JP2005072571A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
半導体装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005072571A JP2005072571A JP2004226898A JP2004226898A JP2005072571A JP 2005072571 A JP2005072571 A JP 2005072571A JP 2004226898 A JP2004226898 A JP 2004226898A JP 2004226898 A JP2004226898 A JP 2004226898A JP 2005072571 A JP2005072571 A JP 2005072571A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- semiconductor device
- active layer
- semiconductor
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Thin Film Transistor (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】 半導体装置は、サファイア基板101上に形成された第1の半導体層よりなる能動層(活性層)105を備えている。能動層(活性層)105には、酸化層よりなる第1の酸化領域が形成されている。
【選択図】 図1
Description
以下、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について説明する。
以下、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について説明する。
以下、本発明の第3の実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について説明する。
以下、本発明の第4の実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について説明する。
以下、本発明の第5の実施形態について図8及び図9を参照しながら説明する。
以下、本発明の第6の実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について説明する。
以下、本発明の第7の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図12を参照しながら説明する。
102、202、302、402、502、602、702 バッファ層
103、203、303、403、503、603、703、704 アンドープ層
104、204、304、404 n型クラッド層
105、305、405 活性層
106、206、306、406 p型クラッド層
107、207、407 p型透明電極
108、208、307、408 p型電極
109、209、308、409 p型電極パッド
110、210、310、410、706 n型電極
111、211、311、411、707 n型電極パッド
112、212、312、412、710 側面に厚く形成された酸化膜
113、213、313、413、711b 結晶欠陥に深く酸化された酸化膜
205 受光能動層
314 リッジ導波路
504、505、506、604、605、606 酸化層
705 チャネル層
708 ゲート絶縁膜
709 ゲート電極
711a 素子分離酸化膜
Claims (17)
- 基板上に形成された第1の半導体層よりなる能動層を備えた半導体装置であって、
前記能動層には、酸化層よりなる第1の酸化領域が形成されていることを特徴する半導体装置。 - 前記第1の酸化領域は、前記能動層に存在する結晶欠陥の近傍に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記能動層の上に形成された第2の半導体層をさらに備えており、
前記第2の半導体層における表面及び側面のうち少なくとも一方には、酸化層よりなる第2の酸化領域が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2の半導体層における側面に形成される前記第2の酸化領域の層厚は、前記第2の半導体層における表面に形成される前記第2の酸化領域の層厚よりも大きいことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記第1の酸化領域は、前記能動層における側面にさらに形成されており、
前記能動層における側面に形成された前記第1の酸化領域の層厚は、前記第2の半導体層における側面に形成される前記第2の酸化領域の層厚よりも大きいことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。 - 基板上に形成された第1の半導体層よりなる能動層と、前記能動層の上に形成された第2の半導体層とを備えた半導体装置であって、
前記能動層には、酸化層よりなる第1の酸化領域が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記能動層は、発光ダイオードの活性層であることを特徴とする請求項1又は6に記載の半導体装置。
- 前記能動層は、フォトダイオードの光吸収層であることを特徴とする請求項1又は6に記載の半導体装置。
- 前記能動層は、半導体レーザの活性層であることを特徴とする請求項1又は6に記載の半導体装置。
- 前記能動層は、電界効果トランジスタのチャネル層であることを特徴とする請求項1又は6に記載の半導体装置。
- 基板上に半導体層よりなる能動層を形成する工程と、
前記能動層に酸化層よりなる酸化領域を選択的に形成する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記酸化領域を選択的に形成する工程は、前記能動層に存在する結晶欠陥の近傍に、前記酸化領域を形成する工程を含むことを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化領域を選択的に形成する工程は、水蒸気を含む雰囲気中での熱処理により、前記酸化領域を形成する工程を含むことを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板上に第1の半導体層よりなる能動層を形成する工程と、
前記能動層の上に第2の半導体層を形成する工程と、
前記第2の半導体層における面方位が異なる少なくとも2つの面に、酸化層よりなる酸化領域を選択的に形成する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記酸化領域を選択的に形成する工程は、前記少なくとも2つの面の各々に形成される前記酸化領域の各々の層厚が互いに異なるように、前記酸化領域を形成する工程を含むことを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記少なくとも2つの面のうちの1つの面は、前記第2の半導体層におけるc面方位を有する面であることを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の半導体層における前記c面方位を有する面上に形成される前記酸化領域の層厚は、前記第2の半導体層における前記c面方位を有する面とは異なる面に形成される前記酸化領域の層厚よりも小さいことを特徴とする請求項16に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004226898A JP4814500B2 (ja) | 2003-08-07 | 2004-08-03 | 半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003288750 | 2003-08-07 | ||
JP2003288750 | 2003-08-07 | ||
JP2004226898A JP4814500B2 (ja) | 2003-08-07 | 2004-08-03 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005072571A true JP2005072571A (ja) | 2005-03-17 |
JP4814500B2 JP4814500B2 (ja) | 2011-11-16 |
Family
ID=34425253
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004226898A Expired - Fee Related JP4814500B2 (ja) | 2003-08-07 | 2004-08-03 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4814500B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008034482A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 化合物半導体発光素子およびそれを用いる照明装置ならびに化合物半導体素子の製造方法 |
JP2008187059A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体発光素子 |
WO2016051857A1 (ja) * | 2014-09-30 | 2016-04-07 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体発光装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001267555A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003163417A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
-
2004
- 2004-08-03 JP JP2004226898A patent/JP4814500B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001267555A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003163417A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008034482A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 化合物半導体発光素子およびそれを用いる照明装置ならびに化合物半導体素子の製造方法 |
JP2008187059A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体発光素子 |
WO2016051857A1 (ja) * | 2014-09-30 | 2016-04-07 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体発光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4814500B2 (ja) | 2011-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100869962B1 (ko) | 전류 확산층을 포함하는 발광소자의 제조방법 | |
JP3864735B2 (ja) | 半導体発光素子およびその製造方法 | |
US7760785B2 (en) | Group-III nitride semiconductor device | |
JP4839478B2 (ja) | 垂直共振器型発光ダイオード及びその製造方法 | |
JP4465745B2 (ja) | 半導体積層基板,半導体結晶基板および半導体素子ならびにそれらの製造方法 | |
JP2007066981A (ja) | 半導体装置 | |
JP2008182275A (ja) | 窒化物系半導体発光素子 | |
JP2002033512A (ja) | 窒化物半導体発光ダイオード | |
JP4015865B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4718852B2 (ja) | 窒化物半導体装置及びその製造方法 | |
JP4493041B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
US7795630B2 (en) | Semiconductor device with oxidized regions and method for fabricating the same | |
JP4814500B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JPH08255952A (ja) | 半導体発光素子の製法 | |
JP2004327705A (ja) | 窒化物半導体レーザ装置 | |
JP3546634B2 (ja) | 窒化物系化合物半導体の選択エッチング方法および半導体装置の製造方法 | |
JP2007184644A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2007042944A (ja) | 窒化物半導体素子の製法 | |
JP2003229412A (ja) | ドライエッチング方法および半導体素子 | |
JP5874689B2 (ja) | 半導体発光素子およびその製造方法 | |
JPH11346035A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法 | |
JP3025760B2 (ja) | 窒化ガリウム系半導体レーザ素子およびその製造方法 | |
JP4799582B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4969210B2 (ja) | 半導体レーザおよびその製造方法 | |
JP3938207B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070731 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100511 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100708 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110802 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110826 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140902 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |