JP2005078750A - 磁気記録再生装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドを用いた磁気記録再生装置の信頼性を向上する。
【解決手段】膜面に対してほぼ垂直な方向に電流が通電される磁気抵抗効果膜と前記磁気抵抗効果膜を挟む一対の磁気シールドとを有する磁気抵抗効果ヘッドと、前記磁気抵抗効果ヘッドに対して定電流駆動でセンス電流を供給するプリアンプとを具備した磁気記録再生装置。
【選択図】 図1
【解決手段】膜面に対してほぼ垂直な方向に電流が通電される磁気抵抗効果膜と前記磁気抵抗効果膜を挟む一対の磁気シールドとを有する磁気抵抗効果ヘッドと、前記磁気抵抗効果ヘッドに対して定電流駆動でセンス電流を供給するプリアンプとを具備した磁気記録再生装置。
【選択図】 図1
Description
本発明は、垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドを用いた磁気記録再生装置に関する。
磁気記録再生装置においては常に記録密度の向上が要求されており、それに伴って高感度な再生ヘッドが要求されている。こうした要求に応える再生ヘッド用素子として、トンネル磁気抵抗効果素子(TMR素子)や垂直通電型巨大磁気抵抗効果素子(CPP−GMR素子)がある。
これらの素子を用いた再生ヘッドは、磁化固着層、中間層および磁化自由層の薄膜積層構造を有するTMR膜またはGMR膜に対して、磁界検出のためのセンス電流を膜面に対してほぼ垂直方向に通電するタイプであるので、垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドということができる。TMR素子を用いた磁気ヘッドを開示した刊行物としては、例えば特許文献1を挙げることができる。CPP−GMR素子を用いた磁気ヘッドを開示した刊行物としては、例えば特許文献2や特許文献3を挙げることができる。
一般に再生ヘッド用素子にセンス電流を通電する際に、定電流駆動にするか定電圧駆動にするかを決定する条件は様々である。例えば、TMR素子を用いた再生ヘッドについては、素子抵抗のばらつきを吸収するため定電圧駆動が望ましいといわれている。
上述した磁化固着層、中間層および磁化自由層の薄膜積層構造を有するTMR膜またはGMR膜における中間層としては、高抵抗母材中に微細な導電領域(ピンホールまたはメタルホールと呼ばれることがある)が散在した構造を有するものが採用されている。これは中間層の抵抗値を調整するである。TMR素子における中間層である高抵抗のトンネルバリア層については再生ヘッドとしての実用性を考慮するとトンネルバリア層の抵抗を抑える必要があるが、微細な導電領域は抵抗の低減に寄与する(例えば非特許文献1)。また、またCPP−GMR素子では、中間層として微細なメタルホールを含む高抵抗の薄い酸化膜を用いることによってMR比を上げている。
しかし、これらの垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドでは、中間膜中に散在する微細な導電領域にセンス電流が集中することによる発熱が主因となって劣化が起こる結果、ヘッドの寿命が短くなり、これを使用した磁気記録再生装置の信頼性が低下するという問題が生じることがわかってきた。
米国特許第5,898,548号明細書
特開平10−55512号公報
米国特許第5,668,688号明細書
IEEE Trans. Magn., Vol.38, 2002, p.73
本発明の目的は、垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドを用いた磁気記録再生装置の信頼性を向上することにある。
本発明の一態様に係る磁気記録再生装置は、膜面に対してほぼ垂直な方向に電流が通電される磁気抵抗効果膜と前記磁気抵抗効果膜を挟む一対の磁気シールドとを有する磁気抵抗効果ヘッドと、前記磁気抵抗効果ヘッドに対して定電流駆動でセンス電流を供給するプリアンプとを具備したことを特徴とする。
本発明によれば、垂直通電型の磁気抵抗効果ヘッドを定電流駆動で使用することにより、磁気抵抗効果膜の温度上昇による劣化を防止して、寿命が大幅に向上した磁気記録再生装置を提供することができる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図1は、本発明に用いられる垂直通電型磁気抵抗効果素子の一例を示す断面図である。この図においては、手前側が磁気記録媒体(図示せず)に対向する媒体対向面である。図1に示されるように、下部シールド1、下地層2、反強磁性層3、磁化固着層(ピンド層)4、高抵抗中間層5、磁化自由層(フリー層)6、保護層7、上部シールド8が積層されている。反強磁性層3、磁化固着層(ピンド層)4、高抵抗中間層5および磁化自由層(フリー層)が磁気抵抗効果膜(TMR膜またはCPP−GMR膜)である。磁気抵抗効果膜の側部には、絶縁層9を介して、フリー層6の磁区を安定化させるためのバイアス強磁性層10が形成されている。
