JP2005051687A - 圧電型超音波センサ及びその共振周波数調節方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数のダイアフラム5が形成された基板3と、基板3の一面に形成された圧電材料の薄膜7と、圧電材料の薄膜7のうち、1つのダイアフラム5に対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の下部電極6及び上部電極8を備えた圧電型超音波センサ1において、各超音波受信素子2の共振周波数がほぼ同じ値となるように、下部電極6と上部電極8の間に所定の直流電圧を印加し、圧電材料の薄膜7に歪みを生じさせ、ダイアフラム5の見かけの縦弾性係数を所望する値に変化させる。
【選択図】図2
Description
2 超音波受信素子
3 シリコン基板
4 凹部
5 ダイアフラム
6 下部電極
7 圧電材料の薄膜
8 上部電極
9 ガラス板
Claims (9)
- 1又は複数のダイアフラムが形成された基板と、前記基板の一面に形成された圧電材料の薄膜と、前記圧電材料の薄膜のうち1つのダイアフラムに対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の電極を備え、
1つのダイアフラムに対応し、前記圧電材料の薄膜及び互いに対向する2つの電極の領域で構成される超音波受信素子に対して、外力を加えることにより、その超音波受信素子におけるダイアフラムの形状又は内部応力を変化させることを特徴とする圧電型超音波センサ。 - 前記超音波受信素子に対して、直流電圧を印加することにより、その超音波受信素子におけるダイアフラムの形状又は内部応力を変化させることを特徴とする請求項1に記載の圧電型超音波センサ。
- 前記直流電圧を、一旦所定の電圧よりも高い電圧まで上げた後、徐々に所定の電圧まで下げるようにして印加することを特徴とする請求項2に記載の圧電型超音波センサ。
- 所望する共振周波数よりも共振周波数の高い超音波受信素子を形成し、その超音波受信素子に圧縮応力を加えて、前記所望する共振周波数とすることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の圧電型超音波センサ。
- 前記ダイアフラムを境として、その両側の部分の気圧に差を設けることにより、その超音波受信素子におけるダイアフラムの形状又は内部応力を変化させることを特徴とする請求項1に記載の圧電型超音波センサ。
- 前記基板のダイアフラムを形成するための凹部をガラス板で覆い、前記凹部内の圧力を外部の気圧とは異なる値とすることを特徴とする請求項5に記載の圧電型超音波センサ。
- 複数のダイアフラムが形成された基板と、前記基板の一面に形成された圧電材料の薄膜と、前記圧電材料の薄膜のうち1つのダイアフラムに対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の電極を備え、1つのダイアフラムに対応し、前記圧電材料の薄膜及び互いに対向する2つの電極の領域で構成される超音波受信素子がアレイ状に配列された圧電型超音波センサの共振周波数調節方法であって、
いずれかの超音波受信素子の共振周波数を基準とし、前記基準の共振周波数床となる共振周波数を有する超音波受信素子に対して外力を加えることにより、各超音波波受信素子の共振周波数をほぼ同じ値とすることを特徴とする圧電型超音波センサの共振周波数調節方法。 - 各超音波受信素子の共振周波数のうち最も小さい値を基準値とし、前記基準値よりも大きい共振周波数を有する超音波受信素子に対して、圧縮応力を加えることを特徴とする請求項7に記載の圧電型超音波センサの共振周波数調節方法。
- 1又は複数のダイアフラムが形成された基板と、前記基板の一面に形成された圧電材料の薄膜と、前記圧電材料の薄膜のうち1つのダイアフラムに対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の電極を備え、1つのダイアフラムに対応し、前記圧電材料の薄膜及び互いに対向する2つの電極の領域で構成される超音波受信素子に対して、外力を加えることにより、その超音波受信素子の共振周波数を変化させることを特徴とする圧電型超音波センサの共振周波数調節方法。
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