JP2005093553A - 低格子不整合系における量子ドットの形成方法および量子ドット半導体素子 - Google Patents
低格子不整合系における量子ドットの形成方法および量子ドット半導体素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005093553A JP2005093553A JP2003322038A JP2003322038A JP2005093553A JP 2005093553 A JP2005093553 A JP 2005093553A JP 2003322038 A JP2003322038 A JP 2003322038A JP 2003322038 A JP2003322038 A JP 2003322038A JP 2005093553 A JP2005093553 A JP 2005093553A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- quantum dots
- quantum dot
- inas
- algasb
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 title claims abstract description 113
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 63
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 34
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 84
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 72
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 41
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910017115 AlSb Inorganic materials 0.000 claims description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 51
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 47
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 25
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 14
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 138
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 43
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 21
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 14
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 9
- 238000000103 photoluminescence spectrum Methods 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 239000002052 molecular layer Substances 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 3
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 2
- -1 GaAs compound Chemical class 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- WGPCGCOKHWGKJJ-UHFFFAOYSA-N sulfanylidenezinc Chemical compound [Zn]=S WGPCGCOKHWGKJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】 III―V族量子ドットの格子定数に対して3%以下の格子不整合率の格子定数であるIII―V族化合物半導体上に、III―V族量子ドットを構成するV族元素の分子線を桁数にして10-7Torrの条件において照射することによって、III―V族量子ドットを成長させて形成する。III―V族量子ドットが、InおよびAsを主たる構成元素とするInAs系量子ドットであり、III―V族化合物半導体が、Sbおよび、Al、Gaの少なくともいずれか一方の元素を主たる構成元素とするAlGaSb系化合物半導体とし、AlGaSb系化合物半導体上に、温度条件が約500℃、As分子線を3.0×10-7〜7.0×10-7Torrで照射することによって、InAs系量子ドットを成長させて形成する。
【選択図】 図3
Description
即ち、III―V族量子ドットの格子定数に対して3%以下の格子不整合率の格子定数であるIII―V族化合物半導体上に、III―V族量子ドットを構成するV族元素の分子線を桁数にして10-7Torrの条件において照射することによって、III―V族量子ドットを成長させて形成することを特徴とする低格子不整合系における量子ドットの形成方法とするのである。
最終的に得たいのは、AlxGa1-xSb層である。ここでIII族元素はAlとGaで、V族元素はSbである。この各族元素の一方を同じにして格子整合のとれる化合物として、AlSbがある。そこでAlxGa1-xSb層を、AlSb層上に形成するようにする。次に、AlSb層では、III族元素はAlであり、V族元素はSbである。そこで、次はIII族元素を同じにして、V族元素を切り換える。つまり、AlSbと混晶の元素組成が近くて、V族元素を切り換えた化合物として、AlAsがある。よってAlSb層を、AlAs層の上に形成するようにする。そして、このAlAsはGaAsに格子整合をとることができるので、AlAs層は、GaAs基板ないしGaAsバッファ層の上に形成できる。このように、GaAs基板を始めとして、順次III族またはV族の一方を切り換えながら所望のAlxGa1-xSb層を形成するのである。
被覆する方法は、上記GaAsバッファ層(3)などの各層をエピタキシャル成長させて形成するのと同様の方法に依ればよい。
2 GaAs基板
3 GaAsバッファ層
4 AlAs層
5 AlSb層
6 AlxGa1-xSb層
7 InAs量子ドット
8 AlSbバリア層
Claims (11)
- III―V族量子ドットの格子定数に対して3%以下の格子不整合率の格子定数であるIII―V族化合物半導体上に、III―V族量子ドットを構成するV族元素の分子線を桁数にして10-7Torrの条件において照射することによって、III―V族量子ドットを成長させて形成することを特徴とする低格子不整合系における量子ドットの形成方法。
- III―V族量子ドットが、InおよびAsを主たる構成元素とするInAs系量子ドットであり、III―V族化合物半導体が、Sbおよび、Al、Gaの少なくともいずれか一方の元素を主たる構成元素とするAlGaSb系化合物半導体である、請求項1に記載の低格子不整合系における量子ドットの形成方法。
- AlGaSb系化合物半導体上に、温度条件が約500℃、As分子線を3.0×10-7〜7.0×10-7Torrで照射することによって、InAs系量子ドットを成長させて形成する、請求項2に記載の低格子不整合系における量子ドットの形成方法。
- GaAs基板上に、AlAs層をエピタキシャル成長させて形成し、次いで、AlAs層上に、AlSb層をエピタキシャル成長させて形成し、さらに、AlSb層上に、Sb分子線および、Al分子線、Ga分子線の少なくともいずれか一方の分子線を照射することによってエピタキシャル成長して形成されたAlGaSb系層が、上記AlGaSb系化合物半導体である、請求項3に記載の低格子不整合系における量子ドットの形成方法。
- GaAs基板上に、GaAsバッファ層をエピタキシャル成長させて形成し、さらにGaAsバッファ層上に、AlAs層をエピタキシャル成長させて形成する、請求項3または4に記載の低格子不整合系における量子ドットの形成方法。
- InAs系量子ドットが形成されたAlGaSb系化合物半導体表面を、AlGaSb系化合物で被覆する、請求項3または5に記載の低格子不整合系における量子ドットの形成方法。
- 被覆したAlGaSb系化合物の表面に、InAs系量子ドットを成長させて形成することを繰り返すことで、InAs系量子ドットを多層化して形成する請求項6に記載の低格子不整合系における量子ドットの形成方法。
- 被覆したAlGaSb系化合物の表面に、AlSbバリア層をエピタキシャル成長させて形成し、AlSb層の表面にInAs系量子ドットを成長させて形成することを繰り返すことで、InAs系量子ドットを多層化して形成する請求項6に記載の低格子不整合系における量子ドットの形成方法。
- 請求項1から8いずれかに記載の低格子不整合系における形成方法によって形成されたIII−V族量子ドットを用いた量子ドット半導体素子。
- 汎用基板上に形成されたAlGaSb系層上にInAs系量子ドットが形成された請求項9に記載の量子ドット半導体素子。
- 請求項6から8いずれかに記載の形成方法によって被覆したAlGaSb系化合物の表面に、AlSb層をエピタキシャル成長させて形成し、AlSb層上に、GaSb層をエピタキシャル成長させて形成してなる量子ドット半導体素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003322038A JP3903182B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 低格子不整合系における量子ドットの形成方法および量子ドット半導体素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003322038A JP3903182B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 低格子不整合系における量子ドットの形成方法および量子ドット半導体素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005093553A true JP2005093553A (ja) | 2005-04-07 |
