JP2005045070A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の現像液の再利用方法によれば、半導体基板上に感光性樹脂を塗布する工程と、該感光性樹脂を露光して現像する工程と、現像された感光性樹脂をリンスする工程とを包含する半導体装置の製造方法において、前記現像工程において用いた現像液と前記リンス工程において用いたリンス液とが混合した廃液を、加熱および蒸留して現像液成分のみを分留し、当該成分を再利用することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
上記実施形態に記載の本発明の現像液再利用方法において、現像液としてシクロペンタノンおよびリンス液としてPGMEAを含む廃液を蒸留により分留した。当該蒸留により、廃液中の現像液に対し現像液を約80%回収できた。
上記実施形態に記載の本発明の現像液再利用方法において、現像液としてγブチロラクトン50%、DMSO(ジメチルスルホキシド)45%および水5%の混合液ならびにリンス液としてPGMEAを含む廃液を蒸留により分留した。当該蒸留により、γブチロラクトン50%およびDMSO45%の混合液を廃液中の現像液に対しを約80%回収できた。水5%に対しては、回収したγ−ブチロラクトン+DMSOに対して後から添加し、元の現像液組成に再生した。
Claims (4)
- 半導体基板上に感光性樹脂を塗布する工程と、該感光性樹脂を露光して現像する工程と、現像された感光性樹脂をリンスする工程とを包含する半導体装置の製造方法において、
前記現像工程において用いた現像液と前記リンス工程において用いたリンス液とが混合した廃液を、加熱および蒸留して現像液成分のみを分留し、当該成分を再利用することを特徴とする、半導体装置の製造方法。 - 前記感光性樹脂が、感光性ポリイミドであることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記現像液が、シクロペンタノン、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルフォキシドおよびn−メチルピロリドンからなる群より選択されることを特徴とする、請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記リンス液が、イソプロピルアルコールまたはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジメチルスルフォキシドあるいはこれらの組合せであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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