JP2005064398A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】IGBTやGTO等のパワーモジュールやその他の半導体装置において、バスバーと筐体とを一体成形した時に複数のバスバーの端部(基板と圧接される部位)の高さがばらついていると、接合ツールにより基板に圧接する時に筐体からの突出基部においてバスバーが大きく塑性変形して破損の原因となる場合がある。あるいは、大きな歪み量で弾性変形した状態となり、圧接強度の低下、圧接箇所の信頼性の低下(圧接が確実に行われない、あるいは熱サイクルによる負荷を受けた場合に圧接箇所が外れてしまう)といった問題が生じる場合がある。
【解決手段】半導体装置の筐体11とバスバー13との当接部位に緩衝材14を介装し、バスバーの端部13Cを接合ツール15で基板12に圧接する。
【選択図】図2
【解決手段】半導体装置の筐体11とバスバー13との当接部位に緩衝材14を介装し、バスバーの端部13Cを接合ツール15で基板12に圧接する。
【選択図】図2
Description
本発明は、IGBT(Insulated(またはInerted) Gate Bipolar Transistor)やGTOサイリスタ(Gate Turn Off Thyristor)等のパワー半導体装置やその他の半導体装置、およびその製造方法に関する。
従来、IGBTやGTOサイリスタ等のパワー半導体装置(パワーモジュール)において、基板上のチップと電極との間をワイヤーボンディング等で接合する技術は公知となっている。例えば、特許文献1に記載の如くである。
また、IGBTやGTOサイリスタ等のパワーモジュールやその他の半導体装置において、バスバー(電極板)とハウジング(筐体)とを一体成形(インサート成形)し、バスバーを基板に圧接しながら接合(超音波接合、熱圧着、冷間圧接等)する技術も公知となっている。
このような半導体装置は、樹脂製のハウジングにバスバーの一部がインサートされた状態となるようにハウジングとバスバーとを一体成形し、次にハウジングから突出したバスバーの端部を接合ツールにより基板に圧接している。
また、IGBTやGTOサイリスタ等のパワーモジュールやその他の半導体装置において、バスバー(電極板)とハウジング(筐体)とを一体成形(インサート成形)し、バスバーを基板に圧接しながら接合(超音波接合、熱圧着、冷間圧接等)する技術も公知となっている。
このような半導体装置は、樹脂製のハウジングにバスバーの一部がインサートされた状態となるようにハウジングとバスバーとを一体成形し、次にハウジングから突出したバスバーの端部を接合ツールにより基板に圧接している。
上記の如き半導体装置においては、バスバーとハウジングとが一体成形された時に複数のバスバーの端部(バスバーの基板と圧接される部位)の高さが揃っており、バスバーの端部と基板の高さが圧接前から略一致していることが好ましい。
しかし、ハウジングとバスバーとを一体成形する際、及び基板をハウジングにセットする際の寸法精度には限界がある。そのため、複数の圧接箇所を有するバスバーや複数個のバスバーを用いる場合には、実際にはバスバーの端部の高さにばらつきが生じている。
このような高さにばらつきのあるバスバーを接合ツールにより基板に圧接すると、ハウジングからの突出基部においてバスバーが大きく塑性変形する場合がある。特に、超音波接合による圧接の場合、100〜1000Nの荷重でバスバーを基板の接合面に押し付けるので、バスバーの破損の原因となる場合がある。
また、高さにばらつきのあるバスバーを接合ツールにより基板に圧接すると、大きな歪み量で弾性変形した状態となり、接合部に大きな応力がかかって、圧接強度の低下、圧接箇所の信頼性の低下(圧接が確実に行われない、あるいは熱サイクルによる負荷を受けた場合に圧接箇所が外れてしまう)といった問題が生じる場合がある。
しかし、ハウジングとバスバーとを一体成形する際、及び基板をハウジングにセットする際の寸法精度には限界がある。そのため、複数の圧接箇所を有するバスバーや複数個のバスバーを用いる場合には、実際にはバスバーの端部の高さにばらつきが生じている。
このような高さにばらつきのあるバスバーを接合ツールにより基板に圧接すると、ハウジングからの突出基部においてバスバーが大きく塑性変形する場合がある。特に、超音波接合による圧接の場合、100〜1000Nの荷重でバスバーを基板の接合面に押し付けるので、バスバーの破損の原因となる場合がある。
また、高さにばらつきのあるバスバーを接合ツールにより基板に圧接すると、大きな歪み量で弾性変形した状態となり、接合部に大きな応力がかかって、圧接強度の低下、圧接箇所の信頼性の低下(圧接が確実に行われない、あるいは熱サイクルによる負荷を受けた場合に圧接箇所が外れてしまう)といった問題が生じる場合がある。
