JP2005037637A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源と被露光体であるレンズシートとの間に、フライアイレンズと凹面鏡が設置されており、光源から出射した光が、フライアイレンズを透過して凹面鏡によって反射され、略平行光束とされて、レンズシートを照射する光学系を有することを特徴とする。本露光装置では、被露光体であるレンズシートは、連続的もしくは間欠的に移動して照射されるように、搬送部に(吸着するなどして)搭載される構成であることが好ましい。
【選択図】図1
Description
上記の提案によれば、シリンドリカルレンズの長手方向に延びた帯状の光線を得るために、光源からの光を、帯状のスリットを有するマスクによって遮蔽した場合、大部分の光がカットされることになり光量損失を招き、所望のBSを形成するに必要な露光量を照射するためには露光時間を要することになる。
しかしながら、上記提案に係る方法では、レンズシートの面積以上の拡散板が必要であり、かつ、セルフアライメント法での露光で主に用いられるUV光に対する耐久性をもった拡散板が必要となる。このような要求を満たす拡散板の材質としては、例えば耐熱ガラスが挙げられるが、レンズシート(対角30インチ以上のような)サイズの大きいガラスに拡散性を付与する方法は難しくコストが高い。
しかし、上記光学系では、同心円状の拡散層(ガラス)を有する光源の作製が困難で、コスト上昇は免れられないだけでなく、照射光の平行性(コリメーション半角)の制御はできないという問題がある。
片面に単位レンズが並設されたレンズシートの反対面に、各単位レンズの集光特性を利用して、各単位レンズの非集光部に相当する位置に遮光パターンを形成するために用いられる露光装置であり、
光源と被露光体であるレンズシートとの間に、フライアイレンズと凹面鏡が設置されており、
光源から出射した光が、フライアイレンズを透過して凹面鏡によって反射され、略平行光束とされて、レンズシートを照射する光学系を有することを特徴とする。
被露光体であるレンズシートは、連続的もしくは間欠的に移動して照射されるように、搬送部に(吸着するなどして)搭載される構成であることが好ましい。
(1)本発明の露光装置によれば、レンズ側からレンチキュラーシートやマイクロレンズシートの前面に一括露光できることにより、形成されるBSやBM(ブラックマトリクス)は、レンズ毎に等しい位置に形成でき、然も実際のレンチキュラーシートへの紫外線照射によるレンズの非集光部に対してであるために、真にBSの形成が必要な部位に確実な位置精度でパターン形成が行われる。
(2)吸着板で吸着搬送露光することによりシリンドリカルレンズや2次元的にレンズが配列されたマイクロレンズアレイレンズ等が形成されたウェブ状のシートがヨレや浮きが発生せずBS形成が連続的に行われる。
(3)また、本発明によれば、コリメーション半角θを、大サイズの拡散板を用いることなく、フライアイレンズのマスキングにより可変にでき、レンズの形状に合わせた露光が可能である。
片面にシリンドリカルレンズが並設され、反対面が平坦面であるレンチキュラーシート(9)を成形する工程。
片面に、シリンドリカルレンズが並設され、他面が平坦面であるレンチキュラーシート(9)の平坦面に、紫外線硬化型樹脂層(10)を形成する工程。
図1に示すように、本発明による露光装置の搬送部(5)に、図2(b)の工程で得られたウエブ状レンチキュラーシート(9)を吸着穴にて吸着しながら、シリンドリカルレンズ側から垂直に照射することにより、各シリンドリカルレンズによって集光された部分(12)の紫外線硬化型樹脂(10)を連続的に硬化させる工程。
図2(c)に示される工程の後、紫外線硬化型樹脂(10)の保護フィルム(17)を剥離し、紫外線硬化型樹脂層を形成したレンズシートの紫外線硬化型樹脂層面(10)に、基材(16)の全面に黒色の着色層(15)が形成された転写シート(14)を前記着色層(15)側で重ね合わせる工程。
未硬化部分の前記樹脂(13)の粘性を利用して、着色層(15)を未硬化部分にのみ付着させ、硬化部分の着色層をレンズシートから剥離することにより遮光パターン(18)が形成される。
<レンチキュラ−シ−ト>
厚さ1.0mmの透明基材上に紫外線硬化型樹脂の硬化物からなるシリンドリカルレンズ群を形成したものである。
<紫外線硬化樹脂>
クロマリンフィルム(商品名:デュポン製)
<転写シ−ト>
基材ポリエチレンテレフタレ−トの一方の面に、以下の処方の着色層をワイヤ−バ−により1.5μの膜厚をコ−ティングし転写箔とする。
<着色層>
アクリル樹脂(三菱レイヨン製BR80)
カ?ボンブラック
硬化反応抑制剤(2, 2, 4 ?トリメチル−1,2−?ジヒドロキノン)
溶媒(MEK /トルエン=1/1 )
(a)前記レンチキュラ−シ−トのレンズと反対面に、
(b)クロマリンフィルムをラミロールにて加圧ラミネートすることにより積層させる。
(c)図1に示す本発明の連続搬送型露光装置の照射部吸着板上にレンチキュラーシートに積層したクロマリンフィルム保護フィルム面が接するように吸着搬送しながら、レンズ側からレンチキュラ−シ−トの平坦面に対して垂直に照射して、各レンズによって集光された部分の未硬化状態のクロマリン層を硬化させる。
(d)前記転写シートの着色剤層をクロマリン層の上に積層する。
(e)上記転写シートを剥離し、硬化部分の着色層をレンズシ−トから剥離することにより、クロマリンの未硬化部分を黒色に着色し、ストライプパタ−ンが形成される。
厚さ0.2mmの透明基材上に紫外線硬化型樹脂の硬化物からなるマイクロレンズアレイレンズ群を形成したものである。
2…フライアイレンズ
3…凹面鏡
4…照射光
5…吸着板
6…レンズシート
7…吸着口
8…ニップロール
9…レンチキュラーシート
10…紫外線硬化型樹脂層
11…UV光
12…硬化した紫外線硬化樹脂層
13…未硬化の紫外線硬化樹脂層
14…転写シート
15…着色剤層
16…基材
17…保護フィルム
18…遮光パターン(BS)
α…デクリネーション角
θ…コリメーション半角
Claims (5)
- 片面に単位レンズが並設されたレンズシートの反対面に、各単位レンズの集光特性を利用して、各単位レンズの非集光部に相当する位置に遮光パターンを形成するために用いられる露光装置であり、
光源と被露光体であるレンズシートとの間に、フライアイレンズと凹面鏡が設置されており、
光源から出射した光が、フライアイレンズを透過して凹面鏡によって反射され、略平行光束とされて、レンズシートを照射する光学系を有することを特徴とする露光装置。 - 被露光体であるレンズシートは、連続的もしくは間欠的に移動して照射されるように、搬送部に搭載される構成であることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記搬送部は、レンズシートを吸着した状態で搭載移動が可能な構成であることを特徴とする請求項2記載の露光装置。
- 前記搬送部は、レンズシートを吸着する搭載部の表面が低摩擦化された構成であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の露光装置。
- 前記略平行光束は、照射面(レンズシートの主面)の法線に対して、±3°以内のデクリネーション角と、±5°以内の範囲で可変なコリメーション半角を有することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の露光装置。
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JP2006293197A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Sanee Giken Kk | 半導体レーザを用いた露光用光源 |
WO2012067246A1 (ja) * | 2010-11-19 | 2012-05-24 | Nskテクノロジー株式会社 | 近接露光装置及び近接露光方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07106231A (ja) * | 1993-10-07 | 1995-04-21 | Nikon Corp | プロキシミティ露光装置 |
JPH09120102A (ja) * | 1995-08-18 | 1997-05-06 | Toppan Printing Co Ltd | レンチキュラーシートへの遮光パターンの形成方法 |
JPH10115933A (ja) * | 1996-10-09 | 1998-05-06 | Nippon Seiko Kk | 光照射装置 |
JP2000147663A (ja) * | 1998-11-09 | 2000-05-26 | Toppan Printing Co Ltd | 連続搬送型露光装置 |
JP2000305178A (ja) * | 1999-04-23 | 2000-11-02 | Toppan Printing Co Ltd | レンチキュラーシート露光装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07106231A (ja) * | 1993-10-07 | 1995-04-21 | Nikon Corp | プロキシミティ露光装置 |
JPH09120102A (ja) * | 1995-08-18 | 1997-05-06 | Toppan Printing Co Ltd | レンチキュラーシートへの遮光パターンの形成方法 |
JPH10115933A (ja) * | 1996-10-09 | 1998-05-06 | Nippon Seiko Kk | 光照射装置 |
JP2000147663A (ja) * | 1998-11-09 | 2000-05-26 | Toppan Printing Co Ltd | 連続搬送型露光装置 |
JP2000305178A (ja) * | 1999-04-23 | 2000-11-02 | Toppan Printing Co Ltd | レンチキュラーシート露光装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006293197A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Sanee Giken Kk | 半導体レーザを用いた露光用光源 |
WO2012067246A1 (ja) * | 2010-11-19 | 2012-05-24 | Nskテクノロジー株式会社 | 近接露光装置及び近接露光方法 |
CN103299243A (zh) * | 2010-11-19 | 2013-09-11 | 恩斯克科技有限公司 | 接近式曝光装置以及接近式曝光方法 |
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