JP2005023092A - 共重合体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】式(1)で表される構成単位を含有し、特定のラクトン骨格を有する構成単位を含有する共重合体。
【化1】
(式(1)中、Rは水素原子またはメチル基を表す。)
重合することにより本発明の共重合体の構成単位となる単量体および重合開始剤を有機溶剤に溶解させた溶液を、重合温度に加熱された有機溶剤中に滴下しながら重合を行う前記共重合体の製造方法。前記共重合体を含有するレジスト組成物。前記レジスト組成物を被加工基板上に塗布する工程と、250nm以下の波長の光で露光する工程と、現像液を用いて現像する工程とを有するパタ−ン形成方法。
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、共重合体、その製造方法、レジスト組成物およびパタ−ン形成方法に関し、特に、エキシマレ−ザ−あるいは電子線を使用する微細加工に好適な化学増幅型レジスト組成物に使用される共重合体に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体素子や液晶素子の製造における微細加工の分野においては、リソグラフィ−技術の進歩により急速に微細化が進んでいる。その微細化の手法としては、一般に、露光光源の短波長化が用いられ、具体的には、従来のg線(波長:438nm)、i線(波長:365nm)に代表される紫外線からDUV(Deep Ultra Violet)へと露光光源が変化してきている。
【0003】
現在では、KrFエキシマレ−ザ−(波長:248nm)リソグラフィ−技術が市場に導入され、さらなる短波長化を図ったArFエキシマレ−ザ−(波長:193nm)リソグラフィ−技術も導入されようとしている。さらに、次世代の技術として、F2エキシマレ−ザ−(波長:157nm)リソグラフィ−技術が研究されている。また、これらとは若干異なるタイプのリソグラフィ−技術として、電子線リソグラフィ−技術についても精力的に研究されている。
【0004】
このような短波長の光源あるいは電子線に対する高解像度のレジストとして、インタ−ナショナル・ビジネス・マシ−ン(IBM)社より「化学増幅型レジスト」が提唱され、現在、この化学増幅型レジストの改良および開発が精力的に進められている。
【0005】
光源の短波長化においては、レジストに使用される樹脂もその構造変化を余儀なくされる。例えば、KrFエキシマレ−ザ−リソグラフィ−においては、波長248nmの光に対して透明性の高いポリヒドロキシスチレンや、その水酸基を酸解離性の溶解抑制基で保護した樹脂が用いられる。しかし、ArFエキシマレ−ザ−リソグラフィ−においては、これらの樹脂は波長193nmの光に対する透明性が必ずしも十分とはいえず、使用できない場合が多い。
そのため、ArFエキシマレ−ザ−リソグラフィ−において使用されるレジスト樹脂として、波長193nmの光に対して透明なアクリル系樹脂が注目されている。このようなアクリル系樹脂としては、例えば、エステル部にアダマンタン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステルとエステル部にラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステルの共重合体が特許文献1〜5に開示されている。
【0006】
しかしながら、これらのアクリル系樹脂は、レジスト溶液を調製する際の溶剤への溶解性が十分でない場合が多く、溶解に長時間を要したり、不溶分が発生することで製造工程数が増加したりするなど、レジスト溶液の調製に支障を来たす場合がある。また、レジスト溶液保存中にレジスト組成物に含まれる樹脂が経時的に凝集してマイクロゲルと呼ばれる不溶分が発生し、レジストパタ−ンに抜けが発生することにより、回路の断線や欠陥等を生じることもある。感度、解像度を犠牲にせずにこれらの欠点を改善することはこれまで困難であった。
【0007】
【特許文献1】
特開平10−207069号公報
【特許文献2】
特開2000−26446号公報
【特許文献3】
特開2001−240625号公報
【特許文献4】
特開2002−275215号公報
【特許文献5】
特開2003−64134号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、溶剤への溶解性が優れた樹脂、レジスト組成物に適したこのような樹脂の製造方法、高感度で高解像度であり、溶液中のマイクロゲルの少ないレジスト組成物、並びにこのレジスト組成物を用いた高感度で高解像度のパタ−ン形成方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の第一の要旨は、式(1)で表される構成単位を含有し、式(2−1)〜(2−6)からなる群より選ばれる少なくとも一種のラクトン骨格を有する構成単位を含有する共重合体にある。
【0010】
【化4】
(式(1)中、Rは水素原子またはメチル基を表す。)
【0011】
【化5】
