JP2005045273A - イメージセンサ及びイメージセンサを一体的に設けた表示装置。 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 画素電極に接続されたアクティブ素子を有する画素マトリクス21と、画素マトリクス21を駆動する周辺駆動回路22と、光電変換素子に接続された第2のアクティブ素子を有する受光部31と、受光部31を駆動する受光部駆動回路32を有するセンサ部30と、周辺駆動回路22と受光部駆動回路32を制御する制御回路40と、引出端子部50と、を同一基板上に設ける。
【選択図】 図1
Description
前記基板上には、光電変換素子と、前記光電変換素子に接続された第2のアクティブ素子とを有する受光部と、前記第2のアクティブ素子を駆動する駆動回路とを有するイメージセンサが設けられ、
前記光電変換素子は、第1の電極と、第1の電極上に形成された光電変換層と、前記光電変換層上に形成された第2の電極とを有し、前記第1の電極および前記第2の電極は、前記画素マトリクスに形成された導電膜と同じ出発膜でなることを特徴とする。
前記基板上には光起電力装置が設けられ、
前記光起電力装置は、第1の電極と、第1の電極上に形成された光電変換層と、前記光電変換層上に形成された第2の電極とを有し、前記第1の電極および前記第2の電極は、前記画素マトリクスに形成された導電膜と同じ出発膜でなることを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置。
前記基板上には、光電変換素子と、前記光電変換素子に接続された第2のアクティブ素子とを有する受光部と、前記第2のアクティブ素子を駆動する駆動回路とを有するイメージセンサが設けられ、
前記画素マトリクスは、
前記基板上に形成された第1のアクティブ素子と、
前記第1のアクティブ素子を覆う第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に形成された遮光膜と、
前記遮光膜上に形成された第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜上に形成され、前記第1、第2の絶縁膜に設けられたコンタクトホールを介して前記第1のアクティブ素子に電気的に接続された画素電極とを有し、
前記受光部は、
前記基板上に形成された第2のアクティブ素子と、
前記第2のアクティブ素子を覆う前記第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に形成され、前記遮光膜と同じ出発膜でなる下側電極と、 前記下側電極上に形成された光電変換層と、
前記光電変換層上に形成され、前記画素電極と同じ出発膜でなる透明電極とを有することを特徴とする。
前記第1のアクティブ素子を駆動する周辺駆動回路と、
光電変換素子と、前記光電変換素子に接続された第2のアクティブ素子とを有する受光部と、前記第2のアクティブ素子を駆動する駆動回路とでなるイメージセンサと、が同一基板上に設けられたアクティブマトリクス型表示装置の製造方法であって、
前記基板上に、前記第1のアクティブ素子、前記第2のアクティブ素子、前記周辺駆動回路、および前記駆動回路とを作製する第1の工程と、
前記第1のアクティブ素子と前記第2のアクティブ素子とを少なくとも覆う第1の絶縁膜を形成する第2の工程と、
前記第1の絶縁膜上に導電膜を形成する第3の工程と、
前記導電膜をパターニングして、前記第1のアクティブ素子を遮光するための遮光膜と、前記第2のアクティブ素子に接続された下部電極とを形成する第4の工程と、
前記下部電極上に光電変換層を形成する第5の工程と、
前記遮光膜上に第2の絶縁膜を形成する第6の工程と、
前記光電変換層と、前記第2の絶縁膜とを少なくとも覆う透明導電膜を形成する第7の工程と、
前記透明導電膜をパターニングして、前記第1のアクティブ素子に接続された画素電極と、前記光電変換層に接する透明電極とを形成する第8の工程と、
を有することを特徴とする。
110 下地膜
120 ゲイト絶縁膜
130 第1の層間絶縁膜
140 第2の層間絶縁膜
150 第3の層間絶縁膜
200 画素TFT
