JP4405824B2 - 筒状導電性高分子成形物とその製造方法及びこれを用いたアクチュエータ並びにその用途 - Google Patents

Description

本発明は、導電性高分子成形品及び作動部に当該導電性高分子成形品を含むアクチュエータに関する。

ポリピロールなどの導電性高分子は、電気化学的な酸化還元によって伸縮あるいは変形する現象である電解伸縮を発現することが知られている。この導電性高分子の電解伸縮は、人工筋肉、ロボットアーム、義手やアクチュエータ等の用途として応用が期待され、近年注目されている。

導電性高分子を用いたアクチュエータについて、セル内に電解液、対極及びポリピロールフィルムを備えたアクチュエータの構成が１９９７年に報告されている（例えば、非特許文献１参照）。このアクチュエータはポリピロールフィルム及び対極が電解液に浸漬された状態で対極とポリピロールフィルムとの間に電圧を印加することによりポリピロールフィルムが伸縮し、ポリピロールフィルムが１４．６ＭＰａ（４５ｇ）の負荷を受けながらも１％の伸縮をすることが記載されている。つまり、このアクチュエータは、電解伸縮により、長さ方向に１４ＭＰａの力を発生させることができる。

デラ・サンタ（Ａ．Ｄｅｌｌａ Ｓａｎｔａ）、外２名、「ポリピロール導電性高分子リニアアクチュエータの性能と運動能力（Ａ．Ｄｅｌｌａ Ｓａｎｔａ et al、"Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ａｎｄ ｗｏｒｋｃａｐａｃｉｔｙ ｏｆ ａ ｐｏｌｙｐｙｒｒｏｌｅ ｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ ｐｏｌｙｍｅｒ ｌｉｎｅａｒ ａｃｔｕａｔｏｒ"、シンセティックメタルズ（Ｓｙｎｔｈｅｔｉｃ Ｍｅｔａｌｓ）、エルゼビア サイエンス（Ｅｌｓｃｖｉｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ）、１９９７年、第９０巻、Ｐ９３−１００。

上記のアクチュエータも含め、一般にアクチュエータに用いられている作動部材となる導電性高分子の形状は一般にフィルム形状のものが用いられている。これは質の高い導電性高分子得るために、電解重合法で製造した導電性フィルムを用いていることに起因する。すなわち、電解重合法では一般的に、平面の電極を用いてそこに積層した導電性高分子を用いるため、導電性高分子は必然的にフィルム形状となるものである。

しかしながら、当該アクチュエータは、押圧装置等一定以上の圧力を要求される部位への応用が見込まれるところ、フィルム形状では圧力を発揮するための適切な形状とはいえず、使用を続けるうちに折れ曲がる等の問題が生じないためには、耐圧力性、耐久性を向上させた適切な形状とすることが望ましい。

また、フィルム形状の導電性高分子を作動部に用いるアクチュエータには、その形状に起因する構造上の制限を有する。すなわち作動部材がフィルム形状であると、特に電解質に液体電解質やゲル状電解質を用いたときには、その外側に当該電解質を保持する筐体が必須となる。このためかかるアクチュエータの構造がアクチュエータの用途としての応用範囲を制限する。加えて電解質に接触する表面積が小さいことから、作動部の応答速度を遅くする要因となる。

また、電気化学的に伸縮する材料である導電性高分子を用いた作動部は、導電性高分子が抵抗値を有しているために、作動部の一端から電圧を印加した場合には電圧降下のため所定の作動部の他端（先端）に電圧を与えることが難しい。従って、先端付近での伸縮量が小さくなり、所望の伸縮量を得ることが難しくなるばかりでなく、先端付近では電圧与えた後、伸縮するまでの応答速度が遅くなることになる。そこで、先端付近においても所望の伸縮率を得て、また所定の応答速度を確保するには、作動部の伸縮方向と平行に伸縮方向に電圧印加のための導線を沿わせて、作動部の複数部位で当該導線を接触させ、作動部先端に適正な電圧を与えることも考えられる。しかし、この方法によれば、作動部の伸縮に伴って、接触部位で接続している導線に対して大きな張力がかかってしまうことになる。また、アクチュエータの用途としての応用を考えた場合、導線が作動部の外側にあるという構造上の制限を受け、応用範囲が狭くなるといえる。

これらの問題は、作動部の導電性高分子が３％以上の伸縮率などの大きな伸縮をする場合には、より顕著になる。すなわち、伸縮或いは変位が大きいために、接触部位で接続している導線に歪みがより大きくかかり、外れやすくなるなどの不具合が起こりやすい。

また、上記のフィルム状のアクチュエータは、作動部が樹脂成分からなる膜状体であるために、軽量であって簡単な駆動機構である。しかし、前記アクチュエータは、対象物を押圧させる動作をさせた場合に、薄いフィルム状であるために腰折れ等が生じて、前記アクチュエータが発生することができる本来の力を発揮することが難しくなり、腰折れを生じにくくするために厚膜化したのでは、特定時間の伸縮率が低下し易くなる。つまり、導電性高分子成型品は、厚膜化をする必要がなく、腰折れ等の押圧動作に不利となる変形を生じにくいことが望ましい。

本発明の目的は、導電性高分子を含む作動部を用いたアクチュエータの作動部として好適に用いることができる耐久性、耐圧力性に優れる形状の導電性高分子成形品及びその製造方法を提供することである。また当該形状の導電性高分子成形品を用いた、応用に際しての構造上の制約が少ないアクチュエータ及びその用途を提供することである。

そこで、本発明者らは、鋭意検討の結果、筒状の導電性高分子成形品がアクチュエータの作動部として用いた場合に耐圧力性、耐久性を向上させることを見出し、当該成形品中に金属導線を好ましくはコイル状で備えている導電性高分子成形品がアクチュエータとしての構造上の問題を解決することを見出し、また、当該コイル状の金属導線が含まれている導電性高分子成形体の簡便な製造方法を見出した。

更に、当該筒状の導電性高分子を作動部に用いた場合の好適なアクチュエータの構造も見出し、電解質に固体電解質用いた場合とゲル状または液体の電解質を用いた場合とのそれそれについて好適なアクチュエータの構造を見出した。
また、これらのアクチュエータの構造が、アクチュエータとしての伸縮率が３％以上のアクチュエータの場合には、作動部が小さくても十分な変位を取り出せるため、小型化が容易な面で特に有利であることを見出した。

