KR100661161B1 - Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same - Google Patents
Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR100661161B1 KR100661161B1 KR1020060031163A KR20060031163A KR100661161B1 KR 100661161 B1 KR100661161 B1 KR 100661161B1 KR 1020060031163 A KR1020060031163 A KR 1020060031163A KR 20060031163 A KR20060031163 A KR 20060031163A KR 100661161 B1 KR100661161 B1 KR 100661161B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- forming
- wiring pattern
- electrode
- positive electrode
- light emitting
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
- H10K59/1315—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals comprising structures specially adapted for lowering the resistance
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
- H10K59/179—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
- H10K59/179—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
- H10K59/1795—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals comprising structures specially adapted for lowering the resistance
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
Description
도 1은 종래 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 일부분을 나타내보인 도면이다.1 is a view showing a part of an organic EL device according to the prior art.
도 2는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 일부를 나타내보인 도면이다. 2 is a view showing a part of an organic EL device according to the present invention.
도 3 내지 도 9는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 설명하기 위해 나타내보인 도면들이다.3 to 9 are diagrams for explaining a method of manufacturing an organic EL device according to a first embodiment of the present invention.
도 10 내지 도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다.10 to 13 illustrate a method of manufacturing an organic EL device according to a second embodiment of the present invention.
도 14 내지 도 20은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다.14 to 20 are views illustrating a method of manufacturing an organic electroluminescent device according to a third embodiment of the present invention.
도 21 내지 도 26은 본 발명의 제4 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다.21 to 26 illustrate a method of manufacturing an organic EL device according to a fourth embodiment of the present invention.
본 발명은 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 배선 패턴의 저항을 낮출 수 있는 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an organic electroluminescent device capable of lowering the resistance of a wiring pattern and a method of manufacturing the same.
일반적으로, 유기 전계 발광 소자(OLED; Organic electro luminescent emitting device)는 평판 디스플레이 소자 중 하나로 웨이퍼 상의 양전극층(anode layer)과 음전극층(cathode layer) 사이에 유기전계 발광층인 유기 박막층을 개재하여 구성하며, 매우 얇은 두께의 매트릭스 형태를 이룬다.In general, an organic electroluminescent device (OLED) is one of the flat panel display devices, and is formed through an organic thin film layer, which is an organic electroluminescent layer, between an anode layer and a cathode layer on a wafer. It forms a very thin matrix.
이러한 유기 전계 발광 소자는 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 박형 등의 장점이 있다. 또한, 좁은 광 시야각, 느린 응답 속도 등 종래에 LCD에서 문제로 지적되어 온 결점을 해결할 수 있으며, 다른 형태의 디스플레이와 비교하여, 특히, 중형 이하에서 다른 디스플레이, 예컨대'TFT LCD'와 동등하거나 그 이상의 화질을 가질 수 있을 뿐만 아니라, 제조 공정이 단순하다는 점에서 차세대 평판 디스플레이로 주목받고 있다.The organic EL device can be driven at a low voltage, and has advantages such as thinness. In addition, it is possible to solve the drawbacks that have been conventionally pointed out as problems with LCDs such as narrow viewing angles and slow response speeds, and compared with other types of displays, in particular, equal to or less than other displays such as 'TFT LCD' in the medium and below. In addition to having the above image quality, it is attracting attention as a next-generation flat panel display from the simple manufacturing process.
도 1은 종래 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 일부분을 나타내보인 도면이다. 1 is a view showing a part of an organic EL device according to the prior art.
도 1을 참조하면, 종래의 유기 전계 발광 소자에서는 우선 발광부(A)와 패드부(B)로 구분되어 있는 기판(100)의 발광부(A) 위에, 줄무늬 형태로 평행하게 배열되는 복수의 제1 전극(110)이 형성되어 있다. 또한, 이러한 제1 전극(110) 위에는 상기 제1 전극(110)과 직교하게 배열된 복수의 제2 전극(120)이 형성되어 있다. 이와 같이 서로 직교하는 제1 전극(110)과 제2 전극(120)이 서로 만나는 부분에서 유 기전계 발광소자의 화소(130)가 정의된다. 그리고 이러한 화소(130) 상에서 상기 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)의 사이에는 유기 발광층 등을 포함하는 유기 박막층(140)이 형성되어 있다. Referring to FIG. 1, in a conventional organic electroluminescent device, a plurality of organic light emitting devices are arranged in parallel in a stripe shape on a light emitting portion A of a
상기 기판(100)의 패드부(B) 위에는 상기 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)에 연결된 복수의 배선 패턴(150, 160)이 형성되어 있다. 이러한 복수의 배선 패턴(150, 160)은 통상적으로 상기 제1 전극(110)과 함께 형성하게 되는 바, 제1 전극(110)과 마찬가지로 ITO(Indium tin oxide) 등의 투명 도전 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 선택적으로 제1 전극(110)의 소정 영역 위에 이의 저항을 보다 낮추기 위한 크롬 등으로 이루어진 보조 전극(도시하지 않음)이 형성되는 경우에는, 배선 패턴(150, 160)은 상기 제1 전극(110) 및 보조 전극과 함께 형성하게 되며, 이에 따라, ITO 및 크롬(Cr) 등이 순차 적층되어 이루어질 수 있다. 그리고 비록 도면에 도시하지는 않았지만, 이렇게 형성된 유기 전계 발광 소자의 패드부(B) 상에 상기 제1 전극(110), 제2 전극(120) 및 배선 패턴(150, 160)과 전기적으로 연결되어 패드부(B)에 전기적 신호를 인가함으로서 유기 전계 발광 소자를 구동하기 위한 TCP(tape carrier package)를 장착한다.A plurality of
그런데 패드부(B) 배선 패턴(150, 160)의 저항이 낮을수록 유기 전계 발광 소자의 구동시 배선에 의한 전압강하가 줄어들고, 이에 따라 낮은 구동전압 및 소비전력을 가진 소자를 제조할 수 있다. 이에 따라 배선 패턴(150, 160)의 저항을 낮추는 방법이 필요하다.However, as the resistance of the pad portion
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 저항이 낮은 배선을 구성하여 소비전력 및 구동전압을 낮춤으로써 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same, which can improve electrical characteristics of a device by configuring a low resistance wiring to reduce power consumption and driving voltage.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자는, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판; 상기 발광부의 기판 위에 어느 한 방향으로 배열되어 있는 제1 전극; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 형성되어 있는 절연층 패턴; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 형성되어 있는 격벽층; 상기 화소 개구부 상에 형성되어 있는 유기 박막층; 상기 제1 전극과 직교하도록 상기 유기 박막층 위에 형성되어 있는 제2 전극; 상기 패드부의 기판 위에 상기 제1 전극과 연결되게 형성되는 제1 배선패턴; 상기 패드부의 기판 위에 상기 제2 전극과 연결되게 형성되어 있고, 제2 전극 형성물질을 포함하는 제2 배선패턴; 및 상기 제2 배선패턴 사이에 형성되어 있는 배리어막을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, the organic electroluminescent device according to the present invention, the substrate is divided into a light emitting portion and a pad portion; A first electrode arranged in one direction on the substrate of the light emitting part; An insulating layer pattern formed in a lattice form on the first electrode and the substrate to define a plurality of pixel openings on the first electrode; A barrier layer formed on the insulating layer pattern orthogonal to the first electrode; An organic thin film layer formed on the pixel opening; A second electrode formed on the organic thin film layer to be orthogonal to the first electrode; A first wiring pattern formed on the pad unit to be connected to the first electrode; A second wiring pattern formed on the substrate of the pad part to be connected to the second electrode and including a second electrode forming material; And a barrier film formed between the second wiring patterns.
본 발명에 있어서, 상기 배리어막은 상기 제1 배선패턴의 사이 및 상기 제2 배선패턴 사이에 각각 형성되어 있는 것을 포함할 수 있다.In the present invention, the barrier layer may include a layer formed between the first wiring pattern and the second wiring pattern, respectively.
상기 제2 배선패턴 사이에 형성되어 있는 배리어막은 상기 격벽층과 연결되어 있는 것이 바람직하다.The barrier film formed between the second wiring patterns is preferably connected to the barrier layer.
상기 제1 배선 패턴은 ITO 또는 IZO의 단일층 구조나 ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)의 적층구조를 포함하여 이루어질 수 있다.The first wiring pattern may include a single layer structure of ITO or IZO or a lamination structure of ITO / chromium (Cr) or IZO / chromium (Cr).
상기 제2 전극 형성용 물질은, 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 금속물질 또는 이들의 합금을 포함하는 것이 바람직하다.The material for forming the second electrode preferably includes a metal material including aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag) or an alloy thereof.
상기 제2 배선 패턴은 ITO 또는 IZO와 제2 전극 형성용 물질의 적층구조를 포함하는 것이 바람직하다.The second wiring pattern may include a laminated structure of ITO or IZO and a material for forming a second electrode.
상기 제2 배선 패턴은, ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)과 제2 전극 형성용 물질의 적층구조를 포함하는 것이 바람직하다.The second wiring pattern may preferably include a laminated structure of ITO / chromium (Cr) or IZO / chromium (Cr) and a material for forming a second electrode.
상기 제2 배선 패턴은 상기 제2 전극 형성용 물질의 단일층 구조로 이루어질 수 있다.The second wiring pattern may have a single layer structure of the material for forming the second electrode.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 상기 제1 전극과 연결되고, 제1 전극 형성물질을 포함하는 제1 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 제1 전극 형성물질을 포함하는 제2 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 제2 배선패턴 사이에 배 리어막을 형성하는 단계; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계; 상기 유기박막층 위에 제1 전극과 직교하는 제2 전극을 형성하면서, 상기 제2 배선패턴 상에 제2 전극용 형성물질을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, a method of manufacturing an organic electroluminescent device according to a first embodiment of the present invention, the first electrode arranged in either direction on the light emitting portion of the substrate divided into a light emitting portion and a pad portion Forming; Forming a first wiring pattern on the pad portion of the substrate while forming the first electrode, the first wiring pattern comprising a first electrode forming material; Forming a second wiring pattern including a first electrode forming material on a pad portion of the substrate while forming the first electrode; Forming an insulating layer pattern on the first electrode and the substrate in a lattice form to define a plurality of pixel openings on the first electrode; Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the first electrode; Forming a barrier film between the second wiring patterns while forming the barrier layer; Forming an organic thin film layer on the pixel opening; And forming a second electrode formation material on the second wiring pattern while forming a second electrode orthogonal to the first electrode on the organic thin film layer.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 상기 제1 전극과 연결되고, 제1 전극 형성물질을 포함하는 제1 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 제1 전극 형성물질을 포함하는 제2 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 제1 배선패턴 사이 및 제2 배선패턴 사이에 배리어막을 형성하는 단계; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계; 상기 유기박막층 위에 제1 전극과 직교하는 제2 전극을 형성하면서, 상기 제1 배선패턴 및 제2 배선패턴 상에 제2 전극용 형성물질을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, a method of manufacturing an organic EL device according to a second embodiment of the present invention, the first electrode arranged in one direction on the light emitting portion of the substrate divided into a light emitting portion and a pad portion Forming; Forming a first wiring pattern on the pad portion of the substrate while forming the first electrode, the first wiring pattern comprising a first electrode forming material; Forming a second wiring pattern including a first electrode forming material on a pad portion of the substrate while forming the first electrode; Forming an insulating layer pattern on the first electrode and the substrate in a lattice form to define a plurality of pixel openings on the first electrode; Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the first electrode; Forming a barrier layer between the first wiring pattern and the second wiring pattern while forming the barrier layer; Forming an organic thin film layer on the pixel opening; And forming a second electrode forming material on the first wiring pattern and the second wiring pattern while forming a second electrode orthogonal to the first electrode on the organic thin film layer.
