JP2005069993A - 校正機能付き原子間力/水平力顕微鏡と原子間力/水平力顕微鏡の感度校正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 原子間力/水平力顕微鏡に校正用に例えば走査型の電子顕微鏡が内蔵されている。電子顕微鏡出力は、2次電子を検出して2次電子像をモニタ上に表示させ探針11の先端部の位置(座標)を読み取る。一方、板バネ12の表面で反射したレーザビームは、4つの受光領域D1〜D4をもつ4分割フォトダイオード15に入射する。受光領域(D1+D4)と受光領域(D2+D3)の出力が差動アンプ116に入力されると水平力出力が得られる。受光領域(D2+D1)と受光領域(D3+D4)の出力が差動アンプ17に入力されると原子間力出力が得られる。このようにして得られた検出値を電子顕微鏡による読み取り値によって校正する。
【選択図】 図2
Description
その第2は、試料載置台により任意のZ方向変位量を試料に発生させて探針を変位させ、そのときの試料載置台の変位量を用いてその際に現れた原子間力出力を校正する方法である。この方法では、試料のZ方向変位により探針はZだけでなくY変位も十分に発生してしまっており、2つの変位の混ざった原子間力出力を見ており、Z方向の校正ができない。また、変位発生装置の校正誤差がそのままZ方向の校正に乗ってくるため、誤差要因が大きい。
その第4は、静止摩擦力が発生している状態を利用して探針変位と走査距離が同じである状態を作り出し、探針変位量と走査距離が同じであることを利用して校正する方法である(例えば、非特許文献1参照)。しかしながら、この方法では、静止摩擦状態でも探針はわずかながら滑っており探針変位量と走査距離が同じにならない。また、変位発生装置の校正誤差がそのままZ方向の校正に乗ってくる。そして、この方法では静止摩擦力状態がはっきりと確認できない場合には、用いることができない。
Fujisawa et al., Appl. Phys.Lett. 66(4),23 Jan., 1995
試料が載置される試料載置台と、試料表面にその先端部が接触ないし近接することのできる探針をその先端部に保持した板バネと、探針の変位を検出することのできる変位検出器と、を備えた原子間力/水平力顕微鏡と、
探針先端部付近に電子線を照射することのできる電子銃と、電子線を走査する走査部と、照射された電子線による2次電子を検出する2次電子検出器と、2次電子像を観察できる画像モニタと、を備えた電子顕微鏡と、
を具備し、電子顕微鏡により探針の先端部の3次元座標を取得することが可能であることを特徴とする校正機能付き原子間力/水平力顕微鏡、が提供される。
[第1の実施の形態]
図1は、本発明の第1の実施の形態の概略の構成を示すブロック図である。校正用に設けられた電子顕微鏡1には、電子銃2が備えられており、電子銃2から放出された電子線3は、レンズ4により試料10上に集束され、走査コイル5により試料10面上を走査される。レンズ4と走査コイル5は、図示が省略されたレンズ制御回路、走査回路により駆動される。試料表面および探針先端部から放出された2次電子は電子顕微鏡の2次電子検出器7により検出され、その2次電子像は、電子顕微鏡画像モニタ8に表示される。
a = X1/VX1 ・・・(1)
が求められて校正が可能となる。YとZ方向にも同様の式が成り立つ。
VY1 = bY1 ・・・(2)
VZ1 = cZ1 ・・・ (3)
しかし、YZ方向は共に原子間力出力となるのでVY1とVZ1は区別ができないため、式(2)と(3)を加算した次の式を満たすことになる。
VY1 + VZ1 = bY1 + cZ1 ・・・(4)
(4)だけではbとcを求められないので、さらに別の方向に変位2を発生させて電子顕微鏡により、探針変位量Y2、 Z2を、また、原子間力/水平力顕微鏡により、原子間力出力(Y2+ Z2)を観測する。このときYとZの探針変位量Y2とZ2に対しても次の式が成り立つ。
VY2 = bY2 ・・・ (5)
VZ2 = cZ2 ・・・ (6)
ここでも、式(5)と(6)を加算した次の式を満たすことになる。
VY2 + VZ2 = bY2 + cZ2 ・・・(7)
式(4)と式(7)による連立方程式をたてて、これをbとcについて解けば、YとZ方向のそれぞれの原子間力出力あたりの探針変位量であるbとcが下記のように求まることにより、校正が可能となる。
b = (VY2 + VZ2 −(VY1 + VZ1) Z2/Z1)/(Y2 −Y1 Z2/Z1)
c = (VY2 + VZ2 −(VY1 + VZ1) Y2/Y1)/(Z2 −Z1 Y2/Y1)
