JP2005050724A - Organic electroluminescent display element - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子に関する。 The present invention relates to an organic electroluminescence display element.
近年、有機エレクトロルミネッセンス表示素子を使用した有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの開発が盛んに行われている。以下、有機エレクトロルミネッセンスを有機ELと記す。有機ELディスプレイは、液晶表示装置と比較して視野角が広く、また、応答速度も速く、有機物が有する発光の多様性から、次世代の表示装置として期待されている。 In recent years, organic electroluminescence displays using organic electroluminescence display elements have been actively developed. Hereinafter, organic electroluminescence is referred to as organic EL. An organic EL display has a wide viewing angle and a high response speed compared with a liquid crystal display device, and is expected as a next-generation display device because of the variety of light emission possessed by organic substances.
有機EL素子は、基板上に陽極が形成され、陽極の上に薄膜状の有機化合物が積層され、その有機化合物の層の上に、基板上に形成された陽極と対向するように陰極が形成された構造を有する。有機EL素子は、電流駆動型の表示素子であり、陽極と陰極との間に配置された有機化合物の層に電流が供給され、自発光する。陽極、複数の有機薄膜および陰極を重ねて配置した個所が表示画素となる。 An organic EL device has an anode formed on a substrate, a thin organic compound layered on the anode, and a cathode formed on the organic compound layer so as to face the anode formed on the substrate. Has a structured. An organic EL element is a current-driven display element, and a current is supplied to an organic compound layer disposed between an anode and a cathode, and the organic EL element emits light. A display pixel is a portion where an anode, a plurality of organic thin films, and a cathode are stacked.
有機EL表示装置は電流駆動素子を使用しており、パッシブ駆動型の有機EL表示装置では、各行が選択された時間内で発光する必要がある。その結果、液晶デバイス等の電圧駆動型表示素子を使用する場合と比較すると、大電流が電極に流れ込むことになる。 The organic EL display device uses a current drive element. In the passive drive type organic EL display device, each row needs to emit light within a selected time. As a result, a large current flows into the electrode as compared with the case where a voltage-driven display element such as a liquid crystal device is used.
例えば、画素サイズが300μm×300μmで、発光効率が1cd/Aであり、陽極本数が100本のパネルを1/64デューティ比で駆動し、平均輝度300cd/m2で点灯させる場合、選択期間内に陰極に流れ込む電流は172.8mAとなる。 For example, when a panel with a pixel size of 300 μm × 300 μm, luminous efficiency of 1 cd / A, 100 anodes is driven at a 1/64 duty ratio, and is lit at an average luminance of 300 cd / m 2 , it is within the selection period. The current flowing into the cathode is 172.8 mA.
このように陰極と接続端子との間に大電流が流れるので、そこでの電圧上昇を抑制するため、陰極が低抵抗の陰極補助配線に接続され、電流が陰極補助配線から接続端子に至る構造になっている。例えば特許文献1には、陰極と同一材料で形成された陰極補助配線を用いた有機EL素子が記載されている。
Since a large current flows between the cathode and the connection terminal in this way, the cathode is connected to the low-resistance cathode auxiliary wiring in order to suppress the voltage rise there, and the current extends from the cathode auxiliary wiring to the connection terminal. It has become. For example,
従来の有機EL表示素子の製造においては、図16のX方向、Y方向での陰極補助配線成膜時のマスクと基板との位置精度を±50μm以内にすると、陰極補助配線を形成する際の基板の位置合わせ誤差により、陰極補助配線と接続端子との相互の位置がずれてしまい、図16のような配置になることがある。この場合、画素に電流が供給されなくなってしまう。このため、従来、陰極補助配線を形成する際には、基板と陰極補助配線成膜時のマスクとの位置精度をさらに向上させ、図16のX方向、Y方向で共に±20μm以内にする必要があった。このような高精度の位置あわせを実行する場合は、設備が複雑になり、その費用も高額となっていた。さらに、基板と陰極補助配線成膜時のマスクと位置合わせに時間を要した。 In the manufacture of the conventional organic EL display element, if the positional accuracy between the mask and the substrate in forming the cathode auxiliary wiring in the X direction and Y direction in FIG. 16 is within ± 50 μm, the cathode auxiliary wiring is formed. Due to the alignment error of the substrate, the mutual positions of the auxiliary cathode wiring and the connection terminal are shifted, and the arrangement as shown in FIG. 16 may be obtained. In this case, no current is supplied to the pixel. Therefore, conventionally, when forming the cathode auxiliary wiring, it is necessary to further improve the positional accuracy between the substrate and the mask when forming the cathode auxiliary wiring so that both the X direction and the Y direction in FIG. 16 are within ± 20 μm. was there. When such high-precision alignment is performed, the equipment becomes complicated and the cost is high. Furthermore, it took time to align the substrate and the mask when forming the cathode auxiliary wiring.
