JP2005087874A - ダイヘッド、ダイヘッドの調整装置、及び塗布装置 - Google Patents
ダイヘッド、ダイヘッドの調整装置、及び塗布装置 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】 組み立て式で調整が容易に行え、精度の高いダイヘッドと、その調整装置を提供すること。
【解決手段】 ダイヘッド10を先端検知器31上に移動させ、ダイヘッド10の先端が各先端検知器31−1、31−2、31−3、31−4の先端に接するようにダイヘッド10を設置し、基準面との距離を基にダイヘッド10の真直度や平行度が検知される。例えば、取り付けられたダイヘッド10は、先端検知器31−4側が高く、先端検知器31−1側が低く傾いて、基準面に対して平行でないとすると、支持部51は支点53に対して回転させられ、ダイヘッド10が基準面に平行となるように調整される。【選択図】 図2
【解決手段】 ダイヘッド10を先端検知器31上に移動させ、ダイヘッド10の先端が各先端検知器31−1、31−2、31−3、31−4の先端に接するようにダイヘッド10を設置し、基準面との距離を基にダイヘッド10の真直度や平行度が検知される。例えば、取り付けられたダイヘッド10は、先端検知器31−4側が高く、先端検知器31−1側が低く傾いて、基準面に対して平行でないとすると、支持部51は支点53に対して回転させられ、ダイヘッド10が基準面に平行となるように調整される。【選択図】 図2
Description
本発明は、被塗布基材に塗布液を吐出する塗布液吐出用のダイヘッド、及びそのダイヘッドの調整装置に関する。
例えば液晶ディスプレイのカラーフィルタの製造工程において、矩形のガラス基板(以下、「基板」という。)の表面上にブラックマトリクスやR、G、B(Red、Green、Blue)の着色パターンなどを形成する際に、基板上に所定の塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布処理が行われている。
上述の塗布処理は、通常塗布装置において行われ、塗布装置は、基板を載置する載置台と、載置台上の基板に塗布液を吐出する塗布液吐出用ダイヘッドを備えている。塗布液吐出用ダイヘッドは、本体が基板の一辺程度の細長形状を有し、その下面にスリット状の吐出口を備えている。そして、塗布処理時には、塗布液吐出用ダイヘッドを、基板の一端部から他端部まで基板の表面上を水平に移動させ、この際、吐出口から長手方向に沿った塗布液をカーテン状に吐出することによって、基板の表面に塗布液を塗布し、基板上に5〜20μm程度の極めて薄い塗布膜を形成していた。
ところで、最近では液晶ディスプレイの大型化に伴い、1メートルから2メートルといった大型のカラーフィルタの製造が要求されるようになっている。このような大型のカラーフィルタの製造には、大型の塗布液吐出用ダイヘッドが必要であり、重量も重くなる。そこで、このような大型カラーフィルタ用の塗布膜の生成には組み立て式のダイヘッドが適しているが、前述のように極めて薄い塗布膜を均一に基板上に生成するためには、組み立て後のダイヘッドの平行度や真直度といった調整を正確に行う必要がある。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、精度が高く、組み立てた後正確な調整が容易に可能な塗布液吐出用のダイヘッド及びその調整装置を提供することをその目的とする。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、精度が高く、組み立てた後正確な調整が容易に可能な塗布液吐出用のダイヘッド及びその調整装置を提供することをその目的とする。
上記目的を達成するために、第1の発明は、本体支持部と、前記本体支持部に取り付けられる第1の本体構成部材と、前記第1の本体構成部材と当接される第2の本体構成部材と、前記第2の本体構成部材に当接される押圧部材と、前記本体支持部に設けられ、前記押圧部材を押圧する押圧手段と、を具備することを特徴とするダイヘッドである。
ここで、第1の本体構成部材は、第1の位置決めピンを介して前記本体支持部に取り付けられ、第2の本体構成部材は、第2の位置決めピンを介して前記第1の本体構成部材に当接される。