特に、HV(Hybrid Vehicle)のモータ用インバータモジュール等に用いられるIGBTモジュールのようにバスバー(電極板)に大電流が流れるものの場合、発熱量および熱サイクルによる負荷が通常のIGBTモジュールと比較して大きいので、バスバーの板厚を大きくするとともに、放熱性に優れるがガラスエポキシ基板に比べて破損しやすいセラミックス基板(DBA基板等)を用いている。
従って、バスバーの弾性変形時の弾性定数が大きく、バスバーが弾性変形したまま基板に圧接されることによる基板への負荷が大きい。
従って、バスバーの弾性変形時の弾性定数が大きく、バスバーが弾性変形したまま基板に圧接されることによる基板への負荷が大きい。
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
即ち、請求項1においては、バスバーと筐体とを一体成形し、筐体から延出したバスバーの端部を基板に接合する半導体装置において、筐体とバスバーとの当接部位に緩衝材を介装したものである。
請求項2においては、バスバーと筐体とを一体成形した半導体装置において、
バスバーを、筐体内に埋設される基部と、基部から筐体外部へ延出し、基板への接合時にバスバーの変形を吸収する撓み部と、撓み部の先端に配置され基板に接合される端部とで構成し、前記撓み部を筐体側壁の一面から延出させるとともに途中で屈曲して、前記端部を筐体側壁の他面側に配置するものである。
バスバーを、筐体内に埋設される基部と、基部から筐体外部へ延出し、基板への接合時にバスバーの変形を吸収する撓み部と、撓み部の先端に配置され基板に接合される端部とで構成し、前記撓み部を筐体側壁の一面から延出させるとともに途中で屈曲して、前記端部を筐体側壁の他面側に配置するものである。
請求項3においては、バスバーと筐体とを一体成形した半導体装置の製造方法において、
バスバーと筐体とを、両者の当接部位に介装した緩衝材と共に一体成形し、筐体から延出したバスバーの端部を基板に圧接しながら接合するものである。
バスバーと筐体とを、両者の当接部位に介装した緩衝材と共に一体成形し、筐体から延出したバスバーの端部を基板に圧接しながら接合するものである。
請求項4においては、バスバーと筐体とを一体成形した半導体装置の製造方法において、バスバーを、筐体内に埋設される基部と、基部から筐体外部へ延出し、基板への接合時にバスバーの変形を吸収する撓み部と、撓み部の先端に配置され基板に接合される端部とで構成し、筐体側壁の一面から延出するバスバーの撓み部を屈曲して、端部を筐体側壁の他面側に配置し、該端部を基板に圧接しながら接合するものである。
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
請求項1においては、筐体とバスバーとを一体成形したときの寸法精度が良くない状態でバスバーを基板に圧接したときのバスバーの歪みを小さくすることが可能である。従って、バスバーと基板との圧接強度を十分に確保し、圧接箇所の信頼性を向上させることが可能である。
また、筐体とバスバーとを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
また、筐体とバスバーとを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
請求項2においては、筐体とバスバーとを一体成形したときの寸法精度が良くない状態でバスバーを基板に圧接したときのバスバーの歪みを小さくすることが可能である。従って、バスバーと基板との圧接強度を十分に確保し、圧接箇所の信頼性を向上させることが可能である。
また、筐体とバスバーとを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
また、筐体とバスバーとを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
請求項3においては、筐体とバスバーとを一体成形したときの寸法精度が良くない状態でバスバーを基板に圧接したときのバスバーの歪みを小さくすることが可能である。従って、バスバーと基板との圧接強度を十分に確保し、圧接箇所の信頼性を向上させることが可能である。
また、筐体とバスバーとを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
また、筐体とバスバーとを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
