JP2005034967A - 表面被覆セラミックス製切削工具 - Google Patents
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Abstract
【課題】近年、高速、高能率加工の要求は益々高くなってきている。そこで、高速、高能率加工において優れた性能を示す表面被覆セラミックス製切削工具の提供を目的とする。
【解決手段】窒化珪素基セラミックス基体の表面に、X線回折測定における(104)面に最高X線回折強度を示すα型Al2O3を主成分とする平均膜厚1〜10μmの第1硬質膜を被覆した表面被覆セラミックス製切削工具は、従来の表面被覆セラミックス製切削工具よりも工具寿命を長くすることが可能となる。特に、鋳鉄切削において優れた性能を発揮する。
【解決手段】窒化珪素基セラミックス基体の表面に、X線回折測定における(104)面に最高X線回折強度を示すα型Al2O3を主成分とする平均膜厚1〜10μmの第1硬質膜を被覆した表面被覆セラミックス製切削工具は、従来の表面被覆セラミックス製切削工具よりも工具寿命を長くすることが可能となる。特に、鋳鉄切削において優れた性能を発揮する。
Description
本発明は、耐摩耗性、耐欠損性に優れた表面被覆セラミックス製切削工具に関し、その中でも鋳鉄切削加工に好適な表面被覆セラミックス製切削工具に関する。
従来の技術として窒化珪素基セラミックス基体の表面に、Al2O3からなる中間層を設け、中間層上にTiC、TiNまたはTiCNからなる外層を設けたこと特徴とする高速切削用セラミックス工具がある(例えば、特許文献1参照。)。
近年、高速、高能率加工の要求は益々高くなってきており、従来の表面被覆セラミックス製切削工具は、これらの要求に応えられなくなってきた。そこで、本発明は、高速、高能率加工において優れた性能を示す表面被覆セラミックス製切削工具の提供を目的とする。
本発明者らは、表面被覆セラミックス製切削工具の性能向上を目的に研究を行った結果、窒化珪素基セラミックス基体に(104)面を最高X線回折強度に示すα型Al2O3を主成分とする第1硬質膜を被覆すると、基体表面に対する第1硬質膜の密着性と耐摩耗性が向上し、切削性能が向上することを見出した。
すなわち、本発明の表面被覆セラミックス製切削工具は、窒化珪素基セラミックス基体の表面に、X線回折測定における(104)面に最高X線回折強度を示すα型Al2O3を主成分とする平均膜厚1〜10μmの第1硬質膜を被覆したことを特徴とする。
本発明の表面被覆セラミックス製切削工具の基体に接する第1硬質膜は、X線回折測定における(104)面に最高X線回折強度を示すα型Al2O3を主成分とする硬質膜であり、密着性と耐摩耗性にすぐれる。ここで、α型Al2O3を主成分とする硬質膜とは、α型Al2O3膜、または、α型Al2O3の最高X線回折強度に対するκ型Al2O3の最高X線回折強度の割合を示す強度比(κ/α)が0.5以下であるα型Al2O3とκ型Al2O3の混合膜を示す。切削加工により硬質膜が高温になると、κ型Al2O3は体積収縮を伴う相変態を起こし硬質膜の密着性と耐摩耗性を低下させるため、第1硬質膜は、κ型Al2O3を含まず、(104)面に最高X線回折強度を示すα型Al2O3のみからなると好ましい。
また、第1硬質膜の平均膜厚が1μm未満であると耐摩耗性が低下し、10μmを超えると残留応力の影響で欠損およびチッピングが生じやすく切削寿命が低下することから、第1硬質膜の平均膜厚を1〜10μmと定めた。その中でも2〜8μmが好ましく、4〜6μmがさらに好ましい。
第1硬質膜の表面に、切削工具表面の平滑性向上、耐溶着性向上、低速切削領域における耐摩耗性向上および/または使用コーナー識別のため、周期律表4a、5a、6a族元素、Al、Siの炭化物、窒化物、酸化物およびこれらの固溶体の中から選ばれた少なくとも1種からなる第2硬質膜を被覆することは好ましい。その中でも、第2硬質膜としてTiC、TiNまたはTiCNを被覆すると低速切削領域の耐摩耗性が向上するため、特に好ましい。第2硬質膜の平均膜厚が0.01μm以上であると被覆の効果が得られ、10μmを超えると耐欠損性が低下する傾向が見られるため、0.01〜10μmが好ましく、その中でも0.1〜3μmがさらに好ましい。