(式(2−1)〜式(2−6)中、R21、R22、R23、R24、R25、R26、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18、及びR19はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を表し、X1、X2、X3、X4、X5、及びX6はそれぞれ独立にヒドロキシ基、カルボキシ基、アミノ基及びシアノ基、並びに置換基を有していてもよい炭素数1〜6のアシル基及びエステル基からなる群より選ばれる少なくとも一つの基を有していてもよいヒドロキシ基、カルボキシ基、アミノ基、シアノ基、または炭素数1〜6のアルキル基、アシル基、アルコキシ基、もしくはエステル基を表す。置換基は直鎖状、分岐状のいずれでも構わない。n1〜n6はそれぞれ独立して0〜4の整数を表し、mは1または2を表す。なお、nN(N=1〜6)が2以上の場合にはXNは1種でも2種以上でもよい。R41、R42、及びR43はそれぞれ独立に水素原子もしくは直鎖状または分岐状の炭素数1〜8のアルキル基を表す。
A1、A2、A3、及びA4はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基または炭素数1〜6のエステル基を表すか、あるいは、A1とA2及び/またはA3とA4が一緒になって−O−、−S−、−NH−または炭素数1〜6のメチレン鎖[−(CH2)k−(kは1〜6の整数を表す)]を表す。メチレン鎖は分岐を有していてもよい。
Y11、Y12、Y13はそれぞれ独立に−CH2−または−CO−O−を表し、そのうち少なくとも一つは−CO−O−を表す。
Y14、Y15、Y16はそれぞれ独立に−CH2−または−CO−O−を表し、そのうち少なくとも一つは−CO−O−を表す。
Y17、Y18、Y19はそれぞれ独立に−CH2−または−CO−O−を表し、そのうち少なくとも一つは−CO−O−を表す。)
【0012】
また、本発明の第二の要旨は、重合することにより本発明の共重合体の構成単位となる単量体および重合開始剤を有機溶剤に溶解させた溶液を、重合温度に加熱された有機溶剤中に滴下しながら重合を行う第一発明の共重合体の製造方法にある。
また本発明の第三の要旨は、第一発明の共重合体を含有するレジスト組成物にある。
また本発明の第四の要旨は、第三発明のレジスト組成物を被加工基板上に塗布する工程と、250nm以下の波長の光で露光する工程と、現像液を用いて現像する工程とを有するパタ−ン形成方法にある。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の共重合体は、前記式(1)で表される構成単位を含有する。
例えば、本発明の共重合体は、式(4)で表される(メタ)アクリル酸エステルを含む単量体を共重合して得られるものである。式(4)で表される(メタ)アクリル酸エステルは、1種であっても、2種であってもよい。
【0014】
【化6】
(式(4)中、Rは水素原子またはメチル基を表す。)
なお、「(メタ)アクリル酸」は、アクリル酸とメタクリル酸の総称である。
【0015】
本発明の共重合体は、例えば、レジスト組成物用樹脂、特に化学増幅型レジスト組成物用樹脂として好適である。以下、本発明の共重合体が化学増幅型レジスト組成物用樹脂である場合について説明する。
【0016】
化学増幅型レジスト組成物用樹脂には、酸によりアルカリ水溶液に可溶となる性質と、ドライエッチング耐性とが要求される。前記式(1)で示される構成単位は、有機溶剤に対する優れた溶解性、耐熱性、高いドライエッチング耐性、酸の作用でアルカリ水溶液に可溶となる性質を有する。
【0017】
本発明においては、前記式(4)で示される単量体に、これまで化学増幅型のポジ型レジストとして公知のドライエッチング耐性向上基や酸解離性基を有する(メタ)アクリル酸誘導体、ならびに(メタ)アクリル酸、マレイン酸、及びフマル酸等のアルカリ(水)溶液に可溶なエチレン性二重結合を有するカルボン酸、ならびにアクリル樹脂の製造に用いられる公知の単量体等を必要に応じ、適宜組み合わせ、共重合させて用いることができる。
【0018】
前記の(メタ)アクリル酸誘導体としては、例えば(メタ)アクリル酸tert−ブチル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロピラニル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフラニル、(メタ)アクリル酸1−メチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸1−メチルアダマンチル、(メタ)アクリル酸エトキシエチル、(メタ)アクリル酸エトキシプロピル、(メタ)アクリル酸と2−ヒドロキシ−3−ピナノンとのエステル等のカルボキシル基の水酸基を酸解離性置換基で保護した(メタ)アクリル酸エステル、あるいは(メタ)アクリル酸アダマンチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ナフチル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸3−オキソシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ビシクロ[2.2.1]ヘプチル、(メタ)アクリル酸トリシクロデカニル、(メタ)アクリル酸とテルピネオ−ルとのエステル、(メタ)アクリル酸と3−ブロモアセトンとのエステル等のカルボキシル基の水酸基を酸非解離性置換基で保護した(メタ)アクリル酸エステル等が挙げられる。