下部シールド1および上部シールド8は、磁気抵抗効果膜の膜面に対してほぼ垂直方向にセンス電流を通電するための電極を兼ねており、NiFeなどの良導体の強磁性体が用いられる。反強磁性層3はピンド層4の磁化を固着する機能を有し、PtMnなどの材料が用いられる。フリー層6は感磁部であり、磁気抵抗効果素子の膜面にほぼ垂直にセンス電流を流すことにより、フリー層6で感磁された磁気信号を電気信号として取り出すことができる。
本発明においては、下部シールド1および上部シールド8に定電流駆動でセンス電流を供給するプリアンプ30が接続されている。以下、定電流駆動することによる効果を説明するが、定電流駆動による効果は磁気抵抗効果膜に含まれる高抵抗中間層5において顕著に現れるので、最初に高抵抗中間層5について説明する。
図2または図3に示すように、高抵抗中間層5は、高抵抗母材11中に微細な導電領域12が形成された構造を有する。導電領域12の形態は、図2では一次元的な穴(導電ホールと呼ばれる)、図3では二次元的な溝である。いずれの場合も、ピンド層4、高抵抗中間層5およびフリー層6の断面は、図4に示したような構造となる。
TMR膜では製造方法に依存してこのような構造を有する高抵抗中間層(トンネルバリア層)5が形成される。CPP−GMR膜では、出力を増大させるため意図的にこのような構造を有する高抵抗中間層5が形成される。CPP−GMR膜では導電領域12は電流狭窄の効果を得るために形成される。この場合、導電領域12の面積が膜面積(素子面積)に対して概ね10%以下であれば電流狭窄効果が大きく現れる。
高抵抗母材11はボロン(B)、シリコン(Si)、ゲルマニウム(Ge)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、ニオブ(Nb)、アルミニウム(Al)、モリブデン(Mo)、りん(P)、バナジウム(V)、砒素(As)、アンチモン(Sb)、ジルコニウム(Zr)、チタン(Ti)、亜鉛(Zn)、鉛(Pb)、トリウム(Th)、ベリリウム(Be)、カドミウム(Cd)、スカンジウム(Sc)、ランタン(La)、イットリウム(Y)、プラセオジム(Pr)、クロム(Cr)、すず(Sn)、ガリウム(Ga)、インジウム(In)、ロジウム(Rh)、パラジウム(Pd)、マグネシウム(Mg)、リチウム(Li)、バリウム(Ba)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)、マンガン(Mn)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、ルビジウム(Rb)及び希土類金属よりなる群から選択された少なくともいずれかの元素の酸化物、窒化物または炭化物を主成分として形成され、概ね1×10E-3Ωcm以上の抵抗率を有する。導電領域12の材質としては、銅(Cu)、金(Au)、銀(Ag)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、オスミウム(Os)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)などの金属が用いられる。
図2に示した1次元的な穴(導電ホール)の形態をなす導電領域12の大きさは、概ね0.1〜10nm程度であれば、CPP−GMR膜やTMR膜の機能を果たすことができ、さらに素子機能を向上することもできる。図3に示した2次元的な溝の形態をなす導電領域12の場合も、溝の幅は0.1〜5nmであればよい。
なお、高抵抗層5は必ずしもピンド層4からフリー層6にまで達する導電領域12を含んでいなくてもよい。たとえば図5に示したように、高抵抗中間層5に凹凸があり、凸部の厚みが0.2〜4nm、凹部の厚みがその半分以下であれば、凹部にトンネル電流が流れるかまたは抵抗差によって凹部に電流が集まって電流狭窄がなされる。つまり、図5に示した凹部は、図4に示した穴(導電ホール)の形態の導電領域12と同等の役割を果たす。
次に、図6(A)および(B)を参照して、上記のような垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドにセンス電流を通電した場合に生じる問題点について説明する。図6(A)および(B)は、ピンド層4、高抵抗中間層5およびフリー層6の積層構造において、高抵抗中間層5中に散在する微細な導電領域12にセンス電流が集中して通電されている状態を示している。このように導電領域12にセンス電流が集中すると、発熱(ジュール熱)により導電領域12の周囲の高抵抗部が変化し、結果的に図6(B)に示したように図6(A)と比較して導電領域12の面積が広くなる。こうなると、TMR素子では分流部が増え、またCPP−GMR素子では電流狭窄が弱まり、出力低下がおこる。このようにして出力低下が起こると、当該ヘッドを搭載した磁気記録再生装置のエラーレートを劣化させ、その寿命を短くする。
本発明においては、定電流駆動を採用することにより、上述した出力低下に起因する磁気記録再生装置の寿命の短縮を大幅に改善する。
図7は垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドを、定電流駆動したときと定電圧駆動したときの時間に対する出力変化を示したものである。実験に用いたヘッドの抵抗は50Ωである。時間0での出力の値は、定電流駆動でも定電圧駆動でもほぼ同じである。ここでは、このヘッドを用いた磁気記録再生装置のエラーレートの限界にあたる出力低下を10%と想定している。図7に示されるように、定電流駆動で使用した場合のヘッド寿命は、定電圧駆動で使用した場合のヘッド寿命の概ね倍になっている。
これは抵抗が低下しても全体電圧が低下しない定電圧駆動の概念に一見矛盾するように思えるが、次のような機構による。すなわち、定電圧駆動で使用する場合、導電領域12で発生するジュール熱は次式のように導電領域の抵抗R(導電領域)に反比例する。
W(定電圧)∝V2/R(導電領域)。
W(定電圧)∝V2/R(導電領域)。
この場合、長時間の使用により導電領域12の面積が広がると、R(導電領域)は小さくなり、ジュール熱は大きくなる。したがって、垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドを定電圧駆動で使用すると、導電領域12の広がりが加速され、磁気記録再生装置の寿命が短くなる。
一方、垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドを定電流駆動で使用した場合のジュール熱は次式のようにR(導電領域)に比例する。したがって、垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドを定電圧駆動で使用した場合には、導電領域12の広がりが加速されることはないので、磁気記録再生装置の寿命の短縮を防止できる。
W(定電流)∝I2*R(導電領域)。
次に、図8に定電流駆動で駆動電流を20%程度増やした場合の時間に対する出力変化曲線を示す。定電流駆動での電流を20%程度増加させると、磁気記録再生装置の寿命は、図7に示した定電圧駆動した場合の寿命とほぼ一致する。このことから、この条件で定電流駆動を使用することによる出力利得は約20%程度であると見積もることができる。
以上のように、本発明においては、垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドを定電流駆動で使用することにより、大幅に寿命を伸ばすか、または大幅に出力を増大させることができる。
本発明においては、積極的に電流狭窄部(高抵抗中間層)の温度を測定するようにし、劣化が生じる程度に温度が上昇した場合に、プリアンプにフィードバックして電流値を低下させるようにしてもよい。このような機構を設けることにより、上述した単純な定電流駆動の場合より優れた効果を得ることができる。
図9を参照して、このような機構を有する磁気記録再生装置の構成を説明する。垂直通電型磁気抵抗効果素子については、図1に示した積層構造に加えて高抵抗中間層5とフリー層6との間にCu層21を挿入する。このようにCu層21を挿入しても、TMR効果やGMR効果が乱されることはない。このCu層21の一端にCuリード22を接続し、他端にCuNi(コンスタンタン)リード23を接続する。さらに、Cuリード22およびCuNi(コンスタンタン)リード23は室温下の基準接点24に接続される。このような構成により、Cu−CuNi間に熱起電力を発生させることができるので、Cuリード22の途中に接続した熱起電力測定器25によって、高抵抗中間層5の温度を測定することができるようになる。したがって、熱起電力測定器(制御器)25で測定される高抵抗中間層5の温度によって、定電流駆動のプリアンプ30から供給されるセンス電流値を低下させるようにフィードバック制御することができる。
たとえば、図10に示す例では、熱起電力測定器25で測定される高抵抗中間層5の温度が150℃を超えた場合に、定電流駆動のプリアンプ30から供給されるセンス電流値を徐々に低下させるように制御している。
なお、感温部であるCuとCuNi(コンスタンタン)との接合部を素子から切り離し、素子近傍の外部温度によって定電流駆動のプリアンプ30から供給されるセンス電流値を制御するようにしてもよい。
次に、本発明の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドを使用した磁気ヘッドアセンブリおよび磁気記録再生装置について説明する。
図11は本発明の実施形態に係る垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドを使用した磁気ヘッドアセンブリ50をディスク側から見た斜視図である。アクチュエータアーム51には磁気ディスク装置内のピボットに装着するための穴が設けられ、図示しない駆動コイルを保持するボビン部を有する。アクチュエータアーム51の一端にはサスペンション52が固定されている。サスペンション52の先端には垂直通電型磁気抵抗効果ヘッドを搭載した磁気ヘッドスライダ53が取り付けられている。また、サスペンション52には信号の書き込みおよび読み取り用のリード線54が配線され、このリード線54の一端は磁気ヘッドの各電極に接続され、リード線54の他端は電極パッド55に接続されている。
図12は図11に示す磁気ヘッドアセンブリを搭載した磁気記録装置(ハードディスクドライブ)100の内部構造を示す斜視図である。磁気ディスク101はスピンドル102に装着され、図示しない駆動装置制御部からの制御信号に応答して回転する。図11のアクチュエータアーム51はピボット103に装着され、ピボット103の上下2個所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、サスペンション52およびその先端のヘッドスライダ53を支持している。アクチュエータアーム51の基端にはリニアモータの1種であるボイスコイルモータ104が設けられている。ボイスコイルモータ104はアクチュエータアーム51のボビン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルとこのコイルを挟み込むように対向して配置された永久磁石および対向ヨークからなる磁気回路とから構成される。アクチュエータアーム51はボイスコイルモータ104により回転摺動が自在にできるようになっている。磁気ディスク101が回転すると、ヘッドスライダ53が磁気ディスク101上に浮上またはその表面と接触した状態で保持され、磁気ヘッドによって情報を記録再生できるようになっている。これらの各部材を収容した筐体上にカバー105が取り付けられる。
1…下部シールド、2…下地層、3…反強磁性層、4…磁化固着層(ピンド層)、5…高抵抗中間層、6…磁化自由層(フリー層)、7…保護層、8…上部シールド、9…絶縁層、10…バイアス強磁性層、11…高抵抗母材、12…導電領域、21…Cu層、22…Cuリード、23…CuNi(コンスタンタン)リード、24…基準接点、25…熱起電力測定器、30…定電流駆動のプリアンプ、50…磁気ヘッドアセンブリ、51…アクチュエータアーム、52…サスペンション、53…ヘッドスライダ、54…リード線、55…電極パッド、100…磁気記録装置、101…磁気ディスク、102…スピンドル、103…ピボット、104…ボイスコイルモータ、105…カバー。
Claims (7)
- 膜面に対してほぼ垂直な方向に電流が通電される磁気抵抗効果膜と前記磁気抵抗効果膜を挟む一対の磁気シールドとを有する磁気抵抗効果ヘッドと、
前記磁気抵抗効果ヘッドに対して定電流駆動でセンス電流を供給するプリアンプと
を具備したことを特徴とする磁気記録再生装置。 - 前記磁気抵抗効果膜は、磁化固着層と、高抵抗母材中に導電領域が形成された高抵抗中間層と、磁化自由層とを積層した構造を有することを特徴とする請求項1に記載の磁気記録再生装置。
- 前記高抵抗母材は金属の酸化物、窒化物または炭化物を含み、前記導電領域は銅、金および銀からなる群より選択される金属を含むことを特徴とする請求項2に記載の磁気記録再生装置。
- 前記導電領域の面積は、膜面積に対して10%以下であることを特徴とする請求項2に記載の磁気記録再生装置。
- 前記高抵抗中間層は、トンネルバリア層であることを特徴とする請求項2に記載の磁気記録再生装置。
- 前記磁気抵抗効果膜に含まれる高抵抗中間層の温度を測定できる温度測定素子と、
前記温度測定素子のデータに基づいて、前記プリアンプから供給されるセンス電流値を制御する制御器と
を有することを特徴とする請求項2に記載の磁気記録再生装置。 - 前記温度測定素子は、前記磁気抵抗効果膜の高抵抗中間層に対して積層された第1の金属からなる導電層と、第1の金属との接合により熱起電力を発生することができる第2の金属からなるリードとを含むことを特徴とする請求項6に記載の磁気記録再生装置。
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