また、本体支持部は、第1の支持部材と第2の支持部材とからなり、押圧手段は、油圧シリンダ又は空気圧シリンダである。また、このダイヘッドでは、第1の本体構成部材と、前記第2の本体構成部材の間から塗布液が吐出する。
また、本体支持部は、第1の支持部材と第2の支持部材とからなり、押圧手段は、油圧シリンダ又は空気圧シリンダである。また、このダイヘッドでは、第1の本体構成部材と、前記第2の本体構成部材の間から塗布液が吐出する。
第2の発明は、ダイヘッドの先端を検知する検知手段と、前記ダイヘッドの鉛直方向の位置を調整する第1の調整機構と、前記ダイヘッドの基準面に対する平行度を調整する第2の調整機構と、を具備し、前記検知手段で検知されたデータに基づいて、前記第1の調整機構と前記第2の調整機構とを調整することを特徴とするダイヘッドの調整装置である。
ここで、検知手段は、塗布装置の基板載置台の端部に設けられる。検知手段は、少なくとも一つ以上の先端検知器を具備し、先端検知器を用いて基準面に対するダイヘッドの位置を検知する。
ここで、第1の調整機構は、例えばダイヘッドの中心(重心)の高さを調整する機構である。
第2の調整機構は、ダイヘッドがある点回りに回転可能な場合には、その位置を調整したり、またダイヘッドの本体構成部材が支持体に取り付けられている場合、支持体に対する本体構成部材の位置をねじ等で調整するものである。
この検知手段で検知されたデータに基づいて、第1の調整機構と第2の調整機構は、ダイヘッドの高さやダイヘッドの傾きを調整し、基準面に対する平行度を調整する。
ここで、第1の調整機構は、例えばダイヘッドの中心(重心)の高さを調整する機構である。
第2の調整機構は、ダイヘッドがある点回りに回転可能な場合には、その位置を調整したり、またダイヘッドの本体構成部材が支持体に取り付けられている場合、支持体に対する本体構成部材の位置をねじ等で調整するものである。
この検知手段で検知されたデータに基づいて、第1の調整機構と第2の調整機構は、ダイヘッドの高さやダイヘッドの傾きを調整し、基準面に対する平行度を調整する。
第3の発明は、ダイヘッドから塗布液を吐出して基板上に塗布する塗布装置であって、前記ダイヘッドは、本体支持部と、前記本体支持部に取り付けられる第1の本体構成部材と、前記第1の本体構成部材と当接される第2の本体構成部材と、前記第2の本体構成部材に当接される押圧部材と、前記本体支持部に設けられ、前記押圧部材を押圧する押圧手段と、を具備することを特徴とする塗布装置である。
本発明によれば、大型のダイヘッドであっても、複数の部材から構成されているため、メンテナンスがしやすい。また、ダイヘッドを組み立てた後にも、平行度や真直度をチェックし、調整することにより精度の高いダイヘッドを提供することが可能である。
本発明は、複数の部材を組み立ててなる、メンテナンスの容易なダイヘッドを実現し、そのダイヘッドを精度良く、容易に調整するための調整装置を実現した。
図1は、本実施の形態にかかるダイヘッドを用いた塗布装置1の構成の概略を示す図である。図2は、図1のP方向からみた塗布装置1を示す図である。
図1に示すように、塗布装置1は載置台5、アーム9、ダイヘッド10、先端検知器31−1、31−2、31−3、31−4、スライダ40、41、レール42、43等から構成される。
図1に示すように、塗布装置1は載置台5、アーム9、ダイヘッド10、先端検知器31−1、31−2、31−3、31−4、スライダ40、41、レール42、43等から構成される。
スライダ40、41は、アーム9の端部を支持する部材であり、レール42、43に対して空気を噴出することによって、レール42、43上を動くことが可能であり、アーム9はA方向またはその反対方向に移動可能である。スライダ40、41には高さを調整する機構を設けてもよい。
また、スライダ40、41に車輪を設け、レール42、43上を走行させるようにしてもよい。
また、スライダ40、41に車輪を設け、レール42、43上を走行させるようにしてもよい。