【0019】
また、アルカリ(水)溶液に可溶なエチレン性二重結合を有するカルボン酸としては、例えば(メタ)アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、ノルボルネン又はその一部をアルキル基、アルキルオキシ基、水酸基、ヒドロキシアルキル基、カルボキシ基、及びアルキルオキシカルボニル基等で置換したノルボルネン誘導体、エチルビニルエ−テル、シクロヘキシルビニルエ−テル、及びヒドロキシエチルビニルエ−テル等のビニルエ−テル誘導体、スチレン、パラヒドロキシスチレン、パラメトキシスチレン、及びパラtert−ブトキシスチレン等のスチレン誘導体、ならびに無水マレイン酸等を挙げることができる。
【0020】
アクリル樹脂の製造に用いられる公知の単量体の例としては、(メタ)アクリル酸、又はこれらのカルボキシ基の水素原子をメチル、エチル、n−プロピル、イソプロピル、n−ブチル、tert−ブチル、n−ヘキシル、オクチル、2−エチルヘキシル、ラウリル、2−ヒドロキシエチル、2−ヒドロキシプロピル、シクロペンチル、シクロヘキシル、2−ヒドロキシエチル、ノルボルニル、トリシクロデカニル、アダマンチル、2−メチル−2−アダマンチル、テトラヒドロピラニル、テトラヒドロフラニル等の基で置換した(メタ)アクリル酸誘導体等を挙げることができる。
【0021】
本発明の共重合体は、前記式(1)で表される酸に不安定な基(酸の作用で脱離しやすい基)を有する構成単位とともに、その他の酸に不安定な基を有する構成単位を1種または2種以上含有してもよい。酸に不安定な基を有する構成単位としては、例えば、式(6−1)〜(6−19)で表される構成単位が挙げられる。
【0022】
【化7】
【0023】
【化8】
(式(6−1)〜(6−19)中、Rは水素原子またはメチル基を表す。)
中でも、レジストに必要とされるドライエッチング耐性が高い点から、前記式(6−3)〜(6−19)で表される構成単位が好ましい。
【0024】
前記式(6−1)〜(6−19)で表される構成単位は、それぞれ、例えば式(7−1)〜(7−19)で表される単量体を共重合すること等によって得られる。
【0025】
【化9】
(式(7−1)〜(7−19)中、R71は水素原子またはメチル基を表す。)
【0026】
本発明の共重合体は前記式(2−1)〜(2−6)からなる群より選ばれる少なくとも一種のラクトン骨格を有する構成単位(以下、ラクトン骨格を有する構成単位ということもある)を含有する。ラクトン骨格を有する構成単位は、1種でも、2種以上でもよい。
【0027】
ラクトン骨格を有する構成単位は基板表面等に対する密着性に優れている。また、これらの構成単位が酸により脱離する保護基を有している場合、より優れた感度を有する。さらには、これらの構成単位中の全原子数に占める炭素原子数の割合(以下、炭素密度ともいう)が高い場合、より優れたドライエッチング耐性を有する。
【0028】
式(2−1)中のn1は、有機溶剤への溶解性が高い点から、0であることが好ましい。
式(2−1)中のmは、感度および解像度の点から、1であることが好ましい。
式(2−2)中のA1、A2としては、ドライエッチング耐性が高い点から、一緒になって−CH2−が好ましく、有機溶剤への溶解性が高い点から、−O−が好ましい。
式(2−2)中のn2は、ドライエッチング耐性が高い点から、0であることが好ましい。
式(2−3)中のA3、A4としては、ドライエッチング耐性が高い点から、−CH2−が好ましく、有機溶剤への溶解性が高い点から、−O−が好ましい。式(2−3)中のn7は、ドライエッチング耐性が高い点から、0であることが好ましい。
式(2−4)中のR11、R12、R13としては、有機溶剤への溶解性が高い点から、水素原子が好ましい。
式(2−4)中のY11、Y12、Y13としては、基板表面等への密着性が高い点から、一つが−CO−O−であり、残りの二つが−CH2−であることが好ましい。
式(2−4)中のn4は、ドライエッチング耐性が高い点から、0であることが好ましい。
式(2−5)中のR41、R42としては、感度および解像度の点から、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。
式(2−5)中のR14、R15、R16としては、有機溶剤への溶解性が高い点から、水素原子が好ましい。
式(2−5)中のY14、Y15、Y16としては、基板表面等への密着性が高い点から、一つが−CO−O−であり、残りの二つが−CH2−であることが好ましい。
式(2−5)中のn5は、ドライエッチング耐性が高い点から、0であることが好ましい。
式(2−6)中のR43としては、感度および解像度の点から、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。
式(2−6)中のR17、R18、R19としては、有機溶剤への溶解性が高い点から、水素原子が好ましい。
式(2−6)中のY17、Y18、Y19としては、基板表面等への密着性が高い点から、一つが−CO−O−であり、残りの二つが−CH2−であることが好ましい。