更に、これらのアクチュエータが、人工筋肉や、位置決め装置、姿勢制御装置、昇降装置、搬送装置、移動装置、調節装置、調整装置、誘導装置、または関節装置の駆動部、さらには押圧装置の押圧部への応用に好適に利用できることを見出した。

これらの見地を得て、本発明をするに至った。

本願の第一の発明である導電性高分子成形品を筒状にすることで、耐圧力性、耐久性等の性能が向上する。また当該成形品中に好ましくはコイル状の金属導線を備えていることによって伸縮率に優れ、応答速度の大きいアクチュエータの作動部として用いることができる。

また、本願の第二の発明である、少なくとも作動部、対極及び電解質を備えたアクチュエータであって、上記筒状の導電性高分子成形品を用いたアクチュエータでは、上記成形品の利点をアクチュエータの利点とすることができる。更にアクチュエータを前記筒状の作動部の内側に電解質及び対極が設置するという構成をとることにより、用途として使用するに際し、自由度の大きいアクチュエータとすることができる。

また、コイル状の金属導線を作用極として電解重合法を行い、該金属導線の表面に導電成高分子の層を形成して、特定のピッチで螺旋状に形成された金属導線の間隔が導電性高分子により埋まることで、導電性高分子成形品を容易に得ることができる。

以下、本発明について図を用いて説明するが、本願発明はこれらに限定されるものではない。

（第一の発明）
本発明は、筒状の導電性高分子成形品である。以下、前記の本発明を第一の発明とする。

（第一の発明についての第一の態様）
図１は、第一の発明である筒状の導電性高分子成形品１０について第一の形態を斜め方向からみた図で、当該成形品の形状を模式に示した図である。本発明において筒状とは、その内部に上底と下底とに開口部を備え、上底の開口部から下底の開口部に通じる連通する空間部を備えた柱状の形状をいう。図１においては円筒状の例を示した。筒状の導電性高分子成形品は、形状として、耐圧力性、耐久性向上の観点からは円筒状が好ましく、アクチュエータとして使用する用途との関係で角柱筒形状とすることもできる。また、例えば内部の連通する空間部を円筒状とし、外側から見た形状を角柱筒状とすることもできる。耐圧力性の観点からは、中を空間にしない柱状の構造も考え得るが、内部が詰まっていると電解質との接触面が外部のみとなるため応答速度が遅くなる。更に、筒状にすることによって、耐圧力性、耐久性が向上するばかりでなく、後述する構成のアクチュエータの作動部として好適に使用できるものとなる利点も有する。

用いることのできる導電性高分子は、導電性高分子の電解伸縮により作動部が伸縮するものであれば、特に限定されるものではないが、一例としてポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリフェニレンなどを挙げることができる。なかでも、分子鎖にピロール及び／またはピロール誘導体を含む導電性高分子であることが、製造が容易であり、導電性高分子として安定であるだけではなく、電解伸縮性能に優れているために好ましい。更にこれらの導電性高分子にドーパントとしてｐ−トルエンスルホン酸ナトリウムを含む導電性高分子のような従来の導電性高分子を含むものであってもよい。

（第一の発明についての第二の態様）
図２は、第一の発明である筒状の導電性高分子成形品２０について第二の形態を表すものとして斜め方向からみた図を模式的に示したものである。この形態においては、導電性高分子成形品中に金属導線２１を備えている。図２は金属導線がコイル状になって成形品に含有されている例を示したものである。金属導線は、電源より導電性高分子成形体の各部位に電圧を印加するための電気経路としても用いることができる。また、前記金属導線は、筒状の導電性高分子成型品の骨格としても機能することができるので、耐圧性がさらに良好であり、押圧用の作動部として好適に用いることができる。当該導電性高分子成型品をアクチュエータの作動部に用いた場合において、応答速度を速め、大きな伸縮率を確保するためには、導電性高分子成形品に全体に電圧をかけることが好ましい。よってこのような観点から、導電性高分子成型品に備えられている金属導線は、成形品中に含有されているのが望ましい。

導電性高分子成型品を作動部として電解伸縮させる場合には、大きな伸縮率を得るために、先端に至るまでの部位に電圧を均一に印加することが特に望ましい。よって、このような観点からは、金属導線をコイル状として成形品中に含有されていることが最適である。使用される用途の構造との関係で、他の形状とすることもでき、この場合も導電性高分子成形品の全体に電圧をかけることができる点において一定の効果を得ることができる。つまり導電性高分子成形品の内部にコイル状の金属導線を備えている筒形状の導電性高分子成形品、即ち螺旋状の導電性基体と導電性高分子が複合化された筒状導電性高分子成形品は、伸縮速度及び伸縮率を向上することができ、さらに押圧部材として好適に用いることができる。

金属導線２１に用いることのできる金属の種類は、一般に金属が導電性高分子より導電性が高いことから、種類を問わず用いることができる。金属の酸化防止等の観点から、複数の種類の金属を用いた複層構造の金属導線とすることもできる。金属導線が導電性高分子内に存在する部分については、金属導線に絶縁皮膜を設けることはできないが、導電性高分子から外に出た部分については、絶縁皮膜を設けることができる。前記金属導線としては、例えば、通電性を有し、金属導線が螺旋状に捲回された導電性基体を用いることができる。なお、前記導電性高分子成型品は、外観として筒状であればよく、表面に、金属導線の螺旋状に起因する凹凸を有していても良い。前記導電性高分子成型品はとしては、長さ２５ｍｍ、外径０．２５〜０．３０ｍｍ、内径０．１５ｍｍである螺旋状の導電性基体上にポリピロール層を備えた導電性高分子複合構造体とすることもできる。

（第二の発明）
本発明は、作動部、対極及び電解質を備えたアクチュエータであって、前記第一の発明である筒状の導電性高分子成形品で構成されているアクチュエータである。以下、前記の本発明を第二の発明とする。

（第二の発明についての第一の態様）
図３は、第二の発明である筒状の導電性高分子成形品を用いたアクチュエータについて第一の形態を表すものとして斜め方向からみた図を模式的に示したものである。

