JP2005057994A - アクチュエータ素子の製造方法及びアクチュエータ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 導電性高分子層上に金属層を備えたアクチュエータ素子の製造方法であって、基材上に粗面を備えた分離層を形成する分離層形成工程を行い、分離層形成工程により形成された分離層の粗面上に金属層を形成する金属層形成工程を行った後に、該金属層上に電解重合法にて導電性高分子層を形成する導電性高分子形成工程を行い、得られた導電性高分子層と該金属層との積層体を基材から分離することを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法を用いる。
【選択図】 なし
Description
本発明のアクチュエータ素子の製造方法は、まず、基材上に分離層を形成する分離層形成工程が行われる。前記分離層を基材上に設けることにより、分離層上に形成される導電性高分子層と該金属層との積層体が、容易に基材から分離することができるようになる。前記分離層形成工程において、分離層の形成が容易であることから、基材上にグリース、潤滑油、または水溶性ポリマーが塗布されて、基材上にグリース、潤滑油、または水溶性ポリマーを含む分離層が形成された積層構造が形成されることが好ましい。基材上にグリース、潤滑油、または水溶性ポリマーを含む分離層を形成する方法としては、グリース、潤滑油、または水溶性ポリマーを基材表面に吹き付ける方法やグリース、潤滑油、または水溶性ポリマーを含ませた塗布部材を基材に擦る方法などの公知の塗布方法を用いることができる。
本発明において、前記分離層形成工程の後に、金属層形成工程が行われる。前記金属層形成工程において、分離層の表面に金属層が形成されるのであるが、金属層を形成する方法としては、特に限定されるものではない。前記金属層を形成する方法としては、スパッタリング、真空蒸着、またはイオンプレーティングにより金属層の形成が行われることが、金属層の厚さの制御が比較的容易であるために好ましい。特に、前記分離層が減圧下において揮発する性質を有する場合には、スパッタリングにより前記金属層が形成されることが、金属蒸着により金属層を形成する場合よりも容易に減圧の度合いを調整することができ、作業性が良好であるために好ましい。
本発明の製造方法においては、金属層形成工程の後に、導電性高分子形成工程が行われる。前記導電性高分子形成工程では、金属層形成工程において形成された金属層を作用電極とした電解重合法により、その電極上に導電性高分子が形成される。前記電解重合法としては、前記電解重合法が、エーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ヒドロキシル基、ニトロ基、スルホン基及びニトリル基のうち少なくとも1つ以上の結合あるいは官能基を含む有機化合物及び/又はハロゲン化炭化水素を溶媒として含む電解液を用い、トリフルオロメタンスルホン酸イオン及び/または中心原子に対してフッ素原子を複数含むアニオンを前記電解液中に含む電解重合法であることが、電解伸縮の大きな導電性高分子が得られることから好ましい。
(CnF(2n+1)SO2)(CmF(2m+1)SO2)N- (1)
(ここで、n及びmは任意の整数。)
で表されるパーフルオロアルキルスルホニルイミドイオンをアニオンとして含む電解液を用いることが好ましい。なお、前記パーフルオロアルキルスルホニルイミドイオンは、アニオン中心である窒素原子にスルホニル基が結合し、さらに、置換基である2つのパーフルオロアルキル基を有している。このパーフルオロアルキルスルホニルはCnF(2n+1)SO2で表され、他のパーフルオロアルキルスルホニル基は、CmF(2m+1)SO2で表される。前記のnおよびmは、それぞれ1以上の任意の整数であり、nとmとが同じ整数であってもよく、nとmとが異なる整数であっても良い。例えばトリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、ノナフルオロブチル基、ウンデカフルオロペンチル基、トリデカフルオロヘキシル基、ペンタデカフルオロヘプチル基、ヘプタデカフルオロオクチル基などを挙げることができる。前記パーフルオロアルキルスルホニルイミド塩としては、例えば、ビストリフルオロメチルスルホニルイミド塩、ビス(ペンタフルオロエチルスルホニル)イミド塩、ビス(ヘプタデカフルオロオクチルスルホニル)イミド塩を用いることができる。
本発明の製造方法の導電性高分子形成工程において金属層上に導電性高分子が形成されることにより得られた積層体は、導電性高分子形成工程後に基材から分離される。この分離においては、前記積層体は、分離層と金属層との界面から基材より分離されても、分離層の破壊により基材から分離されても、基材と分離層との界面から分離されてもよい。前記積層体を基材から分離する方法としては、特に限定されるものではないが、アセトン、アルコール、水などに浸して機械的に剥離する方法等の公知の方法により行うことができる。前記のように基材層から分離された前記積層体は、前記金属層を電極層として用いることができる。前記積層体を電解液中に浸漬させ、又は前記積層体に含まれる導電性高分子層に接触するように固体電解質層を積層させ、電解液中又は固体電解質中に対極を設置することで、前記金属層に電圧を印加することにより、導電性高分子が伸縮する。前記積層体は、アクチュエータ素子として機能する。なお、前記金属層には、補助電極として電圧を印加しても、主の電極として電圧を印加してもよい。
本発明のアクチュエータ素子は、上述のアクチュエータ素子の形成方法により得られたアクチュエータ素子である。前記アクチュエータ素子の前記導電性高分子層上に形成された金属層は、分離層の粗面に追随した形状を有し、分離層の粗面と同様の粗面を有している場合には、金属層と導電性高分子層との界面には凹凸を備えることとなる。このようにして得られたアクチュエータ素子は、金属層と導電性高分子層との界面とに凹凸を有するために、大きな電解伸縮をしても金属層と導電性高分子層との界面破壊が生じにくく、耐久性が良好であるために好ましい。また、前記金属層が凹凸を備えていない場合であっても、上述の方法により得られたアクチュエータ素子は、容易に得ることが可能であり、伸縮速度が優れたアクチュエータ素子である。
本発明の製造方法により得られたアクチュエータ素子は、樹脂等による被覆がされていないものについては、電解液中で直線的な変位をすることができるアクチュエータとして用いることができる。本発明の積層体において、例えば、導電性高分子層を中間層とて、導電性高分子層の電解伸縮時の伸縮率と同等若しくはそれ以上の伸縮性を有する固体電解質層を積層させた場合には、直線的な変位をするアクチュエータ素子として用いることができる。また、本発明の積層体において、例えば、導電性高分子層を中間層として、導電性高分子層の電解伸縮時の伸縮率よりも小さい伸縮性を有する固体電解質層若しくは樹脂層を積層させた場合には、導電性高分子層に比べて固体電解質層または樹脂層が伸び縮みしないので、屈曲の変位をするアクチュエータ素子として用いることができる。直線的な変位若しくは屈曲の変位を生じるアクチュエータ素子は、直線的な駆動力を発生する駆動部、または円弧部からなるトラック型の軌道を移動するための駆動力を発生する駆動部として用いることができる。さらに、前記アクチュエータ素子は、直線的な動作をする押圧部として用いることもできる。
四フッ化エチレン樹脂板(商品名「バルフロンシート」、日本バルカー工業株式会社製)をサンドペーパー(番手:#220)を摺動させて、四フッ化エチレン樹脂板の表面が粗面であることを指触により確認した。得られた粗面にグリース(四フッ化エチレン樹脂グリース、商品名「フッソグリース」、ニチアス(株)社製)を含ませた布を用いて塗り付ける一般的な既知の方法で塗布し、分離層を形成した。
基材として、四フッ化エチレン樹脂板に替えて、ポリエチレン板(商品名「ポリエチレン板」、アズワン(株)社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2のアクチュエータ素子を得た。
基材として、四フッ化エチレン樹脂板に替えて、シリコーンラバーゴム板(商品名「シリコーンラバーゴム」、十川ゴム社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、実施例3のアクチュエータ素子を得た。
グリースを含ませた布を用いて塗り付ける一般的な既知の方法で塗布する方法に替えて、ポリビニルアルコール水溶液(商品名「アラビックヤマト」、ヤマト株式会社製)をスポンジに含ませて塗り付けて分離層を形成したこと以外は実施例1と同様にして、実施例4のアクチュエータ素子を得た。
グリースを含ませた布を用いて塗り付ける一般的な既知の方法で塗布する方法に替えて、カルボキシメチルセルロース(商品名「消えいろPitN」、カルボキシメチルセルロースを含む固形物、(株)トンボ鉛筆社製)を塗り付けて分離層を形成したこと以外は実施例1と同様にして、実施例5のアクチュエータ素子を得た。
グリースを含ませた布を用いて塗り付ける一般的な既知の方法で塗布する方法に替えて、潤滑油(商品名「シリコン・オイルスプレー」、信越シリコン(株)社製)をスポンジに含ませて塗り付けて分離層を形成したこと以外は実施例1と同様にして、実施例6のアクチュエータ素子を得た。
ピロールをモノマーに用い、ドーパントイオンとしてテトラフルオロ硼酸イオンを構成要素とする塩(支持電解質、テトラフルオロホウ酸ナトリウム)を安息香酸メチル(溶媒)に公知の撹拌方法により溶解し、ピロールの濃度を0.25mol/lとして、かつ支持電解質を0.5mol/l含む電解液を調製した。チタン電極を作用電極に用い、対向電極として白金電極を用いて、重合電流密度0.2(mA/cm2)の定電流法により重合時間6時間で電解重合を行い、チタン電極上にポリピロール層を形成した。導電性高分子層である前記ポリピロール層と前記金属層との積層体を、アセトンに浸して膜をピンセットで引張ることにより基材から分離して比較例のアクチュエータ素子を形成した。