式(2−6)中のn6は、ドライエッチング耐性が高い点から、0であることが好ましい。
【0029】
ラクトン骨格を有する構成単位を共重合体に導入するためには、例えば、式(2−1m)〜(2−6m)のラクトン骨格を有する単量体を共重合すればよい。ラクトン骨格を有する単量体は、1種、あるいは、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用することができる。
【0030】
【化10】
(Rは水素原子またはメチル基を表し、X1〜X6、n1〜n6、A1〜A4、Y11〜Y19、R11〜R19、及びR41〜R43は式(2−1)〜式(2−6)と同義である。)
【0031】
ラクトン骨格を有する単量体として、具体的には、式(8−1)〜(8−24)で表される単量体が挙げられる。これらの単量体は全ての配座異性体、光学異性体を含む概念であり、純粋な異性体として、またそれらの混合物として使用できる。
【0032】
【化11】
(式(8−1)〜(8−24)中、Rは水素原子またはメチル基を表す。)
【0033】
ラクトン骨格を有する単量体としては、中でも、感度の点から、前記式(8−1)で表される単量体が好ましく、ドライエッチング耐性の点から、前記式(8−6)、(8−10)、(8−14)、(8−18)、(8−21)で表される単量体が好ましく、有機溶剤への溶解性の点から、前記式(8−7)、(8−11)、(8−15)、(8−19)で表される単量体が好ましい。
【0034】
共重合体中の前記式(1)で表される構成単位の比率に関し、下限は、感度および解像度の点で、15モル%以上が好ましく、30モル%以上がより好ましく、40モル%以上が特に好ましい。上限は、基板表面等への密着性および有機溶剤への溶解性の点で、90モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、60モル%以下が特に好ましい。
【0035】
共重合体中のラクトン骨格を有する構成単位の比率に関し、共重合体が前記式(1)で表される構成単位とラクトン骨格を有する構成単位からなる場合は、下限は10モル%以上が好ましく、30モル%以上がより好ましく、35モル%以上が特に好ましい。上限は90モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、60モル%以下が特に好ましい。
【0036】
共重合体中のラクトン骨格を有する構成単位の比率に関し、共重合体が前記式(1)で表される構成単位、ラクトン骨格を有する構成単位、およびその他の構成単位からなる場合は、下限は10モル%以上が好ましく、25モル%以上がより好ましく、30モル%以上が特に好ましい。上限は90モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、60モル%以下が特に好ましい。
【0037】
本発明の共重合体は、レジストパタ−ン矩形性が良好な点から、式(1)で表される構成単位とラクトン骨格を有する構成単位とともに、極性基を有する構成単位を含有することが好ましい。極性基を有する構成単位は、1種としても、2種以上としてもよい。極性基を有する構成単位の比率の下限は、レジストパタ−ン矩形性の点から5モル%以上が好ましく、10モル%以上がより好ましい。また、有機溶剤への溶解性の点から10モル%以上が好ましく、15モル%以上がより好ましい。さらに、マイクロゲル抑制の点から15モル%以上が好ましく、20モル%以上がより好ましい。極性基を有する構成単位の比率の上限は、感度および解像度の点から70モル%以下が好ましく、55モル%以下がより好ましく、45モル%以下が特に好ましい。
【0038】
極性基を含有する共重合体が酸により脱離する保護基を有している場合、より優れた感度を有する。さらには、これらの構成単位が高い炭素密度を含有している場合、より優れたドライエッチング耐性を有する。
極性基を有する構成単位としては限定はないが、感度あるいはドライエッチング耐性の点から、特に前記式(3−1)〜(3−4)で表される構成単位が好ましい。
【0039】
式(3−1)中、X7は有機溶剤への溶解性、パタ−ン形状矩形性の点からヒドロキシ基、シアノ基が好ましく、n7は、パタ−ン形状矩形性の点から、1であることが好ましい。
式(3−2)中、X8は有機溶剤への溶解性、パタ−ン形状矩形性の点からヒドロキシ基、シアノ基が好ましく、R45、R46としては、感度および解像度の点から、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。n8は、パタ−ン形状矩形性の点から、1であることが好ましい。
式(3−3)中、X9は有機溶剤への溶解性、パタ−ン形状矩形性の点からヒドロキシ基、シアノ基が好ましく、R47としては、感度および解像度の点から、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。また、有機溶剤への溶解性の点から水素原子が好ましい。n9は、パタ−ン形状矩形性の点から、1であることが好ましい。qは、有機溶剤への溶解性の点から、0であることが好ましい。また、ドライエッチング耐性が高い点から、1であることが好ましい。
式(3−4)中、X10は有機溶剤への溶解性、パタ−ン形状矩形性の点からヒドロキシ基、シアノ基が好ましく、n10は、パタ−ン形状矩形性の点から、1であることが好ましい。