請求項4においては、筐体とバスバーとを一体成形したときの寸法精度が良くない状態でバスバーを基板に圧接したときのバスバーの歪みを小さくすることが可能である。従って、バスバーと基板との圧接強度を十分に確保し、圧接箇所の信頼性を向上させることが可能である。
また、筐体とバスバーとを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
また、筐体とバスバーとを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
次に、発明の実施の形態を説明する。
以下では図1から図4に示す本発明の半導体装置の第一実施例について詳細説明する。
以下では図1から図4に示す本発明の半導体装置の第一実施例について詳細説明する。
図1および図2に示す如く、本発明の半導体装置の第一実施例であるIGBTモジュール10(以下「モジュール10」と略記する)は、産業用半導体スイッチやHVのモータ用インバータモジュールとして用いられるものであり、主にハウジング11、基板12、バスバー13・13・・・、緩衝材14・14・・・等で構成される。
ハウジング11はモジュール10の筐体を成す部材であり、本実施例の場合には底面と四つの側壁からなる上面が開口した略直方体形状の箱となっている。ハウジング11はPPS(Poly Phenylene Sulphide;ポリフェニレンサルファイド)やPBT(Poly Buthylene Terephthalete;ポリブチレンテレフタレート)、あるいはPA(Poly Amide;ポリアミド)等の熱可塑性樹脂からなり、射出成形により形成される。
なお、本実施例ではハウジング11の形状は上面が開口した略直方体形状の箱となっているが、これに限定されず他の形状でも良い。
なお、本実施例ではハウジング11の形状は上面が開口した略直方体形状の箱となっているが、これに限定されず他の形状でも良い。
本実施例における基板12としては、窒化珪素や窒化アルミニウム等の絶縁セラミックス基板の両面に純アルミニウム回路を接合した高放熱性の絶縁基板であるDBA(Direct Brazed Aluminum)基板が用いられる。該DBA基板は従来の銅回路接合基板と比較して熱サイクル特性に優れている。基板12の板面には図示せぬベアチップが実装され、基板12はハウジング11の底面に固定される。
なお、基板12はDBA基板に限定されず、他の基板(例えばガラスエポキシ基板等)でも良い。
なお、基板12はDBA基板に限定されず、他の基板(例えばガラスエポキシ基板等)でも良い。
バスバー13・13・・・は基板12(より厳密には、基板12の板面上の回路パターン)と圧接される電極板であり、その板面がハウジング11の底面と略平行となる姿勢でハウジング11にインサートされた(ハウジング11に埋設された)基部13aと、該基部13aのハウジング11の側壁からの突出端より屈曲してハウジング11の底面に向かって延設された胴体部13bと、該胴体部13bの先端より屈曲して板面がハウジング11の底面(言い換えれば、基板12の板面)と略平行となる端部13cからなる側方視で略クランク形状の部材である。
バスバー13・13・・・は銅、銅合金、アルミニウム等、電気伝導性が良好な材料を母材とし、その表面はニッケルメッキやスズメッキ等のメッキ処理が施されている。
バスバー13・13・・・は一個のハウジング11に対して複数個インサート成形され、一枚の基板12に対して複数箇所(通常は5〜50箇所程度)の圧接箇所を持っている。図1に示す第一実施例の場合、圧接箇所は6箇所である。
ハウジング11が射出成形される際には、胴体部13bおよび端部13cがハウジング11の内壁面(ハウジング11の側壁において基板12と対向する面)より突出する(言い換えれば、バスバー13がハウジング11から延出される)ように基部13aの一部がハウジング11にインサートされ、該ハウジング11とバスバー13とが一体成形されている。
なお、バスバー13・13・・・の形状は本実施例の如き側面視略クランク形状に限定されず、他の形状でも良い。
バスバー13・13・・・は銅、銅合金、アルミニウム等、電気伝導性が良好な材料を母材とし、その表面はニッケルメッキやスズメッキ等のメッキ処理が施されている。
バスバー13・13・・・は一個のハウジング11に対して複数個インサート成形され、一枚の基板12に対して複数箇所(通常は5〜50箇所程度)の圧接箇所を持っている。図1に示す第一実施例の場合、圧接箇所は6箇所である。
ハウジング11が射出成形される際には、胴体部13bおよび端部13cがハウジング11の内壁面(ハウジング11の側壁において基板12と対向する面)より突出する(言い換えれば、バスバー13がハウジング11から延出される)ように基部13aの一部がハウジング11にインサートされ、該ハウジング11とバスバー13とが一体成形されている。