アーム9には上下調整機構55が摺動可能に設けられる。即ち、上下調整機構55はアーム9に上下方向に摺動可能に設けられ、適当な位置で上下調整機構55はアーム9に固定される。支持部51は上下調整機構55に、支点53により回転調整可能に設けられる。支持部51にはダイヘッド10が取り付けられる。
上下調整機構55は、支持部51、即ちダイヘッド10の高さを調整する。また、ダイヘッド10を支持する支持部51は支点53を中心に左右に回転するように設けられている。
従って、上下調整機構55により、支持部51及びダイヘッド10の全体の高さを調整し、支持部51を支点53に対して回転させてダイヘッド10が載置台5に対して平行になるように調整する。
従って、上下調整機構55により、支持部51及びダイヘッド10の全体の高さを調整し、支持部51を支点53に対して回転させてダイヘッド10が載置台5に対して平行になるように調整する。
載置台5は、例えば基板Gと同じかそれよりも大きい方形の盤である。載置台5の上面は、平坦化処理が施されており、載置台5には、基板Gを水平かつ平坦に載置できる。載置台5は上下方向に昇降可能であり、昇降することにより、例えば図示しない搬送機構から受け取った基板Gを載置台5に載置したり、載置された基板Gを塗布処理に適当な位置(高さ)にあわせたりすることが可能である。
また載置台5には吸引機構(図示せず)が設けられており、基板Gが設置されると、吸引機構により基板Gを吸引して固定する。
また載置台5には吸引機構(図示せず)が設けられており、基板Gが設置されると、吸引機構により基板Gを吸引して固定する。
ダイヘッド10は、載置台5に一時的に固定された基板Gに塗布液を塗布するための塗布液吐出部材である。その塗布液はダイヘッド10の吐出口から吐出される。ダイヘッド10は、例えば図1や図2に示すように長軸方向の長さが基板Gの横幅よりも長い細長形状を有している。
載置台5の端部壁面には、先端検知器31−1、31−2、31−3、31−4が設けられる。
図3は載置台5と先端検知器31を示す平面図である。先端検知器31は、リニアスケールを用いたものである。
図3は載置台5と先端検知器31を示す平面図である。先端検知器31は、リニアスケールを用いたものである。
ダイヘッド10を先端検知器31上に移動させ、ダイヘッド10の先端が各先端検知器31−1、31−2、31−3、31−4の先端に接するようにダイヘッド10を設置し、基準面との距離を基にダイヘッド10の真直度や平行度が検知される。
ここで、真直度とは、ダイヘッド10自体の真直性を示す尺度である。ダイヘッド10は後述のように複数の部材を組み立ててなる。基板Gに塗布液を均一に塗布するためには、ダイヘッド10、特に塗布液を吐出する部分が真っ直ぐであることが重要となる。
また平行度は、基準となる面、例えば基板Gを載せる載置台5の上面とダイヘッド10とが平行であるかどうかを示すデータである。
尚、ここでは先端検知器を4つ設けたが、3つ以上設けることで同様の効果が得られる。
尚、ここでは先端検知器を4つ設けたが、3つ以上設けることで同様の効果が得られる。
ダイヘッド10の真直度、平行度が確認された後、ダイヘッド10は塗布液を吐出しながら載置台5上を往復移動し、基板G上に塗布膜を塗布する。
次に、ダイヘッド10の構成について説明する。図4はダイヘッド10の断面図であり、図6に示すX−Xに相当する面でダイヘッド10を切断した場合の断面図である。ダイヘッド10は、支持部材11、支持部材12、第1の本体構成部材13、第2の本体構成部材16、支持部材15、油圧シリンダ35、押圧部材17、ピン取付部38等から構成される。
ダイヘッド10は、その長手方向に沿って細長い2つの支持部材11、12を有する。図4に示すように当該支持部材11、12を、並べて接合面11aと接合面12aを接合することよってダイヘッド本体を支持する本体支持部が形成されている。第1の支持部材12と第2の支持部材11とは図示しないねじ等で固定される。この本体支持部が、支持部51に取り付けられる。
第1の支持部材12、第2の支持部材11の材質には、例えばステンレス鋼が用いられている。第2の支持部材11は、断面がほぼ矩形であり、第1の支持部材12は断面が鉤型となっている。
第2の支持部材11の下面側には、支持部材15が設けられる。この支持部材15に油圧シリンダ35が設けられる。
第2の支持部材11の下面側には、支持部材15が設けられる。この支持部材15に油圧シリンダ35が設けられる。
第1の支持部材12の内部には、空洞部39が設けられ、空洞部39内部にピン取付部38が設けられる。ピン取付部38は、上部にねじ33が設けられ、このねじ33は第1の支持部材12を貫通し、第1の支持部材12の上面に達する。
ピン取付部38には、断面が半円弧状の溝73が設けられ、この溝73に位置合わせピン19が設けられる。
ピン取付部38には、断面が半円弧状の溝73が設けられ、この溝73に位置合わせピン19が設けられる。
ピン取付部38に設けられた位置合わせピン19は、支持部材12に対して第1の構成部材13を正確に設置するため、その設置位置の基準を表すピンである。ピン取付部38は、ねじ33を回転し上下させることで位置を変えることができ、即ち、位置合わせピン19の位置を変えることが可能となる。このようにピン取付部38を上下させて位置を変えるため、ピン取付部38の下部には空洞部75が、第1の本体構成部材13の上部にはすき間83が形成される場合がある。
ピン取付部38はダイヘッドの長手方向に複数設けられ、複数のピン取付部38の位置を個別に調整することにより、第1の本体構成部材13の第1の支持部材12に対する位置が調整される。
第1の本体構成部材13は、長手方向に沿って細長い略直方体形状の部材である。第1の本体構成部材13は、ダイヘッド10自体の軽量化のために剛体ではなく、柔軟性のある物質で作られていてもよい。第1の本体構成部材13の背面側には、半円弧状の溝77が設けられ、この溝77に位置合わせピン19が嵌合する。
第1の本体構成部材13の正面側には溝79、第1のマニホルド21、第2のマニホルド37、スリット27、吐出口26が形成され、第1のマニホルド21と第2のマニホルド37の間には、複数の凸部22が形成され、凸部22同志の間が通路25となる。
第1の本体構成部材13の下面側には溝52bが設けられる。
第1の本体構成部材13の下面側には溝52bが設けられる。
図5は第1の本体構成部材13の断面図であり、図6は図5に示すP方向から見た第1の本体構成部材13の正面図である。
図5に示すように、第1の本体構成部材13の上端部には長手方向に沿った上端平面部S1が形成されている。この上端平面部S1は、第2の本体構成部材16と接合する時の接触面であり、長手方向に伸びる溝79が設けられる。この溝79には、位置あわせピン23が嵌合される。
図5に示すように、第1の本体構成部材13の上端部には長手方向に沿った上端平面部S1が形成されている。この上端平面部S1は、第2の本体構成部材16と接合する時の接触面であり、長手方向に伸びる溝79が設けられる。この溝79には、位置あわせピン23が嵌合される。
上端平面部S1の下方には、塗布液を貯留する貯留部としての第1のマニホルド21(S2)と、複数の通路25(S3)と、他の貯留部としての第2のマニホルド37(S4)及び下端平面部S5が上から順に形成されている。
第1のマニホルド21は、第1の本体構成部材13の長手方向に沿って長い溝状に形成しており、第1の本体構成部材13と第2の本体構成部材16が接合した際に、図6に示す外部の塗布液供給管Hから導入された塗布液を貯留し、当該塗布液の圧力を均一化することができる。
複数の通路25は、その上端部側が第1のマニホルド21の下面に連通し、そこから下方に向かって鉛直方向に溝状に形成され、下端部側が第2のマニホルド37に連通している。したがって、第1の本体構成部材13と第2の本体構成部材16が接合した際に、通路25によって塗布液の流通路が形成され、第1のマニホルド21の塗布液を第2のマニホルド23に流すことができる。
複数の通路25は、ダイヘッド10の長手方向に沿って一定間隔で平行に設けられている。複数の通路25同志の間には、例えば方形状の複数の凸部22が長手方向に並列されて形成されている。これらの凸部22は、前記上端平面部S1と同一平面上に形成されている。したがって、凸部22は、第2の本体構成部材16との接合時の接触面になっている。