このように従来の有機EL表示素子の製造においては、基板位置合わせのための設備が複雑になり、その費用も高額になる。また、基板と陰極補助配線成膜時のマスクと位置合わせに時間を要するという欠点もあった。 As described above, in the manufacture of the conventional organic EL display element, the equipment for aligning the substrate is complicated and the cost is high. Another disadvantage is that it takes time to align the substrate with the mask for forming the cathode auxiliary wiring.
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであり、簡便な基板位置合わせ装置によって製造可能な有機EL表示素子を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide an organic EL display element that can be manufactured by a simple substrate alignment apparatus.
本発明の第1の態様は、基板上に、複数の陽極と、複数の陰極と接続端子と、隣り合う陰極同士を区分する隔壁と、陽極と陰極との間に設置された有機層と、接続端子の上に配置された補助配線と、補助配線と陽極とを電気的に接続する陰極補助配線とが備えられた有機エレクトロルミネッセンス表示素子であって、
n本以上の陰極補助配線が接続端子に電気的に接続する場合、補助配線の幅をA(μm)、隔壁の幅をE(μm)隣り合う隔壁の間隔をG(μm)とした時に、陰極補助配線の幅W(μm)および隣り合う陰極補助配線の間隔D(μm)が、
According to a first aspect of the present invention, on a substrate, a plurality of anodes, a plurality of cathodes and connection terminals, a partition partitioning adjacent cathodes, an organic layer disposed between the anode and the cathode, An organic electroluminescence display element comprising an auxiliary wiring arranged on a connection terminal, and a cathode auxiliary wiring for electrically connecting the auxiliary wiring and the anode,
When n or more cathode auxiliary wirings are electrically connected to the connection terminal, when the auxiliary wiring width is A (μm), the partition wall width is E (μm), and the distance between adjacent partition walls is G (μm), The width W (μm) of the cathode auxiliary wiring and the distance D (μm) between adjacent cathode auxiliary wirings are
を満たすことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子を提供する。 An organic electroluminescence display element characterized by satisfying the above is provided.
本発明の第2の態様は、態様1において、n≧2である有機エレクトロルミネッセンス表示素子を提供する。
A second aspect of the present invention provides an organic electroluminescence display element according to
本発明の第3の態様は、態様1または2において、陰極補助配線と補助配線との接触面積が補助配線1本あたり100μm2以上である有機エレクトロルミネッセンス表示素子を提供する。 According to a third aspect of the present invention, there is provided the organic electroluminescence display element according to the first or second aspect, wherein a contact area between the cathode auxiliary wiring and the auxiliary wiring is 100 μm 2 or more per auxiliary wiring.
本発明の第4の態様は、態様1、2または3において、陰極補助配線が前記第2の電極と同一の材料で形成される有機エレクトロルミネッセンス表示素子を提供する。 A fourth aspect of the present invention provides the organic electroluminescence display element according to the first, second, or third aspect, wherein the cathode auxiliary wiring is formed of the same material as the second electrode.
本発明の第5の態様は、態様1〜4のいずれかにおいて、補助配線が、MoまたはMo合金を含む層と、AlまたはAl合金を含む層とを含む積層金属膜である有機エレクトロルミネッセンス表示素子を提供する。
A fifth aspect of the present invention is the organic electroluminescence display according to any one of the
本発明によれば、有機EL表示装置用配線基板および有機EL表示装置の製造に際し、簡便な位置合わせ装置を利用することができ、また、製造時間を短縮できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when manufacturing the wiring board for organic EL display apparatuses, and an organic EL display apparatus, a simple alignment apparatus can be utilized and manufacturing time can be shortened.
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。図1、図3、図5および図7は、本発明の製造方法の各工程における有機EL素子を示す正面図である。図2、図4および図6は、図1、図3および図5に示す有機EL素子のそれぞれのP−Q断面を示す断面図である。図8は、本発明の製造方法によって得られる有機EL素子の一例を示す正面図であり、図9は、図8に示す有機EL素子のP−Q断面を示す断面図である。 The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings. 1, FIG. 3, FIG. 5 and FIG. 7 are front views showing organic EL elements in respective steps of the production method of the present invention. 2, 4 and 6 are cross-sectional views showing respective PQ cross sections of the organic EL elements shown in FIG. 1, FIG. 3 and FIG. FIG. 8 is a front view showing an example of an organic EL element obtained by the production method of the present invention, and FIG. 9 is a cross-sectional view showing a PQ cross section of the organic EL element shown in FIG.
まず、シリカを成膜したソーダライムガラス基板(以下、ガラス基板という。)の基板1の上に、DCスパッタ法等によって、ITO10を成膜する。ITOの膜厚は一般に100〜300nm程度である。なお、ガラス基板は、シリカコートが成膜されたソーダライムガラス基板の代わりに無アルカリガラス基板を使用することもできる。
次いで、ITO10上に、DCスパッタ法により、順に、MoまたはMo合金を含む層、Al、Al合金、Ag、Ag合金のいずれかよりなる層、MoまたはMo合金を含む積層金属膜を成膜する。
First,
Next, a layer containing Mo or an Mo alloy, a layer made of Al, Al alloy, Ag, or an Ag alloy, or a laminated metal film containing Mo or Mo alloy is sequentially formed on the
MoまたはMo合金よりなる層の厚さは、通常50〜200nmである。Al、Al合金、Ag、Ag合金のいずれかよりなる層の厚さは、通常200〜400nmである。Moの代わりにMo合金を用いると耐腐食性が向上する。Mo合金としては、2成分系のMo−W、Mo−Nb、Mo−V、Mo−Taなどを用いることが好ましい。 The thickness of the layer made of Mo or Mo alloy is usually 50 to 200 nm. The thickness of the layer made of any one of Al, Al alloy, Ag, and Ag alloy is usually 200 to 400 nm. When Mo alloy is used instead of Mo, corrosion resistance is improved. As the Mo alloy, it is preferable to use binary Mo-W, Mo-Nb, Mo-V, Mo-Ta, or the like.
積層金属膜は、DCスパッタ法の他、真空蒸着、イオンプレーティング法等の物理的気相成長法(PVD)、電気めっき、無電解めっき等のめっき法で作成してもよい。
次に、補助配線8を形成するために、フォトリソグラフ法等でレジストをパターニングした後、積層金属膜をウェットエッチングし、その後レジストを剥離する。ITO10上に補助配線8を形成するのは、後工程で形成される陰極補助配線と接続端子2Bとのコンタクト部で陰極補助配線の金属が酸化され、コンタクト抵抗が高くなるのを防止するためである。
The laminated metal film may be formed by a DC sputtering method, a physical vapor deposition method (PVD) such as vacuum deposition or an ion plating method, or a plating method such as electroplating or electroless plating.
Next, in order to form the
以上の工程によって、図1および図2に示すように、ITO10の上に補助配線8を形成する。図1には、8本の補助配線8を示している。また、図2に示すP−Q断面図では、補助配線8を明示するために、長手方向を拡大して表示している。
Through the above steps, the
次に、フォトリソグラフ法等でレジストをパターニングした後、ITO10をウェットエッチングし、その後レジストを剥離する。その結果、図3に示すように、陽極パターン2A、および後工程で形成される陰極パターンと駆動回路との接続部となる接続端子2Bを形成する。なお、図3に、8本の陽極パターン2A、8本の接続端子2Bと8本の補助配線8を例示する。
Next, after patterning the resist by a photolithographic method or the like, the
図4は、図3に示す有機EL素子のP−Q断面を示す断面図である。陽極パターン2Aと第2の接続端子2Bとを、図2に示したITO10の層で形成する。陽極パターン2Aは、透明電極に相当する。陰極パターンは、透明電極に対向する対向電極に相当し、第2の接続端子2Bは、対向電極に導電接続される。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a PQ cross section of the organic EL element shown in FIG. The anode pattern 2A and the second connection terminal 2B are formed of the
なお、上記の例では、ITO10の成膜、積層金属膜の成膜、積層金属膜のパターニング、ITO10のパターニングの順に作業を実施する工程を説明したが、ITO10の成膜、ITO10のパターニング、積層金属膜の成膜、積層金属膜のパターニングの順に作業を実施してもよい。
In the above example, the process of performing the work in the order of
次いで、絶縁膜を形成するために、感光性ポリイミド膜を成膜する。そして、フォトリソグラフ法等でパターニングを行った後、熱硬化させ、図5および図6に示すように、画素部となる開口部4Aを有するポリイミドパターン4を形成する。なお、硬化処理に伴って、AlNdの抵抗を低くすることができる。図5に示すように、マトリクス状に複数の開口部4Aを形成する。硬化後のポリイミドパターン4の膜厚は1.0μm程度が好ましい。
Next, in order to form an insulating film, a photosensitive polyimide film is formed. Then, after patterning by a photolithographic method or the like, thermosetting is performed to form a
図5に示すように、陽極パターン2Aのうち、ポリイミドパターン4で覆われていない部分(開口部4Aを除く)のうちの先端の方の部分は、陽極パターン2Aと駆動回路との接続部となる第1の接続端子2Cになる。また、陽極パターン2Aのポリイミドパターン4で覆われていない部分のうちの接続端子2C以外の部分は、陽極と接続端子2Cを接続するための陽極引出配線に相当する。
As shown in FIG. 5, the portion of the anode pattern 2A that is not covered with the polyimide pattern 4 (excluding the opening 4A) is closer to the tip of the connection portion between the anode pattern 2A and the drive circuit. The first connection terminal 2C becomes. Further, the portion of the anode pattern 2A that is not covered with the
その後、感光性アクリル樹脂をコーティングし、フォトリソグラフ法等でパターニングを行った後、硬化させ、図7に示すように、隔壁5を得る。逆テーパ構造を隔壁5が有するように、ネガの感光性樹脂を用いることが好ましい。なお、複数の陰極パターンの間の複数の部分に隔壁5を形成する。
Thereafter, a photosensitive acrylic resin is coated, patterned by a photolithographic method or the like, and then cured to obtain
次いで、以下の工程を経て、図8および図9に示す有機EL素子を形成する。先ず、ITOに酸素プラズマ処理や紫外線処理などの表面改質を行い、有機薄膜6を蒸着する。その後、例えば、第1正孔輸送層(正孔注入層)として銅フタロシアニン(CuPc)と、第2正孔輸送層としてα−NPDとを蒸着する。次いで、例えば有機発光材料による発光層および電子輸送層としてアルミニウムキノリン(Alq)を蒸着する。さらに、電子注入層としてフッ化リチウム(LiF)を蒸着する。
Next, the organic EL elements shown in FIGS. 8 and 9 are formed through the following steps. First, surface modification such as oxygen plasma treatment or ultraviolet treatment is performed on ITO to deposit an organic
さらに、陰極パターン7を形成するために、Alを蒸着する。有機薄膜6を形成する際に、α−NPDの代わりにTPDなどのトリフェニルアミン系の物質を用いることもできる。
Furthermore, in order to form the
また、陰極パターン7を形成する際に、Alの代わりにナトリウム(Na)、リチウム(Li)、銀(Ag)、カルシウム(Ca)、マグネシウム(Mg)、イットリウム(Y)、インジウム(In)を用いることができる。さらに、それらを含む合金を用いることもできる。なかでも、陰極補助配線パターン3とのコンタクト特性から陰極補助配線パターン3と同一の材質を使用することが好ましい。
When forming the
次いで、陰極補助配線パターン3を形成するために、蒸着装置を用いてマスク蒸着で、Alを成膜する。Alの代わりに、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)、銀(Ag)、カルシウム(Ca)、マグネシウム(Mg)、イットリウム(Y)、インジウム(In)を用いることができる。さらに、それらを含む合金を用いることもできる。なかでも、陰極パターン7とのコンタクト特性から陰極パターン7と同一の材質を使用することが好ましい。
Alを成膜する場合には、ヒロックの発生を抑制するために、成膜温度を100℃以下にすることが好ましい。
Subsequently, in order to form the cathode
When depositing Al, it is preferable to set the deposition temperature to 100 ° C. or lower in order to suppress the generation of hillocks.
次に陰極補助配線パターン3の形状について図10〜図16を参照して説明する。
Next, the shape of the cathode
陰極補助配線パターン3の幅W(μm)は、隔壁5の幅をE(μm)とした場合、上記の式1の条件を満たすことが好ましい。幅Wが5μm未満であると、パターン形成の再現が困難となり、E以下でないと陰極補助配線パターン3の位置が設計上の位置からずれた場合、図16に示すように隣り合う陰極が陰極補助配線パターン3により電気的に接続されて短絡することがあるからである。また、0.9×Eを超えると、陰極補助配線パターン3が隔壁5の上の配置されてしまった場合、陰極補助配線パターン3を挟んで隣り合うそれぞれの陰極と陰極補助配線パターン3の距離が短いため電気的に接続されて短絡することがあるからである。
The width W (μm) of the cathode
また、隣り合う陰極補助配線パターン3の間隔Dは補助配線8の幅をAとした場合、n本以上の陰極補助配線パターン3を補助配線8に接続させるときは、上記の式2の条件を満たすことが好ましい。A > Gであると、補助配線8の間隔が小さくなり、短絡する可能性が高くなるからである。
The distance D between the adjacent cathode
また、 Also,
を満たすことが好ましい理由をn=1とn=2の場合について以下に説明する。
まず、n=1の場合について説明する。図10は隣り合う陰極補助配線パターン3の間隔Dと陰極補助配線パターン3の幅Wと補助配線8の幅Aとが、
The reason why it is preferable to satisfy the above will be described below in the case of n = 1 and n = 2.
First, the case where n = 1 will be described. FIG. 10 shows the distance D between the adjacent cathode
の関係になっており、陰極補助配線パターン3と補助配線8の位置関係を模式的に示した図である。以下、図10〜16では、接続端子2Bは省略する。陰極補助配線パターン3は間隔Dをあけ、Y方向に周期的に配列されており、各補助配線8にはそれぞれ1本の陰極補助配線が接続している。
FIG. 6 is a diagram schematically showing the positional relationship between the cathode
また、説明を簡単にするため、図10〜15では紙面に向かって左側(以下、本明細書では左側という)の補助配線8にのみ着目する。図10では、補助配線8の端から陰極補助配線の端までの距離はD/2となっている。
10 to 15, attention is paid only to the
図11は、陰極補助配線パターン3が図10の位置から左側にD/2ずれた場合の位置関係を模式的に示した図である。図11中、陰極補助配線の図10での位置を破線で示している。
FIG. 11 is a diagram schematically showing the positional relationship when the cathode
図11から明らかなように、陰極補助配線パターン3のY方向のずれがD/2以下の場合は、左側の補助配線8に電気的に接続する陰極補助配線パターン3は、1本のままで、左側の補助配線8に接続している陰極補助配線の合計の面積は変わらない。
As is apparent from FIG. 11, when the Y-direction deviation of the cathode
図12は、陰極補助配線パターン3が図10から左側にD/2以上、D以下、ずれた場合の位置関係を模式的に示した図である。
FIG. 12 is a diagram schematically showing the positional relationship when the cathode
図12から明らかなように、陰極補助配線パターン3のY方向のずれがD/2以上、D以下の場合は、左側の補助配線8に電気的に接続する陰極補助配線パターン3は、1本または、2本となる。但し、1本の補助配線8に接続する陰極補助配線パターン3の面積の合計は、ずれ量にかかわらず変化しない。
As is clear from FIG. 12, when the deviation in the Y direction of the cathode
さらに陰極補助配線パターン3が図10から左側にずれ、D以上ずれた場合、陰極補助配線パターン3が間隔Dで周期的に配列されていることから、補助配線8と陰極補助配線パターン3との位置関係は、図10、図11または図12の場合のいずれかになる。
Further, when the cathode
以上から、上記の式4の条件を満たす場合、陰極補助配線パターン3がY方向にずれても、1本の補助配線8に電気的に接続する陰極補助配線パターン3は、1本または2本であり、1本の補助配線8に接続する陰極補助配線パターン3の合計の面積は、ずれ量に関わらず変化しない。
また、図10、図11または図12のいずれかの場合に、補助配線8の幅Aをさらに広くし、
From the above, when the condition of the
Further, in any of FIG. 10, FIG. 11 or FIG. 12, the width A of the
を満たすようにすると、1本の接続端子2Bに電気的に接続する陰極補助配線パターン3の数は変わらないか、あるいは、増加する。したがって、
If the condition is satisfied, the number of auxiliary
を満たすようにすれば、陰極補助配線パターン3のずれ量に関わらず、1本の補助配線8に接続する陰極補助配線パターン3の数を常に1以上とすることができる。
If the condition is satisfied, the number of cathode
次に、n=2の場合について以下に説明する。図13は隣接する陰極補助配線パターン3の間隔Dと陰極補助配線パターン3の幅Wと補助配線8の幅Aとが
Next, the case where n = 2 will be described below. FIG. 13 shows the distance D between the adjacent cathode
の関係になっており、陰極補助配線パターン3と補助配線8の位置関係を模式的に示した図である。陰極補助配線パターン3は間隔Dをあけ、Y方向に周期的に配列しており、各補助配線8にはそれぞれ2本の陰極補助配線が接続している。
FIG. 6 is a diagram schematically showing the positional relationship between the cathode
以下、左側の補助配線8にのみ注目して説明をする。図13で補助配線8の端から陰極補助配線の端までの距離はD/2となっている。
Hereinafter, description will be made with attention paid only to the
図14は、陰極補助配線パターン3が図13の位置から左側にD/2ずれた場合の位置関係を模式的に示した図である。図13中、陰極補助配線の図13での位置を破線で示している。
図14から明らかなように、陰極補助配線パターン3のY方向のずれがD/2以下の場合は、左側の補助配線8に電気的に接続する陰極補助配線パターン3は、2本のままで、左側の補助配線8に接続している陰極補助配線の合計の面積は変わらない。
FIG. 14 is a diagram schematically showing the positional relationship when the cathode
As apparent from FIG. 14, when the Y-direction deviation of the cathode
図15は、陰極補助配線パターン3が図13の位置から左側にD/2以上、D以下、ずれた場合の位置関係を模式的に示した図である。
図15から明らかなように、陰極補助配線パターン3のY方向のずれがD/2以上、D以下の場合は、左側の補助配線8に電気的に接続する陰極補助配線パターン3は、2本または3本となる。但し、1本の補助配線8に接続する陰極補助配線パターン3の合計の面積は、ずれ量に関わらず変化しない。
FIG. 15 is a diagram schematically showing a positional relationship when the cathode
As can be seen from FIG. 15, when the Y-direction deviation of the cathode
さらに陰極補助配線パターン3が図13の位置から左側にずれ、D以上ずれた場合、陰極補助配線パターン3が間隔Dで周期的に配列されていることから、補助配線8と陰極補助配線パターン3との位置関係は、図13、図14または図15のいずれかと同じになる。
Further, when the auxiliary
以上から、上記の式7の条件を満たす場合、陰極補助配線パターン3がY方向にずれても、1本の補助配線8に電気的に接続する陰極補助配線パターン3は、2本または3本であり、1本の補助配線8に接続する陰極補助配線パターン3の合計の面積は、ずれ量に関わらず変化しない。
From the above, when the condition of
また、図13、図14または図15のいずれかの場合に、補助配線8の幅Aが更に広くし、
Further, in any of FIG. 13, FIG. 14, or FIG. 15, the width A of the
を満たすようにすると、1本の補助配線8に電気的に接続する陰極補助配線パターン3の数は変わらないか、増加する。したがって、
If the condition is satisfied, the number of cathode
を満たすようにすれば、陰極補助配線パターン3のずれ量に関わらず、1本の補助配線8に接続する陰極補助配線パターン3の数を2以上とすることができる。
If the condition is satisfied, the number of the auxiliary
また、n≧3の場合も上記n=1、2の場合と同様に、上記の式2の条件を満たすようにすれば、陰極補助配線パターン3のY方向のずれ量に関わらず、1本の補助配線8に接続する陰極補助配線パターン3の数をn以上とすることができる。
In the case of n ≧ 3, as in the case of n = 1, 2, if the condition of the
基板位置合わせ装置の仕様から予想される陰極補助配線パターン3のY方向のずれ量の最大値に合わせて、陰極補助配線パターン3の数を多目にして、補助配線8が形成されているY方向の範囲より陰極補助配線パターン3が形成されるY方向の範囲を広くしておくことが好ましい。余分に形成された陰極補助配線パターンは、後で必要に応じてレーザートリミングにて除去すればよい。
また、陰極補助配線パターン3のX方向のずれに関しては、X方向に最大ずれた場合でも、陰極補助配線と補助配線8との接触面積が接続端子1本あたり100μm2以上になるように、基板位置合わせ装置の仕様から予想される陰極補助配線パターン3のX方向のずれ量の最大値に合わせ、陰極補助配線パターン3のX方向の長さを長くしておくことが好ましい。こうすることによって、陰極補助配線パターン3がX方向にずれても、陰極補助配線パターン3と補助配線のコンタクト抵抗が高くなることを防ぐことができる。
Further, regarding the deviation of the cathode
また、ガラス基板をピンにより位置決めする場合、ガラス基板のθ方向のずれは、図17に示すように400mmのガラス基板に対し50μm程度の傾きである。この場合のガラス基板の傾きは、下記の式10の条件に記した通り、0.01°程度であり、無視することができる。このため、θ方向のずれは無視し、本明細書では、X方向およびY方向のずれのみについて考慮した。
Further, when the glass substrate is positioned by pins, the deviation of the glass substrate in the θ direction has an inclination of about 50 μm with respect to the 400 mm glass substrate as shown in FIG. In this case, the inclination of the glass substrate is about 0.01 ° as described in the condition of the following
また、本明細書では、陰極補助配線パターン3が、Y方向に周期的に配列されている例を説明したが、上記の式1、2の条件を満たしさえすれば、陰極補助配線パターン3のY方向のずれ量に関わらず、1本の接続端子2Bに接続する陰極補助配線パターン3の数をn以上とすることができ、Y方向に周期的に配列されている必要はない。
In the present specification, an example in which the cathode
以上のような工程を経て、図8および図9に示すような有機EL素子が得られる。 Through the steps as described above, an organic EL element as shown in FIGS. 8 and 9 is obtained.
次に、本発明の具体例を説明する。なお、以下の例1〜例3は実施例で、例4は比較例である。 Next, specific examples of the present invention will be described. In addition, the following Examples 1-3 are Examples and Example 4 is a comparative example.
[例1]
実施の形態に示した製造方法により1本以上の陰極補助配線を補助配線8に接続させた有機EL素子を形成する。
最初に、シリカコート20nmが成膜された厚さ0.7mmの基板1としてのガラス基板の上に、DCスパッタ法で、ITO10を170nm成膜する。
次いで、ITO10上に補助配線8を成膜するために、DCスパッタ法により、順に、Mo−Nb層、Al層、Mo−Nb層からなる積層金属膜を成膜する。積層金属膜の各層の膜厚は、Mo−Nb層が60nm、Al層が350nm、Mo−Nb層が60nmとする。
[Example 1]
An organic EL element in which one or more cathode auxiliary wirings are connected to the
First,
Next, in order to form the
次に、補助配線8を形成するため、フォトリソグラフ法でレジストをパターニングした後、燐酸、酢酸、硝酸の混合水溶液で積層金属膜をエッチングし、レジストを剥離する。補助配線8の幅Aは、170μmとする。
さらに、陽極パターン2Aと接続端子2Bとを形成するために、フォトリソグラフ法でレジストをパターニングした後、塩酸および硝酸の混合水溶液を用いてITOをエッチングし、その後レジストを剥離した。接続端子2Bの幅は、180μmとする。レジストとしてはフェノールノボラック樹脂を使用し、レジスト剥離材としてはモノエタノールアミンを使用する。
Next, in order to form the
Further, in order to form the anode pattern 2A and the connection terminal 2B, the resist was patterned by a photolithographic method, and then the ITO was etched using a mixed aqueous solution of hydrochloric acid and nitric acid, and then the resist was peeled off. The width of the connection terminal 2B is 180 μm. A phenol novolac resin is used as the resist, and monoethanolamine is used as the resist stripping material.
次いで、絶縁膜を形成するために、感光性ポリイミド膜を1.4μmの厚さでスピンコーティングする。そして、フォトリソグラフ法等でパターニングを行った後、320℃で硬化させ、画素部となる開口部4Aを有するポリイミドパターン4を形成する。
Next, in order to form an insulating film, a photosensitive polyimide film is spin-coated with a thickness of 1.4 μm. And after patterning by the photolithographic method etc., it hardens | cures at 320 degreeC and forms the
その後、感光性アクリル樹脂をスピンコーティングし、ネガの感光性樹脂を用いたフォトリソグラフ法でパターニングを行った後、200℃で硬化させ、隔壁5を得る。各隔壁5の幅Eは15μmで間隔Gは250μmである。
次いで、蒸着装置を用いてマスク蒸着により有機薄膜6を蒸着する。プラズマ処理条件を、酸素50sccm、6.7Pa、1.5kWとして、RIEモードのプラズマ処理を60秒実施する。
Thereafter, a photosensitive acrylic resin is spin-coated and patterned by a photolithographic method using a negative photosensitive resin, followed by curing at 200 ° C. to obtain the
Subsequently, the organic
その後、第1正孔輸送層としての膜厚10nmの銅フタロシアニン(CuPc)と、第2正孔輸送層としての膜厚60nmのα−NPDとを蒸着し、次いで、有機発光材料による発光層および電子輸送層としてのAlqを、膜厚50nmとなるように蒸着する。さらに、電子注入層としてのフッ化リチウム(LiF)を0.5nm蒸着する。
さらに、陰極パターン7を形成するために、蒸着装置を用いてマスク蒸着で、膜厚200nmのAlを蒸着する。
Thereafter, copper phthalocyanine (CuPc) having a thickness of 10 nm as the first hole transport layer and α-NPD having a thickness of 60 nm as the second hole transport layer are vapor-deposited. Alq as an electron transport layer is deposited so as to have a film thickness of 50 nm. Further, lithium fluoride (LiF) as an electron injection layer is deposited by 0.5 nm.
Further, in order to form the
次いで、陰極補助配線パターン3を形成するために、蒸着装置を用いてマスク蒸着で、アルミニウム(Al)を成膜する。その際、基板の位置合わせは基板をピンに押し付けて位置決めをする。位置決め精度は、X方向、Y方向それぞれ50μm、50μmで、位置合わせに要する時間は5秒程度である。
Next, in order to form the cathode
従来のCCDカメラによる基板位置合わせ精度は、X方向、Y方向それぞれ5μm、5μmであり、位置合わせに要する時間は20秒程度である。本発明ではそれに比べ位置合わせに要する時間は、75%程度短縮されている。なお、陰極補助配線パターン3の成膜膜厚は300nm程度、幅Wは10μm、長さは各陰極補助配線の位置がX方向およびY方向に50μmずれても、各陰極補助配線と補助配線8との接触面積150μm2以上になるようにした。各陰極補助配線の間隔Dは150μmである。
Substrate alignment accuracy by a conventional CCD camera is 5 μm and 5 μm in the X and Y directions, respectively, and the time required for alignment is about 20 seconds. In the present invention, the time required for alignment is shortened by about 75%. The cathode
このガラス基板とは別の基板にシール材を塗布し、有機EL素子を配置したガラス基板と対向させた。シール材として、エポキシ系紫外線硬化性樹脂を用いる。また、シール材は、有機EL素子と対向する領域の外周に塗布する。二枚の基板を対向させた後、紫外線を照射してシール材を硬化させ、基板同士を接着する。この後、シール材の硬化をより促進させるために80℃のクリーンオーブン中で1時間熱処理を施す。この結果、シール材および一対の基板によって、有機EL素子が存在する基板間と、基板の外部とが隔離される。 A sealing material was applied to a substrate different from the glass substrate, and was made to face the glass substrate on which the organic EL element was arranged. An epoxy ultraviolet curable resin is used as the sealing material. The sealing material is applied to the outer periphery of the region facing the organic EL element. After making the two substrates face each other, the sealing material is cured by irradiating with ultraviolet rays, and the substrates are bonded to each other. Thereafter, heat treatment is performed for 1 hour in a clean oven at 80 ° C. in order to further accelerate the curing of the sealing material. As a result, the sealing material and the pair of substrates separate the substrate where the organic EL element is present from the outside of the substrate.
基板の外周付近の不要部分を切断除去し、陽極配線に信号電極ドライバを接続し、陰極接続配線に走査電極ドライバを接続する。
陰極補助配線パターン3を形成する際、短時間の基板位置合わせを行い、有機ELディスプレイの製造タクトを短縮することができる。また、陰極補助配線3と補助配線8との接続は良好である。
Unnecessary portions near the outer periphery of the substrate are cut and removed, a signal electrode driver is connected to the anode wiring, and a scanning electrode driver is connected to the cathode connection wiring.
