JPH0325568U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0325568U JPH0325568U JP8449889U JP8449889U JPH0325568U JP H0325568 U JPH0325568 U JP H0325568U JP 8449889 U JP8449889 U JP 8449889U JP 8449889 U JP8449889 U JP 8449889U JP H0325568 U JPH0325568 U JP H0325568U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating disk
- silicon
- granular silicon
- discharge port
- storage hopper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- 238000007790 scraping Methods 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 239000011856 silicon-based particle Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す縦断面図、第２
図、第３図はそれぞれ従来のロータリーバルブの
一例を示す縦断面図である。 １１……仕切弁、１２……箱体、１５……ホツ
パー、１６……粒状シリコン、１７……回転円板
、１８……回転円板の駆動装置、１９……掻取板
、２０……遮断装置、２１……第１の案内管、２
２……第２の案内管。
図、第３図はそれぞれ従来のロータリーバルブの
一例を示す縦断面図である。 １１……仕切弁、１２……箱体、１５……ホツ
パー、１６……粒状シリコン、１７……回転円板
、１８……回転円板の駆動装置、１９……掻取板
、２０……遮断装置、２１……第１の案内管、２
２……第２の案内管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 粒状シリコンをるつぼ中に供給しながらシ
リコン単結晶を育成するシリコン単結晶の引上げ
装置において、 減圧不活性ガス雰囲気に置換可能な箱体内に、
下部に排出口を有する粒状シリコンの貯蔵ホツパ
ーと、該貯蔵ホツパーの排出口の下に水平に設け
られた回転円板と、前記貯蔵ホツパーの排出口よ
り前記回転円板上に排出された粒状シリコンを掻
落す掻取板とを設けてなり、該掻取板と前記回転
円板及び貯蔵ホツパーの排出口との間隙を前記粒
状シリコンの最大粒径以上に設定したことを特徴
とする粒状シリコンの供給装置。 (2) 回転円板の形状を載頭円錐状に形成すると
共に、昇降自在に配設され前記回転円板外周の円
錐状側面との間でシリコン粒子の供給を遮断する
遮断装置を設けたことを特徴とする請求項(1)記
載の粒状シリコンの供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8449889U JPH0325568U (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8449889U JPH0325568U (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0325568U true JPH0325568U (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=31633024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8449889U Pending JPH0325568U (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325568U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005035802A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 原料供給方法及び装置 |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP8449889U patent/JPH0325568U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005035802A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 原料供給方法及び装置 |
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