JP3903182B2 JP3903182B2 (ja) | 2007-04-11 |
Family
ID=34453532
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003322038A Expired - Lifetime JP3903182B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 低格子不整合系における量子ドットの形成方法および量子ドット半導体素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3903182B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007335848A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-12-27 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2012124500A (ja) * | 2006-05-15 | 2012-06-28 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
KR101351987B1 (ko) * | 2012-10-24 | 2014-01-17 | 한국과학기술연구원 | 격자 부정합 해소층을 이용한 화합물 반도체 기판 및 그 제조방법 |
WO2016125435A1 (ja) * | 2015-02-02 | 2016-08-11 | スタンレー電気株式会社 | 量子ドットの製造方法および量子ドット |
-
2003
- 2003-09-12 JP JP2003322038A patent/JP3903182B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007335848A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-12-27 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
EP1858084A3 (en) * | 2006-05-15 | 2010-01-06 | Fujitsu Ltd. | Method of manufacturing quantum dots in a semiconductor device |
EP2246892A2 (en) | 2006-05-15 | 2010-11-03 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing quantum dots in a semiconductor device |
EP2246892A3 (en) * | 2006-05-15 | 2010-12-01 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing quantum dots in a semiconductor device |
US7892871B2 (en) | 2006-05-15 | 2011-02-22 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing semiconductor device with quantum dots formed by self-assembled growth |
US20110134950A1 (en) * | 2006-05-15 | 2011-06-09 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing semiconductor device |
US8183073B2 (en) * | 2006-05-15 | 2012-05-22 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing a semiconductor device with quantum dots formed by self-assembled growth |
JP2012124500A (ja) * | 2006-05-15 | 2012-06-28 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
KR101351987B1 (ko) * | 2012-10-24 | 2014-01-17 | 한국과학기술연구원 | 격자 부정합 해소층을 이용한 화합물 반도체 기판 및 그 제조방법 |
WO2016125435A1 (ja) * | 2015-02-02 | 2016-08-11 | スタンレー電気株式会社 | 量子ドットの製造方法および量子ドット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3903182B2 (ja) | 2007-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4786691B2 (ja) | 半導体デバイスおよびその製造方法 | |
JP2000058920A (ja) | 半導体およびその製造方法 | |
US8183073B2 (en) | Method of manufacturing a semiconductor device with quantum dots formed by self-assembled growth | |
US20190326730A1 (en) | Semiconductor device and fabrication method | |
JP3251046B2 (ja) | 化合物半導体の成長方法、化合物半導体発光素子及びその製造方法 | |
Tatebayashi et al. | Low threshold current operation of self-assembled InAs/GaAs quantum dot lasers by metal organic chemicalvapour deposition | |
JP4795747B2 (ja) | 量子ドット光半導体素子の製造方法 | |
JP2000332362A (ja) | 半導体装置および半導体発光素子 | |
GB2432715A (en) | Nitride semiconductor light emitting devices | |
US20070034858A1 (en) | Light-emitting diodes with quantum dots | |
TW201901986A (zh) | 具有應變補償層之紅外光發光二極體及其製造方法 | |
US20020119680A1 (en) | Method of fabricating a semiconductor structure having quantum wires and a seminconductor device including such structure | |
JP3903182B2 (ja) | 低格子不整合系における量子ドットの形成方法および量子ドット半導体素子 | |
JP3768790B2 (ja) | 量子ドット構造体及びそれを有する半導体デバイス装置 | |
JP2006237045A (ja) | 半導体量子ドット構造及びその製造方法 | |
JP5297519B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2995186B1 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP5227870B2 (ja) | エピタキシャル基板、半導体素子構造、およびエピタキシャル基板の作製方法 | |
JP4086465B2 (ja) | 量子ドット構造体及びその形成方法、並びに該量子ドット構造体を有する半導体デバイス装置 | |
JP4006055B2 (ja) | 化合物半導体の製造方法及び化合物半導体装置 | |
JP4002323B2 (ja) | 化合物半導体の製造方法 | |
JP3432444B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP3859990B2 (ja) | 化合物半導体の製造方法 | |
JP2006005256A (ja) | 半導体素子 | |
JP2002064250A (ja) | 化合物半導体の成長方法及び化合物半導体発光素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060510 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060705 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060807 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061005 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20061107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061205 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3903182 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |