JP2005072332A - 薄膜太陽電池 - Google Patents
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Abstract
【課題】光の反射を効果的に抑制できる薄膜太陽電池を提供することを目的とする。
【解決手段】基板11上に光電変換素子17、19を積層し、光電変換素子17、19の表面に透明導電膜21を設けてなる薄膜太陽電池であって、透明導電膜層21に、5角錐以上の多角錐状凹凸33を設けた。
【選択図】図1
【解決手段】基板11上に光電変換素子17、19を積層し、光電変換素子17、19の表面に透明導電膜21を設けてなる薄膜太陽電池であって、透明導電膜層21に、5角錐以上の多角錐状凹凸33を設けた。
【選択図】図1
Description
本発明は薄膜太陽電池に関し、特に高い光電変換効率を有する薄膜太陽電池に関する。
将来の需給が懸念され、かつ地球温暖化現象の原因となる二酸化炭素排出の問題がある石油等の化石燃料の代替エネルギー源として太陽電池が注目されている。
従来の太陽電池セルとして、太陽電池セルの受光面に、反射を抑制すべく凹凸を形成することが行われており、近年では、ピラミッド形状もしくは逆ピラミッド形状の凹凸が形成され、光の反射を効果的に抑制することが行われている(特許文献1参照)。
特開2000−22185号
しかしながら、従来のピラミッド形状もしくは逆ピラミッド形状(4角錐)の凹凸では、未だ光反射抑制率が小さいという問題があった。
本発明は、光の反射を効果的に抑制できる薄膜太陽電池を提供することを目的とする。
本発明の薄膜太陽電池は、基板上に光電変換素子を積層し、該光電変換素子の表面に透明導電膜を設けてなる薄膜太陽電池であって、前記透明導電膜の表面に、5角錐以上の多角錐状凹凸を複数設けてなることを特徴とする。このような薄膜太陽電池では、薄膜太陽電池の表面側に5角錐以上の多角錐状凹凸を有するため、多角となった側面での反射回数が増大し、太陽光を薄膜太陽電池の外部に漏らしにくくし、光の反射を効果的に抑制できる。
また、本発明の薄膜太陽電池は、多角錐状凹凸の高さhと幅Bとの比(h/B)が0.01〜0.5であることを特徴とする。このような薄膜太陽電池では、薄膜太陽電池の厚み方向の多重反射を増大させ、太陽光を薄膜太陽電池内にさらに閉じ込めることができる。
さらに、本発明の薄膜太陽電池は、透明導電膜よりも基板側に形成された層が5角錐以上の多角錐形凹凸をなしていることを特徴とする。このような薄膜太陽電池では、5角錐以上の多角錐形状をなしている層に薄膜を積層して薄膜太陽電池が作製されるため、5角錐以上の多角錐形状をなしている層に反映して、表面側に形成された透明導電膜の形状が5角錐以上の多角錐状凹凸形状となり、これにより、一度透明導電膜層に侵入した光の反射を効果的に抑制できる。
また、本発明の薄膜太陽電池は、基板上に複数の光電変換素子が積層されていることを特徴とする。例えば、第1導電型半導体層、真性半導体層および第2導電型半導体層を順次積層してなる光電変換素子を複数積層することにより、広波長帯域に亘る太陽光を吸収することができる。
さらに、本発明の薄膜太陽電池は、透明導電膜の表面には、8角錐状凹凸又は16角錐状凹凸が設けられていることを特徴とする。このような薄膜太陽電池では、光の反射を効果的に抑制できるとともに、複数の凹凸の配列が容易になる。
また、本発明の薄膜太陽電池は、多角錐状凹凸の角部が面取りされていることを特徴とする。このような薄膜太陽電池では、光の反射をさらに効果的に抑制できる。
本発明の薄膜太陽電池では、5角錐以上の多角錐状凹凸により、光閉込構造を等方的に実現し、通常の4角錐状凹凸以上の光閉込効果を得ることができる。また、凹凸を光変換素子構造自体にではなく、その上に積層される透明導電膜に形成することで、光変換素子中の欠陥密度の増大を抑制できる。
本発明の薄膜太陽電池を図1を基に説明する。本発明の薄膜太陽電池は、平滑な表面を有するガラス基板11上に、銀電極13、平坦な透明導電膜15が形成されている。