【0040】
極性基を有する構成単位を共重合体に導入するためには、例えば極性基を有する単量体を共重合すればよい。極性基を有する単量体は、1種、あるいは、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用することができる。
このような単量体としては式(3−1m)〜(3−4m)が挙げられる。
【0041】
【化12】
(Rは水素またはメチル基を表す。その他の記号は式(3−1)〜(3−4)と同義である。)
【0042】
極性基を有する単量体で前記以外の化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル(以下tBMAと表すことがある)、(メタ)アクリル酸メトキシメチル、(メタ)アクリル酸n−プロポキシエチル、(メタ)アクリル酸i−プロポキシエチル、(メタ)アクリル酸n−ブトキシエチル、(メタ)アクリル酸i−ブトキシエチル、(メタ)アクリル酸t−ブトキシエチル、(メタ)アクリル酸2−エトキシエチル、(メタ)アクリル酸1−エトキシエチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸トリシクロデカニル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタジエニル、(メタ)アクリル酸トリシクロデカニル、(メタ)アクリル酸テトラシクロドデカニル、(メタ)アクリル酸2,2,2−トリフルオロエチル、(メタ)アクリル酸2,2,3,3−テトラフルオロ−n−プロピル、(メタ)アクリル酸2,2,3,3,3−ペンタフルオロ−n−プロピル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸メチル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸エチル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸2−エチルヘキシル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸n−プロピル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸i−プロピル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸n−ブチル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸i−ブチル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸t−ブチル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸メトキシメチル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸エトキシエチル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸n−プロポキシエチル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸i−プロポキシエチル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸n−ブトキシエチル、α−(トリ)フルオロメチルアクリル酸i−ブトキシエチル、及びα−(トリ)フルオロメチルアクリル酸t−ブトキシエチル等の直鎖または分岐構造を持つ(メタ)アクリル酸エステル、並びにマレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、及び無水イタコン酸等の不飽和カルボン酸およびカルボン酸無水物、並びにN−メチルアクリルアミド、N,N−ジメチルアクリルアミド、塩化ビニル、及びビニルピロリドンが使用可能であるが、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリル酸ヒドロキシアルキル、(メタ)アクリル酸シアノアルキル、(メタ)アクリル酸アミノアルキル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシルの環式炭化水素基上に極性置換基を有する誘導体、(メタ)アクリル酸イソボルニルの環式炭化水素基上に極性置換基を有する誘導体、(メタ)アクリル酸アダマンチルの環式炭化水素基上に極性置換基を有する誘導体、(メタ)アクリル酸トリシクロデカニルの環式炭化水素基上に極性置換基を有する誘導体、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタジエニルの環式炭化水素基上に極性置換基を有する誘導体、(メタ)アクリル酸トリシクロデカニルの環式炭化水素基上に極性置換基を有する誘導体、(メタ)アクリル酸テトラシクロドデカニルの環式炭化水素基上に極性置換基を有する誘導体が好ましい。
【0043】
極性基を有する単量体として、具体的には、式(9−1)〜(9−109)で表される単量体が挙げられる。これらの単量体は全ての配座異性体、光学異性体を含む概念であり、純粋な異性体として、またそれらの混合物として使用できる。