본 발명에 있어서, 상기 제2 배선패턴 사이의 배리어막은 상기 격벽층과 연결되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, the barrier film between the second wiring patterns is preferably connected to the barrier layer.
상기 제1 배선 패턴은 ITO 또는 IZO의 단일층 구조나 ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)의 적층구조로 이루어질 수 있다.The first wiring pattern may be formed of a single layer structure of ITO or IZO or a stacked structure of ITO / chromium (Cr) or IZO / chromium (Cr).
상기 제2 전극 형성용 물질은, 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 전극형성용 금속물질 또는 이들의 합금을 포함하는 것이 바람직하다.The second electrode forming material preferably includes an electrode forming metal material or an alloy thereof including aluminum (Al), copper (Cu) or silver (Ag).
상기 제2 배선 패턴은 ITO 또는 IZO와 제2 전극 형성용 물질의 적층구조를 포함할 수 있다.The second wiring pattern may include a stacked structure of ITO or IZO and a material for forming a second electrode.
상기 제2 배선 패턴은, ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)과 제2 전극 형성용 물질의 적층구조를 포함할 수 있다.The second wiring pattern may include a stacked structure of ITO / chromium (Cr) or IZO / chromium (Cr) and a material for forming a second electrode.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 제1 전극을 형성하는 단계;In order to achieve the above technical problem, a method of manufacturing an organic electroluminescent device according to a third embodiment of the present invention, the first electrode arranged in one direction on the light emitting portion of the substrate divided into a light emitting portion and a pad portion Forming;
상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 상기 제1 전극과 연결되고, 제1 전극 형성물질을 포함하는 제1 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 패드부까지 확장하여 배리어막을 형성하는 단계; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계; 상기 제1 배선패턴을 차단하는 마스크막 패턴을 형성하는 단계; 상기 마스크막 패턴을 이용하여 상기 유기박막층 위에 제1 전극과 직교하는 제2 전극을 형성하면서, 상기 배리어막 사이로 제2 전극용 형성물질을 확장 증착하여 제2 배선패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Forming a first wiring pattern on the pad portion of the substrate while forming the first electrode, the first wiring pattern comprising a first electrode forming material; Forming an insulating layer pattern on the first electrode and the substrate in a lattice form to define a plurality of pixel openings on the first electrode; Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the first electrode; Forming a barrier layer by expanding the pad part while forming the barrier layer; Forming an organic thin film layer on the pixel opening; Forming a mask layer pattern blocking the first wiring pattern; Forming a second wiring pattern by expanding and depositing a second electrode formation material between the barrier layers while forming a second electrode orthogonal to a first electrode on the organic thin film layer using the mask layer pattern. It features.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 제4 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계; 상기 격벽층을 형성하면서 상기 패드부까지 확장하여 배리어막을 형성하는 단계; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계; 상기 유기박막층 위에 제1 전극과 직교하는 제2 전극을 형성하면서, 상기 배리어막 사이로 제2 전극용 형성물질을 확장 증착하여 제1 배선 패턴 및 제2 배선패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, the organic electroluminescent device manufacturing method according to the fourth embodiment of the present invention, the first electrode arranged in either direction on the light emitting portion of the substrate divided into a light emitting portion and a pad portion Forming; Forming an insulating layer pattern on the first electrode and the substrate in a lattice form to define a plurality of pixel openings on the first electrode; Forming a barrier layer on the insulating layer pattern orthogonal to the first electrode; Forming a barrier layer by expanding the pad part while forming the barrier layer; Forming an organic thin film layer on the pixel opening; Forming a first wiring pattern and a second wiring pattern by expanding and depositing a second electrode forming material between the barrier layers while forming a second electrode orthogonal to the first electrode on the organic thin film layer. do.
본 발명에 있어서, 상기 제2 배선패턴은 상기 제2 전극과 연결되며, 상기 제2 배선패턴 사이의 배리어막은 상기 격벽층과 연결되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the second wiring pattern is connected to the second electrode, and the barrier film between the second wiring patterns is connected to the barrier layer.
상기 제2 전극 형성용 물질은, 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 전극형성용 금속물질 또는 이들의 합금을 포함할 수 있다.The second electrode forming material may include an electrode forming metal material or alloy thereof including aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag).
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification.
