JP2005064501A - 半導体基板の洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によると、チャンバは洗浄室とその上部に位置する乾燥室を有する。洗浄室と乾燥室は分離板により分離、または連通されることができ、分離板の中央には排気路が形成される。乾燥工程がなされる間、洗浄室に満たされた脱イオン水が排出されることによって乾燥室の内部が減圧され、乾燥室内の乾燥用流体は排気路を通じて乾燥室から洗浄室に流れる。
【選択図】図1
Description
本発明の実施の形態は多様な形態に変形することができ、本発明の範囲が、下で説明する実施の形態に限定されることなく解釈されなければならない。本実施の形態は、当業者に、本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状は説明をより明確にするために強調されたものである。
100 洗浄室
120 内槽
140 外槽
200 乾燥室
300 支持部
400 分離板
410 排気路
420 分離板収容部
520 洗浄液供給管
540 乾燥用流体供給管
Claims (26)
- 半導体基板の洗浄がなされる洗浄室と、前記洗浄室の上部に配置され、前記半導体基板の乾燥がなされる乾燥室と、を有するチャンバを使用する半導体基板の洗浄方法において、
前記半導体基板が前記洗浄室に位置する段階と、
前記洗浄室に洗浄液が供給されて前記半導体基板を洗浄する段階と、
前記半導体基板が置かれた支持部が前記乾燥室に移動する段階と、
排気路が形成された分離板が前記洗浄室と前記乾燥室との間に移動して前記洗浄室と前記乾燥室を分離する段階と、
前記乾燥室に乾燥用流体を供給して前記半導体基板を乾燥する段階と、を含むことを特徴とする半導体基板の洗浄方法。 - 前記半導体基板を乾燥する段階は、
前記洗浄室内に満たされた洗浄液が外部に排出されることによって、前記乾燥室の内部の圧力が減少する段階と、
前記乾燥室に供給された前記乾燥用流体が、前記分離板に形成された排気路を通じて前記乾燥室から排気される段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体基板の洗浄方法。 - 前記半導体基板を乾燥する段階は、
前記洗浄液が前記洗浄室の排出管を通じて排出されるに伴い、前記洗浄室に流入する前記乾燥用流体が前記洗浄室の側壁に形成された排気口を通じて排気される段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の半導体基板の洗浄方法。 - 前記半導体基板を乾燥する段階は、
前記洗浄液が前記洗浄室から完全に排出さたときに、前記排気口が閉まる段階と、
前記洗浄室に流入される前記乾燥用流体が、前記洗浄室の排出管を通じて排気される段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の半導体基板の洗浄方法。 - 前記排出管は前記洗浄室の底面と連結され、
前記洗浄室からの前記洗浄液の排出は重力によってなされることを特徴とする請求項4に記載の半導体基板の洗浄方法。 - 前記半導体基板を乾燥する段階は、
前記半導体基板上にアルコール蒸気を供給する段階と、
前記半導体基板上に加熱した乾燥ガスを供給する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体基板の洗浄方法。 - 前記アルコール蒸気はイソプロピルアルコール蒸気であり、
前記乾燥ガスは窒素ガスであることを特徴とする請求項6に記載の半導体基板の洗浄方法。 - 半導体基板の洗浄装置において、
半導体基板の洗浄がなされる洗浄室と、
前記洗浄室の上部に配置され、前記半導体基板の乾燥がなされる乾燥室を有するチャンバと、
前記チャンバの内部に配置され、前記半導体基板を支持する支持部と、
前記乾燥室内の上部に設けられ、前記半導体基板上に乾燥用流体を供給する供給管と、
前記洗浄室と前記乾燥室との間を分離または連通するように移動可能であり、前記乾燥用流体の排気路が形成された分離板と、を含み、
前記乾燥室の内部は、前記洗浄室内に満たされた洗浄液が外部に排出されることによって、圧力が減少し、前記乾燥室に供給される前記乾燥用流体は前記分離板の排気路を通じて前記乾燥室から前記洗浄室に流れることを特徴とする半導体基板の洗浄装置。 - 前記供給管は、
前記乾燥室内にアルコール蒸気を供給する第1供給管と、
前記乾燥室内に加熱した乾燥ガスを供給する第2供給管と、を有することを特徴とする請求項8に記載の半導体基板の洗浄装置。 - 前記半導体基板の洗浄装置は、前記洗浄室内に配置され、前記洗浄室に洗浄液を噴射する洗浄液供給管をさらに含み、