アクチュエータ３０は、少なくとも作動部３１と電解質３２と対極３３を備えている。作動部には、金属導線３４が接続されている。作動部に接続された金属導線と対極電極はそれそれ電源３５に接続されている。図３に例示した構造であれば、電解質が液体またはゲル状の場合、これを保持する筐体３６が必須となる。また、図３における例示では、作動部３１の端部（先端部）にシャフト３７が備えられている構造を有している。

作動部３１には、第一の発明で説明した導電性高分子成形品を用いる必要がある。第一の発明の記載中で示した各形態を用いることができるが、それらの態様を用いることで、各態様で説明したそれぞれの利点をアクチュエータとして利用することができる。

電解質３２は、特に限定されるものではなく、液体電解質やゲル状電解質、または固体電解質であっても良い。前記電解質が液体である場合には、水溶媒であっても、有機溶媒であっても良いが、毒性が低く揮発する速度が比較的遅いために取り扱いが容易であり、大きな伸縮を得ることができるため、水溶媒であることが好ましい。ゲル高分子電解質に用いるゲルとしては、ポリアクリルアミド、ポリエチレングリコール、寒天などを用いることが、水溶液電解質と複合させ、容易にゲル高分子電解質を調製できるので好ましい。前記電解質は、トリフルオロメタンスルホン酸イオン、中心原子に対してフッ素原子を複数含むアニオン及び炭素数３以下のスルホン酸塩からなる群より少なくとも１以上選ばれた化合物を含む電解質とすることが、アクチュエータが１酸化還元サイクル当たりのさらに大きな伸縮を生じることが可能となるので、好ましい。固体電解質としては、特に限定されるものではないが、作動部が大きく変位をすることでアクチュエータとして大きな効果が発揮できるという点からは、ポリエチレングリコール等のエーテル酸素を含む高分子とＮａＰＦ₆、ＮａＢＦ_４、ＬｉＣＦ_３ＳＯ_３等を組み合わせたイオン伝導性高分子を使用することができる。

対極３３は、電極として用いることができる導電性材料で形成されているものであれば、形状が特に限定されるものではなく、棒状、線状、膜状及び板状であっても良い。また、前記対極の材質は、特に限定されるものではなく、種類として金、白金等の貴金属を含む金属であっても良く、導電性樹脂やＩＴＯガラス等の導電性非金属であっても良いが、腐食しにくくて加工が容易なことから貴金属であることが好ましく、白金または金であることがより好ましい。

金属導線３４に用いることのできる金属の種類は、第一の発明で説明したのと同様に、種類を問わず用いることができる。また複層構造の金属導線とすることもできる。また絶縁皮膜を設けることができる。

筐体３５はその内側に作動部、対極及び電解質を含むことができれば、形状は特に限定されるものではなく、円筒状、四角柱状、多角柱状であっても良く、所望の形状とすることができる。また、その材質も特に限定されるものではなく、硬質プラスチック、金属、ガラス、セラミックス等の硬質材料でもよく、ウレタンゴム、シリコンゴム等の可撓性を有する材料でも良い。なお、前記電解質が電解液である場合には、更にアクチュエータの先端部分をキャップすることが好ましい。

作動部３１の端部に備えられたシャフト３７は、アクチュエータが発生した力を好適に外部に伝えるために用いられる。すなわち、電解質を介して作動部と対極に電圧が印加されることにより、前記作動部が電解伸縮し、前記シャフトも上下運動する。従って、前記シャフトの運動により、作動部の伸縮により発生する力をアクチュエータ外部に伝えることができるのである。

（第二の発明についての第二の態様） 図４は、第二の発明である筒状の導電性高分子成形品を用いたアクチュエータについて第二の形態を表すものとして斜め方向からみた図を模式的に示したものである。本構造のアクチュエータでは、筒状の作動部４１の内側に電解質４２及び対極４３を設置することになる。

当該構造によれば、電解質を保護する為の筐体は必須ではなくなり、構成上の自由度を確保できる。固体電解質を用いれば当該構造のまま、アクチュエータとして作動させることができる。また、ゲル状や液体の電解質を用いた場合でも、内側の空間を狭くすれば、毛細管効果により電解質が保持され得る場合もあり、当該構造のままで使用しうる場合がある。

筒状作動部４１の外側面部を被覆材で保護することもできる。被覆材は、定型性を保持する効果を有する必要はないため、硬質プラスチック、金属の硬質材料やウレタンゴム、シリコンゴム等の可撓性を有する材料の他、ポリエチレン等のポリフィルムや、シリコン樹脂シート、ゴムシート等のフィルム状の被覆材等も用いることができる。

図５は第二の発明である第二の態様において、筒状作動部の上底及び下底に保護部材５８を設け、また、前記筒状の作動部の内壁と対極の間にセパレーター５９を設けた場合のアクチュエータについての縦断面図である。筒状の作動部の下底に保護部材５９を設けることで、電解質が液体またはゲル状の場合、内部の空間が毛細管効果の期待できない狭くない空間であっても液体電解質等を用いることができる。また、上底及び／または下底に保護部材を設けることで、内部を密閉でき、アクチュエータを動きの大きな用途に用いる場合でも安定して用いることができる。

保護部材の材質は、液体を保持できるものであれば、その材質も特に限定されるものではない。例えば、ＰＥＴ、ポリエチレン等のプラスチック材料やセラミック材料、金属材料でもよい。また、保護部材５８が作動部５１のシャフトを兼ねることもできる。このような内部を密閉する構造を備えているアクチュエータの場合には、長期の使用による電解質の漏洩が無く、耐久性に優れるので、例えば人工筋肉等の機械部品として好適に用いることができる。

作動部５１と対極５３の接触による電気の短絡を防止するため、液体またはゲル状の電解質を用いた場合には、筒状の作動部の内壁と対極の間にセパレーター５９を設けることができる。図５では対極をセパレーター５９で保護した場合を例示した。この他にも作動部の内部をセバレーターで覆うことや、作動部と対極の間にセパレーターを設置することもできる。セパレーターの材質は、作動部と対極が直接接触するのを避け、かつ液体等で浸漬した場合に当該液体等の移動が可能である性質のものを使用することができ、例えば、不織布等を用いることができる。このようなセパレーターを有する構造を備えているアクチュエータでは、動きがある部位でもが振動等があっても電気的に短絡しにくいので、動きのある部位への用途に好適に用いることができる。

これらの構造を有するアクチュエータは、筒状の作動部を有することにより、また上記様々な利点を有することにより、特にアクチュエータとしての伸縮率が３％以上である場合に、上記構成でないアクチュエータに比較して、大きな優位性を持つことになる。すなわち、作動部が小さくても十分な変位を取り出せるため、小型化が容易な面で特に有利である。

(製造方法)
本発明は、成形品中にコイル状の金属導線を備えている円筒形状の導電性高分子成形品の製造方法である。以下、図６を用いて製造方法を詳細に説明する。

導電性がよく、伸縮率の大きい導電性高分子は電解重合法によって製造することができる。電解液６２中に、コイル状の金属導線６１と対極電極６３を浸して、電源６４によって電圧をあたえることにより、電解重合を行なう。

電解液６２に用いる溶媒には、エーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ヒドロキシル基、ニトロ基、スルホン基及びニトリル基のうち少なくとも１つ以上の結合あるいは官能基を含む有機化合物及び／又はハロゲン化炭化水素であることが望ましい。前記駆動部が前記製造方法により製造された導電性高分子を含む駆動部である場合には、前記駆動部の１酸化還元サイクル当たりの伸縮率を容易に３％以上とすることができ、本発明の駆動機構を人工筋肉等の大きな伸縮率が要求される用途に用いることができる。また、前記電解液中に、公知のドーパントを含んでいても良く、より大きな１酸化還元サイクル当たりの伸縮率を得るためにトリフルオロメタンスルホン酸イオン及び／または中心原子に結合するフッ素原子を複数含むアニオンを含むことが好ましい。更に、得られた導電性高分子の１酸化還元サイクル当たりの伸縮率が１６％以上とするために、前記電解液として、上記のトリフルオロメタンスルホン酸イオン及び／または中心原子に対してフッ素原子を複数含むアニオンの替りに、
化学式（１）（Ｃ_ｎＦ_{（２ｎ＋１）}ＳＯ_２）（Ｃ_ｍＦ_{（２ｍ＋１）}ＳＯ_２）Ｎ^- （１）
（ここで、ｎ及びｍは任意の整数。）
で表されるパーフルオロアルキルスルホニルイミドイオンをアニオンとして含む電解液を用いることが好ましい。

前記有機化合物として、具体的には、１，２−ジメトキシエタン、１，２−ジエトキシエタン、テトラヒドロフラン、２−メチルテトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン（以上、エーテル結合を含む有機化合物）、γ−ブチロラクトン、酢酸エチル、酢酸n-ブチル、酢酸-t-ブチル、１，２−ジアセトキシエタン、３−メチル−２−オキサゾリジノン、安息香酸メチル、安息香酸エチル、安息香酸ブチル、フタル酸ジエチル（以上、エステル結合を含む有機化合物）、プロピレンカーボネート、エチレンカーボネート、ジメチルカーボネート、ジエチルカーボネート、メチルエチルカーボネート（以上、カーボネート結合を含む有機化合物）、エチレングリコール、１−ブタノール、１−ヘキサノール、シクロヘキサノール、１−オクタノール、１−デカノール、１−ドデカノール、１−オクタデカノール（以上、ヒドロキシル基を含む有機化合物）、ニトロメタン、ニトロベンゼン（以上、ニトロ基を含む有機化合物）、スルホラン、ジメチルスルホン（以上、スルホン基を含む有機化合物）、及びアセトニトリル、ブチロニトリル、ベンゾニトリル（以上、ニトリル基を含む有機化合物）を例示することができる。なお、ヒドロキシル基を含む有機化合物は、特に限定されるものではないが、多価アルコール及び炭素数４以上の１価アルコールであることが、伸縮率が良いために好ましい。なお、前記有機化合物は、前記の例示以外にも、分子中にエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ヒドロキシル基、ニトロ基、スルホン基及びニトリル基のうち、２つ以上の結合あるいは官能基を任意の組合わせで含む有機化合物であってもよい。

また、電解液に溶媒として含まれるハロゲン化炭化水素は、炭化水素中の水素が少なくとも１つ以上ハロゲン原子に置換されたもので、電解重合条件で液体として安定に存在することができるものであれば、特に限定されるものではない。前記ハロゲン化炭化水素の具体例としては、ジクロロメタン、ジクロロエタンを挙げることができる。前記ハロゲン化炭化水素は、１種類のみを前記電解液中の溶媒として用いることもできるが、２種以上併用することもできる。また、前記ハロゲン化炭化水素は、上記の有機化合物との混合して用いてもよく、該有機溶媒との混合溶媒を前記電解液中の溶媒として用いることもできる。

電解液６２には、電解重合される有機化合物（例えば、ピロール）およびトリフルオロメタンスルホン酸イオン及び／または中心原子に対してフッ素原子を複数含むアニオンを含む。この電解液を用いて電解重合を行なうことにより、電解伸縮において１酸化還元サイクル当たりの伸縮率及び／または特定時間あたりの変位率が優れた導電性高分子を得ることができる。上記電解重合により、トリフルオロメタンスルホン酸イオン及び／または中心原子に対してフッ素原子を複数含むアニオンが導電性高分子に取り込まれることになる。

前記トリフルオロメタンスルホン酸イオン及び／または中心原子に対してフッ素原子を複数含むアニオン、並びにスルホニルイミドは、電解液中の含有量が特に限定されるものではないが、電解液中に０．１〜３０重量％含まれるのが好ましく、１〜１５重量％含まれるのがより好ましい。

トリフルオロメタンスルホン酸イオンは、化学式ＣＦ_３ＳＯ_３ ⁻で表される化合物である。また、中心原子に対してフッ素原子を複数含むアニオンは、ホウ素、リン、アンチモン及びヒ素等の中心原子に複数のフッ素原子が結合をした構造を有している。中心原子に対してフッ素原子を複数含むアニオンとしては、特に限定されるものではないが、テトラフルオロホウ酸イオン（ＢＦ_４ ⁻）、ヘキサフルオロリン酸イオン（ＰＦ_６ ⁻）、ヘキサフルオロアンチモン酸イオン（ＳｂＦ_６ ⁻）、及びヘキサフルオロヒ酸イオン（ＡｓＦ_６ ⁻）を例示することができる。なかでも、ＣＦ_３ＳＯ_３ ⁻、ＢＦ_４ ⁻及びＰＦ_６ ⁻が人体等に対する安全性を考慮すると好ましく、ＣＦ_３ＳＯ_３ ⁻及びＢＦ_４ ⁻がより好ましい。前記の中心原子に対してフッ素原子を複数含むアニオンは、１種類のアニオンを用いても良く、複数種のアニオンを同時に用いても良く、さらには、トリフルオロメタンスルホン酸イオンと複数種の中心原子に対しフッ素原子を複数含むアニオンとを同時に用いても良い。