도 2는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 일부를 나타내보인 도면이다. 그리고 도 3 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 설명하기 위해 나타내보인 도면들이다. 특히 도 9는 도 8을 I-I'축을 따라 잘라낸 부분을 나타내보인 도면이다.2 is a view showing a part of an organic EL device according to the present invention. 3 to 9 are diagrams for explaining a method of manufacturing an organic EL device according to an embodiment of the present invention. In particular, FIG. 9 is a view showing a portion taken along the line II ′ of FIG. 8.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자는, 발광부(A)와 패드부(B)로 구분되어 있는 기판(300)과, 발광부(A)의 기판(300) 위에 어느 한 방향으로 배열되어 있는 제1 전극(310)과, 제1 전극(310) 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극(310) 및 기판 위에 격자 형태로 형성되어 있는 절연층 패턴(340)과, 제1 전극(310)과 직교하는 절연층 패턴(340) 위에 형성되어 있는 격벽층(360)과, 화소 개구부 상에 형성되어 있는 유기 박막층(미도시함)과, 발광부(A)의 기판(300) 위에 상기 제1 전극(310)과 직교하게 배열되어 있는 제2 전극(380)과, 패드부(B)의 기판(300) 위에 상기 제1 전극(310)과 연결되게 형성되어 있는 제1 배선패턴(320)과, 패드부(B)의 기판(300) 위에 상기 제2 전극(380)과 동시에 같은 물질로 증착되어 전기적으로 서로 연결되는 성질을 가지고 있는 제2 배선패턴(390) 및 제2 배선패턴(390) 사이에 형성되어 있는 배리어막(365)을 포함하여 이루어진다. 여기서 배리어막(365)은 기판(300)의 발광부(A)에 형성되어 있는 격벽층(360)과 연결되어 있다. Referring to FIG. 2, the organic electroluminescent device according to the present invention includes any one of a
또한, 비록 도면에 도시하지는 않았지만, 배리어막(365)은 상기 제1 배선패 턴(320) 사이 및 상기 제2 배선패턴(330) 사이에 각각 형성되어 있는 구조를 더 포함하여 이루어질 수도 있다. In addition, although not shown in the drawings, the
이하 도 3 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing an organic EL device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 9.
먼저 도 3을 참조하면, 발광부(A)와 패드부(B)를 포함하는 기판(300) 상에 어느 한 방향으로 평행하게 배열되는 제1 전극(310)을 형성한다. 제1 전극(310)을 형성하면서 상기 기판(300)의 패드부(A)에 이후 외부 구동회로와 연결하기 위한 배선 패턴, 예를 들어 제1 배선패턴(320) 및 제2 배선패턴(330)을 형성한다. 여기서 제1 배선패턴(320)은 제1 전극(310)과 연결되며, 제2 배선패턴(330)은 이후 형성하는 제2 전극과 연결된다.First, referring to FIG. 3, a
기판(300)은 일반적으로 글래스(glass)를 사용하며, 제1 전극(310)은 ITO(Indium tin oxide) 또는 IZO(Indium zinc oxide)을 포함하는 투명 전도성 물질로 형성할 수 있다. 그리고 제1 및 제2 배선패턴(320,330)은 상기 제1 전극(310)과 함께 형성하게 되는 바, 제1 전극(310)과 마찬가지로 ITO 등의 투명 도전 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 선택적으로 제1 전극(310)의 소정 영역 위에 상기 제1 전극(310)의 저항을 보다 낮추기 위해 저항 및 비저항이 낮은 물질, 예를 들어 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo) 등으로 이루어진 보조 전극(도시하지 않음)을 형성하는 경우에는, 상기 제1 및 제2 배선패턴(320,330)은 상기 제1 전극(310) 및 보조 전극과 함께 형성하게 되며, 이에 따라 ITO 와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성할 수 있다. The
다음에 도 4를 참조하면, 기판(300)의 제1 전극(310) 위에, 평면으로 보아 격자 형상을 나타냄으로써 제1 전극(310) 상에 화소 개구부(350)를 정의하는 절연층 패턴(340)을 형성한다. 여기서 절연층 패턴(340)이 이루는 화소 개구부(350)는 화소 형성영역을 정의한다.Referring next to FIG. 4, an insulating
다음에 도 5를 참조하면, 절연층 패턴(340)을 포함하는 기판(300) 전면에 네가티브 타입(negative type)의 감광막을 적층한 후, 노광 및 현상을 실시하여 역경사를 가지는 격벽층(360)을 형성한다. 격벽층(360)은 제1 전극(310)과 직교하여 일정 간격을 두고 평행하게 배열되며, 이후 공정에서 형성되는 제2 전극이 인접 구성 요소와 단락이 되지 않도록 오버행(overhang)구조를 가진다. Next, referring to FIG. 5, after the negative type photosensitive film is laminated on the entire surface of the
이와 같이 기판(300) 전면에 격벽층(360)을 형성하면서 제2 배선패턴(330) 사이에 배리어막(365)을 형성한다. 여기서 배리어막(365)은 격벽층(360)과 연결되어 있는 것이 바람직하다. 배리어막(365)은 패드부(B) 상에 형성되어 있는 제2 배선패턴(330) 사이에 위치하여 제2 배선패턴(330)을 분리하는 역할을 한다. 이때, 배리어막(365)은 격벽층(360)과 동일한 물질, 예를 들어 네거티브 타입의 감광막으로 형성할 수 있다.As such, the
다음에 도 6을 참조하면, 화소 형성영역인 화소 개구부 상에 유기 발광층 등을 포함하는 유기 박막층(370)을 형성한다. 유기 박막층(370)은 제1 전극(310) 상에 절연층 패턴(340)으로 형성된 화소 개구부 상에 비록 도면에 도시하지는 않았지만, 정공주입층, 정공수송층, 유기 전계 발광층 및 전자 수송층이 적층된 구조로 형성할 수 있다. Next, referring to FIG. 6, an organic
다음에 도 7을 참조하면, 패드부(B) 상의 제1 배선패턴(320)이 형성된 영역을 차단하는 마스크막 패턴(375)을 형성한다. 여기서 마스크막 패턴(375)은 후속 공정에서 제2 전극을 증착시 제1 배선패턴(미도시함)을 차단하는 역할을 한다. Next, referring to FIG. 7, a
다음에 도 8 및 도 9를 참조하면, 유기 박막층(370) 상에 제1 전극(310)과 직교하는 제2 전극(380)을 형성한다. 제2 전극(380)은 알루미늄(Al),구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 전극형성용 금속물질 또는 이들의 합금(alloy)으로 이루어질 수 있다. 8 and 9, a
이때, 유기 박막층(370) 상에 상기 제2 전극(380)을 형성하면서 기판(300)의 패드부(B)에 제2 전극용 형성물질을 확장하여 증착한다. 여기서 제2 전극 형성용 물질은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 전극형성용 금속물질 또는 이들의 합금(alloy)으로 이루어질 수 있다.In this case, the
그러면, 제2 배선패턴(390)은 ITO 또는 IZO 상에 제2 전극 형성용 물질이 적층된 구조로 이루어지거나 또는 ITO/크롬(Cr) 또는 IZO/크롬(Cr)이 순차적으로 적층된 구조 위에 제2 전극 형성용 물질이 증착된 구조로 이루어질 수 있다. Then, the
이와 같이, ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조(330a, 330b)로 형성되어 있는 제2 배선패턴(330) 상에 제2 전극 형성용 물질, 예를 들어 알루미늄(Al)을 증착하면, 증착영역에 대하여 종래 기술보다 저항이 대략 8-10배 정도 낮아지면서 이후 외부 구동회로와 연결하여 유기 전계 발광 소자를 구동시 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다. As such, the material for forming the second electrode, for example, aluminum (Al) on the
도 10 내지 도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다. 특히 도 13은 도 12를 V-V'축을 따라 잘라낸 부분을 나타내보인 도면이다.10 to 13 illustrate a method of manufacturing an organic EL device according to a second embodiment of the present invention. In particular, FIG. 13 is a view showing a portion cut out along the V-V 'axis.
먼저 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 발광부(A)와 패드부(B)를 포함하는 기판(300) 상에 제1 전극(310) 및 제1 배선패턴(320) 및 제2 배선패턴(330)을 형성한다. 다음에 기판(300)의 제1 전극(310) 상에 화소 개구부(350)를 정의하는 격자 형상의 절연층 패턴(340)을 형성한다.First, as shown in FIGS. 3 and 4, the
다음에 도 10을 참조하면, 기판(300) 전면에 감광막을 적층한 후, 노광 및 현상을 실시하여 역경사를 가지는 격벽층(360)을 형성한다. 격벽층(360)은 제1 전극(310)과 직교하여 일정 간격을 두고 평행하게 배열되며 오버행구조를 가진다.Next, referring to FIG. 10, after the photosensitive film is laminated on the entire surface of the
이러한 격벽층(360)을 형성하면서 제1 배선패턴(320) 사이 및 제2 배선패턴(330) 사이에 배리어막(365)을 형성한다. 배리어막(365)은 이후 제2 전극 형성용 물질 증착시 제1 배선패턴(320) 및 제2 배선패턴(330)간에 단락이 발생하는 것을 방지하는 역할을 한다. 여기서 제2 배선패턴(330) 사이의 배리어막(365)은 격벽층(360)과 연결되어 있는 것이 바람직하다. 또한 제1 배선패턴(320) 사이의 배리어막(365)은 격벽층(360)과 연결되어 있을 수도 있다.The
다음에 도 11을 참조하면, 화소 개구부 상에 유기 발광층 등을 포함하는 유기 박막층(370)을 형성한다.Next, referring to FIG. 11, an organic
다음에 도 12 및 도 13을 참조하면, 유기 박막층(370) 상에 제1 전극(310)과 직교하는 제2 전극(380)을 형성한다. 유기 박막층(370) 상에 상기 제2 전극(380)을 형성하면서, 기판(300)의 패드부(B)로 제2 전극 형성용 물질을 확장하여 증착해 패드부(B)상에 제2 전극 형성용 물질이 적층된 제1 배선패턴(395) 및 제2 배선패턴(390)을 형성한다. 여기서 제1 배선패턴(395)은 ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조(320a, 320b)를 포함할 수 있다. 이때, 제2 전극 형성용 물질은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하여 이루어진다. 또한, 제1 배선패턴(395) 및 제2 배선패턴(390)은 미리 형성되어 있는 배리어막(365)에 의해 분리되어있어 제2 전극 형성용 물질을 증착할 때 마스크를 이용하지 않고 증착할 수 있다. Next, referring to FIGS. 12 and 13, a
이와 같이, ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성되어 있는 배선패턴 상에 제2 전극 형성용 물질이 증착된 구조로 이루어진 제1 배선패턴(395) 및 제2 배선패턴(390)은 저항이 보다 더 낮아지면서 이후 외부 구동회로와 연결하여 유기 전계 발광 소자를 구동시 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다. As described above, the
도 14 내지 도 20은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다. 특히 도 20은 도 19를 X-X'축을 따라 잘라낸 부분을 나타내보인 도면이다.14 to 20 are views illustrating a method of manufacturing an organic electroluminescent device according to a third embodiment of the present invention. In particular, FIG. 20 is a view illustrating a portion taken along the line X-X 'of FIG. 19.