なお、バスバー13・13・・・の形状は本実施例の如き側面視略クランク形状に限定されず、他の形状でも良い。
緩衝材14はバスバー13と同じくハウジング11にインサートされて一体成形される部材である。緩衝材14は例えば略直方体に形成され、バスバー13の基部13aとハウジング11との当接部位に介装される。第一実施例の場合、図2に示す如く緩衝材14はバスバー13の基部13aの下面に当接している。
緩衝材14を構成する材料としては、適度な柔軟性(ヤング率で1kPa〜100MPa程度)を有し、かつハウジング11との一体成形時におけるハウジング11の母材温度(200℃程度)に耐え得る(変質して柔軟性を失うことがない)材料が選択される。緩衝材14を構成する材料の具体例としては、シリコン樹脂、ウレタン樹脂、ゴム、エラストマー等が挙げられる。
緩衝材14を構成する材料としては、適度な柔軟性(ヤング率で1kPa〜100MPa程度)を有し、かつハウジング11との一体成形時におけるハウジング11の母材温度(200℃程度)に耐え得る(変質して柔軟性を失うことがない)材料が選択される。緩衝材14を構成する材料の具体例としては、シリコン樹脂、ウレタン樹脂、ゴム、エラストマー等が挙げられる。
図3に示す如く、ハウジング11、バスバー13および緩衝材14を一体成形したときの寸法精度が十分でなく、バスバー13の端部13cが基板12から上方に浮いた状態であったとき、接合ツール15により端部13cを下方に押し下げて基板12に圧接すると、主にバスバー13の基部13aが弾性変形する。
すなわち、図4に示す如く、バスバー13の基部13aの下面とハウジング11との間には緩衝材14が介装されているので、該緩衝材14がバスバー13の弾性変形に伴って下方に弾性変形し、基部13aは、緩衝材14との当接部位において端部13c側から最も離れた変形開始点16から屈曲点17(基部13aと胴体部13bとの間の屈曲している部位)の間で弾性的に曲げ変形される。
すなわち、図4に示す如く、バスバー13の基部13aの下面とハウジング11との間には緩衝材14が介装されているので、該緩衝材14がバスバー13の弾性変形に伴って下方に弾性変形し、基部13aは、緩衝材14との当接部位において端部13c側から最も離れた変形開始点16から屈曲点17(基部13aと胴体部13bとの間の屈曲している部位)の間で弾性的に曲げ変形される。
このように、本実施例のモジュール10においては、バスバー13と基板12との位置のずれを弾性変形により吸収する部位(変形開始点16から屈曲点17までの部位)が長いので、該部位の曲げ歪みは小さく、大きな弾性エネルギーがバスバー13に蓄えられたままになることがない。すなわち、圧接箇所への負担が小さい。
また、端部13cと基板12の板面との成す角度は小さく、圧接強度へ与える影響は図9から図11に示す従来のモジュール110と比較して小さい(圧接強度を十分に確保することが容易である)。
また、端部13cと基板12の板面との成す角度は小さく、圧接強度へ与える影響は図9から図11に示す従来のモジュール110と比較して小さい(圧接強度を十分に確保することが容易である)。
つまり、図9に示す如く、従来の半導体装置であるIGBTモジュール110(以下「モジュール110」と略記する)は、主にハウジング111、基板112、バスバー113・113・・・等で構成され、各構成部材の機能については図2に示す第一実施例と略同じである。そして、従来の半導体装置であるモジュール110が本発明の半導体装置の第一実施例であるモジュール10と異なる点は、ハウジング111とバスバー113との当接部位に緩衝材が介装されていないことである。
図10に示す如く、ハウジング111およびバスバー113を一体成形したときの寸法精度が十分でなく、バスバー113の接合部113cが基板112から上方に浮いた状態であったとき、接合ツール15により接合部113cを下方に押し下げて基板112に圧接すると、主にバスバー113の基部113aが弾性変形(または塑性変形)する。
すなわち、図11に示す如く、バスバー113の基部113aの下面とハウジング111との間には緩衝材が介装されていないので、バスバー113の基部113aは、変形開始点116(バスバー113の基部113aがハウジング111の側壁から突出している根元の部位)から屈曲点117(基部113aと胴体部113bとの間の屈曲している部位)の間で弾性的に曲げ変形される。
すなわち、図11に示す如く、バスバー113の基部113aの下面とハウジング111との間には緩衝材が介装されていないので、バスバー113の基部113aは、変形開始点116(バスバー113の基部113aがハウジング111の側壁から突出している根元の部位)から屈曲点117(基部113aと胴体部113bとの間の屈曲している部位)の間で弾性的に曲げ変形される。
このように、従来のモジュール110においては、バスバー113と基板112との位置のずれを弾性変形により吸収する部位(変形開始点116から屈曲点117までの部位)が本発明の第一実施例と比較して短いので、該部位の曲げ歪みは大きく、大きな弾性エネルギーがバスバー113に蓄えられたままになる(すなわち、圧接箇所への負担が大きい)。あるいは曲げ歪みがバスバー113を構成する材料の弾性変形領域よりも大きくなってバスバー113が塑性変形したり、破損したりする場合がある。
また、接合部113cと基板112の板面との成す角度は大きく、圧接強度へ与える影響は大きい(圧接強度を十分に確保できない場合がある)。
また、接合部113cと基板112の板面との成す角度は大きく、圧接強度へ与える影響は大きい(圧接強度を十分に確保できない場合がある)。
以上の如く構成することにより、本発明の半導体装置の第一実施例であるモジュール10は、ハウジング11とバスバー13とを一体成形したときの寸法精度が良くない状態でバスバー13を基板12に圧接したときのバスバー13の歪みを(従来のモジュール110と比較して)小さくすることが可能である。従って、圧接強度を十分に確保し、圧接箇所の信頼性を向上させることが可能である。
また、ハウジング11とバスバー13とを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
また、ハウジング11とバスバー13とを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
以下では図5および図6に示す本発明の半導体装置の第二実施例について詳細説明する。
図5および図6に示す如く、本発明の半導体装置の第二実施例であるIGBTモジュール20(以下「モジュール20」と略記する)は、主にハウジング21、基板22、バスバー23・23・・・、緩衝材24a・24a・・・、緩衝材24b・24b・・・等で構成され、各構成部材の機能については図2に示す第一実施例と略同じである。そして、本発明の半導体装置の第二実施例であるモジュール20が本発明の半導体装置第一実施例であるモジュール10と異なる点は、ハウジング21とバスバー23の下面との当接部位に加えて、ハウジング21とバスバー23の上面との当接部位にも緩衝材24aが介装されていることである。
以上の如く構成することにより、本発明の半導体装置の第二実施例であるモジュール20は、ハウジング21とバスバー23とを一体成形したときの寸法精度が良くない状態でバスバー23を基板22に圧接したときのバスバー23の歪みを(従来のモジュール110と比較して)小さくすることが可能である。
従って、圧接強度を十分に確保し、圧接箇所の信頼性を向上させることが可能である。なお、図6に示す如く、バスバーの上下面の両方においてハウジングとの当接部位に緩衝材を介装させることにより、バスバーが圧接時に上方または下方のいずれに変形する場合でも歪みを小さくすることが可能である。
また、ハウジング21とバスバー23とを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
従って、圧接強度を十分に確保し、圧接箇所の信頼性を向上させることが可能である。なお、図6に示す如く、バスバーの上下面の両方においてハウジングとの当接部位に緩衝材を介装させることにより、バスバーが圧接時に上方または下方のいずれに変形する場合でも歪みを小さくすることが可能である。
また、ハウジング21とバスバー23とを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
以下では図7および図8に示す本発明の半導体装置の第三実施例について詳細説明する。
図7および図8に示す如く、本発明の半導体装置の第二実施例であるIGBTモジュール30(以下「モジュール30」と略記する)は、産業用半導体スイッチやHVのモータ用インバータモジュールとして用いられるものであり、主にハウジング31、基板32、バスバー33・33・・・等で構成され、各構成部材の機能については図2に示す第一実施例と略同じである。そして、本発明の半導体装置の第三実施例であるモジュール30が従来の半導体装置であるモジュール110と異なる点は、バスバー33の形状およびバスバー33とハウジング31との位置関係である。
バスバー33・33・・・は基板32(より厳密には、基板32の板面上の回路パターン)と圧接される電極板であり、その板面がハウジング31の底面と略平行となる姿勢でハウジング31にインサートされた(ハウジング31に埋設された)基部33aと、基部33aからハウジング31の外部に延出され、圧接時のバスバー33の変形を吸収する撓み部33dと、該撓み部33dから屈曲してハウジング31の底面に向かって延設された胴体部33bと、該胴体部33bの先端より屈曲して長手方向がハウジング11の底面(言い換えれば、基板32の板面)と略平行となる端部33cからなる部材である。
撓み部33dの一端は、基部33aにおけるハウジング31の側壁の外壁面からの突出端から延設されており、側面視で略U字型に屈曲される。また、撓み部33dの略U字型に屈曲された部位より以降はハウジング31の側壁上方に配置され、撓み部33dの他端には胴体部33bが延設される。
ハウジング31が射出成形される際には、バスバー33がハウジング31の外壁面(ハウジング31の側壁において基板32と対向する内壁面とは反対側の面)から延出されるように基部33aの一部がハウジング31にインサートされ、該ハウジング31とバスバー33とが一体成形される。
撓み部33dの一端は、基部33aにおけるハウジング31の側壁の外壁面からの突出端から延設されており、側面視で略U字型に屈曲される。また、撓み部33dの略U字型に屈曲された部位より以降はハウジング31の側壁上方に配置され、撓み部33dの他端には胴体部33bが延設される。
ハウジング31が射出成形される際には、バスバー33がハウジング31の外壁面(ハウジング31の側壁において基板32と対向する内壁面とは反対側の面)から延出されるように基部33aの一部がハウジング31にインサートされ、該ハウジング31とバスバー33とが一体成形される。
本発明の半導体装置の第三実施例であるモジュール30は本発明の半導体装置の第一実施例の如く緩衝材を用いてはいないが、その代わりにバスバー33と基板32との位置のずれを弾性変形により吸収する部位である撓み部33d(図8に示す変形開始点36から屈曲点37の間)をバスバー33に設けている。
そのため、ハウジング31およびバスバー33を一体成形したときの寸法精度が十分でない場合でも、撓み部33d(変形開始点36から屈曲点37の間)の曲げ歪みは小さく、大きな弾性エネルギーがバスバー33に蓄えられたままになることがない。すなわち、圧接箇所への負担が小さい。
また、端部33cと基板32の板面との成す角度は小さく、圧接強度へ与える影響は図9から図11に示す従来のモジュール110と比較して小さい(圧接強度を十分に確保することが容易である)。
そのため、ハウジング31およびバスバー33を一体成形したときの寸法精度が十分でない場合でも、撓み部33d(変形開始点36から屈曲点37の間)の曲げ歪みは小さく、大きな弾性エネルギーがバスバー33に蓄えられたままになることがない。すなわち、圧接箇所への負担が小さい。
また、端部33cと基板32の板面との成す角度は小さく、圧接強度へ与える影響は図9から図11に示す従来のモジュール110と比較して小さい(圧接強度を十分に確保することが容易である)。
以上の如く構成することにより、本発明の半導体装置の第三実施例であるモジュール30は、ハウジング31とバスバー33とを一体成形したときの寸法精度が良くない状態でバスバー33を基板32に圧接したときのバスバー33の歪みを(従来のモジュール110と比較して)小さくすることが可能である。従って、圧接強度を十分に確保し、圧接箇所の信頼性を向上させることが可能である。
また、ハウジング31とバスバー33とを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
また、ハウジング31とバスバー33とを一体成形する際の寸法精度そのものを向上させるための作業等を省略することができ、かつ製造工程における半導体装置の製造歩留まりが向上するので、生産性の向上および製造コストの削減を可能とする。
なお、本実施例においては、バスバー33はハウジング31の外壁面(一面)から延出され、内壁面(他面)側に端部が来るように配置されているが、側壁の上端面から上方に突出しても撓み部を長く設定することが可能であり、同様の効果を奏する。
さらに、図12に示す如く、ハウジング31においてバスバー33が配置される位置に凹部31aを設け、バスバー33の基部33aを平面視で略T字型とし、該基部33aの左右両端がハウジング31と一体成形(インサート成形)されるとともに基部33aの中央部は露出ハウジング31から露出する構成とすることにより、バスバー33の変形による歪みをより小さくすることが可能である。
さらに、図12に示す如く、ハウジング31においてバスバー33が配置される位置に凹部31aを設け、バスバー33の基部33aを平面視で略T字型とし、該基部33aの左右両端がハウジング31と一体成形(インサート成形)されるとともに基部33aの中央部は露出ハウジング31から露出する構成とすることにより、バスバー33の変形による歪みをより小さくすることが可能である。
10 IGBTモジュール(半導体装置)
11 ハウジング(筐体)
12 基板
13 バスバー
14 緩衝材
11 ハウジング(筐体)
12 基板
13 バスバー
14 緩衝材
Claims (4)
- バスバーと筐体とを一体成形し、筐体から延出したバスバーの端部を基板に接合する半導体装置において、
筐体とバスバーとの当接部位に緩衝材を介装したことを特徴とする半導体装置。 - バスバーと筐体とを一体成形した半導体装置において、
バスバーを、筐体内に埋設される基部と、基部から筐体外部へ延出し、基板への接合時にバスバーの変形を吸収する撓み部と、撓み部の先端に配置され基板に接合される端部とで構成し、
前記撓み部を筐体側壁の一面から延出させるとともに途中で屈曲して、
前記端部を筐体側壁の他面側に配置することを特徴とする半導体装置。 - バスバーと筐体とを一体成形した半導体装置の製造方法において、
バスバーと筐体とを、両者の当接部位に介装した緩衝材と共に一体成形し、
筐体から延出したバスバーの端部を基板に圧接しながら接合することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - バスバーと筐体とを一体成形した半導体装置の製造方法において、
バスバーを、筐体内に埋設される基部と、基部から筐体外部へ延出し、基板への接合時にバスバーの変形を吸収する撓み部と、撓み部の先端に配置され基板に接合される端部とで構成し、
筐体側壁の一面から延出するバスバーの撓み部を屈曲して、端部を筐体側壁の他面側に配置し、該端部を基板に圧接しながら接合することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003295779A JP2005064398A (ja) | 2003-08-20 | 2003-08-20 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005064398A true JP2005064398A (ja) | 2005-03-10 |
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ID=34371880
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JP2003295779A Pending JP2005064398A (ja) | 2003-08-20 | 2003-08-20 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
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JP (1) | JP2005064398A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007097241A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Nippon Densan Corp | モータ |
JP2007222937A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Toyota Motor Corp | レーザ接合方法 |
JP2009219320A (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-24 | Autonetworks Technologies Ltd | 回路構成体、回路構成体の製造方法および電気接続箱 |
JP2010034204A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Keihin Corp | バスバーを備える端子の実装構造 |
WO2022118832A1 (ja) * | 2020-12-01 | 2022-06-09 | 豊田鉄工株式会社 | バスバー |
-
2003
- 2003-08-20 JP JP2003295779A patent/JP2005064398A/ja active Pending
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