221 遮光膜
223 画素電極
300 受光部TFT
320 光電変換素子
321 下側電極
322 光電変換層
323 透明電極
400 CMOS−TFT
601 裏面電極
602 光電変換層
603 透明電極
Claims (18)
- 同一基板上に、センサ部と、制御回路と、引出端子部とを有し、
前記センサ部は、受光部と、前記受光部を駆動するための受光部駆動回路とを有し、
前記制御回路は、前記受光部駆動回路を制御し、
前記引出端子部は、センサ部を外部配線に接続するための端子部であることを特徴とするイメージセンサ。 - 請求項1において、前記受光部駆動回路は薄膜トランジスタで形成されていることを特徴とするイメージセンサ。
- 請求項1又は請求項2において、前記制御回路は薄膜トランジスタで形成されていることを特徴とするイメージセンサ。
- 請求項2または請求項3において、前記薄膜トランジスタのゲイト絶縁膜は、SiH4とN2Oを原料ガスに用いて、プラズマCVD法で形成されることを特徴とするイメージセンサ。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項において、前記受光部は光電変換素子と前記光電変換素子に接続されたアクティブ素子とを有することを特徴とするイメージセンサ。
- 請求項5において、
前記光電変換素子および前記アクティブ素子は一列に配列されていることを特徴とするイメージセンサ。 - 請求項5において、前記光電変換素子はマトリクス状に配列されていることを特徴とするイメージセンサ。
- 同一基板上に、センサ部と、表示部と、制御回路と、引出端子部とを有し、
前記センサ部は、受光部と、前記受光部を駆動するための受光部駆動回路とを有し、
前記表示部は、マトリクス状に配置された画素電極と、前記画素電極に接続されたアクティブ素子を有する画素マトリクスと、前記アクティブ素子を駆動するための周辺駆動回路を有し、
前記制御回路は、前記受光部駆動回路と前記周辺駆動回路とを制御し、
前記引出端子部は、前記表示部およびセンサ部の配線を外部配線と接続することを特徴とするイメージセンサを一体的に設けた表示装置。 - 請求項8において、前記アクティブ素子は薄膜トランジスタであることを特徴とするイメージセンサを一体的に設けた表示装置。
- 請求項8又は請求項9において、前記周辺駆動回路は薄膜トランジスタで構成されていることを特徴とするイメージセンサを一体的に設けた表示装置。
- 請求項8乃至請求項10のいずれか一項において、前記制御回路は薄膜トランジスタで構成されていることを特徴とするイメージセンサを一体的に設けた表示装置。
- 請求項9乃至請求項11のいずれか一項において、前記薄膜トランジスタはトップゲイト型の薄膜トランジスタであることを特徴とするイメージセンサを一体的に設けた表示装置。
- 請求項9乃至請求項11のいずれか一項において、前記薄膜トランジスタはボトムゲイト型の薄膜トランジスタであることを特徴とするイメージセンサを一体的に設けた表示装置。
- 請求項9または請求項13において、前記薄膜トランジスタのゲイト絶縁膜は、SiH4とN2Oを原料ガスに用いて、プラズマCVD法で形成されることを特徴とするイメージセンサを一体型に設けた表示装置。
- 請求項8乃至請求項14のいずれか一項において、前記受光部は光電変換素子と前記光電変換素子に接続された第2のアクティブ素子とを有することを特徴とするイメージセンサを一体的に設けた表示装置。
- 請求項15において、前記光電変換素子および前記第2のアクティブ素子は一列に配列されていることを特徴とするイメージセンサを一体的に設けた表示装置。
- 請求項15において、前記光電変換素子はマトリクス状に配列されていることを特徴とするイメージセンサを一体的に設けた表示装置。
- 請求項8乃至請求項17のいずれか一項において、前記光電変換素子は、前記基板上に設けられた下側電極と、前記下側電極上に設けられた光電変換層と、前記光電変換層上に設けられた透明電極とを有することを特徴とするイメージセンサを一体的に設けた表示装置。
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