먼저 도 14를 참조하면, 발광부(A)와 패드부(B)를 포함하는 기판(400) 상에 어느 한 방향으로 평행하게 배열되는 제1 전극(410)을 형성한다. 제1 전극(410)을 형성하면서 상기 기판(400)의 패드부(B)에 이후 외부 구동회로와 연결하기 위한 배선 패턴, 예를 들어 제1 배선패턴(420)을 형성한다. 제1 배선패턴(420)은 제1 전극(410)과 연결된다. First, referring to FIG. 14, a
여기서 제1 전극(410)은 ITO 또는 IZO을 포함하는 투명 전도성 물질로 형성할 수 있다. 그리고 제1 배선패턴(420)은 상기 제1 전극(410)과 함께 형성하게 되는 바, 제1 전극(410)과 마찬가지로 ITO 등의 투명 도전 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 선택적으로 제1 전극(410)의 소정 영역 위에 상기 제1 전극(410)의 저항을 보다 낮추기 위해 저항 및 비저항이 낮은 물질, 예를 들어 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo) 등으로 이루어진 보조 전극(도시하지 않음)을 형성할 수도 있다. 이 경우, 제1 배선패턴(420)은 상기 제1 전극(410) 및 보조 전극과 함께 형성할 수도 있으며, 이에 따라 ITO 와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로도 형성할 수 있다. The
한편, 패드부(B)에서 제1 배선패턴(420)이 형성된 영역을 제외한 나머지 영역, 예를 들어 제2 전극과 연결되는 제2 배선패턴이 형성될 영역은 이후 제2 전극 형성을 위한 전극물질 증착시 함께 형성할 수 있다. 이에 대한 설명한 추후 설명하기로 한다.Meanwhile, in the pad part B, except for the region where the
다음에 도 15를 참조하면, 기판(400)의 발광부(A)상에 배치되어 있는 제1 전극(410) 위에, 평면으로 보아 격자 형상을 나타냄으로써 제1 전극(410) 상에 화소 개구부(450)를 정의하는 절연층 패턴(440)을 형성한다. 여기서 절연층 패턴(440)이 이루는 화소 개구부(450)는 화소 형성영역을 정의한다.Next, referring to FIG. 15, a pixel opening on the
다음에 도 16을 참조하면, 절연층 패턴(440)을 포함하는 기판(400) 전면에 감광막을 적층한 후, 노광 및 현상을 실시하여 역경사를 가지는 격벽층(460)을 형성한다. 격벽층(460)은 제1 전극(410)과 직교하여 일정 간격을 두고 평행하게 배열되며, 이후 공정에서 형성되는 제2 전극이 인접 구성 요소와 단락이 되지 않도록 오버행구조를 가진다. Next, referring to FIG. 16, after the photosensitive film is stacked on the entire surface of the
이때, 격벽층(460)을 형성하면서 패드부(B)까지 확장하여 배리어막(465)을 형성한다. 여기서 배리어막(465)은 격벽층(460)과 연결되어 있는 것이 바람직하다. 배리어막(465)은 이후 형성될 제2 배선패턴 사이에 배치되어 상기 제2 배선패턴을 분리하는 역할을 한다. 이때, 배리어막(465)은 격벽층(460)과 동일한 물질, 예를 들어 네거티브 타입의 감광막으로 형성할 수 있다.At this time, the
다음에 도 17을 참조하면, 화소 개구부 상에 유기 발광층 등을 포함하는 유기 박막층(470)을 형성한다. 유기 박막층(470)은 상기 제1 전극(410) 상에 절연층 패턴(440)으로 형성된 개구부 상에 비록 도면에 도시하지는 않았지만, 정공주입층, 정공수송층, 유기 전계 발광층 및 전자 수송층이 적층된 구조로 형성할 수 있다. Next, referring to FIG. 17, an organic
다음에 도 18을 참조하면, 패드부(B) 상의 제1 배선패턴(420)이 형성된 영역을 차단하는 마스크막 패턴(480)을 형성한다. 여기서 마스크막 패턴(480)은 후속 공정에서 제2 전극용 형성물질을 증착할 때, 제1 배선패턴(420)을 차단하는 역할을 한다.Next, referring to FIG. 18, a
다음에 도 19 및 도 20을 참조하면, 유기 박막층(470) 상에 제1 전극(410)과 직교하는 제2 전극(490)을 형성한다. 제2 전극(490)은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 금속물질로 단일층 또는 두개 이상의 층을 가지는 복수층으로 이루어질 수 있다. Next, referring to FIGS. 19 and 20, a
유기 박막층(470) 상에 상기 제2 전극(490)을 형성하면서 기판(400)의 패드부(B)로 제2 전극 형성용 물질을 확장하여 증착해 패드부(B)상에 제2 배선패턴(500)을 형성한다. 여기서 제2 전극 형성용 물질은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하여 이루어진다. 이때, 제2 배선패턴(490b)은 미리 형성되어 있는 배리어막(465)에 의해 분리되어진다.While forming the
이와 같이, 제2 배선패턴(500)을 제2 전극 형성용 물질, 예를 들어 알루미늄(Al)을 확장 증착하면, 제2 배선패턴이 ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성된 경우보다 증착영역에 대하여 저항이 보다 더 낮아질 수 있다. 이에 따라 이후 외부 구동회로와 연결하여 유기 전계 발광 소자를 구동시, 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 제2 전극 형성용 물질을 포함하는 단일층으로 형성함으로써 ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성된 경우보다 불량이 발생하는 경우가 감소하여 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. As such, when the
도 21 내지 도 26은 본 발명의 제4 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 나타내보인 도면들이다. 특히 도 26은 도 25를 Y-Y'축을 따라 잘라낸 부분을 나타내 보인 도면이다.21 to 26 illustrate a method of manufacturing an organic EL device according to a fourth embodiment of the present invention. In particular, FIG. 26 is a view showing a portion cut out along the line Y-Y '.