第2のマニホルド37は、前記第1のマニホルド21と平行に長手方向に沿って長い溝状に形成しており、第1の本体構成部材13と第2の本体構成部材16が接合した際に、各通路25から流入する塗布液を貯留できる。このように複数の通路25を通過する塗布液を再度一箇所に集めることによって、塗布液の液圧を均一化することができる。
第2のマニホルド37の下方側に位置する下端平面部S5は、本体長手方向の一端部側から他端部側に沿って形成されている。下端平面部S5は、後述する第2の本体構成部材16の接合面との間で、本体の下面に開口するスリット状の吐出口26と、図4に示すような前記第2のマニホルド37から吐出口26に通じるスリット27を形成する。
こうして、塗布液供給管Hから供給される塗布液は、第1のマニホルド21で貯留され、圧力が均一化された後、各通路25を通り、再度第2のマニホルド37で貯留されて、圧力が均一化される。そして塗布液は、スリット27を通って吐出口26に流れ、スリット状の吐出口26からカーテン状に吐出される。
第2の本体構成部材16は、断面がほぼ矩形であり、第1の本体構成部材と接する面に、半円弧状の溝81が形成される。この溝81と第1の本体構成部材13に設けられた溝79に合わせて位置合わせピン23が取り付けられる。
押圧部材17は、油圧シリンダ35の作用により、第2の本体構成部材16を第1の本体構成部材13に押圧する。
押圧部材17は、油圧シリンダ35の作用により、第2の本体構成部材16を第1の本体構成部材13に押圧する。
また、第2の本体構成部材16の下部に設けられた溝52a及び第1の本体構成部材13の下部に設けられた溝52bは、吐出口26と同程度の長さで吐出口26に近接されて形成されている。この溝52a、52bによって、移動している吐出口26から吐出される塗布液がダイヘッド10の下面を伝って流れることが規制され、塗布液は、平行溝52a、52bの位置から一様に基板Gに向けて落下する。
次に、ダイヘッド10の組み立てについて説明する。図7、図8、図9はダイヘッド10の組立てを説明するための図である。図7から図9では、第1の支持部材12中のピン取付部38、ねじ33の図示は省略している。図7に示すように、第1の支持部材12と第2の支持部材11は予め接合されており、支持部材11に支持部材15が取り付けられる。支持部材15は、押圧部材17とその先端に設けられた油圧シリンダ35を可動に支持する。
一方、第1の本体構成部材13に設けられた溝79には位置合わせピン23が設けられ、その位置合わせピン23と第2の本体構成部材16に設けられた溝81の位置を合わせるように、第1の本体構成部材13と第2の本体構成部材16とを接合させる。
次に、図8に示すように、支持部材12に設けられた溝73を所定の位置に設定し、その溝73に位置合わせピン19を設置し、第1の本体構成部材13に設けられた溝77に位置合わせピン19を嵌め込むことによって、支持部材12に対して第1の本体構成部材13と第2の本体構成部材16が設置される。
その後、図9に示すように、油圧シリンダ35によって押圧部材17が図中の矢印の方向に押される。こうして、各部材が嵌合され、必要な箇所をねじ(図示せず)で固定して図4に示すようなダイヘッド10が組み立てられる。
尚、ダイヘッド10を分解する場合は、油圧シリンダ35を解放して、前述したのと逆の手順で各部を分解する。
尚、ダイヘッド10を分解する場合は、油圧シリンダ35を解放して、前述したのと逆の手順で各部を分解する。
次に、組み立てられたダイヘッド10の調整方法について述べる。図10はダイヘッド10の先端の検知する先端検知器31−1を示す図である。図11は、載置台5に設けられた先端検知器の位置を示す図である。組み立てたられたダイヘッド10は、支持部51に取り付けられ、基板Gに対する塗布処理に適した所定の高さに設定された後、図10に示すように、先端検知器31−1、…、31−4の上部に移動させる。
ダイヘッド10の先端が各先端検知器31−1、31−2、31−3、31−4のセンサ部65の先端に全て接するように、ダイヘッド10を上下調整機構55により上下(EF)方向に移動させる。ここで、ダイヘッド10の先端とは、例えば塗布液の吐出口26である。尚、図10及び図11では、複雑な形状であるダイヘッド10は便宜上点線で示す。いま、載置台5の上面は水平かつ平坦であるとし、その面を基準面とする。
