JP2005035802A - 原料供給方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】CZ法による単結晶の育成において、ルツボ22内の原料融液31に垂直投入管から粒塊状の多結晶原料30を追加供給する。垂直投入管の途中に、所定量の多結晶原料30が堆積し所定量を超える多結晶原料30が下方へ落下するように構成された原料堆積部14を設ける。垂直投入管内を落下する多結晶原料30が原料堆積部14内の堆積原料に衝突することにより、落下衝撃が吸収される。同時に、堆積原料が保護部材として機能することにより、衝撃吸収に伴う管破損が防止される。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、CZ法による単結晶の育成に用いられる原料供給方法及び装置に関し、更に詳しくは、粒塊状の多結晶原料をルツボ内に投入するのに用いられる原料供給方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスの素材であるシリコン単結晶は、もっぱらCZ法により工業的に使用されている。CZ法によるシリコン単結晶の育成においては、ルツボ内に初期チャージされた固形の多結晶シリコンが、ヒーターを用いた加熱によって溶融される。こうしてルツボ内に原料融液が形成されると、種結晶をルツボ内の原料融液に漬け、この状態から種結晶及びルツボを回転させながら種結晶を上昇させることにより、種結晶の下方に円柱形状のシリコン単結晶を育成する。ルツボ内に初期チャージされる固形原料としては、多結晶シリコンのカットロッド、塊、顆粒等が単独又は複合で使用される。
【0003】
このようなCZ法によるシリコン単結晶の育成においては、ルツボコストの低減等を目的としてマルチ引上げが考えられている。これは、単結晶引上げ後にルツボ内に残存する原料融液に固形原料を追加投入することにより、ルツボ内に初期チャージのときと同じだけの原料融液を再形成して、単結晶の引上げを繰り返し、ルツボ1個当たりの引上げ回数を多くする技術である。ここにおける固形原料の追加投入はリチャージと呼ばれている。そして、カットロッドをリチャージする技術は特許文献1及び2に記載され、顆粒原料をリチャージする技術は特許文献3〜5に記載されている。
【0004】
【特許文献1】
特公平6−31193号公報
【0005】
【特許文献2】
特開平8−310892号公報
【0006】
【特許文献3】
特開昭62−260791号公報
【0007】
【特許文献4】
特開平8−143392号公報
【0008】
【特許文献5】
特開平9−227288号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
カットロッドは顆粒原料と比べて重量単価が高価である上に、ルツボ上にカットロッドを吊り下げるためにロッド端部に機械加工を行う必要などもあり、トータルコストは相当高価になる。このため、経済性の点からは顆粒原料の使用が推奨される。しかしながら、顆粒原料は表面積が大きい。この広い顆粒表面に形成された酸化膜が原料投入時に原料融液中で破裂し、跳ねが部材に付着するだけでなく、その付着物が融液表面に再落下して有転位化を発生させる問題もある。
【0010】
これらのことを総合的に判断すると、顆粒原料より大きい塊状原料が、カットロッドに代わる安価なリチャージ原料として期待できる。塊状原料は顆粒原料と同様に安価である上に、顆粒原料より表面積か小さいためにスプラッシュの問題も生じない。しかしながら、塊状原料にも問題がないわけではない。塊状原料の場合は、原料供給装置に関して以下の問題がある。
【0011】
顆粒原料をルツボ内の残留融液に追加投入する場合、顆粒原料を投入管によりルツボ内にガイドする必要がある。投入管としては、ルツボの斜め上方からルツボ内に臨む斜角投入管と、ルツボの真上からルツボ内に臨む垂直投入管とがある。最近の引上げ装置では、ルツボの上方に熱遮蔽体などの多くの付帯設備が配置されるため、傾角投入管の配置はこれらの付帯設備との干渉が問題になる。このため、顆粒原料の追加投入は、後者の垂直投入管により、ルツボ内の中心部に行うことが望ましいといえる。
【0012】
しかし、この垂直投入管を用いて塊状原料の追加投入を行おうとすると、原料の液跳ねが問題になる。なぜなら、塊状原料は顆粒原料より重く、且つ垂直投入管の場合は斜角投入管の場合より落下速度が大きくなるため、投入時の運動エネルギーが大きくなるからである。
【0013】
液跳ねが問題にならない程度に塊状原料の投入運動エネルギーを抑制する方法として、垂直投入管を途中で折り曲げることが考えられる。垂直投入管を途中で折り曲げると、その折曲部に落下原料が衝突し、運動エネルギーが放出されることにより、投入時のエネルギーが抑制される。しかしながら、垂直投入管は汚染などの観点から石英管により構成される。石英管は機械的強度が低く、落下原料が衝突する折曲部で石英管の磨耗や破損を生じる。
【0014】
本発明の目的は、垂直投入管を用いて塊状原料を投入する場合に問題となる液跳ねを防止でき、しかも垂直投入管の局部的な磨耗や破損を生じない原料供給方法及び装置を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の原料供給方法は、CZ法による単結晶の育成において、ルツボ内の原料融液に垂直投入管から粒塊状の多結晶原料を追加供給する際に、前記垂直投入管の途中に前記多結晶原料を所定量堆積し、管内を落下する多結晶原料をその堆積原料に衝突させてからルツボ内に投入するものである。
【0016】
また、本発明の原料供給装置は、CZ法による単結晶の育成の際に、ルツボ内の原料融液に垂直投入管から粒塊状の多結晶原料を追加供給する単結晶原料供給装置において、前記垂直投入管の途中に、所定量の多結晶原料が堆積し、所定量を超える多結晶原料が下方へ落下するように構成された原料堆積部を有するものである。
【0017】
本発明によると、垂直投入管を使用することにより、ルツボ上方の付帯設備との干渉が回避される。垂直投入管内を落下する原料が管途中の堆積原料に衝突することにより、落下原料の運動エネルギーが吸収され、塊状原料を使用する場合にあってもルツボ内の原料融液に原料投入されるときの液跳ねが緩和される。しかも、管途中の堆積原料がクッション(衝撃緩和材)となることにより、垂直投入管が機械的に保護され、その管の磨耗や破損が防止される。
【0018】
多結晶原料としては粒径が30mm以下の塊状原料が好ましい。塊状原料は顆粒原料と比べて表面積が小さいので、表面の酸化物に起因するスプラッシュ等の問題が解決される。しかも、その粒径を30mm以下に制限することにより、設備の大型化が回避される。即ち、粒径が30mmを超えると、閉塞を起こさずに投入を行うには投入管等における開口径が大きくなって設備が大型化しハンドリングも難しくなる。なお、塊状原料の下限粒径は5mmである。
【0019】
本発明の原料供給装置は、CZ引上げ装置のトップチャンバーにプルチャンバーに代わって接続される構成が好ましい。この構成による効果は、トップチャンバーの開口部を原料投入口として利用でき、その原料投入口を炉体に新たに設ける必要がない点、及び一つの原料供給装置で全てのCZ引上げ装置をまかなうことができる点などである。
【0020】
また、垂直投入管は、原料堆積部の下流側に、原料堆積部からの排出原料を導く管状のガイド部を有する構成か好ましい。この構成により、投入原料の飛散範囲をより小さく抑制することができる。ガイド部は垂直管でも斜角管でもよい。いずれの場合も原料堆積部の下方まで突出させる長尺管が好ましい。なぜなら、投入原料の飛散範囲をより小さく抑制することができるからである。斜角管の場合は、使用原料の安息角より大きい傾斜角度が必要なことは言うまでもない。垂直投入管は又、長手方向複数箇所に原料堆積部をもつことができる。これにより、原料の落下エネルギーをより効果的に吸収することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明の一実施形態を示す原料供給装置の構成図、図2は同原料供給装置の主要部の縦断面図である。
【0022】
本実施形態の原料供給装置は、図1に示すように、CZ引上げ装置20上とその側方の退避位置との間を往復移動する可搬式であり、リチャージの際にプルチャンバーに代えてメインチャンバー21上のトップチャンバー24に接続されることにより、メインチャンバー21内のルツボ22に多結晶原料、特に粒径が30mm以下の塊状原料を自動投入する。
【0023】
この可搬式の原料供給装置は、可動フレーム1に搭載された第1チャンバー2及び第2チャンバー4を有している。第2チャンバー4は、第1チャンバー2の側方に連結管3を介して連結されている。
【0024】
第1チャンバー2内には、第1ホッパー5、第2ホッパー6及び第3ホッパー7が上から下へ順番に配置されており、第2ホッパー6と第3ホッパー7の間には定量切り出しフィーダー8が配置されている。第1ホッパー5は原料ホッパーである。その底面は45度以上の傾斜角のテーパー面になっており、その中心部に設けられた排出口は、多結晶シリコンからなる円錐形状のカットゲートにより開閉される。他のホッパーの底面も、第1ホッパー5と同様に45度以上の傾斜角のテーパー面とされている。また、カットゲートの傾斜角度も45度以上に設定されている。
【0025】
連結管3は、第1チャンバー2から第2チャンバー4へ向けて下降した傾斜管であり、その内部には斜角投入管9が収容されている。斜角投入管9は、第3ホッパー7の下流側に配置されて後述する垂直投入管10に原料を導く。斜角投入管9の傾斜角度も45度以上である。
【0026】
第2チャンバー4は、斜角投入管9の下流側に接続される垂直投入管10を収容する円筒状の密閉容器である。このチャンバー4は、CZ引上げ装置20のゲートバルブ23を備えたトップチャンバー24に連結される。チャンバー4の上には、垂直投入管10の昇降及び回転を行う駆動機構11が設けられている。駆動機構11は、垂直投入管10を第2チャンバー4内からCZ引上げ装置20のメインチャンバー21内に挿入して垂直投入管10の下端部をルツボ22内に挿入する。
【0027】
垂直投入管10は、斜角投入管9と共に石英管からなる。この投入管10は、図2に示すように、下端部が閉塞された垂直な本体部12と、本体部12の下端部に平行に接続されたガイド部13とからなる。本体部12の下端部は、塊状原料30を堆積させる原料堆積部14になっている。ガイド部13は、下端が開放し上端が閉塞された垂直管であり、管本体12の側面に排出口15を介して接続さている。ガイド部13の下端は、ここでは原料堆積部14の下端より下方に突出している。
【0028】
原料堆積部14は、下端面が下方へドーム状に膨らんでおり、本体部12を落下する塊状原料30を所定量堆積させ、これを超えて落下する塊状原料30を排出口15からガイド部13へ順次流出させて排出する構成になっている。原料堆積部14の下端面をドーム状に形成したのは、熱間での能力集中による破損防止のためである。角状では角部で破損する危険性があるからである。原料堆積部14における堆積原料の表面は、排出口15に向かって下降する傾斜面となり、その傾斜角度は所謂安息角となる。原料堆積部14からガイド部13へのスムーズな原料流出のために、前記傾斜面から排出口15の上端までの距離L1及び排出口15の直径D1は垂直投入管10の内径D0以上に設定されている。
【0029】
ルツボ22は、内側の石英ルツボ25と外側の黒鉛ルツボ26とを組み合わせた二重構造である。ルツボ22の上方には、逆台錐形状の熱遮蔽体27が同心状に設けられている。本実施形態の原料供給装置は、熱遮蔽体27の内側を通してルツボ22内の中心部に垂直投入管10を挿入することにより、ルツボ22内に残留する原料融液31に塊状原料30を供給する。
【0030】
次に、本実施形態の原料供給装置を用いた本発明の原料供給方法について説明する。
【0031】
CZ引上げ装置20のトップチャンバー24上に図示されないプルチャンバーを連結して、通常の手順で単結晶の引上げを行う。単結晶の引上げが終わると、その単結晶をプルチャンバー内に引き込み、トップチャンバー24内のゲートバルブ2を閉じた後、トップチャンバー24からプルチャンバーを分離する。
【0032】
引上げ操業中、本実施形態の原料供給装置は、プルチャンバーと干渉しない退避位置に固定されている。引上げが終わり、プルチャンバーが分離されると、本実施形態の原料供給装置が退避位置からCZ引上げ装置20上の供給位置へ移動する。これにより、原料供給装置の第2チャンバー4がトップチャンバー24上に移動し、トップチャンバー24と接続される。
【0033】
第2チャンバー4とトップチャンバー24の接続が終わると、原料供給装置のチャンバー内をCZ引上げ装置20内と同じ圧力に減圧し同じアルゴン雰囲気に置換する。そして、トップチャンバー24内のゲートバルブ23を開く。これにより、原料供給装置とCZ引上げ装置20の接続が完了する。
【0034】
CZ引上げ装置20と原料供給装置の接続が完了すると、第2チャンバー4内の垂直投入管10を下降させる。これにより、垂直投入管10がCZ引上げ装置20のメインチャンバー21内に設置されたルツボ22内の中心部に挿入される。また、その垂直投入管10が斜角投入管9の下流側に接続される。
【0035】
こうして垂直投入管10のセッティングが終わると、第1チャンバー2内の第1ホッパー5に収容された塊状原料30をカットゲートにより所定量(例えば5kg)切り出す。第1チャンバー2から切り出された塊状原料30は、第2ホッパー6及び定量切り出しフィーダー8を経て所定速度(例えば500g/min)で第3ホッパー7に供給される。第3ホッパー7に供給された塊状原料30は、斜角投入管9及び垂直投入管10を経てルツボ22内に投入される。これを繰り返すことにより、原料供給装置内の第1ホッパー2からルツボ22内の残融液31に所定量(例えば100kg)の塊状原料30が追加される。
【0036】
塊状原料30の追加供給が終わると、ゲートバルブ23を閉じ、CZ引上げ装置20から原料供給装置を分離し、代わりにプルチャンバーを接続して2回目の引上げを行う。
【0037】
直径200mm、長さ1600mmのシリコン単結晶を引上げるに際し、前記原料供給方法によりリチャージを行い、2回のマルチ引上げを実施した。使用した石英ルツボの直径は24インチ、初期シャージ量は140kg、リチャージ量は110kg、炉内圧力は30〜60torr、アルゴンガス流量は160リットル/minとした。原料供給装置による汚染及びDFへの影響を調査するために、引上げでのDF率及び残融液の不純物量を調査した。結果を表1に示す。
【0038】
【表1】
【0039】
表1中の比較例は、初期原料のみ(リチャージなし)で単結晶を引上げた場合である。実施例1〜5は、初期チャージ140kgから110kgの単結晶を引上げた後、110kgをリチャージして再度引上げを行った場合である。リチャージを行った場合と行わなかった場合とで引上げでのDF率及び残融液の不純物量に大きな差はなく、原料供給装置に起因する金属汚染がないことが確認された。
【0040】
そして、前記原料供給方法を用いることの利点は以下のとおり多大である。垂直投入管10を使用することにより、熱遮蔽体などとの干渉がない中心投入が可能になる。顆粒原料に比べて表面積が小さい塊状原料を使用することにより、原料表面の酸化膜に起因するスプラッシュが防止される。落下衝撃が大きい塊状原料の投入に垂直投入管を使用するにもかかわらず、原料堆積部を設けたことにより液跳ねが緩和され、緩衝に伴う管破損や磨耗も抑制される。原料投入管を斜角管と垂直管に分離分割したことにより、設備の分割・軽量化、パーツのメンテナンス(清掃・交換等)が容易となる。
【0041】
なお、上記実施形態では原料堆積部14を垂直投入管10の下端部に設けたが中間部であってもよい。但し、液跳ね防止の点からは、原料堆積部14は垂直投入管10のできるだけ下に設けるのが好ましい。原料堆積部14は又、前述したとおり垂直投入管10の複数箇所に設けることも可能である。複数箇所に設ける場合は最も下の原料堆積部14を垂直投入管10のできるだけ下に位置させるのがよい。また、複数の原料堆積部14の下に続く各ガイド部13は、同方向に配置すると垂直投入管10の中心線がガイド部毎に側方へ変位する。このため、各ガイド部13は垂直投入管10の中心線が全長で直線を維持するように交互に異なる方向に配置するのがよい。
【0042】
次に、本発明の原料供給方法及び装置に関連する各種ファクターについて調査した結果を説明する。
【0043】
第1に、垂直投入管の下端部に形成される原料堆積部の耐久性を調査した。調査の概要を図3に示す。また調査結果を表2に示す。堆積原料がない場合、原料投入量の増大に伴って磨耗(削れ)が増大し、7.5kg投入時点及び12.5kg投入時点で破損落下した。一方、原料を堆積させた場合は、その堆積原料により原料堆積部が保護され、100kg投入後も磨耗も破損も確認されなかった。この結果から、投入管の緩衝部の保護に原料堆積が有効なことが分かる。
【0044】
【表2】
【0045】
第2に、粒径が30mm以下の塊状原料を使用した場合に閉塞を起こさない投入管内径を調査した。また、同塊状原料の安息角を調査した。調査の概要を図4に示す。調査結果を表3に示す。調査では、各種内径の投入管を台板上に立て、管内に塊状原料を装填した状態で管を持ち上げた。管内径が80mm以下のときは閉塞の危険があった。閉塞を起こさない内径85mm以上における安息角は41.1度、42.3度であった。これより次のことが分かった。本原料を使用する場合、管内径及び開口径は85mm以上が必要である。原料が滑落する部位での角度は45度以上必要である。
【0046】
【表3】
【0047】
第3に、第2の調査結果を踏まえ、ホッパーの排出口径を85mmに設定した。そして、そのホッパーのテーパー角度が原料の排出に影響を調査した。調査の概要を図5に示し、調査結果を表4に示す。40度以下の角度では閉塞の危険がある。したがって、ホッパー内の原料を閉塞(ブリッジ)を起こさずに全量排出するには45度以上のテーパー角度が必要である。この結果は安息角の調査結果とも合致するものである。前記実施形態で斜角投入管の傾斜角度、ホッパーのテーパー角度、カットゲートの傾斜角度等を45度以上にしたのは、このためである。
【0048】
【表4】
【0049】
第4に、垂直投入管の原料堆積部に付設されるガイド部の形状の影響について調査した。具体的には原料の飛散範囲、部材への液付着の有無を調査した。調査に供した垂直投入管の原料堆積部近傍の構造を図6(a)〜(e)に示す。調査結果を表5に示す。飛散範囲はガイド部があるものについてはガイド部の中心を飛散範囲の中心としてその中心からの最大飛散距離(水平方向距離)にて表し、ガイド部がないものについては原料堆積部の出口位置を飛散範囲の中心としてその中心からの最大飛散距離にて表した。
【0050】
【表5】
【0051】
ガイド部が存在しないa形状の場合、飛散範囲は300mmと大きい。ガイド部があっても短いb形状の場合は、やはり飛散範囲は300mmと大きい。ガイド部を長くしたc〜e形状の場合は、飛散が特に効果的に抑制される。これから分かるように、ガイド部は存在した方が望ましく、長い方が望ましい。また、このガイド部は傾斜していても有効である。ちなみに、原料堆積部がない垂直投入管で原料を直接落下させた場合は、a形状の場合よりも部材への液付着は顕著となり、具体的には熱遮蔽体の下部及び外周部への液付着が確認された。
【0052】
【発明の効果】
以上に説明したとおり、本発明の原料供給方法及び装置は、垂直投入管を使用することにより、ルツボ上方の付帯設備との干渉を回避できる。垂直投入管内を落下する原料を管途中の堆積原料に衝突させることにより、落下原料の運動エネルギーが吸収され、塊状原料を使用する場合にあってもルツボ内の原料融液に原料投入されるときの液跳ねを緩和できる。しかも、管途中の堆積原料がクッション(衝撃緩和材)となることにより、垂直投入管が機械的に保護され、投入管の緩衝に伴う磨耗や破損を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示す原料供給装置の構成図である。
【図2】同原料供給装置の主要部の縦断面図である。
【図3】原料堆積部の強度試験の概要図である。
【図4】塊状原料の通過径及び安息角を確認する試験の概要図である。
【図5】ホッパーのテーパー角度が原料の排出に及ぼす影響を調査する試験の概要図である。
【図6】(a)〜(e)は原料堆積部近傍の構造例を示す模式図である。
【符号の説明】
1 可動フレーム
2 第1チャンバー
3 連結管
4 第2チャンバー
5,6,7 ホッパー
8 フィーダー
9 斜角投入管
10 垂直投入管
12 本体部
13 ガイド部
14 原料堆積部
15 排出口
20 CZ引上げ装置
21 メインチャンバー
22 ルツボ
24 トップチャンバー
30 塊状原料
31 原料融液
Claims (6)
- CZ法による単結晶の育成において、ルツボ内の原料融液に垂直投入管から粒塊状の多結晶原料を追加供給する際に、前記垂直投入管の途中に前記多結晶原料を所定量堆積し、管内を落下する多結晶原料をその堆積原料に衝突させてからルツボ内に投入することを特徴とする原料供給方法。
- 前記多結晶原料は粒径が30mm以下の塊状原料である請求項1に記載の原料供給方法。
- CZ法による単結晶の育成の際に、ルツボ内の原料融液に垂直投入管から粒塊状の多結晶原料を追加供給する単結晶原料供給装置において、前記垂直投入管の途中に、所定量の多結晶原料が堆積し、所定量を超える多結晶原料が下方へ落下するように構成された原料堆積部を有することを特徴とする原料供給装置。
- CZ引上げ装置のトップチャンバーにプルチャンバーに代わって接続されるように構成されている請求項3に記載の原料供給装置。
- 前記垂直投入管は、原料堆積部の下流側に、原料堆積部からの排出原料を導く管状のガイド部を有する請求項3に記載の原料供給装置。
- 前記垂直投入管は、長手方向の複数箇所に前記原料堆積部を有する請求項3に記載の原料供給装置。
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