前記洗浄室は、
前記支持部が位置する内槽と、
前記内槽の側面を囲むように配置され、前記内槽からあふれる洗浄液が流入され、底面に排出口が形成される外槽と、をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の半導体基板の洗浄装置。 - 前記外槽の一側には、前記分離板の排気路を通じて前記洗浄室に流入された前記乾燥用流体が、外部に排気される排気口が形成されることを特徴とする請求項10に記載の半導体基板の洗浄装置。
- 前記半導体基板の洗浄装置は前記分離板を移動させる分離板移動部をさらに含み、
前記分離板移動部は、
前記分離板と固定結合する連接棒と、
前記連接棒を水平移動させる駆動部と、を含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体基板の洗浄装置。 - 前記排気路は、前記分離板に少なくとも一つの孔、またはスリットで形成されることを特徴とする請求項8に記載の半導体基板の洗浄装置。
- 前記分離板には前記孔またはスリットが複数個形成され、
前記孔の大きさ、または前記スリットの幅は形成の位置に応じて異なることを特徴とする請求項13に記載の半導体基板の洗浄装置。 - 前記分離板には前記孔が複数個形成され、
前記孔は前記分離板の中央部に少なくとも一つの列をなすように形成されたことを特徴とする請求項13に記載の半導体基板の洗浄装置。 - 隣接する前記孔の間隔は、該孔の形成の位置に応じて異なることを特徴とする請求項15に記載の半導体基板の洗浄装置。
- 前記支持部には、隣接する前記半導体基板同士が対向するように複数の前記半導体基板が列状に置かれており、前記列の伸延する方向が、前記半導体基板の対向面と直交することを特徴とする請求項13に記載の半導体基板の洗浄装置。
- 半導体基板の洗浄装置において、
半導体基板の乾燥がなされる乾燥室を有するチャンバと、
前記乾燥室内に設けられ、前記半導体基板上に乾燥用流体を供給する供給管と、
前記乾燥室の底面を形成し、中央部に排気路が形成される分離板と、を有し、
前記半導体基板上に供給される前記乾燥用流体は、前記排気路を通じて前記乾燥室から排気されることを特徴とする半導体基板の洗浄装置。 - 前記チャンバは、前記乾燥室の下に配置され、前記分離板によって前記乾燥室と分離され、前記半導体基板の洗浄がなされる洗浄室をさらに有し、
前記分離板は移動可能であることを特徴とする請求項18に記載の半導体基板の洗浄装置。 - 半導体基板が洗浄される洗浄室と、
前記洗浄室の上部に配置され、前記半導体基板が乾燥される乾燥室を有するチャンバと、
前記洗浄室が前記乾燥室と連通する開放位置と、前記洗浄室が前記乾燥室から分離される密閉位置との間を移動する分離板と、を含むことを特徴とする半導体基板の洗浄装置。 - 前記半導体基板の洗浄装置は、前記チャンバ内に配置され、前記半導体基板を支持する支持部をさらに含むことを特徴とする請求項20に記載の半導体基板の洗浄装置。
- 前記半導体基板の洗浄装置は、前記乾燥室に設けられ、前記半導体基板上に乾燥用流体を供給する供給管をさらに含み、
前記分離板には前記乾燥用流体の排気路が形成され、
前記洗浄室を満たす洗浄液が外部に排出されることによって、前記乾燥室の内部は圧力が低くなり、前記乾燥室に供給された乾燥用流体は前記乾燥室から前記洗浄室に前記分離板の排気路を通じて流れることを特徴とする請求項21に記載の半導体基板の洗浄装置。 - 前記半導体基板の洗浄装置は、
前記分離板と固定結合する連接棒と、
前記連接棒を水平移動させる駆動部と、をさらに含むことを特徴とする請求項20に記載の半導体基板の洗浄装置。 - 前記供給管は、
前記乾燥室内にアルコール蒸気を供給する第1供給管と、
前記乾燥室内に加熱した乾燥ガスを供給する第2供給管と、をさらに含むことを特徴とする請求項22に記載の半導体基板の洗浄装置。 - 前記半導体基板の洗浄装置は、前記洗浄室内に配置され、前記洗浄室に洗浄液を供給する洗浄液供給管をさらに含み、
前記洗浄室は、
前記支持部が位置する内槽と、 前記内槽の外側面を囲むように配置され、前記内槽からあふれる洗浄液が流入され、底面に排出口が形成される外槽と、をさらに含むことを特徴とする請求項22に記載の半導体基板の洗浄装置。 - 前記外槽の一側には排気口が形成されており、前記分離板の排気路に沿って前記洗浄室に流入される乾燥用流体は、前記排気口を通じて外部に排気されることを特徴とする請求項25に記載の半導体基板の洗浄装置。
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