JP2005095904A - レーザ加工装置及び電子機器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
レーザ加工における加工レーザ光の利用効率を向上する。
【解決手段】
レーザ加工装置100は、物体109の加工状態を、TVカメラ・ユニット103で撮像する。TVカメラ・ユニット用ハーフミラー107は、中心領域がレーザ光を全反射し、その周辺領域はハーフミラーとして機能する。照明用ハーフミラー108は、中心領域がレーザ光を全透過し、その周辺領域はハーフミラーとして機能する。中心領域によって、レーザ・リペア・ヘッド101からのレーザ光が効率的に物体109に照射される。一方、周辺領域によって、物体109からの照明光が、TVカメラ・ユニット103に導かれる。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の一例である、レーザ加工装置の概略構成を模式的に示す構成図である。レーザ加工装置100は、例えば、液晶ディスプレイ用カラーフィルタのリペア処理に利用することができる。以下、リペア処理を例として、レーザ加工装置100について説明する。レーザ加工装置100は、レーザ光によって物体をリペア処理する他、物体の状態をリアルタイムに観察することができる撮像系を備えている。これによって、加工レーザ光とリペア部の位置合わせ、あるいは、リペア状態の確認などを行うことができる。
図4は、本発明の好ましい他の形態に係る、レーザ加工装置400の概略構成を模式的に示す構成図である。図4において、図1と同様の要素については同一の符号が付されている。また、これらについての説明は、必要ない場合は省略される。レーザ加工装置400において、TVカメラ・ユニット用ハーフミラー107は、結像レンズ106と対物レンズ105との間に配置されている。また、図4において、401はリペア・レーザ・ヘッドからの加工レーザ光を平行光として出射する結像レンズである。
図6は、本発明の好ましい他の形態に係るレーザ加工装置600の概略構成を模式的に示す構成図である。図6において、図1もしくは図4と同様の要素については同一の符号が付されている。また、これらについての説明は、必要ない場合は省略される。レーザ加工装置600において、601は第2のカメラである。例えば、第2のカメラ601としてCCDカメラを使用し、共焦点系を構成することができる。
103 TVカメラ・ユニット、104 照明用光源、105 対物レンズ、
106 結像レンズ、107 TVカメラ・ユニット用ハーフミラー、
108 照明用ハーフミラー、109 物体、110 ステージ、201 中心領域、
202 周辺領域、203 中心領域、204 周辺領域、301 加工レーザ光、
302 照明光、401 結像レンズ、600 レーザ加工装置、
601 第2のカメラ、602 第2カメラ用ハーフミラー、
603 TVカメラ・ユニット用ハーフミラー、604 全反射ミラー、
605、606 結像レンズ、701 TVカメラ・ユニット、
702 レーザ・リペア・ヘッド、703 照明用光源、704 全反射ミラー、
705 ハーフミラー、706 ハーフミラー、707 対物レンズ、708 物体、
709 ステージ
Claims (10)
- レーザ光によって物体を加工するレーザ加工装置であって、
前記物体を加工するための加工レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記物体の状態に関する情報を得るための照明光を発光する照明用光源と、
入射照明光の一部を反射し他の一部を透過することによって、前記入射照明光を空間的に分離する分離領域を有する光学手段と、を備え、
前記光学手段は、前記分離領域よりも高い反射率で加工レーザ光を反射する反射領域を、前記分離領域の内側に有している、レーザ加工装置。 - 前記光学手段の反射領域によって反射された加工レーザ光を受光する第2の光学手段をさらに備え、
前記第2の光学手段は、
入射照明光の一部を反射し他の一部を透過することによって、前記入射照明光を空間的に分離する分離領域と、
前記分離領域の内側に形成され、前記分離領域よりも高い透過率で前記加工レーザ光を前記物体に向けて透過する透過領域と、を有している、
請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記光学手段の反射領域によって反射された加工レーザ光を受光する第2の光学手段をさらに備え、
前記第2の光学手段は、
入射照明光の一部を反射し他の一部を透過することによって、前記入射照明光を空間的に分離する分離領域と、
前記分離領域の内側に形成され、前記分離領域よりも高い反射率で前記加工レーザ光を前記物体に向けて反射する反射領域と、を有している、
請求項1に記載のレーザ加工装置。 - レーザ光によって物体を加工するレーザ加工装置であって、
前記物体を加工するための加工レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記物体の状態に関する情報を得るための照明光を発光する照明用光源と、
入射照明光の一部を反射し他の一部を透過することによって、前記入射照明光を空間的に分離する分離領域を有している光学手段と、を備え、
前記光学手段は、前記分離領域よりも高い透過率で前記加工レーザ光を透過する透過領域を、前記分離領域の内側に有している、レーザ加工装置。 - 前記光学手段は無限遠系内に配置されている、請求項1又は4に記載のレーザ加工装置。
- 前記反射領域は前記加工レーザ光の波長を選択的に反射するダイクロイックミラーで構成されている、請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザ加工装置は、前記レーザ光源からの複数の波長の光を使用して前記物体の加工を行う、請求項1又は4に記載のレーザ加工装置。
- 前記分離領域によって分離された照明光の一方は物体に照射され、他の一方は物体の状態を撮像する撮像手段に受光される、請求項1又は4に記載のレーザ加工装置。
- 電子機器の製造方法であって、
物体をステージに配置するステップと、
光学手段の分離領域において照明光の一部を反射するステップと、
前記光学手段の分離領域において照明光の一部を透過するステップと、
前記光学手段の分離領域の内側に形成され、前記分離領域よりも高い反射率で加工レーザ光を反射するステップと、
前記反射された加工レーザ光を前記物体に照射し、前記物体を加工するステップと、
物体の状態に関する情報を得るため、前記反射するステップにおいて反射された光、もしくは、前記透過するステップにおいて透過された光の一方を受光するステップと、
を有する電子機器の製造方法。 - 電子機器の製造方法であって、
物体をステージに配置するステップと、
光学手段の分離領域において照明光の一部を反射するステップと、
前記光学手段の分離領域において照明光の一部を透過するステップと、
前記光学手段の分離領域の内側に形成され、前記分離領域よりも高い透過率で加工レーザ光を透過するステップと、
前記透過された加工レーザ光を前記物体に照射し、前記物体を加工するステップと、
物体の状態に関する情報を得るため、前記反射するステップにおいて反射された光、もしくは、前記透過するステップにおいて透過された光の一方を受光するステップと、
を有する電子機器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003329763A JP2005095904A (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | レーザ加工装置及び電子機器の製造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003329763A JP2005095904A (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | レーザ加工装置及び電子機器の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005095904A true JP2005095904A (ja) | 2005-04-14 |
Family
ID=34458924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003329763A Pending JP2005095904A (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | レーザ加工装置及び電子機器の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005095904A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006326629A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Hoya Candeo Optronics株式会社 | レーザー加工装置およびそれを用いたレーザー加工方法 |
CN101844276A (zh) * | 2010-03-05 | 2010-09-29 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 紫外激光加工光学传导装置 |
-
2003
- 2003-09-22 JP JP2003329763A patent/JP2005095904A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006326629A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Hoya Candeo Optronics株式会社 | レーザー加工装置およびそれを用いたレーザー加工方法 |
CN101844276A (zh) * | 2010-03-05 | 2010-09-29 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 紫外激光加工光学传导装置 |
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