도 21을 참조하면, 발광부(A)와 패드부(B)를 포함하는 기판(400) 상에 어느 한 방향으로 평행하게 배열되는 제1 전극(410)을 형성한다. 여기서 제1 전극(410)은 ITO 또는 IZO을 포함하는 투명 전도성 물질로 형성할 수 있다. Referring to FIG. 21, a
한편, 패드부(B)에서 배선패턴, 예를 들어 제1 전극과 연결되는 제1 배선패턴 및 제2 전극과 연결되는 제2 배선패턴이 형성될 영역은 이후 제2 전극 형성을 위한 전극물질 증착시 함께 형성할 수 있다. 이에 대한 설명한 추후 설명하기로 한다.Meanwhile, an area in which the wiring pattern, for example, the first wiring pattern connected to the first electrode and the second wiring pattern connected to the second electrode, is to be formed in the pad part B, is then deposited with the electrode material for forming the second electrode. Can be formed together. This will be described later.
다음에 도 22를 참조하면, 기판(400)의 발광부(A)상에 배치되어 있는 제1 전극(410) 위에 화소 개구부(450)를 정의하는 격자 형상의 절연층 패턴(440)을 형성한다. Next, referring to FIG. 22, a lattice-shaped insulating
다음에 도 23을 참조하면, 절연층 패턴(440)을 포함하는 기판(400) 전면에 감광막을 적층한 후, 노광 및 현상을 실시하여 역경사를 가지는 격벽층(460)을 형성한다. 격벽층(460)은 제1 전극(410)과 직교하여 일정 간격을 두고 평행하게 배열되며, 이후 공정에서 형성되는 제2 전극이 인접 구성 요소와 단락이 되지 않도록 오버행(overhang)구조를 가진다. Next, referring to FIG. 23, after the photoresist layer is stacked on the entire surface of the
이러한 격벽층(460)을 형성하면서 패드부(B)까지 확장하여 배리어막(465)을 형성한다. 배리어막(465)은 이후 제2 전극 형성용 물질 증착시 배선패턴들 간에 단락이 발생하는 것을 방지하는 역할을 한다. The
다음에 도 24를 참조하면, 화소 개구부 상에 유기 발광층 등을 포함하는 유기 박막층(470)을 형성한다. 유기 박막층(470)은 상기 제1 전극(410) 상에 절연층 패턴(440)으로 형성된 개구부 상에 비록 도면에 도시하지는 않았지만, 정공주입층, 정공수송층, 유기 전계 발광층 및 전자 수송층이 적층된 구조로 형성할 수 있다. Next, referring to FIG. 24, an organic
다음에 도 25 및 도 26을 참조하면, 유기 박막층(470) 상에 제1 전극(410)과 직교하는 제2 전극(490)을 형성한다. 제2 전극(490)은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 금속물질로 단일층 또는 두개 이상의 층을 가지는 복수층으로 이루어질 수 있다. Next, referring to FIGS. 25 and 26, a
유기 박막층(470) 상에 상기 제2 전극(490)을 형성하면서 기판(400)의 패드부(B)로 제2 전극 형성용 물질을 확장하여 증착해 패드부(B)상에 제1 배선패턴(500) 및 제2 배선패턴(510)을 형성한다. 여기서 제2 전극 형성용 물질은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하여 이루어진다. 이때, 제1 배선패턴(500) 및 제2 배선패턴(510)은 미리 형성되어 있는 배리어막(465)에 의해 분리되어있어 제2 전극 형성용 물질을 증착할 때 마스크를 이용하지 않고 증착할 수 있다. 또한, 상기 제2 배선패턴(510)은 제2 전극(490)과 연결되며, 제2 배선패턴(510) 사이의 배리어막(465)은 격벽층(460)과 연결되어 있는 것이 바람직하다. While forming the
이와 같이, 제1 배선패턴(500) 및 제2 배선패턴(510)을 제2 전극 형성용 물질, 예를 들어 알루미늄(Al)을 확장 증착하면, 제1 배선패턴(500) 및 제2 배선패턴(510)이 ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성된 경우보다 증착영역에 대하여 저항이 보다 더 낮아질 수 있다. As such, when the
이에 따라 이후 외부 구동회로와 연결하여 유기 전계 발광 소자를 구동시, 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 제2 전극 형성용 물질을 포함하는 단일층으로 형성함으로써 ITO와 크롬(Cr) 또는 IZO와 크롬이 순차적으로 적층된 구조로 형성된 경우보다 불량이 발생하는 경우가 감소하여 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Accordingly, when the organic electroluminescent device is driven by connecting to an external driving circuit, power consumption and driving voltage are lowered, thereby improving the electrical characteristics of the device. In addition, by forming a single layer including the material for forming the second electrode, defects are less likely to occur than those formed by sequentially stacking ITO and chromium (Cr) or IZO and chromium, thereby improving device reliability. Can be.
지금까지 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법에 의하면, 기판의 패드부 상에 배리어막으로 제2 전극과 연결되는 제2 배선패턴을 분리하고, 제2 배선패턴 상에 저항이 낮은 물질을 증착함으로써 저항이 낮은 배선을 구성하여 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the organic electroluminescent device and the manufacturing method thereof according to the present invention, the second wiring pattern connected to the second electrode is separated on the pad portion of the substrate by a barrier film, and the second wiring pattern is separated on the second wiring pattern. By depositing a low-resistance material, low-resistance wires can be constructed, resulting in lower power consumption and driving voltage, thereby improving electrical characteristics.
또한, 기판의 패드부 상에 배리어막으로 제2 전극과 연결되는 제2 배선패턴을 분리하고, 제2 배선패턴을 저항이 낮은 물질로만 형성할 수 있음으로써 저항이 낮은 배선을 구성하여 소비전력 및 구동전압이 낮아지게 되어 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.In addition, the second wiring pattern connected to the second electrode may be separated on the pad portion of the substrate by the barrier layer, and the second wiring pattern may be formed only of a material having a low resistance, thereby forming a wiring having low resistance, thereby reducing power consumption and power consumption. As the driving voltage is lowered, the electrical characteristics can be improved.
