaCl、NaBr、NaI、KF、KCl、KBr、KI、RbF、RbCl、RbBr、RbI、CsF、CsCl、CsBr及びCsIから選ばれる少なくとも1種もしくは2種以上の化合物が用いられる。
この際、乳鉢、ボールミル、ミキサーミル等を用いて充分に混合しても良い。
次に、得られた水溶液のpH値Cを0<C<7に調整するように所定の酸を加えた後、水分を蒸発気化させる。
輝尽性蛍光体の気相堆積法としては、蒸着法、スパッタリング法、CVD法、イオンプレーティング法、その他を用いることができるが、本発明では特に蒸着法が好ましい。
(放射線画像変換パネルの作製)
まず、以下に示す実施例1〜6、比較例1及び比較例2の輝尽性蛍光体層を形成した。
なお、実施例1〜6については、炭素繊維強化樹脂シートからなる支持体の片面に、図2に示す蒸着装置1を使用して輝尽性蛍光体(CsBr:0.0002Eu)を蒸着させ、輝尽性蛍光体層を形成した。蒸着装置1により作成された輝尽性蛍光体は、支持体11を回転させながら蒸着を行うため、基板中心から等距離であれば、同心円上に柱状結晶の結晶径が一定となる等方性を有している。
まず、上記蛍光体原料を蒸着材料として抵抗加熱ルツボに充填し、蒸着装置1の回転する支持体ホルダ4に支持体11を設置し、支持体11と蒸発源3との間隔を200mmに調節した。続いて蒸着装置1内を一旦排気し、Arガスを導入して0.1Paに真空度を調整した後、10rpmの速度で支持体11を回転しながら支持体11の温度を100℃に保持した。次いで、抵抗加熱ルツボを加熱して輝尽性蛍光体を蒸着し、輝尽性蛍光体層の膜厚が500μmとなったところで蒸着を終了させた。
次いで、乾燥空気内で輝尽性蛍光体層を保護層袋に入れ、輝尽性蛍光体層が密封された構造の放射線画像変換パネルを得た。
[実施例2]
支持体11と蒸発源3との間隔を300mmに調節した以外は、実施例1と同様の方法で輝尽性蛍光体層の蒸着を行い、放射線画像変換パネルを得た。
[実施例3]
支持体11と蒸発源3との間隔を400mmに調節した以外は、実施例1と同様の方法で輝尽性蛍光体層の蒸着を行い、放射線画像変換パネルを得た。
[実施例4]
支持体11と蒸発源3との間隔を600mmに調節した以外は、実施例1と同様の方法で輝尽性蛍光体層の蒸着を行い、放射線画像変換パネルを得た。
[実施例5]
支持体11と蒸発源3との間隔を800mmに調節した以外は、実施例1と同様の方法で輝尽性蛍光体層の蒸着を行い、放射線画像変換パネルを得た。
[実施例6]
支持体11と蒸発源3との間隔を1000mmに調節した以外は、実施例1と同様の方法で輝尽性蛍光体層の蒸着を行い、放射線画像変換パネルを得た。
上記蛍光体原料を蒸着材料として抵抗加熱ルツボに充填し、蒸着装置2の支持体ホルダ14に支持体21を設置し、支持体21と蒸発源13との距離を400mmに調節した。スリット17はアルミニウム製のものを使用した。続いて蒸着装置1内を一旦排気し、Arガスを導入して0.1Paに真空度を調整した後、蒸発源13に対して水平方向に支持体21を搬送しながら支持体21の温度を10 0℃に保持した。
次いで、抵抗加熱ルツボを加熱して輝尽性蛍光体を蒸着し、輝尽性蛍光体層の膜厚が500μmとなったところで蒸着を終了させた。
次いで、乾燥空気内で輝尽性蛍光体層を保護層袋に入れ、輝尽性蛍光体層が密封された構造の放射線画像変換パネルを得た。
[比較例2]
支持体21と蒸発源13との距離を1000mmに調節した以外は、比較例1と同様の方法で輝尽性蛍光体層の蒸着を行い、放射線画像変換パネルを得た。
得られた放射線画像変換パネルの蛍光体層のうち、少なくとも100個以上の柱状結晶を視野中に含む電子顕微鏡写真からそれぞれの結晶径を求め、結晶径の標準偏差を算出した。そして、算出した相対標準偏差を100個の結晶径の平均で除して、下記式(2)で示される変動係数を求めた。
変動係数=結晶径の標準偏差/結晶径の平均…(2)
放射線画像変換パネルの反り量は、放射線画像変換パネルを真直度の良いステンレス板に5°の角度で立てかけた時の上側2角、および180°回転させて残りの2角を隙間ゲージで測定し、その最大値を反り量(mm)として評価を行った。
500gの鉄球を放射線画像変換パネルから、20cmの高さから落下させた後目視評価した。さらに、その後各放射線画像変換パネルに、管電圧80kVpのX線を照射した後、パネルをHe−Neレーザー光(633nm)で操作して励起し、蛍光体層から放射される輝尽発光を上記記載の受光器で受光して電気信号に変換し、これを画像再生装置によって画像として再生し、出力装置よりプリントアウトし、得られたプリント画像を、目視にて以下に示す基準に従い耐衝撃性の評価を行った。
◎:ひび割れがなく、また、均一な画像である。
○:ひび割れがなく、画質的に殆ど気にならない程度である。
△:ひび割れが見られ、画欠が確認されるが、実用上許容できるレベル。
×:ひび割れが見られ、明かな画欠が認められ、実用上問題が発生するレベル。
3 蒸発源
5 支持体回転機構
10 輝尽性蛍光体層
11 支持体
12 真空装置
2 蒸着装置
13 蒸発源
14 支持体ホルダ
15 支持体搬送機構
17 スリット
21 支持体
22 真空容器
Claims (8)
- 支持体上に、気相堆積法により柱状結晶からなる蛍光体層を形成した放射線画像変換パネルにおいて、該柱状結晶の結晶径の分布が該蛍光体層の基板中心から等方的であることを特徴とする放射線像変換パネル。
- 前記柱状結晶の結晶径の変動係数が50%以下であることを特徴とする請求項1に記載の放射線像変換パネル。
- 前記柱状結晶の結晶径の変動係数が40%以下であることを特徴とする請求項1に記載の放射線像変換パネル。
- 前記柱状結晶の結晶径の変動係数が30%以下であることを特徴とする請求項1に記載の放射線像変換パネル。
- 前記柱状結晶の結晶径の変動係数が20%以下であることを特徴とする請求項1に記載の放射線像変換パネル。
- 柱状結晶の結晶径の変動係数が10%以下であることを特徴とする請求項1に記載の放射線像変換パネル。
- 蛍光体が、基本組成式(I)で表されるハロゲン化アルカリを母体とする輝尽性蛍光体を含有することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の放射線像変換パネル。
M1X・aM2X'2・bM3X''3:eA…(I)
[式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの各原子から選ばれる少なくとも1種の二価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの各原子から選ばれる少なくとも1種の三価金属原子であり、X、X'、X''はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e<1.0の範囲の数値を表す。] - 請求項1から7のいずれか一項に記載の放射線像変換パネルの製造方法であって、
蛍光体層を、真空容器内に蒸発源、支持体回転機構を有する蒸着装置において、支持体を前記支持体回転機構部材に設置して、支持体を回転しながら蒸着することにより、気相堆積法から成る蒸着膜を形成することを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2007060814A1 (ja) * | 2005-11-28 | 2007-05-31 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 放射線用シンチレータプレート |
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