When the cathode
[例2]
2本以上の陰極補助配線を補助配線8に接続させた有機EL素子を形成する。すなわち、シリカコート20nmが成膜された厚さ0.7mmの基板1としてのガラス基板の上に、DCスパッタ法で、ITO10を170nm成膜する。次いで、例1と同様に陽極パターン2A、接続端子2Bを形成する。
[Example 2]
An organic EL element in which two or more cathode auxiliary wirings are connected to the
次に、ITO10上に補助配線8を成膜するために、DCスパッタ法により、順に、Mo−W層、Al層、Mo−W層からなる積層金属膜を成膜し、フォトリソグラフ法でレジストをパターニングした後、燐酸、酢酸、硝酸の混合水溶液で積層金属膜をエッチングし、レジストを剥離する。Mo−W層、Al層の膜厚はそれぞれ100nm、250nmで、補助配線8の幅Aは200μmとする。
Next, in order to form the
絶縁膜、隔壁、有機薄膜および陰極を形成する工程は例1と同じ工程である。したがって、各隔壁5の幅Eは15μmで、間隔Gは250μmで、例1と同一である。
その後、陰極補助配線パターン3を形成するために、蒸着装置を用いてマスク蒸着で、アルミニウム(Al)を成膜する。成膜膜厚は、300nm程度で、陰極補助配線の幅Wは10μm、長さは例1と同じにし、陰極補助配線の間隔Dは80μmである。その際、例1と同様に、基板はX方向、Y方向共に50μmの位置合わせ精度で位置合わせを行う。
The steps of forming the insulating film, the partition, the organic thin film, and the cathode are the same as those in Example 1. Therefore, the width E of each
Thereafter, in order to form the cathode
以上の工程により有機EL素子を得る。例2で得られた有機EL素子も、例1で得られた有機EL素子と同等の性能である。すなわち、有機ELディスプレイの製造タクトを短縮することができ、陰極補助配線3と補助配線8との接続は良好である。
An organic EL element is obtained by the above process. The organic EL device obtained in Example 2 also has the same performance as the organic EL device obtained in Example 1. That is, the manufacturing tact of the organic EL display can be shortened, and the connection between the
[例3]
各陰極補助配線の間隔Dを10μmとし、他は例1と同一の条件で、9本以上の陰極補助配線を補助配線8に接続させた有機EL素子を形成する。
例3で得られる有機EL素子も、例1で得られた有機EL素子と同等の性能である。すなわち、有機ELディスプレイの製造タクトを短縮することができ、陰極補助配線3と補助配線8との接続は良好である。
[Example 3]
An organic EL element in which nine or more cathode auxiliary wires are connected to the
The organic EL device obtained in Example 3 also has the same performance as the organic EL device obtained in Example 1. That is, the manufacturing tact of the organic EL display can be shortened, and the connection between the
[例4]
陰極補助配線パターン3のサイズ、各陰極補助配線の間隔のみ例1から変更し、他は例1と同一の条件で有機EL素子を作成する。陰極補助配線パターン3のサイズは、幅Wが120μm、長さが150μm、各陰極補助配線の間隔Dは、60μmとする。
以上の工程により得られる有機EL素子の陰極補助配線3は図16のように配置されており、補助配線8が短絡してしまい、有機ELディスプレイを駆動することができない。
[Example 4]
Only the size of the cathode
The
1:ガラス基板
2A:陽極パターン
2B:接続端子(第2の接続端子)
2C:接続端子(第1の接続端子)
3:陰極補助配線パターン
4:ポリイミドパターン
4A:開口部
5:隔壁
6:有機薄膜
7:陰極パターン
8:補助配線
10:ITO
1: Glass substrate 2A: Anode pattern 2B: Connection terminal (second connection terminal)
2C: Connection terminal (first connection terminal)
3: cathode auxiliary wiring pattern 4: polyimide pattern 4A: opening 5: partition wall 6: organic thin film 7: cathode pattern 8: auxiliary wiring 10: ITO
Claims (5)
n本以上の陰極補助配線が接続端子に電気的に接続する場合、補助配線の幅をA(μm)、隔壁の幅をE(μm)、隣り合う隔壁の間隔をG(μm)とした時に、陰極補助配線の幅W(μm)および隣り合う陰極補助配線の間隔D(μm)が、
When n or more cathode auxiliary wirings are electrically connected to the connection terminal, the auxiliary wiring width is A (μm), the partition wall width is E (μm), and the interval between adjacent partition walls is G (μm). , The width W (μm) of the cathode auxiliary wiring and the distance D (μm) between the adjacent cathode auxiliary wirings,
The organic electroluminescence display element according to any one of claims 1 to 4, wherein the auxiliary wiring is a laminated metal film including a layer containing Mo or an Mo alloy and a layer containing Al or an Al alloy.
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