先端検知器31−1、…、31−4は、例えばデジタルリニアスゲージであり、その先端のセンサ部65の変位から「基準面からの距離」を検知する。この距離とダイヘッド10の高さを基に、各先端検知器31−1、31−2、31−3、31−4におけるダイヘッド10の先端の高さが求められる。
図12は、測定位置と測定した高さの一例を示す図である。図12からわかるように、取り付けられたダイヘッド10は、先端検知器31−4側が高く、先端検知器31−1側が低く傾いて支持部51設置されている。即ち、ダイヘッド10は基準面に対して平行でないことがわかる。
このような場合、図2に示すように、支持部51を支点53に対して回転させ、ダイヘッド10が基準面に平行となるように調整する。調整が終了した後、再度、先端検知器31−1、31−2、31−3、31−4を用いてダイヘッド10の各位置における高さを測定し、図13に示すように、各位置における高さが一定になるまで、即ち、ダイヘッド10が基準面に対して平行になるまで上述の調整を繰り返す。
また、真直度に異常がある場合、例えば、先端検知器31−1、31−2、31−3、31−4を用いて測定された高さが一定の傾きで傾いているのでなく、バラバラな値を示す場合は、ダイヘッド10の組み立て時にダイヘッドが正しく組み立てられていないか、その他の異常があると考えられる。
このように真直度に異常がある場合は、塗布装置1は警報を発生するなどしてオペレータに真直度の異常を知らせる。このように第1の本体構成部材13が真直でない場合、再度組み立てなおすか、長手方向に複数本設置されたねじ33を微調整することによって、第1の本体構成部材の第1の支持部材12に対する位置を調整する。
その後、再度、先端検知器31−1、31−2、31−3、31−4によってダイヘッド10の各位置における高さを求め、図13に示すように、各位置における高さが一定になるまで、即ち、ダイヘッド10が真直になるまで上述の調整を繰り返す。
以上のように調整が終了したら、図10に示す基板間距離センサ61は、基準面となる載置台5の上面との距離dを求め、距離センサの測定値がダイヘッド10の先端と基準面との間隔になるように校正し、塗布処理を開始する。基板間距離センサ61は例えばレーザ等を用いた距離センサである。
このように、本実施例では、ダイヘッド10は組み立て式であるため、大型カラーフィルタ用のダイヘッドであっても、一部の部品を交換すればよくメンテナンスをしやすい。また、組立てられた後でも、平行度、真直度をチェックし、ダイヘッド10の調整が容易に行われ、精度の高いダイヘッドを提供できる。
本実施例では、押圧手段として油圧シリンダ35を用いたが、空気圧シリンダを用いてもよい。
本実施例では、押圧手段として油圧シリンダ35を用いたが、空気圧シリンダを用いてもよい。
以上、本発明の好適な実施例について説明したが、発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、前述した実施の形態を改変したものも本発明の技術的な範囲に含まれる。
本発明によれば、組み立て式で調整が容易に行え、精度の高いダイヘッドを供給することが可能である。
本発明によれば、組み立て式で調整が容易に行え、精度の高いダイヘッドを供給することが可能である。
1 塗布装置
5 載置台
10 ダイヘッド
31 先端検知器
51 支持部
55 上下調整機構
5 載置台
10 ダイヘッド
31 先端検知器
51 支持部
55 上下調整機構
Claims (9)
- 本体支持部と、
前記本体支持部に取り付けられる第1の本体構成部材と、
前記第1の本体構成部材と当接される第2の本体構成部材と、
前記第2の本体構成部材に当接される押圧部材と、
前記本体支持部に設けられ、前記押圧部材を押圧する押圧手段と、
を具備することを特徴とするダイヘッド。 - 前記第1の本体構成部材は、第1の位置決めピンを介して前記本体支持部に取り付けられ、
前記第2の本体構成部材は、第2の位置決めピンを介して前記第1の本体構成部材に当接されることを特徴とする請求項1記載のダイヘッド。 - 前記本体支持部は、第1の支持部材と第2の支持部材とからなることを特徴とする請求項1記載のダイヘッド。
- 前記押圧手段は、油圧シリンダ又は空気シリンダであることを特徴とする請求項1記載のダイヘッド。
- 前記第1の本体構成部材と、前記第2の本体構成部材の間から塗布液が吐出することを特徴とする請求項1記載のダイヘッド。
- ダイヘッドの先端を検知する検知手段と、
前記ダイヘッドの鉛直方向の位置を調整する第1の調整機構と、
前記ダイヘッドの基準面に対する平行度を調整する第2の調整機構と、
を具備し、
前記検知手段で検知されたデータに基づいて、前記第1の調整機構と前記第2の調整機構とを調整することを特徴とするダイヘッドの調整装置。 - 前記検知手段は、基板載置台の端部に設けられることを特徴とする請求項6記載のダイヘッドの調整装置。
- ダイヘッドから塗布液を吐出して基板上に塗布する塗布装置であって、
前記ダイヘッドは、
本体支持部と、
前記本体支持部に取り付けられる第1の本体構成部材と、
前記第1の本体構成部材と当接される第2の本体構成部材と、
前記第2の本体構成部材に当接される押圧部材と、
前記本体支持部に設けられ、前記押圧部材を押圧する押圧手段と、
を具備することを特徴とする塗布装置。 - 前記第1の本体構成部材は、第1の位置決めピンを介して前記本体支持部に取り付けられ、
前記第2の本体構成部材は、第2の位置決めピンを介して前記第1の本体構成部材に当接されることを特徴とする請求項8記載の塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003324752A JP2005087874A (ja) | 2003-09-17 | 2003-09-17 | ダイヘッド、ダイヘッドの調整装置、及び塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003324752A JP2005087874A (ja) | 2003-09-17 | 2003-09-17 | ダイヘッド、ダイヘッドの調整装置、及び塗布装置 |
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JP2005087874A true JP2005087874A (ja) | 2005-04-07 |
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ID=34455426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003324752A Pending JP2005087874A (ja) | 2003-09-17 | 2003-09-17 | ダイヘッド、ダイヘッドの調整装置、及び塗布装置 |
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JP (1) | JP2005087874A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108589103A (zh) * | 2018-05-17 | 2018-09-28 | 浙江庄臣新材料有限公司 | 一种涂层机的模头 |
CN111250339A (zh) * | 2020-01-23 | 2020-06-09 | 江西沃格光电股份有限公司 | 涂布设备 |
-
2003
- 2003-09-17 JP JP2003324752A patent/JP2005087874A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108589103A (zh) * | 2018-05-17 | 2018-09-28 | 浙江庄臣新材料有限公司 | 一种涂层机的模头 |
CN111250339A (zh) * | 2020-01-23 | 2020-06-09 | 江西沃格光电股份有限公司 | 涂布设备 |
CN111250339B (zh) * | 2020-01-23 | 2021-06-22 | 江西沃格光电股份有限公司 | 涂布设备 |
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