本発明の表面被覆セラミックス製切削工具の基体は、Si、Al、Mg、Ca、Li、希土類元素、周期律表4a、5a、6a族元素の炭化物、窒化物、酸化物、硼化物およびこれらの相互固溶体から選ばれた少なくとも1種からなる結合相:1〜20重量%と、窒化珪素:残部とで構成された窒化珪素基セラミックスである。窒化珪素として具体的にはSi3N4を挙げることができる。また、結合相として具体的には、Al2O3、AlON、AlN、SiAl3O2N3、SiAl4O2N4、MgO、CaO、Y2O3、Yb2O3、Dy2O3、La2O3、SiO2、ZrO2、HfO2、TiC、TiN、Ti(C,N)、TiB2、WC、Zr(N,O)、ZrN、HfN、TaC、TaN、Ta(C,N)、NbC、NbN、Nb(C,N)、およびこれらの相互固溶体を挙げることができる。ここで、希土類元素は、Sc、Y、ランタニド(原子番号57〜71)のことを示す。
上記の基体の中でも、AlをAl2O3換算で0.5〜2重量%、YをY2O3換算で0.5〜2重量%、HfをHfO2換算で1〜3重量%、MgをMgO2換算で0.3〜1重量%、残部がSi3N4、からなる窒化珪素基セラミックス基体であると(104)面に配向したα型Al2O3膜が得られやすく、第1硬質膜との密着性に優れるため好ましい。
本発明の第1硬質膜および第2硬質膜の被覆方法としては、CVD法が好ましい。第1硬質膜の被覆条件において、おもに原料ガス条件および被覆温度を調整することにより、本発明の表面被覆セラミックス製切削工具を得ることができる。例えば、窒化珪素基セラミックス基体を熱CVD炉に装入し、被覆温度1000〜1050℃まで加熱した後、第1硬質膜の被覆初期10分間を、N2:1〜3体積%、CO:9〜11体積%、CO2:5〜7体積%、AlCl3:2〜4体積%、H2S:0.1体積%、H2:残部とし、CO2とAlCl3の分圧をCO2:AlCl3=2:1に調節したガス条件で被覆する。次いでN2の導入を停止し、CO:9〜11体積%、CO2:2〜4体積%、AlCl3:9〜11体積%、H2S:0.1体積%、H2:残部とし、CO2分圧とAlCl3分圧をCO2:AlCl3=1:3に調節した条件で被覆すると、(104)面に最高X線回折強度を示すα型Al2O3を主成分とする第1硬質膜を被覆することができる。なお、α型Al2O3膜被覆初期にCO2分圧が適正範囲よりも過剰な場合、もしくは、被覆温度が1100℃を超える場合、(012)面に最高X線回折強度を示すα型Al2O3を主成分とする硬質膜が被覆される。また、Al2O3膜被覆初期にCO2分圧が適正範囲よりも低い場合、κ型Al2O3を主成分とする硬質膜が被覆される。
第1硬質膜を被覆した後、周期律表4a、5a、6a族元素、Al、Siの炭化物、窒化物、酸化物およびこれらの固溶体の中から選ばれた少なくとも1種からなる第2硬質膜を被覆すると、層間の密着性が高く好ましい。第2硬質膜の製造方法としては、TiCl4などの硬質膜の金属成分を含む塩化物ガスと、N2、CH4などの硬質膜の非金属成分を含む反応性ガスと、HClなどの反応を抑える反応抑制ガスと、H2、Arなどのキャリアーガスとからなる原料ガスを熱CVD炉に導入して被覆するCVD法を挙げることができる。
本発明の表面被覆セラミックス製切削工具の用途としては、鉄系金属材料、非鉄金属の切削加工用に適する。その形状として具体的には、スローアウェイチップなどの切削チップを挙げることができる。本発明の表面被覆セラミックス製切削工具は、鉄系金属材料の高速切削加工、高能率切削加工において優れた性能を示す。その中でも特に鋳鉄の高速切削加工において優れた性能を発揮する。切削加工においては、鉄系金属材料と反応しにくいAl2O3膜が、鉄系金属材料に反応しやすい窒化珪素基セラミックス基体を保護する作用がある。すなわち、本発明の表面被覆セラミックス製切削工具は、基体に対するAl2O3膜の密着性を高め、鉄系金属材料と窒化珪素基セラミックス基体の反応を防止し、窒化珪素基セラミックス工具の有する高強度、高靱性などの優れた特性を発揮させることにより、工具寿命の向上を図るものである。
本発明の表面被覆セラミックス製切削工具は、窒化珪素基セラミックス基体と接する硬質膜を(104)に最高X線回折強度を示すα型Al2O3を主成分とする平均膜厚1〜10μmの第1硬質膜とすることにより、被膜の密着性と耐摩耗性を向上させることができ、従来の表面被覆セラミックス製切削工具よりも工具寿命を長くすることが可能となる。本発明の表面被覆セラミックス製切削工具は、特に鋳鉄切削において優れた性能を発揮する。
市販のAl2O3粉末、Y2O3粉末、HfO2粉末、MgO2粉末、ZrO2粉末、Ce2O3粉末、Si3N4粉末を用意し、表1に示す割合に配合し、湿式ボールミルにて混合粉砕する。乾燥した混合粉末をISO規格SNGN120412形状用の金型でプレスし成形体を得た。成形体を雰囲気焼結炉に装入し、0.35MPaの加圧窒素雰囲気、1880℃にて、80分保持する焼結を行う。その後、120MPaの加圧窒素雰囲気、1700℃にて、40分保持するHIPを行う。得られた焼結体の表面を研削加工して、ISO規格SNGN120412形状の窒化珪素基セラミックス基体A、B、Cを得た。基体A、B、Cを通常のアルカリ洗剤および有機溶剤を用いて洗浄した後に、熱CVD炉に装入し、表2に示す被覆条件でもって、表3に示す基体と被覆条件の組み合わせに従って試料を作製した。得られた試料を、Cu管球、加速電圧40kV、管電流20mA、走査速度2度/分という条件でX線回折測定を行い、2θ角20〜150度の範囲を測定した。Al2O3膜の結晶型を調べ、α型Al2O3の最高X線回折強度に対するκ型Al2O3の最高X線回折強度の割合を示す強度比(κ/α)と、α型Al2O3の最高X線回折強度を示す結晶面を表3に記載した。また、光学顕微鏡を用いて断面観察し膜厚を測定した。それらの結果を表3に記載した。これらの試料を用いて表4に示す切削条件で切削試験を行い、その結果を表5に記載した。
発明品1〜6は試験A、Bにおける工具寿命において比較品1〜6を上回った。α型Al2O3の最高X線回折強度に対するκ型Al2O3の最高X線回折強度の割合を示す強度比(κ/α)が0.5を超える第1硬質膜の比較品4〜6、および、(012)面に最高X線回折強度を示すα型Al2O3を第1硬質膜とする比較品1は、基体との密着強度が低く、切削初期に硬質膜が剥離し短寿命となった。第1硬質膜の平均膜厚が0.5μmである比較品2は充分な耐摩耗性が得られず短寿命であった。第1硬質膜の平均膜厚が12.0μmである比較品3は切削途中で硬質膜のチッピングが発生するため短寿命であった。発明品1〜6の中では、平均膜厚が5.0μmのものが相対的に寿命が長く、その中でも、第1硬質膜の表面に、TiCN膜とTiC膜とからなる第2硬質膜を2.0μm被覆した発明品5が最も長い工具寿命を示した。
Claims (3)
- 窒化珪素基セラミックス基体の表面に、X線回折測定における(104)面に最高X線回折強度を示すα型Al2O3を主成分とする平均膜厚1〜10μmの第1硬質膜を被覆した表面被覆セラミックス製切削工具。
- 上記第1硬質膜の表面に周期律表4a、5a、6a族元素、Al、Siの炭化物、窒化物、酸化物およびこれらの固溶体の中から選ばれた少なくとも1種からなる第2硬質膜を被覆させた請求項1に記載の表面被覆セラミックス製切削工具。
- 上記窒化珪素基セラミックス基体は、AlをAl2O3換算で0.5〜2重量%、YをY2O3換算で0.5〜2重量%、HfをHfO2換算で1〜3重量%、MgをMgO2換算で0.3〜1重量%、残部がSi3N4、からなる窒化珪素基セラミックス基体である請求項1または2に記載の表面被覆セラミックス製切削工具。
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JP2003276057A JP2005034967A (ja) | 2003-07-17 | 2003-07-17 | 表面被覆セラミックス製切削工具 |
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US8343620B2 (en) * | 2007-02-01 | 2013-01-01 | Seco Tools Ab | Alumina coated grade |
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2003
- 2003-07-17 JP JP2003276057A patent/JP2005034967A/ja active Pending
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