Claims (19)
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/KR2006/001518 WO2007114536A1 (en) | 2006-04-05 | 2006-04-21 | Organic electroluminescence device and method for manufacturing same |
TW095124662A TWI300996B (en) | 2006-04-05 | 2006-07-06 | Organic electroluminescence device and method for manufacturing same |
US11/494,557 US7545097B2 (en) | 2006-04-05 | 2006-07-28 | Organic electroluminescence device and method for manufacturing same |
SG200605081-9A SG136020A1 (en) | 2006-04-05 | 2006-08-01 | Organic electroluminescence device and method for manufacturing same |
EP06016165A EP1843396A3 (en) | 2006-04-05 | 2006-08-02 | Organic electroluminscence device and method for manufacturing the same |
CNB200610110856XA CN100477252C (en) | 2006-04-05 | 2006-08-15 | Organic electroluminescent device and manufacture method thereof |
JP2006233524A JP2007280920A (en) | 2006-04-05 | 2006-08-30 | Organic electroluminescence element and manufacturing method thereof |
US12/320,458 US7678590B2 (en) | 2005-12-19 | 2009-01-27 | Organic electroluminescence device and method for manufacturing same |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20050125778 | 2005-12-19 | ||
KR1020050125778 | 2005-12-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100661161B1 true KR100661161B1 (en) | 2006-12-26 |
Family
ID=37815495
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060031163A KR100661161B1 (en) | 2005-12-19 | 2006-04-05 | Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100661161B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101670659B1 (en) | 2013-09-30 | 2016-10-31 | 엘지디스플레이 주식회사 | Method for preparing organic light emitting device |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000243558A (en) * | 1999-02-16 | 2000-09-08 | Tohoku Pioneer Corp | Light emitting display panel and manufacture thereof |
KR20030081968A (en) * | 2002-04-15 | 2003-10-22 | 엘지전자 주식회사 | Organic Electro Luminescence Device And Fabricating Method Thereof |
KR20040015655A (en) * | 2002-08-13 | 2004-02-19 | 씨엘디 주식회사 | Method of making organic electroluminescent display |
KR20050014379A (en) * | 2003-07-31 | 2005-02-07 | 엘지전자 주식회사 | Organic Electro Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof |
KR20050106137A (en) * | 2004-05-03 | 2005-11-09 | 엘지전자 주식회사 | Organic electro-luminescence display device and fabricating method thereof |
-
2006
- 2006-04-05 KR KR1020060031163A patent/KR100661161B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000243558A (en) * | 1999-02-16 | 2000-09-08 | Tohoku Pioneer Corp | Light emitting display panel and manufacture thereof |
KR20030081968A (en) * | 2002-04-15 | 2003-10-22 | 엘지전자 주식회사 | Organic Electro Luminescence Device And Fabricating Method Thereof |
KR20040015655A (en) * | 2002-08-13 | 2004-02-19 | 씨엘디 주식회사 | Method of making organic electroluminescent display |
KR20050014379A (en) * | 2003-07-31 | 2005-02-07 | 엘지전자 주식회사 | Organic Electro Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof |
KR20050106137A (en) * | 2004-05-03 | 2005-11-09 | 엘지전자 주식회사 | Organic electro-luminescence display device and fabricating method thereof |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101670659B1 (en) | 2013-09-30 | 2016-10-31 | 엘지디스플레이 주식회사 | Method for preparing organic light emitting device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7545097B2 (en) | Organic electroluminescence device and method for manufacturing same | |
US10186562B2 (en) | Thin film transistor and manufacturing method thereof, array substrate and organic light emitting display panel | |
KR100472854B1 (en) | Dual Panel Type Organic Electroluminescent Device and Method for Fabricating the same | |
KR20100049427A (en) | Dual panel type organic electroluminescent device and method of fabricating the same | |
JP2004200167A (en) | Organic electroluminescent element and its manufacturing method | |
US20050046341A1 (en) | OLED display and method for manufacturing thereof | |
WO2018049891A1 (en) | Oled package substrate, manufacturing method thereof, and oled display panel utilizing same | |
JP2005056846A (en) | Organic electroluminescence device and its manufacturing method | |
US20220254847A1 (en) | Display substrate and method of manufacturing the same, display panel, and display apparatus | |
JP3736179B2 (en) | Organic thin film light emitting device | |
US7786519B2 (en) | Light emitting device and method for manufacturing the same | |
JP3517099B2 (en) | Method for manufacturing organic electroluminescence device | |
JPH1187052A (en) | Organic electroluminescence element | |
JPH11144877A (en) | Organic electroluminescent element | |
KR20070037093A (en) | Organic light emitting display and fabrication method for the same | |
KR100661161B1 (en) | Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same | |
KR20070050796A (en) | Organic light emitting diode display device and method for manufacturing the same | |
KR100768715B1 (en) | Organic electro luminescent display device and the method for manufacturing the same | |
KR100768711B1 (en) | Organic electro luminescent emitting device and the method for manufacturing the same | |
US8390188B2 (en) | Light emitting unit of electroluminescence device capable of increasing aperture rate manufacturing method thereof | |
KR100866886B1 (en) | Method for manufacturing organic light emitting diode device | |
JP4673579B2 (en) | Display device | |
KR100488428B1 (en) | Organic Electro Luminescent Display Device, and Method for Manufacturing the same | |
JP2003092190A (en) | Organic electroluminescent element and method for manufacturing the same | |
KR100779947B1 (en) | Organic electro luminescent display device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20111201 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |