JP2005062421A - ライン状光ビーム発生装置及びレーザ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、半導体レーザ(1)から発生したレーザビームをマイクロミラー装置(5)により一方向に発散性を有する線状ビームに変換する。マイクロミラー装置(5)は、2次元アレイ状に配置された複数のマイクロミラーを有し、駆動パルスにより各マイクロミラーを高速で振動させる。各マイクロミラーはヒンジにより可動自在に支持されているので、駆動パルスにより発生する静電引力によりミラー面が曲面状に変位する。この曲面状の変位により、各マイクロミラーはシリンドリカルミラーと同様に作用し、入射したレーザビームを一方向に発散する非コヒーレント光ビームに変換する。この発散性ビームは、ビーム偏向装置(12)及び対物レンズ(15)を介して試料に投射し、試料からの反射光をリニァイメージセンサ(19)に入射させる。
マイクロミラー装置は、コストが比較的安価であると共に比較的大きな発散角が得られるので、製造コストが安価でコンパクトな構造のレーザ顕微鏡を実現することができる。
【選択図】図2
Description
さらに、本発明は、レーザ光源から発生したレーザ光をマイクロミラー装置により非コヒーレントなライン状光ビームに変換するライン状光ビーム発生装置に関するものである。
さらに、音響光学素子は波長依存性を有するため、使用するレーザ光の波長毎に設定条件の異なる音響光学素子を用意する必要があった。このため、例えばカラー撮像装置に用いる場合、各カラー光毎に条件設定の異なる音響光学素子を用意しなければならず、製造コストが高価になる原因となっていた。
さらに、本発明の別の目的は、光源としてレーザを用いてもグレァやスペックルパターンが発生せず、高品質画像を撮像できるレーザ顕微鏡を実現することにある。
さらに、本発明の別の目的は、非コヒーレントなライン状光ビームを発生でき、各種の光学式走査装置に利用できるライン状光ビーム発生装置を実現することにある。
さらに、本発明の別の目的は、波長依存性を有しないライン状光ビーム発生装置を実現することにある。
駆動信号に応じてミラー面が湾曲する複数のマイクロミラーを有し、入射したレーザビームを第1の方向に発散する線状光ビームに変換するマイクロミラー装置と、
各マイクロミラーに所定の周波数の駆動信号を供給するマイクロミラー駆動回路と、
前記マイクロミラー装置から出射した線状ビームを第1の方向と直交する第2の方向に偏向するビーム偏向装置と、
前記ビーム偏向装置から出射した線状を集束して観察すべき試料に向けて投射する対物レンズと、
前記第1の方向と対応する方向に配列された複数の受光素子を有し、試料からの反射光を受光するリニァイメージセンサと、
リニァイメージセンサの各受光素子に蓄積された電荷を所定の読出周波数で順次読出して映像信号を出力する信号処理回路とを具えることを特徴とする。
各マイクロミラーは、前記マイクロミラー装置駆動回路から供給される駆動信号により、全体としてほぼ一方向に湾曲するシリンドリカルミラーとして動作し、前記マイクロミラー装置は入射したレーザビームを主として第1の方向に発散する発散性光ビームとして出射させることを特徴とする。前述したように、マイクロミラーのミラー面は高速で変位するシリンドリカルミラーとして動作するため、入射したレーザ光のコヒーレンス性は喪失し、非コヒーレントなライン状光ビームが出射する。従って、スペックルパターンの無いライン状光ビームが得られるので、各種の光学式走査装置に有用なライン状光ビームを発生することができる。特に、音響光学素子は、波長依存性を有するため、R,G,Bのカラー光毎に適合した音響光学素子を用意する必要がある。これに対して、マイクロミラー装置は波長依存性を有しないため、各波長光に対して同一の装置を用いることができる利点がある。
2 エキスパンダ光学系
3,7,18 全反射プリズム
4 第1のシリンドリカルレンズ
5 マイクロミラー装置
6 集束レンズ
8 第2のシリンドリカルレンズ
9 スリット
10 偏光ビームスプリッタ
11,13 リレーレンズ
12 振動ミラー
14 λ/4板
15 対物レンズ
16 ステージ
17 試料
19 リニァイメージセンサ
20 増幅器
21 信号処理回路
30 コントローラ
31 マイクロミラー装置駆動回路
32 振動ミラー駆動回路
33 リニァイメージセンサ読出回路
Claims (13)
- レーザビームを発生するレーザ光源と、複数のマイクロミラーを有し、各マイクロミラーのミラー面が駆動信号に応じて一方向に変形するマイクロミラー装置と、各マイクロミラーに所定の周波数の駆動信号を供給するマイクロミラー装置駆動回路とを具え、
各マイクロミラーは、前記マイクロミラー装置駆動回路から供給される駆動信号により、全体としてほぼ一方向に変形するシリンドリカルミラーとして動作し、前記マイクロミラー装置は入射したレーザビームを主として第1の方向に発散する発散性光ビームとして出射させることを特徴とするライン状光ビーム発生装置。 - 前記レーザ光源とマイクロミラー装置との間に、レーザ光源から発生したレーザビームを拡大平行ビームに変換するエキスパンダ光学系と、エキスパンダ光学系から出射したレーザビームを前記第1の方向と直交する第2の方向に集束させるシリンドリカルレンズとを配置し、マイクロミラー装置に第1の方向と直交する第2の方向に集束したレーザビームを入射させることを特徴とする請求項1に記載のライン状光ビーム発生装置。
- 前記マイクロミラー装置の出射側の光路に集束性レンズを配置し、マイクロミラー装置から出射した光ビームを第1の方向に対してほぼ平行なライン状光ビームに変換することを特徴とする請求項1又は2に記載のライン状光ビーム発生装置。
- 前記複数のマイクロミラーは2次元アレイ状に配列され、各マイクロミラーのミラー面は、駆動信号に応じて一方向に湾曲することを特徴とする請求項1に記載のライン状光ビーム発生装置。
- レーザビームを発生するレーザ光源と、
駆動信号に応じてミラー面が一方向に変形する複数のマイクロミラーを有し、入射したレーザビームを第1の方向に発散する発散性線状光ビームに変換するマイクロミラー装置と、
各マイクロミラーに所定の周波数の駆動信号を供給するマイクロミラー駆動回路と、
前記マイクロミラー装置から出射した線状光ビームを第1の方向と直交する第2の方向に偏向するビーム偏向装置と、
前記ビーム偏向装置から出射した線状光ビームを集束して観察すべき試料に向けて投射する対物レンズと、
前記第1の方向と対応する方向に配列された複数の受光素子を有し、試料からの反射光を受光するリニァイメージセンサと、
リニァイメージセンサの各受光素子に蓄積された電荷を所定の読出周波数で順次読出して映像信号を出力する信号処理回路とを具えることを特徴とするレーザ顕微鏡。 - 前記試料からの反射光を前記対物レンズで集光し、前記ビーム偏向装置を介してリニァイメージセンサに入射させることを特徴とする請求項5に記載のレーザ顕微鏡。
- 前記レーザ光源とマイクロミラー装置との間に、レーザ光源から出射したレーザビームを拡大平行光束に変換するエキスパンダ光学系と、前記第1の方向と直交する第2の方向にだけ集束性を有する第1のシリンドリカルレンズを配置し、前記マイクロミラー装置に、前記第1の方向には平行で第2の方向に集束したレーザビームを入射させることを特徴とする請求項6に記載のレーザ顕微鏡。
- 前記マイクロミラー装置の出射側の光路上に、第2の方向にだけ集束性を有する第2のシリンドリカルレンズを配置し、照明光路側において第2の方向に集束した線状光ビームを形成することを特徴とする請求項7に記載のレーザ顕微鏡。
- 前記マイクロミラー装置とビーム偏向装置との間に配置され、マイクロミラー装置から出射した発散性線状光ビームを第1の方向にほぼ平行な線状光ビームに変換する集束レンズを具えることを特徴とする請求項7に記載のレーザ顕微鏡。
- 前記集束レンズとビーム偏向装置との間に、前記第1の方向に延在する開口を有するスリットを配置し、前記集束レンズとスリットとにより、照明光路側において線状光ビームを形成することを特徴とする請求項9に記載のレーザ顕微鏡。
- 請求項5に記載のレーザ顕微鏡において、前記マイクロミラー装置の各マイクロミラーは、駆動パルスに応じて高速振動し、この高速振動によりミラー面が一方向に変形して一方向に発散性を有するシリンドリカルミラーとして動作することを特徴とするレーザ顕微鏡。
- 請求項11に記載のレーザ顕微鏡において、前記マイクロミラー装置のマイクロミラーは2次元アレイ状に配列され、当該マイクロミラー装置は、入射光をそれぞれ同一の方向に発散させる多数のマイクロシリンドリカルミラーの集合体として動作し、全体として入射したレーザビームを第1の方向に発散する発散性光ビームに変換することを特徴とするレーザ顕微鏡。
- 前記マイクロミラー装置の駆動周波数を前記リニァイメージセンサの呼出周波数よりも高い周波数に設定したことを特徴とする請求項5に記載のレーザ顕微鏡。
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---|---|---|---|---|
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JP2007113941A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Ohkura Industry Co | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
JP2007163265A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Ohkura Industry Co | 断面形状測定装置及び断面形状測定方法 |
JP2007171817A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Ohkura Industry Co | レーザ顕微鏡 |
JP2007206441A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Ohkura Industry Co | 共焦点型撮像装置 |
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DE102007015063A1 (de) * | 2007-03-29 | 2008-10-02 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Optische Anordnung zum Erzeugen eines Lichtblattes |
JP2008275791A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Olympus Corp | 走査型共焦点顕微鏡 |
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Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7864379B2 (en) * | 2001-03-19 | 2011-01-04 | Dmetrix, Inc. | Multi-spectral whole-slide scanner |
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EP1762877B1 (de) * | 2005-09-13 | 2010-11-17 | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg | Mikroskopieverfahren mit räumlich modulierbarer Beleuchtung |
US7948606B2 (en) * | 2006-04-13 | 2011-05-24 | Asml Netherlands B.V. | Moving beam with respect to diffractive optics in order to reduce interference patterns |
DE102006025149A1 (de) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Optisches Gerät mit erhöhter Tiefenschärfe |
US7728954B2 (en) | 2006-06-06 | 2010-06-01 | Asml Netherlands B.V. | Reflective loop system producing incoherent radiation |
US7649676B2 (en) * | 2006-06-14 | 2010-01-19 | Asml Netherlands B.V. | System and method to form unpolarized light |
US8345241B1 (en) * | 2006-12-19 | 2013-01-01 | J. A. Woollam Co., Inc. | Application of digital light processor in imaging ellipsometer and the like systems |
KR100761238B1 (ko) * | 2007-03-13 | 2007-09-27 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 레이저빔 가공장치 |
TWI572434B (zh) * | 2013-12-04 | 2017-03-01 | Metal Ind Res And Dev Centre | Laser processing device with high speed vibration unit |
US11506877B2 (en) | 2016-11-10 | 2022-11-22 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Imaging instrument having objective axis and light sheet or light beam projector axis intersecting at less than 90 degrees |
US10416429B2 (en) * | 2017-09-15 | 2019-09-17 | Agile Focus Designs, LLC | Dynamic focus and zoom system for use with wide-field, confocal and multiphoton microscopes |
US10466461B2 (en) * | 2017-09-15 | 2019-11-05 | Agile Focus Designs, LLC | Dynamic focus and zoom system for use with wide-field, confocal and multiphoton microscopes |
JP6978592B2 (ja) * | 2019-01-25 | 2021-12-08 | アジャイル フォーカス デザインズ, エルエルシーAgile Focus Designs, LLC | 広領域の共焦点及び多光子顕微鏡で用いる動的フォーカス・ズームシステム |
Family Cites Families (6)
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US3947093A (en) * | 1973-06-28 | 1976-03-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical device for producing a minute light beam |
US6147789A (en) * | 1998-05-04 | 2000-11-14 | Gelbart; Daniel | High speed deformable mirror light valve |
US6660964B1 (en) * | 2000-09-22 | 2003-12-09 | David Benderly | Optical modification of laser beam cross section in object marking systems |
US6661561B2 (en) * | 2001-03-26 | 2003-12-09 | Creo Inc. | High frequency deformable mirror device |
US6513939B1 (en) * | 2002-03-18 | 2003-02-04 | Nortel Networks Limited | Micro-mirrors with variable focal length, and optical components comprising micro-mirrors |
US7339148B2 (en) * | 2002-12-16 | 2008-03-04 | Olympus America Inc. | Confocal microscope |
-
2003
- 2003-08-11 JP JP2003291650A patent/JP4125648B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5191730B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2013-05-08 | パナソニック株式会社 | 二次元画像形成装置 |
JP2006308336A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Ohkura Industry Co | 撮像システム |
JP2007113941A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Ohkura Industry Co | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
JP2007163265A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Ohkura Industry Co | 断面形状測定装置及び断面形状測定方法 |
JP2007171817A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Ohkura Industry Co | レーザ顕微鏡 |
JP2007206441A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Ohkura Industry Co | 共焦点型撮像装置 |
JP2008040092A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Ohkura Industry Co | プロジェクタ |
DE102007015063A1 (de) * | 2007-03-29 | 2008-10-02 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Optische Anordnung zum Erzeugen eines Lichtblattes |
JP2008250303A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | シート光を発生するための光学装置 |
DE102007015063B4 (de) * | 2007-03-29 | 2019-10-17 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Optische Anordnung zum Erzeugen eines Lichtblattes |
JP2008275791A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Olympus Corp | 走査型共焦点顕微鏡 |
JP2014507014A (ja) * | 2011-02-14 | 2014-03-20 | ヨーロピアン・モレキュラー・バイオロジー・ラボラトリー(イー・エム・ビー・エル) | 光パッド顕微鏡 |
JP2017129880A (ja) * | 2011-02-14 | 2017-07-27 | ヨーロピアン モレキュラー バイオロジー ラボラトリーEuropean Molecular Biology Laboratory | 光パッド顕微鏡 |
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