図4は、本発明の第2の実施の形態の概略の構成を示すブロック図である。図4において、図1に示した第1の実施の形態の部材と同等の機能を有する部分には同一の参照符号が付せられているので重複する説明は省略する。本実施の形態においては、校正用の電子顕微鏡に、透過型の電子顕微鏡が用いられる。電子銃2から放出された電子線3は、レンズ4により試料10と探針11との接触部に集束され、その透過電子線は透過電子線検出器18により検出され、その電子画像は電子顕微鏡画像モニタ8上に表示される。
a = X1/VX1 ・・・(8)
また、試料台9を操作して探針11の先端部をZ方向に変位させ、電子顕微鏡によりその変位量Z1を読み取る。また、差動アンプ17の出力から原子間力出力VZ1を得て式(9)のように校正を行うことができる。
c = Z1/VZ1 ・・・(9)
2 電子銃
3 電子線
4 レンズ
5 走査コイル
6 2次電子
7 2次電子検出器
8 電子顕微鏡画像モニタ
9 試料台
10 試料
11 探針
12 板バネ
13 AFM/LFM変位検出計
14 原子間力/水平力顕微鏡
15 4分割フォトダイオード
16、17 差動アンプ
18 透過電子線検出器
Claims (9)
- 試料が載置される試料載置台と、試料表面にその先端部が接触ないし近接することのできる探針をその先端部に保持した板バネと、探針の変位を検出することのできる変位検出器と、を備えた原子間力/水平力顕微鏡と、
探針先端部付近に電子線を照射することのできる電子銃と、電子線を走査する走査部と、照射された電子線による2次電子を検出する2次電子検出器と、2次電子像を観察できる画像モニタと、を備えた電子顕微鏡と、
を具備し、電子顕微鏡により探針の先端部の3次元座標を取得することが可能であることを特徴とする校正機能付き原子間力/水平力顕微鏡。 - 前記変位検出器が、前記板バネの先端表面にレーザビームを照射するレーザ光源と、レーザビームの反射光を4分割された領域において受光するフォトダイオードと、を備えることを特徴とする請求項1に記載の校正機能付き原子間力/水平力顕微鏡。
- 試料が載置される試料載置台と、試料表面にその先端部が接触ないし近接することのできる探針をその先端部に保持した板バネと、探針の変位を検出することのできる変位検出器と、を備えた原子間力/水平力顕微鏡の感度校正方法であって、電子顕微鏡により探針の先端部の座標を取得して校正を行うことを特徴とする原子間力/水平力顕微鏡の感度校正方法。
- 前記板バネの長手方向と直交しかつ試料台表面と平行する方向をX方向、前記板バネの長手方向と平行しかつ試料台表面と平行する方向をY方向、X方向およびY方向と直交する方向をZ方向として、探針の先端部を少なくともX方向に変位させ、前記変位検出器により探針のX方向の変位を検出するとともに電子顕微鏡により探針の先端部のX方向変位を検出してX方向に係る校正を行うことを特徴とする請求項3に記載の原子間力/水平力顕微鏡の感度校正方法。
- 前記板バネの長手方向と直交しかつ試料台表面と平行する方向をX方向、前記板バネの長手方向と平行しかつ試料台表面と平行する方向をY方向、X方向およびY方向と直交する方向をZ方向として、探針の先端部を少なくともY方向およびZ方向に変位させ、前記変位検出器により探針のY方向およびZ方向の変位を検出するとともに電子顕微鏡により探針の先端部のY方向およびZ方向変位を検出してY方向およびZ方向に係る校正を行うことを特徴とする請求項3または4に記載の原子間力/水平力顕微鏡の感度校正方法。
- Y方向およびZ方向に異なる位置に探針の先端部を変位させ、2回の変位検出を行い連立方程式を解くことによってY方向およびZ方向に係る校正を行うことを特徴とする請求項5に記載の原子間力/水平力顕微鏡の感度校正方法。
- 前記板バネの長手方向と直交しかつ試料台表面と平行する方向をX方向、前記板バネの長手方向と平行しかつ試料台表面と平行する方向をY方向、X方向およびY方向と直交する方向をZ方向として、探針の先端部をX方向およびZ方向に変位させ、前記変位検出器により探針のX方向およびZ方向の変位を検出するとともに電子顕微鏡により探針の先端部のX方向変位およびZ方向を検出してX方向およびZ方向に係る校正を行うことを特徴とする請求項3に記載の原子間力/水平力顕微鏡の感度校正方法。
- 前記試料台を移動させて探針の先端部に変位を生じさせることを特徴とする請求項3から7のいずれかに記載の原子間力/水平力顕微鏡の感度校正方法。
- 前記変位検出器が、前記板バネの先端表面にレーザビームを照射するレーザ光源と、レーザビームの反射光を4分割された領域において受光するフォトダイオードと、を備えることを特徴とする請求項3から8のいずれかに記載の原子間力/水平力顕微鏡の感度校正方法。
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