前記電解重合法は、導電性高分子単量体の電解重合として、公知の電解重合方法を用いることが可能であり、定電位法、定電流法及び電気掃引法のいずれをも用いることができる。例えは、前記電解重合は、電流密度０．０１〜２０ｍＡ／ｃｍ²、反応温度−７０〜８０℃、好ましくは電流密度０．１〜２ｍＡ／ｃｍ^２、反応温度−３０〜３０℃の条件下で行なうことができる。

かかる電解重合を行なうと、コイル状の金属導線６１の周りからだんだんと導電性高分子が重合により析出する。電解重合を続けることで、コイルとコイルの空間が導電性高分子で埋まっていくことになる。一方、コイル中央の空間では導電性高分子が埋まりにくいので、その後筒状に形状を整えやすい。この様にして得られた円筒状の導電性高分子の外壁と内壁の形状を整えることにより、図２に示した成形品中にコイル状の金属導線を備えている円筒形状の導電性高分子成形品を得ることができる。

前記製造方法は、コイル状の金属導線と対極電極を電解液に浸し、電圧を印加する前記電解重合により前記金属導線上に導電性高分子を得ることができるので、導電性高分子を含む円筒体であって、 前記導電性高分子が電解重合により得られ、前記円筒体中にコイル状の金属導線を備えた筒状体を、容易に製造することができる。

（用途）
本願の筒状導電性高分子成形品を作動部に用いたのアクチュエータは、人工筋肉、ロボットアームや義手に好適に使用することができる。また、マイクロサージェリー技術におけるピンセット、ハサミ、鉗子、スネア、レーザメス、スパチュラ、クリップなどの医療器具、検査や補修等を行なう各種センサー若しくは補修用工具など、健康器具、湿度計、湿度計コントロール装置、ソフトマニュピュレーター、水中バルブ、ソフト運搬装置などの工業用機器、金魚などの水中モービル、または動く釣り餌や推進ヒレなどのホビー用品などの水中で用いられる物品についても、本発明の導電性高分子成形品及び積層体を好適に使用することができる。

また、本願のアクチュエータは、ＯＡ機器、アンテナ、ベッドや椅子等の人を乗せる装置、医療機器、エンジン、光学機器、固定具、サイドトリマ、車両、昇降器械、食品加工装置、清掃装置、測定機器、検査機器、制御機器、工作機械、加工機械、電子機器、電子顕微鏡、電気かみそり、電動歯ブラシ、マニピュレータ、マスト、遊戯装置、アミューズメント機器、乗車用シミュレーション装置、車両乗員の押さえ装置及び航空機用付属装備展張装置において、直線的な駆動力を発生する駆動部若しくは円弧部からなるトラック型の軌道を移動するための駆動力を発生する駆動部、または直線的な動作若しくは曲線的な動作をする押圧部として好適に用いることができる。前記アクチュエータは、例えば、ＯＡ機器や測定機器等の上記機器等を含む機械全般に用いられる弁、ブレーキ及びロック装置において、直線的な駆動力を発生する駆動部もしくは円弧部からなるトラック型の軌道を移動するための駆動力を発生する駆動部、または直線的な動作をする押圧部として用いることができる。また、前記の装置、機器、器械等以外においても、機械機器類全般において、位置決め装置の駆動部、姿勢制御装置の駆動部、昇降装置の駆動部、搬送装置の駆動部、移動装置の駆動部、量や方向等の調節装置の駆動部、軸等の調整装置の駆動部、誘導装置の駆動部、及び押圧装置の押圧部として好適に用いることができる。また、前記アクチュエータは、関節装置における駆動部として、関節中間部材等の直接駆動可能な関節部または関節に回転運動を与える駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、ＣＡＤ用プリンター等のインクジェットプリンターにおけるインクジェット部分の駆動部、プリンターの前記光ビームの光軸方向を変位させる駆動部、外部記憶装置等のディスクドライブ装置のヘッド駆動部、並びに、プリンタ、複写機及びファックスを含む画像形成装置の給紙装置における紙の押圧接触力調整手段の駆動部として好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、電波天文用の周波数共用アンテナ等の高周波数給電部を第２焦点へ移動させるなどの測定部や給電部の移動設置させる駆動機構の駆動部、並びに、車両搭載圧空作動伸縮マスト（テレスコーピングマスト）等のマストやアンテナにおけるリフト機構の駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、椅子状のマッサージ機のマッサージ部の駆動部、介護用又は医療用ベットの駆動部、電動リクライニング椅子の姿勢制御装置の駆動部、マッサージ機や安楽椅子等に用いられるリクライニングチェアのバックレスト・オットマンの起倒動自在にする伸縮ロッドの駆動部、椅子や介護用ベッド等における背もたれやレッグレスト等の人を乗せる家具における可倒式の椅子の背もたれやレッグレスト或いは介護用ベッドの寝台の旋回駆動等に用いられる駆動部、並びに、起立椅子の姿勢制御のため駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、検査装置の駆動部、体外血液治療装置等に用いられている血圧等の圧力測定装置の駆動部、カテーテル、内視鏡装置や鉗子等の駆動部、超音波を用いた白内障手術装置の駆動部、顎運動装置等の運動装置の駆動部、病弱者用ホイストのシャ−シの部材を相対的に伸縮させる手段の駆動部、並びに、介護用ベッドの昇降、移動や姿勢制御等のための駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、エンジン等の振動発生部からフレーム等の振動受部へ伝達される振動を減衰させる防振装置の駆動部、内燃機関の吸排気弁のための動弁装置の駆動部、エンジンの燃料制御装置の駆動部、並びにディーゼルエンジン等のエンジンの燃料供給装置の駆動部として好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、手振れ補正機能付き撮像装置の校正装置の駆動部、家庭用ビデオカメラレンズ等のレンズ駆動機構の駆動部、スチルカメラやビデオカメラ等の光学機器の移動レンズ群を駆動する機構の駆動部、カメラのオートフォーカス部の駆動部、カメラ、ビデオカメラ等の撮像装置に用いられるレンズ鏡筒の駆動部、光学望遠鏡の光を取り込むオートガイダの駆動部、立体視カメラや双眼鏡等の２光学系を有する光学装置のレンズ駆動機構または鏡筒の駆動部、光通信、光情報処理や光計測等に用いられるファイバ型波長可変フィルタの波長変換のファイバに圧縮力を与える駆動部若しくは押圧部、光軸合せ装置の駆動部、並びに、カメラのシャッタ機構の駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、ホース金具をホース本体にカシメ固定する等の固定具の押圧部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、自動車のサスペンションの巻ばね等の駆動部、車両のフューエルフィラーリッドを解錠するフューエルフィラーリッドオープナーの駆動部、ブルドーザーブレードの伸張及び引っ込みの駆動の駆動部、自動車用変速機の変速比を自動的に切り替える為やクラッチを自動的に断接させる為の駆動装置の駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、座板昇降装置付車椅子の昇降装置の駆動部、段差解消用昇降機の駆動部、昇降移載装置の駆動部、医療用ベッド、電動ベッド、電動テーブル、電動椅子、介護用ベッド、昇降テーブル、ＣＴスキャナ、トラックのキャビンチルト装置、リフター等や各種昇降機械装置の昇降用の駆動部、並びに重量物搬送用特殊車両の積み卸し装置の駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、食品加工装置の食材吐出用ノズル装置等の吐出量調整機構の駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、清掃装置の台車や清掃部等の昇降等の駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、面の形状を測定する３次元測定装置の測定部の駆動部、ステージ装置の駆動部、タイヤの動作特性を検知システム等のセンサー部分の駆動部、力センサーの衝撃応答の評価装置の初速を与える装置の駆動部、孔内透水試験装置を含む装置のピストンシリンダのピストン駆動装置の駆動部、集光追尾式発電装置における仰角方向へ動かすための駆動部、気体の濃度測定装置を含む測定装置のサファイアレーザー発振波長切替機構のチューニングミラーの振動装置の駆動部、プリント基板の検査装置や液晶、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイの検査装置においてアライメントを必要とする場合にＸＹθテーブルの駆動部、電子ビーム（Ｅビーム）システム又はフォーカストイオンビーム（ＦＩＢ）システムなどの荷電粒子ビームシステム等において用いる調節可能なアパーチャー装置の駆動部、平面度測定器における測定対象の支持装置若しくは検出部の駆動部、並びに、微細デバイスの組立をはじめ、半導体露光装置や半導体検査装置、３次元形状測定装置などの精密位置決め装置の駆動部に好適に使用できる。

前記アクチュエータは、例えば、電気かみそりの駆動部、並びに、電動歯ブラシの駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、三次元物体の撮像デバイス或いはＣＤ、ＤＶＤ共用の読み出し光学系の焦点深度調整用デバイスの駆動部、複数のアクチュエータによって駆動対象面を能動曲面としてその形状を変形させることによって所望の曲面を近似的に形成して焦点位置を容易に可変できる可変ミラーの駆動部、光ピックアップ等の磁気ヘッドの少なくとも一方を有する移動ユニットを直線移動させることが可能なディスク装置の駆動部、リニアテープストレージシステム等の磁気テープヘッドアクチュエータアセンブリのヘッド送り機構の駆動部、電子写真方式の複写機、プリンタ、ファクシミリなどに適用される画像形成装置の駆動部、磁気ヘッド部材等の搭載部材の駆動部、集束レンズ群を光軸方向に駆動制御する光ディスク原盤露光装置の駆動部、光ヘッドを駆動するヘッド駆動手段の駆動部、記録媒体に対する情報の記録又は記録媒体に記録された情報の再生を行なう情報記録再生装置の駆動部、並びに、回路しゃ断器（配電用回路しゃ断器）の開閉操作の駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、ゴム組成物のプレス成形加硫装置の駆動部、移送される部品について単列・単層化や所定の姿勢への整列をさせる部品整列装置の駆動部、圧縮成形装置の駆動部、溶着装置の保持機構の駆動部、製袋充填包装機の駆動部、マシニングセンタ等の工作機械や射出成形機やプレス機等の成形機械等の駆動部、印刷装置、塗装装置やラッカ吹き付け装置等の流体塗布装置の駆動部、カムシャフト等を製造する製造装置の駆動部、覆工材の吊上げ装置の駆動部、無杼織機における房耳規制体等の駆動装置、タフティング機の針駆動システム、ルーパー駆動システム、およびナイフ駆動システム等の駆動部、カム研削盤や超精密加工部品等の部品の研磨を行なう研磨装置の駆動部、織機における綜絖枠の制動装置の駆動部、織機における緯糸挿通のための経糸の開口部を形成する開口装置の駆動部、半導体基板等の保護シート剥離装置の駆動部、通糸装置の駆動部、ＣＲＴ用電子銃の組立装置の駆動部、衣料用縁飾り、テーブルクロスやシートカバー等に用途をもつトーションレースを製造するためのトーションレース機におけるシフターフォーク駆動選択リニア制御装置の駆動部、アニールウィンドウ駆動装置の水平移動機構の駆動部、ガラス溶融窯フォアハースの支持アームの駆動部、カラー受像管の蛍光面形成方法等の露光装置のラックを進退動させる駆動部、ボールボンディング装置のトーチアームの駆動部、ボンディングヘッドのＸＹ方向への駆動部、チップ部品のマウントやプローブを使った測定などにおける部品の実装工程や測定検査工程の駆動部、基板洗浄装置の洗浄具支持体の昇降駆動部、ガラス基板を走査される検出ヘッドを進退させる駆動部、パターンを基板上に転写する露光装置の位置決め装置の駆動部、精密加工などの分野においけるサブミクロンのオーダで微小位置決め装置の駆動部、ケミカルメカニカルポリシングツールの計測装置の位置決め装置の駆動部、導体回路素子や液晶表示素子等の回路デバイスをリソグラフィ工程で製造する際に用いられる露光装置及び走査露光装置に好適なステージ装置の位置決めのための駆動部、ワーク等の搬送あるいは位置決め等の手段の駆動部、レチクルステージやウエハステージ等の位置決めや搬送のための駆動部、チャンバ内の精密位置決めステージ装置の駆動部、ケミカルメカニカルポリシングシステムでのワークピースまたは半導体ウェーハの位置決め装置の駆動部、半導体のステッパー装置の駆動部、加工機械の導入ステーション内に正確に位置決めする装置の駆動部、ＮＣ機械やマシニングセンター等の工作機械等またはＩＣ業界のステッパーに代表される各種機器用のパッシブ除振及びアクティブ除振の除振装置の駆動部、半導体素子や液晶表示素子製造のリソグラフィ工程に使用される露光装置等において光ビーム走査装置の基準格子板を前記光ビームの光軸方向に変位させる駆動部、並びに、コンベヤの横断方向に物品処理ユニット内へ移送する移送装置の駆動部に好適に使用できる。

前記アクチュエータは、例えば、電子顕微鏡等の走査プローブ顕微鏡のプローブの位置決め装置の駆動部、並びに、電子顕微鏡用試料微動装置の位置決め等の駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、自動溶接ロボット、産業用ロボットや介護用ロボットを含むロボットまたはマニピュレータにおけるロボットアームの手首等に代表される関節機構の駆動部、直接駆動型以外の関節の駆動部、ロボットの指のそのもの、ロボット等のハンドとして使用されるスライド開閉式チャック装置の運動変換機構の駆動部、細胞微小操作や微小部品の組立作業等において微小な対象物を任意の状態に操作するためのマイクロマニピュレータの駆動部、開閉可能な複数のフィンガーを有する電動義手等の義肢の駆動部、ハンドリング用ロボットの駆動部、補装具の駆動部、並びにパワースーツの駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、サイドトリマの上回転刃又は下回転刃等を押圧する装置の押圧部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、パチンコ等の遊戯装置における役物等の駆動部、人形やペットロボット等のアミューズメント機器の駆動部、並びに、乗車用シミュレーション装置のシミュレーション装置の駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、上記機器等を含む機械全般に用いられる弁の駆動部に用いることができ、例えば、蒸発ヘリウムガスの再液化装置の弁の駆動部、ベローズ式の感圧制御弁の駆動部、綜絖枠を駆動する開口装置の駆動部、真空ゲート弁の駆動部、液圧システム用のソレノイド動作型制御バルブの駆動部、ピボットレバーを用いる運動伝達装置を組み込んだバルブの駆動部、ロケットの可動ノズルのバルブの駆動部、サックバックバルブの駆動部、並びに、調圧弁部の駆動部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、上記機器等を含む機械全般に用いられるブレーキの押圧部として用いることができ、例えば、非常用、保安用、停留用等のブレーキやエレベータのブレーキに用いて好適な制動装置の押圧部、並びに、ブレーキ構造もしくはブレーキシステムの押圧部に好適に用いることができる。

前記アクチュエータは、例えば、上記機器等を含む機械全般に用いられるロック装置の押圧部として用いることができ、例えば、機械的ロック装置の押圧部、車両用ステアリングロック装置の押圧部、並びに、負荷制限機構及び結合解除機構を併せ持つ動力伝達装置の押圧部に好適に用いることができる。

特に、筒状の導電性高分子成形品の内部にコイル状の金属導線を備えている筒形状の導電性高分子成形品、即ち螺旋状の導電性基体と導電性高分子が複合化された筒状導電性高分子成形品を作動部に用いたアクチュエータは、軽量であり、簡単な装置構成であり、腰折れ等の押圧動作に不利となる変形を生じにくく、しかも押圧する力を容易に発生することができるので、視聴覚装置、触覚装置、加圧装置、握持装置、押出装置、折り曲げ装置、挟持装置、密着装置、または当接装置における押圧部又は押圧装置として好適に用いることができる。

筒状の導電性高分子成形品の内部にコイル状の金属導線を備えている筒形状の導電性高分子成形品を動作部に用いたアクチュエータは、押圧部が点字を形成する視覚障害者用の視聴覚装置若しくは触覚装置、可撓性可変内視鏡の押圧部、二輪車用フロントフォークの押圧部、空気圧制御型の流体封入式防振装置における高周波用オリフィス通路の開口部を遮断せしめる押圧部、休止可能な気筒制御式エンジンの弁休止装置におけるバルブ軸端部を押圧するための押圧部、射出成形装置における板状部材を金型側に押し出して圧接させる押圧部、テレビカメラ、ビデオカメラ、デジタルカメラ等の撮像装置における撮像素子を前記レンズ座に向かって加圧する押圧部、クランプ機構を備えた情報再生機構におけるチャック爪端部を押圧することにより記録媒体の保持を解除する押圧部、電界駆動型の画像表示媒体における局所的に導電性基板に導通させるためのバイアス印加（接地も含む）用の押圧部、シールド工法用元押し装置における駆動させ推進方向に押圧する押圧部、画像形成装置における搬送手段に用いられる押圧部、板状部材の研磨装置におけるフィルム状の研磨部材を板状部材に圧接する押圧部に用いることができる。

筒状の導電性高分子成形品の内部にコイル状の金属導線を備えている筒形状の導電性高分子成形品を動作部に用いたアクチュエータは、電磁リレーにおける固定接点に接触する向きに可動ばね板を押圧する押圧部、ＮＣ工作機械等に組み込まれる減速比の大きい減速機構の押圧部、中空製品の製造装置における素管に当接させて押圧しスピニング加工して所定形状の中空部材を成形するための押圧部、円筒状物品の把持装置における板状把持部材と押圧部との間で円筒状物品を押圧して把持する押圧部、シリンダーブロック等に穿設した穿孔の漏れ量を検測する漏れ試験装置におけるマスキング板を押圧する押圧部、液状体を微量ずつ定量吐出するに用いて好適なチューブポンプにおける可撓性チューブを押圧する押圧部、原動機からの駆動力を所定の配分比で前輪および後輪に配分する駆動力配分装置における多板クラッチを所定の押圧力で押圧することにより原動機からの駆動
力を前記所定の押圧力に応じた配分比で前輪および後輪に伝達する押圧部、コイル挿入装置におけるプッシャ押圧ユニットの押圧部、粘着シール部品の剥離装置におけるシール部品の端部を該剥離紙から分離させるための押圧部、シート材の搬送張力を制御するダンサロール装置における前記係止部を押圧することにより前記支持アームを加圧する押圧部に用いることができる。

また、筒状の導電性高分子成形品の内部にコイル状の金属導線を備えている筒形状の導電性高分子成形品を動作部に用いたアクチュエータはは、田植機の植付部における従動側クラッチ爪を駆動側クラッチ爪に押圧可能な押圧部、積層体を得るためのホットプレス装置における熱板の略中央部分を押圧する固定盤の押圧部、半導体装置のリード成形装置におけるリードの折曲部を形成するリード押圧部、ディスクトレイ位置検出機構におけるディスクトレイの位置を検出するための検出レバーを押圧する押圧部、画像の読み取りを行うフイルムキャリアにおけるフイルム圧着板を密着させる押圧部、地中集排水管の機能再生工法の施行装置における管壁に新たなストレーナ孔を穿孔するために穿孔錐を動作する押圧部に用いることができる。

また、筒状の導電性高分子成形品の内部にコイル状の金属導線を備えている筒形状の導電性高分子成形品を動作部に用いたアクチュエータは、上記装置の押圧部の他にも、シャッター位置検出装置、ボーリングバーを備えた中ぐり加工装置、レーザ溶接装置、練り製品の押出装置、ビデオテープカセット、産業用車両のトランスミッション装置、板状体端部固定装置、コンクリート構造物の補強・補修材塗り装置、シートの折畳積層装置、排紙装置、移動体の駆動装置、プリンタ、電気回路遮断装置、温度検知ユニットを有する加熱装置、液晶表示装置、画像形成装置、記録装置、食パンスライサ、２軸同時締付工具、粉末成形装置、紙葉類処理装置、シームレスベルトの定着装置、光ファイバ接続装置、真空式プレス装置のシャッタ機構、像振れ補正装置、画像読取装置、媒体収納機構、ラベル貼付装置、孔版印刷装置、プレス加工装置、ワーク外周縁のばり抜き装置、ディスク装置、刃物取付構造、遊技機の入賞装置、ウェハ搬送容器装着装置、内装トリムの部分貼合用成形金型、練条機、クランプ装置、計量器、熱処理炉、オイルポンプ、折り曲げ加工装置、位置スイッチ付モータ、間仕切パネルの運搬装置、間仕切パネルの運搬装置、及びカムシャフト素材支持装置に用いることができる。

筒状の導電性高分子成形品の内部にコイル状の金属導線を備えている筒形状の導電性高分子成形品を動作部に用いたアクチュエータは、簡単な構造であるために軽量化が可能であり、押圧する力を容易に発生することができることから、前記アクチュエータを押圧部に用いた加圧装置、握持装置、押出装置、折り曲げ装置、挟持装置、密着装置、及び当接装置の押圧部に好適に用いることができる。

第一の発明である導電性高分子成形体の第一の態様についての模式図。 第一の発明である導電性高分子成形体の第二の態様についての模式図。 第二の発明であるアクチュエータの第一態様についての模式図。 第二の発明であるアクチュエータの第二の態様についての模式図。 第二の発明であるアクチュエータの第二の態様についての縦断面図。 成形品中にコイル状の金属導線を備えている円筒形状の導電性高分子成形品の製造方法の模式図。

符号の説明

１０、２０ 導電性高分子成形品
２１ 金属導線
３０、４０、５０ アクチュエータ
３１、４１、５１ 作動部
３２、４２、５２ 電解質
３３、４３、５３ 対極
３４、４４、５４ 金属導線
３５、４５、５５ 電源
３６ 筐体
３７ シャフト
５８ 保護部材
５９ セパレーター
６０ 電解重合装置
６１ コイル状の金属導線
６２ 電解液
６３ 対極
６４ 電源

Claims (16)

1. 導電性高分子成形品で構成されているアクチュエータであって、
   前記導電性高分子成形品が、筒状であり、
   前記導電性高分子成形品が、導電性高分子と金属導線から形成され、
   前記導電性高分子成形品の内部に、前記金属導線を備えており、
   前記導電性高分子成形品が、伸縮性を有することを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記金属導線が、コイル状の金属導線であることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 少なくとも作動部、対極及び電解質を備えたアクチュエータであって、
   前記作動部が、前記導電性高分子成形品で構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ。
4. 前記作動部の内側に前記対極及び前記電解質が設置してある請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記作動部の上底及び／または下底に保護部材を設けた請求項３又は４に記載のアクチュエータ。
6. 前記作動部の内壁と対極の間にセパレーターを有する請求項３〜５のいずれかに記載されたアクチュエータ。
7. 前記電解質が固体電解質である請求項３〜６のいずれかに記載されたアクチュエータ。
8. 前記電解質が液体電解質またはゲル状電解質である請求項３〜７のいずれかに記載のアクチュエータ。
9. 前記導電性高分子成形品を形成する導電性高分子が、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン、及び、ポリフェニレンからなる群より選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のアクチュエータ。
10. 前記電解質が、トリフルオロメタンスルホン酸イオン、中心原子に対してフッ素原子を複数含むアニオン及び炭素数３以下のスルホン酸塩、及び、パーフルオロアルキルスルホニルイミドイオンからなる群より少なくとも１以上選ばれた化合物を含むことを特徴とする請求項３〜９のいずれかに記載のアクチュエータ。
11. アクチュエータとしての伸縮率が３％以上である請求項１〜１０のいずれかに記載のアクチュエータ。
12. 請求項１〜１１のいずれかに記載のアクチュエータを用いた人工筋肉。
13. 請求項１〜１１のいずれかに記載のアクチュエータを駆動部に用いた装置であって、
    前記装置が、位置決め装置、姿勢制御装置、昇降装置、搬送装置、移動装置、調節装置、調整装置、誘導装置、及び関節装置からなる群より選択される少なくとも１種であることを特徴とする装置。
14. 請求項１〜１１のいずれかに記載のアクチュエータを押圧部に用いた押圧装置。
15. 請求項１〜１１のいずれかに記載のアクチュエータを押圧部材に用いた装置であって、
    前記装置が、視聴覚装置、触覚装置、加圧装置、握持装置、押出装置、折り曲げ装置、挟持装置、密着装置、及び当接装置からなる群より選択される少なくとも１種であることを特徴とする装置。
16. 請求項１〜１１のいずれかに記載のアクチュエータの製造方法であって、
    前記導電性高分子が、電解重合により形成されたものであり、
    前記導電性高分子が、前記金属導線上に、電解重合により形成されたものであることを特徴とするアクチュエータの製造方法。

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