実施例1〜6及び比較例のアクチュエータ素子について、下記の伸縮評価及び速度性能評価を行った。結果を、表1に示す。なお、表1中の厚みについては、各アクチュエータ素子のポリピロール層について、マイクロメータやシックネスゲージ等に代表される膜を挟んで測定する公知の測定で、数地点において平均値である。そのため、基材や分離層に起因する凹凸の凹部の深さについては、厚みには考慮されていない。
実施例1のアクチュエータ素子について、動作電解質であるヘキサフルオロリン酸ナトリウムを1mol/lとなるように水に溶解した電解液中に保持して下記の方法により1酸化還元サイクル当たりの伸縮率を測定した。
各アクチュエータ素子を長さ15mm、幅2mmの短冊状とし、アクチュエータ素子の金属層を動作電極とし、白金プレートを対向電極とし、各電極の端部にリードを接続し、各電極を前記電解液中に保持しながら、リードを介して電源と接続して、電位(−0.9〜+0.7V v.s. Ag/Ag+)を1サイクル印加して印加開始から20秒後の変位量(変位した長さ)、または印加開始から2秒後の変位量(変位した長さ)を測定した。印加開始から20秒後の変位量または印加開始から2秒後の変位量を、電位を印加する前の動作電極の長さで割ることにより、特定時間当たりの伸縮率(20秒あたりの伸縮率、又は2秒当たりの伸縮率)を求めた。
実施例1のアクチュエータ素子は、基材上にグリースの層である分離層が形成されているために、金属層について損傷することなしに、導電性高分子層上に金属層が形成された積層体と基材とを、分離することができた。また、実施例1のアクチュエータ素子は、サイズが大きくても金属層が補助電極として機能し得ることから、先端部分にも十分な電圧を印加することができるので、特定時間当たりの伸縮率について優れた伸縮速度を示した。これに対して、比較例のアクチュエータ素子は、特定時間当たりの伸縮率が、20秒当たりでは4.0%であり、2秒当たりでは1.5%であり、特定時間当たりの伸縮率が実施例1の半分以下であった。
特定時間当たりの伸縮率がいずれも比較例より大きく、特に2秒当たりの伸縮率においては、4倍以上の伸縮率を示し、短時間での伸縮速度の向上が著しかった。
Claims (12)
- 導電性高分子層上に金属層を備えたアクチュエータ素子の製造方法であって、
基材上に分離層を形成する分離層形成工程を行い、該分離層形成工程により形成された分離層上に金属層を形成する金属層形成工程を行った後に、該金属層上に電解重合法にて導電性高分子層を形成する導電性高分子形成工程を行い、得られた導電性高分子層と該金属層との積層体を基材から分離することを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法。 - 前記分離層はグリースまたは潤滑油を含む層である請求項1のアクチュエータ素子の製造方法。
- 前記分離層形成工程において、基材の粗面上に分離層を形成することを特徴とする請求項1のアクチュエータ素子の製造方法。
- 前記分離層は、サンドペーパーを摺動させることで粗面化された基材表面上に形成された層である請求項1のアクチュエータ素子の製造方法。
- 前記基材は、前記分離層の形成される表面が、多孔質板及び/またはメッシュ材料である構成されている請求項1のアクチュエータ素子の製造方法。
- 前記基材の表面が、平均1〜100μmの深さの凹凸を備えた請求項1に記載のアクチュエータ素子の製造方法。
- 前記金属層形成工程における金属層の形成がスパッタリング、真空蒸着、またはイオンプレーティングにより行われる請求項1に記載のアクチュエータ素子の製造方法。
- 前記金属層が貴金属層と合金層とを含み、前記導電性高分子形成工程において前記合金層上に導電性高分子が形成される請求項1に記載のアクチュエータ素子の製造方法。
- 基材上にグリースまたは潤滑油を塗布する塗布工程を行い、該塗布工程により基材上にグリースまたは潤滑油が塗布された基材表面に金属層を形成する金属層形成工程を行った後に、電解重合法にて該金属層上に導電性高分子層を形成する導電性高分子形成工程を行うことを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法。
- 請求項1〜9の製造方法により得られたアクチュエータ素子。
- 導電性高分子層上に金属層を備えたアクチュエータ素子であって、該金属層が該アクチュエータ素子を8%以上の伸縮率で伸縮させても通電性を損なうことがなく、導電性高分子層が最大伸縮率8%以上である導電性高分子を含むアクチュエータ素子。
- 請求項10または請求項11に記載のアクチュエータ素子を、駆動部に用いた位置決め装置、姿勢制御装置、昇降装置、搬送装置、移動装置、調節装置、調整装置、誘導装置、若しくは関節装置、または押圧部に用いた押圧装置。
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