この透明導電膜15の上には、n型微結晶シリコン層17c、i型微結晶シリコン層17b、p型微結晶シリコン層17aがプラズマCVD装置により順に積層され、第1の光電変換素子構造17が構成されている。
同様に、p型微結晶シリコン層17aの上には、n型アモルファスシリコン層19c、i型アモルファスシリコン層19b、p型アモルファスシリコン層19aがプラズマCVD装置により順に積層され、これにより第2の光電変換素子構造19が構成されている。
p型アモルファスシリコン層19aの上には、透明導電膜21が形成され、この透明導電膜21の表面にはカバーガラス22が形成されている。このカバーガラス22の表面は平坦とされている。透明導電膜21は600nm以下の厚みを有することが好ましい。
透明導電膜21は、酸化錫、酸化インジウム、酸化亜鉛からなることが好適である。また、これらのうちの単一の材料から成るものであってもよいし、あるいはこれらの材料を含む層を複数積層したものであっても構わない。特に、主として酸化亜鉛からなる透明導電膜は、安価であり、耐プラズマ性が高く変質しにくいという利点を有するためより好ましい。
これらの透明導電膜21は、例えばスパッタリング法、常圧CVD法、減圧CVD法、電子ビーム蒸着法、ゾルゲル法、電析法等の公知の方法により作製できる。その中でも特に、スパッタリング法は、透明導電膜21の透過率や抵抗率を薄膜太陽電池に適したものに制御することが容易であるので望ましい。
これらの透明導電膜21中に微量の不純物が添加されていてもよい。また、これらの透明導電膜21の厚さは、薄すぎると特性の均一性に問題が生じ、厚すぎると透過率の減少および直列抵抗の増加による光電変換効率の低下やコストの増大を引き起こすため、好ましくは10〜500nmである。
この太陽電池構造は2層の光電変換素子部を有した多接合型薄膜太陽電池であるので、タンデム型薄膜太陽電池と呼ばれる構造である。つまり、2層の光電変換素子17、19が直列につながっている状態であり、全体の電圧はそれら個々電圧の和になり、全体の電流はそれらの電流値の小さい方で決まる。各光電変換素子17、19の合計厚みは3000nm以下とされていることが好ましい。
そして、本発明では、図2〜図5に示すように、透明導電膜21はその表面が多角錐形状に形成されており、透明導電膜21の表面には5角錐以上の多角錐形状凹凸(図1では多角錐形状凸)33が、図3及び図4に示すように、多数配列して形成されており、その表面をカバーガラス22が被覆している。
尚、図1では、一つの多角錐形状凹凸33とその上下の構造のみ記載した。また、透明導電膜21よりも基板11側に形成された層、例えば透明導電膜15が5角錐以上の多角錐形状をなしていてもよい。この場合にも、多角錐形状を為している層の上に形成された層は、多角錐形状をなした層に反映して多角錐形状となり、透明導電膜21の表面には多角錐形状凹凸が形成されることになる。
さらに、上記形態では、第2の光電変換素子19のp、i、n全ての層をアモルファスシリコンにより形成しているが、i層については第2の光電変換素子のi層となる結晶シリコンよりエネルギーギャップ大きい材料であればよく、例えばa−SiC:H等を用いてもよい。導電型層についてもp、nともにアモルファスシリコン層である必要はなく、いずれもシリコン結晶質半導体層等で形成しても構わない。
本発明では、5角以上の多角錐状凹凸33を形成することで光閉込構造の等方性を実現し、通常の3角錐、4角錐状凹凸以上の光閉込効果を得ることができる。また、凹凸を光変換素子自体にではなく、その上に積層される透明導電膜21に形成することで、光変換素子中の欠陥密度の増大を防止できる。特に、8角錐以上の多角錐形状の凹凸であることが望ましい。
また、図5に示すように、多角錐状凹凸33の高さhと幅Bの比(h/B)が0.01〜0.5を満足することが望ましい。これにより薄膜太陽電池の厚み方向の多重反射を増大させ、太陽光を薄膜太陽電池内にさらに閉じ込めることができる。尚、図5では、理解し易いように、透明導電膜21の突出している部分(多角錐状凹凸33)のみを記載した。
透明導電膜表面に凹凸33を設ける手段として、例えば、堆積すると同時に表面に凹凸が形成されるような条件により中間層を形成し、この表面に透明導電膜を形成してもよい。また、透明導電膜表面に対してサンドブラストのような機械加工、あるいはエッチングといった化学的加工処理を行うことで凹凸を形成することも可能である。
エッチャントの種類、濃度あるいはエッチング時間等を適宜変更することにより、透明導電膜の表面形状を容易に制御できるので、凹凸を作製する手段としてエッチングを行うことが特に好ましい。エッチャントとして酸またはアルカリ溶液を用いることは、より安価に製造できるので、さらに好ましい。この場合、酸溶液には、塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸、酢酸、蟻酸、過塩素酸等の1種または2種以上の混合物を用いることができる。中でも、塩酸、酢酸が好ましい。これらの酸溶液は、例えば0.05〜5質量%程度の濃度で使用できる。特に酢酸のような比較的弱い酸の場合には、0.1〜5質量%程度の濃度で使用することが好ましい。また、アルカリ溶液には、水酸化ナトリウム、アンモニア、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化アルミニウム等の1種または2種以上の混合物を用いることができる。なかでも水酸化ナトリウムが好ましい。これらのアルカリ溶液は1〜10質量%程度の濃度で使用することが好ましい。
特に、透明導電膜21に凹凸の浅いイオンエッチング加工(RIE加工)を複数回繰りかえすことで、一回のRIE加工では3角錐または4角錐だった凹凸を次第に5角錐以上の多角錐形状とできる。特に、多角錐状凹凸33の各面で構成される角部を面取りすることが望ましい。
本発明の多接合型薄膜太陽電池に用いる基板11の材料としては、ガラス、金属、あるいはポリイミドやポリビニルといった200℃程度の耐熱性を有する樹脂、さらにはそれらが積層されたもの等、種々のものが使用できる。また、それらの表面に金属膜、透明導電膜、あるいは絶縁膜等を被覆したものも含まれる。また、基板11厚さは特に限定されるものではないが、構造を支持し得るよう適当な強度や重量を有するように、例えば0.1〜30mm程度である。
基板11の表面に凹凸を形成しても良い。凹凸を設ける手段としては、例えば、平滑な表面を有する基板11上に、堆積すると同時に表面に凹凸が形成されるような膜を形成してもよい。該表面に凹凸が形成される膜は基板と同じ材料であっても、または異なる材料であっても構わない。また、基板表面に対してサンドブラストのような機械加工、あるいはエッチングといった化学的加工処理を行って凹凸を形成することもできる。この凹凸を反映して、その表面に形成される層は凹凸となり、透明導電膜21に表面が多角錐状凹凸となる。
本発明の薄膜太陽電池では、ボトムセルの光電変換素子が、主として微結晶シリコンから成るものとすることにより、アモルファスシリコンでは光電変換に利用できない波長700nm以上の長波長光も光電変換に利用できる。これにより、高い光電変換効率が得られるとともに、光劣化が抑制された安定な太陽電池を得ることができる。なお主としてシリコンから成る半導体層には、実質的にシリコンのみからなるものの他、シリコンと他の元素との組み合わせからなるもの、例えばシリコンが添加されたSixSn1−xおよびゲルマニウムが添加されたSixGe1−x等も含まれる。
尚、上記形態では、凸状の多角錐状凹凸33を形成したが、凹状の多角錐状凹凸を形成してもよいことは勿論である。
図1の薄膜太陽電池を作製した。先ず、平滑な表面を有するガラス基板11上に銀電極13を形成した。その上に平坦な透明導電膜15を形成し、この後、透明導電膜15の上にn型微結晶シリコン層17c、i型微結晶シリコン層17b、p型微結晶シリコン層17aをプラズマCVD装置により順に積層して第1の光電変換素子17を構成し、p型微結晶シリコン層17aの上にn型アモルファスシリコン層19c、i型アモルファスシリコン層19b、p型アモルファスシリコン層19cをプラズマCVD装置により順に積層することで第2の光電変換素子構造19を形成した。この後、第2の光電変換素子構造19上に透明導電膜21をプラズマCVD装置により積層した。
その透明導電膜21に凹凸の浅いイオンエッチング加工(RIE加工)を複数回繰りかえすことで、8角錐状凹凸、16角錐状凹凸を形成した。また、1回のイオンエッチング加工(RIE加工)により4角錐状凹凸を形成した。
そして、4角錐状凹凸、8角錐状凹凸、16角錐状凹凸の場合で光電流値を比較した。また、多角錐の幅Bは300nm、高さhは100nmであり、h/Bは0.33であった。光電流値は、透明導電膜上に配置された棒状電極とAg電極13の間に電流計を設置することにより測定した。その結果を表1に記載した。
変換効率は光電流値に比例しており、特に凹凸構造を変化させる場合にはその変化は直接光電流値にのみ反映されると考えてよい。タンデム型薄膜太陽電池の光電流値は、トップセルの光電流値とボトムセルのそれの内の小さい方である。トップセルはアモルファスシリコンからなる光電変換素子19のことであり、ボトムセルは微結晶シリコンからなる光電変換素子17のことである。
ボトムセル単独の光電流値に関しては、8角錐状凹凸、16角錐状凹凸を形成することで、4角錐状凹凸よりも0.09mA/cm2増大することが判る。表面に4角錐状凹凸、8角錐状凹凸、16角錐状凹凸を形成した透明導電膜を有する薄膜太陽電池の光吸収スペクトルを図6に示す。この図6から、400〜600nmあたりの短波長域で多角錐であれば有るほど吸収率が向上していることがわかる。
11・・・基板
17・・・第1の光電変換素子
19・・・第2の光電変換素子
15、21・・・透明導電膜
22・・・カバーガラス
33・・・多角錐状凹凸
h・・・多角錐状凹凸の高さ
B・・・多角錐状凹凸の幅
17・・・第1の光電変換素子
19・・・第2の光電変換素子
15、21・・・透明導電膜
22・・・カバーガラス
33・・・多角錐状凹凸
h・・・多角錐状凹凸の高さ
B・・・多角錐状凹凸の幅
Claims (6)
- 基板上に光電変換素子を積層し、該光電変換素子の表面に透明導電膜を設けてなる薄膜太陽電池であって、前記透明導電膜の表面に、5角錐以上の多角錐状凹凸を複数設けてなることを特徴とする薄膜太陽電池。
- 多角錐状凹凸の高さhと幅Bとの比(h/B)が0.01〜0.5であることを特徴とする請求項1記載の薄膜太陽電池。
- 透明導電膜よりも基板側に形成された層が5角錐以上の多角錐形状凹凸をなしていることを特徴とする請求項1又は2記載の薄膜太陽電池。
- 基板上に複数の光電変換素子が積層されていることを特徴とする請求項1乃至3のうちのいずれかに記載の薄膜太陽電池。
- 透明導電膜の表面には、8角錐状凹凸又は16角錐状凹凸が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれかに記載の薄膜太陽電池。
- 多角錐状凹凸の角部が面取りされていることを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれかに記載の薄膜太陽電池。
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---|---|---|---|---|
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2003
- 2003-08-26 JP JP2003301197A patent/JP2005072332A/ja active Pending
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