JP2005079179A - リードフレーム、それを用いた樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイパッド15と、ダイパッドを保持する吊りリード16a〜16cと、ダイパッドの周縁に配列され、ダイパッド上に搭載される半導体素子の電極パッドと電気的に接続される複数本のインナーリード12と、複数本のインナーリードを横方向に接続して形成されたダムバー14と、複数本のインナーリードにそれぞれ対応して外部との電気接続のために設けられたアウターリード13とを備え、以上の要素がフレーム内に支持されている。ダイパッドは、中央部に配置されたダイパッド本体15aの周縁部に、各吊りリードに対応させてダイパッド本体よりも小さな小ダイパッド15bを重ね合わせた形状を有し、小ダイパッドの部分で吊りリードに接続されている。
【選択図】図2A
Description
図1は、本発明の実施の形態1におけるリードフレーム11を示す平面図である。このリードフレーム11には、ダイパッド15の周囲を囲むインナーリード12と、アウターリード13とを有する1つの半導体装置を構成するための単位構造が、縦横に複数配列されている。図中の半導体装置周囲の丸穴11aは、樹脂封止する際の樹脂通り道となるランナー部を樹脂封止後落とすための部分であり、リードフレーム11の上下に存在する丸穴11bや長穴11cは、リードフレーム11の搬送や位置決めに利用される。このリードフレーム11における単位構造を、図2Aに拡大して示す。
図6は、実施の形態2におけるリードフレーム21を示す平面図である。このリードフレーム21は、図2に示したリードフレーム11とは、ダイパッド22の形状が異なる。他の部分の構造は、図2に示したものと同様である。本実施の形態は、図2に示すリードフレーム11のようにダイパッドを曲線で構成された形状に加工できない場合に、近似したダイパッド形状を用いることで、図2で示した形状と同様な効果を得るものである。
図7を参照して、実施の形態3における樹脂封止型半導体装置について説明する。本実施の形態は、P−QFN(Plastic Qaud Flat Non-leaded Package)と呼ばれる樹脂封止型半導体装置に、本発明を適用した例である。
2、12 インナーリード
3、13 アウターリード
4、14 ダムバー
5、15、22 ダイパッド
6a〜6d、16a〜16d、26a〜26d 吊りリード
7、17 半導体素子
7a 電極パッド
8、18 接着剤
9、19 ディプレス部
10、20 封止樹脂
11a、11b 丸孔
11c 長孔
15a、22a ダイパッド本体部
15b、22b 小ダイパッド
24 フレーム
25 リード
27 アップセット部
30 金属細線
31 キャピラリ
32 プランジャー
33 ポット
34 ランナー
35 ゲート
36 エアベンド
37 上封止金型
38 下封止金型
39 キャビティ
40 剥離領域
41 密着領域
42 たわみ量
43 マイクロクラック
Claims (10)
- 半導体素子を搭載するためのダイパッドと、前記ダイパッドを保持する複数本の吊りリードと、前記ダイパッドの周縁に配列され、前記ダイパッド上に搭載される前記半導体素子の電極パッドと電気的に接続される複数本のインナーリードと、前記複数本のインナーリードを横方向に接続して形成されたダムバーと、前記複数本のインナーリードにそれぞれ対応して外部との電気接続のために設けられたアウターリードとを備え、以上の要素がフレーム内に支持されたリードフレームにおいて、
前記ダイパッドは、中央部に配置されたダイパッド本体の周縁部に、前記各吊りリードに対応させて前記ダイパッド本体よりも小さな小ダイパッドを重ね合わせた形状を有し、前記小ダイパッドの部分で前記吊りリードに接続されていることを特徴とするリードフレーム。 - 前記ダイパッド本体は円形である請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記ダイパッド本体は四角形であり、前記小ダイパッドが四隅にそれぞれ配置されている請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記小ダイパッドは円形である請求項1〜3のいずれか1項に記載のリードフレーム。
- ダイパッドと、前記ダイパッドを保持する吊り複数本のリードと、前記ダイパッド上に搭載された前記ダイパッドよりも大きい半導体素子と、前記ダイパッドの周縁に配列され、前記半導体素子の電極パッドと電気的に接続された複数本のインナーリードと、前記複数本のインナーリードにそれぞれ対応して外部との電気接続のために設けられたアウターリードと、前記アウターリードを露出させて他の要素を封止した封止樹脂とを備えた樹脂封止型半導体装置において、
前記ダイパッドは、中央部に配置されたダイパッド本体の周縁部に、前記各吊りリードに対応させて前記ダイパッド本体よりも小さな小ダイパッドを重ね合わせた形状を有し、前記小ダイパッドの部分で前記吊りリードに接続されていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。 - 前記ダイパッド本体は、円形である請求項4に記載の樹脂封止型半導体装置。
- 前記ダイパッド本体は、四角形であり、前記小ダイパッドが四隅にそれぞれ配置されている請求項4に記載の樹脂封止型半導体装置。
- 前記小ダイパッドは円形である請求項5〜7のいずれか1項に記載の樹脂封止型半導体装置。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載のリードフレームを用い、前記リードフレームのダイパッド上に半導体素子を接着剤で固着し、前記半導体素子の電極パッドと前記インナーリードとを電気的に接続し、前記アウターリードを露出させて他の要素を封止樹脂で封止する樹脂封止型半導体装置の製造方法において、
前記半導体素子をダイパッドに接着剤で固着する際に、前記半導体素子と前記ダイパッドの間から、ダイパッドの周辺に接着剤がわずかにはみ出るように前記接着剤の塗布量を調整することを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法。 - 前記接着剤の厚みは10μmから30μmで、断面形状において前記ダイパッド上面から前記半導体素子裏面へ吹上がるように固化させる請求項7に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
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JP2003304975A JP2005079179A (ja) | 2003-08-28 | 2003-08-28 | リードフレーム、それを用いた樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101685809B (zh) * | 2008-09-22 | 2012-07-04 | 晶致半导体股份有限公司 | 半导体封装件及其导线架 |
-
2003
- 2003-08-28 JP JP2003304975A patent/JP2005079179A/ja active Pending
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