【0044】
【化13】
【0045】
【化14】
【0046】
【化15】
【0047】
【化16】
【0048】
【化17】
(式(9−1)〜(9−109)中、Rは水素原子またはメチル基を表す。)
【0049】
極性基を有する単量体としては、中でも、ドライエッチング耐性の高い点から、前記式(9−9)〜(9−109)で表される単量体がより好ましく、有機溶剤への溶解性の点から、前記式(9−1)〜(9−8)および(9−108)、前記式(9−65)〜(9−68)、前記式(9−85)〜(9−88)、および前記式(9−104)〜(9−109)で表される単量体がより好ましく、感度の点から、前記式(9−9)〜(9−64)、前記式(9−69)〜(9−84)、前記式(9−89)〜(9−103)および前記式(9−109)で表される単量体がより好ましい。
【0050】
本発明の共重合体は、ArFエキシマレ−ザ−リソグラフィ−用に使用する場合は、前記式(1)で表される構成単位と、ラクトン骨格を有する構成単位と、前記の極性基を有する構成単位を含有することが好ましい。
【0051】
本発明の共重合体は、さらに、前記式(1)で表される構成単位、ラクトン骨格を有する構成単位および極性基を有する構成単位以外の構成単位を含有していてもよい。すなわち、本発明のレジスト用共重合体は、前記式(4)で表される単量体、ラクトン骨格を有する単量体および極性基を有する単量体以外の共重合可能な他の単量体を共重合したものであってもよい。
【0052】
このような他の単量体としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−ヒドロキシスチレン、p−t−ブトキシカルボニルヒドロキシスチレン、3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシスチレン、3,5−ジメチル−4−ヒドロキシスチレン、p−t−ぺルフルオロブチルスチレン、およびp−(2−ヒドロキシ−i−プロピル)スチレン等の芳香族アルケニル化合物、エチレン、プロピレン、ノルボルネン、テトラフルオロエチレン、エチレン、フッ化ビニル、フッ化ビニリデン、およびテトラフルオロエチレン等が挙げられる。これらの単量体は、必要に応じて1種または2種以上を組み合わせて使用することができる。また、これらの単量体が酸により脱離する保護基を有している場合、より優れた感度を有する。
通常、これらの単量体は、共重合体中のこれらの単量体単位由来の構成単位が20モル%以下の範囲となるような量を用いることが好ましい。
【0053】
本発明の共重合体において、各構成単位は任意のシ−ケンスを取り得る。したがって、この共重合体は、ランダム共重合体であっても、交互共重合体であっても、ブロック共重合体であっても、グラフト共重合体であってもよい。
【0054】
本発明のレジスト用共重合体の重量平均分子量は特に限定されないが、1,000〜100,000の範囲内であることが好ましく、2,000〜50,000の範囲内であることがより好ましく、4,000〜30,000の範囲内であることがさらに好ましい。分子量は後述する重合開始剤の使用量を増減することによって調整することができる。また、分子量は後述する連鎖移動剤を使用することでも調整することが出来る。
【0055】
本発明の共重合体の製造に用いられる重合開始剤としては、熱により効率的にラジカルを発生するものが好ましい。このような重合開始剤としては、例えば、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、ジメチル−2,2’−アゾビスイソブチレ−ト等のアゾ化合物;2,5−ジメチル−2,5−ビス(tert−ブチルパ−オキシ)ヘキサン等の有機過酸化物等が挙げられる。重合時の安全性等を考慮すると、用いる重合開始剤としては、10時間半減期温度が60℃以上のものが好ましい。
【0056】
本発明のレジスト用共重合体を製造する際には、連鎖移動剤を使用してもよい。連鎖移動剤を使用することにより、低分子量の共重合体を製造する場合に重合開始剤の使用量を少なくすることができ、また、得られる共重合体の分子量分布を狭くすることができる。
好適な連鎖移動剤としては、例えば、1−ブタンチオ−ル、2−ブタンチオ−ル、1−オクタンチオ−ル、1−デカンチオ−ル、1−テトラデカンチオ−ル、シクロヘキサンチオ−ル、2−メチル−1−プロパンチオ−ル、2−メルカプトエタノ−ル等が挙げられる。
【0057】
重合開始剤の使用量は、共重合体の収率を向上させる点から、共重合に使用する単量体全量に対して0.3モル%以上が好ましく、共重合体の分子量分布を狭くさせる点から、共重合に使用する単量体全量に対して30モル%以下が好ましい。
連鎖移動剤の使用量は、共重合体の分子量分布を狭くさせる点から、共重合に使用する単量体全量に対して0モル%以上が好ましく、共重合体をレジスト組成物として使用する際の感度/および解像度や基板表面等への密着性等のレジスト性能を低下させない点から、30モル%以下が好ましい。
【0058】
得られた共重合体中には重合開始剤及び連鎖移動剤由来の構造が含まれる。光リソグラフィ−において使用されるレジスト用共重合体を製造する場合、光リソグラフィ−で用いる光源の波長領域で光線透過率の低下が少ない重合開始剤及び連鎖移動剤が好ましい。ArFの場合は用いる重合開始剤及び連鎖移動剤としては、分子構造中に芳香環を有しないものが好ましい。
【0059】
本発明の共重合体の製造方法は特に限定されないが、溶液重合または滴下重合により製造することが好ましく、特に、重合することにより本発明の共重合体の構成単位となる単量体および重合開始剤を有機溶剤に溶解させた溶液を、重合温度に加熱された有機溶剤中に滴下しながら重合を行う製造方法(以下滴下溶液重合と呼ぶ)が好ましい。滴下溶液重合法で本発明のレジスト用共重合体を製造することにより、分子量分布の狭い共重合体が得られる。また、重合溶液中の単量体消費速度が比較的一定になるため、組成分布の狭い共重合体が得られる。
【0060】
滴下溶液重合法においては、例えば、有機溶剤をあらかじめ重合容器に仕込み、所定の重合温度まで加熱した後、単量体および重合開始剤、必要に応じて連鎖移動剤を有機溶剤に溶解させた単量体溶液を、重合容器内の有機溶剤中に滴下する。
滴下溶液重合法における重合温度は特に限定されないが、通常、50〜150℃の範囲内であることが好ましい。
【0061】
滴下溶液重合法において用いられる有機溶剤としては、用いる単量体、重合開始剤および得られる共重合体、さらに連鎖移動剤を使用する場合はその連鎖移動剤のいずれをも溶解できる溶剤が好ましい。このような有機溶剤としては、例えば、1,4−ジオキサン、イソプロピルアルコ−ル、アセトン、テトラヒドロフラン(以下「THF」とも言う。)、メチルエチルケトン(以下「MEK」とも言う。)、メチルイソブチルケトン(以下「MIBK」とも言う。)、γ−ブチロラクトン、プロピレングリコ−ルモノメチルエ−テルアセテ−ト(以下「PGMEA」とも言う。)、乳酸エチル等が挙げられる。
【0062】
有機溶剤中に滴下する単量体溶液の単量体濃度は特に限定されないが、5〜50質量%の範囲内であることが好ましい。
なお、重合容器に仕込む有機溶剤の量は特に限定されず、適宜決めればよい。通常は、共重合に使用する単量体全量に対して0.3〜7倍量の範囲内で使用する。
【0063】
溶液重合等の方法によって製造された共重合体溶液は、必要に応じて、1,4−ジオキサン、アセトン、THF、MEK、MIBK、γ−ブチロラクトン、PGMEA、乳酸エチル等の良溶剤で適当な溶液粘度に希釈した後、メタノ−ル、水等の多量の貧溶剤中に滴下して共重合体を析出させる。この工程は一般に再沈殿と呼ばれ、重合溶液中に残存する単量体や重合開始剤等の未反応物を取り除くために非常に有効である。これらの未反応物は、そのまま残存しているとレジスト性能に悪影響を及ぼす可能性があるので、できるだけ取り除くことが好ましい。再沈殿工程は、場合により不要となることもある。その後、その析出物を濾別し、十分に乾燥して本発明の共重合体を得る。また、濾別した後、乾燥せずに湿粉のまま使用することもできる。また、共重合体溶液はそのまま、または適当な溶剤で希釈してレジスト組成物として使うことも出来る。その際、保存安定剤等を添加してもよい。
【0064】
本発明は前記の共重合体を含有するレジスト組成物である。
本発明のレジスト組成物は、前記のような本発明の共重合体を溶剤に溶解したもの、共重合体溶液をそのまま使用したもの、または共重合体溶液を適当な溶剤で希釈したものである。本発明のレジスト用共重合体は、1種でも、2種以上でもよい。
【0065】
本発明のレジスト組成物において、有機溶剤は目的に応じて任意に選択される。
溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、2−ペンタノン、2−ヘキサノン等の直鎖もしくは分岐鎖ケトン類;シクロペンタノン、シクロヘキサノン等の環状ケトン類;プロピレングリコ−ルモノメチルエ−テルアセテ−ト、プロピレングリコ−ルモノエチルエ−テルアセテ−ト等のプロピレングリコ−ルモノアルキルアセテ−ト類;エチレングリコ−ルモノメチルエ−テルアセテ−ト、エチレングリコ−ルモノエチルエ−テルアセテ−ト等のエチレングリコ−ルモノアルキルエ−テルアセテ−ト類;プロピレングリコ−ルモノメチルエ−テル、プロピレングリコ−ルモノエチルエ−テル等のプロピレングリコ−ルモノアルキルエ−テル類;エチレングリコ−ルモノメチルエ−テル、エチレングリコ−ルモノエチルエ−テル、エチレングリコ−ルモノイソプロピルエ−テル等のエチレングリコ−ルモノアルキルエ−テル類;ジエチレングリコ−ルジメチルエ−テル、ジエチレングリコ−ルモノメチルエ−テル、ジエチレングリコ−ルジエチルエ−テル等のジエチレングリコ−ルアルキルエ−テル類;酢酸エチル、乳酸エチル等のエステル類;n−プロピルアルコ−ル、イソプロピルアルコ−ル、n−ブチルアルコ−ル、tert−ブチルアルコ−ル、シクロヘキサノ−ル、1−オクタノ−ル等のアルコ−ル類;1,4−ジオキサン、炭酸エチレン、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。これらの溶剤は、1種でも、2種以上でもよい。
【0066】
溶剤の含有量は、通常、レジスト用共重合体(本発明の共重合体)100質量部に対して200質量部以上であり、300質量部以上であることがより好ましい。また、溶剤の含有量は、通常、レジスト用共重合体(本発明の共重合体)100質量部に対して5000質量部以下であり、2000質量部以下であることがより好ましい。
【0067】
本発明のレジスト用共重合体を化学増幅型レジストとして使用する場合は光酸発生剤を含有する。ここで、光酸発生剤とは、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物である。光酸発生剤は、1種を用いても、2種以上を併用してもよい。
【0068】
このような光酸発生剤としては、例えば、オニウム塩化合物、スルホンイミド化合物、スルホン化合物、スルホン酸エステル化合物、キノンジアジド化合物、ジアゾメタン化合物等が挙げられる。光酸発生剤としては、中でも、スルホニウム塩、ヨ−ドニウム塩、ホスホニウム塩、ジアゾニウム塩、ピリジニウム塩等のオニウム塩化合物が好ましく、具体的には、トリフェニルスルホニウムトリフレ−ト、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネ−ト、トリフェニルスルホニウムナフタレンスルホネ−ト、(ヒドロキシフェニル)ベンジルメチルスルホニウムトルエンスルホネ−ト、ジフェニルヨ−ドニウムトリフレ−ト、ジフェニルヨ−ドニウムピレンスルホネ−ト、ジフェニルヨ−ドニウムドデシルベンゼンスルホネ−ト、ジフェニルヨ−ドニウムヘキサフルオロアンチモネ−ト等が挙げられる。
【0069】
光酸発生剤の含有量は、選択された光酸発生剤の種類により適宜決められるが、通常、レジスト用共重合体(本発明の共重合体)100質量部に対して0.1質量部以上であり、0.5質量部以上であることがより好ましい。光酸発生剤の含有量をこの範囲にすることにより、露光により発生した酸の触媒作用による化学反応を十分に生起させることができる。また、光酸発生剤の含有量は、通常、レジスト用共重合体(本発明の共重合体)100質量部に対して20質量部以下であり、10質量部以下であることがより好ましい。光酸発生剤の含有量をこの範囲にすることにより、レジスト組成物の安定性が向上し、組成物を塗布する際の塗布むらや現像時のスカム等の発生が十分に少なくなる。
【0070】
さらに、本発明のレジスト組成物には、必要に応じて、界面活性剤、クエンチャ−、増感剤、ハレ−ション防止剤、保存安定剤、消泡剤等の各種添加剤を配合することもできる。また、これらの添加剤の配合量は特に限定されず、適宜決めればよい。
本発明のレジスト用共重合体は、金属エッチング用、フォトファブリケ−ション用、製版用、ホログラム用、カラ−フィルタ−用、位相差フィルム用等のレジスト組成物として使用してもよい。
【0071】
次に、本発明のパタ−ン形成方法の一例について説明する。
最初に、パタ−ンを形成するシリコンウエハ−等の被加工基板の表面に、本発明のレジスト組成物をスピンコ−ト等により塗布する。そして、このレジスト組成物が塗布された被加工基板は、ベ−キング処理(プリベ−ク)等で乾燥し、基板上にレジスト膜を形成する。
次いで、このようにして得られたレジスト膜に、フォトマスクを介して、250nm以下の波長の光若しくは電子線を照射する(露光)。250nm以下の波長の光としては、KrFエキシマレ−ザ−またはArFエキシマレ−ザ−が好ましく、特にArFエキシマレ−ザ−が好ましい。
【0072】
光照射(露光)後、適宜熱処理(露光後ベ−ク、PEB)し、基板をアルカリ現像液に浸漬し、露光部分を現像液に溶解除去する(現像)。そして、現像後、基板を純水等で適宜リンス処理する。このようにして被加工基板上にレジストパタ−ンが形成される。
【0073】
通常、レジストパタ−ンが形成された被加工基板は、適宜熱処理(ポストベ−ク)してレジストを強化し、レジストのない部分を選択的にエッチングする。エッチングを行った後、レジストは、通常、剥離剤を用いて除去される。
【0074】
【実施例】
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。また、各実施例、比較例中「部」とあるのは、特に断りのない限り「質量部」を示す。
また、以下のようにして製造した共重合体の物性等を測定した。
【0075】
<共重合体の質量平均分子量および分子量分布>
約20mgのレジスト用共重合体を5mLのテトラヒドロフランに溶解し、0.5μmメンブランフィルタ−で濾過して試料溶液を調製し、この試料溶液を東ソ−社製ゲル・パ−ミエ−ション・クロマトグラフィ−(GPC)を用いて測定した。分離カラムは昭和電工社製、Shodex GPC K−805L(商品名)を3本直列にしたものを用い、溶剤はテトラヒドロフラン、流量1.0mL/min、検出器は示差屈折計、測定温度40℃、注入量0.1mLで、標準ポリマ−としてポリスチレンを使用して測定した。
【0076】
<共重合体の平均共重合組成比(モル%)>
1H−NMRの測定により求めた。この測定は、日本電子社製、GSX−400型FT−NMR(商品名)を用いて、約5質量%の共重合体試料の重水素化クロロホルム、重水素化アセトンまたは重水素化ジメチルスルホキシドの溶液を直径5mmφの試験管に入れ、測定温度40℃、観測周波数400MHz、シングルパルスモ−ドにて、64回の積算で行った。
【0077】
<有機溶剤への溶解性>
固形分濃度が20質量%になるように、所定量のPGMEAに室温で攪拌しながら共重合体を溶解させ、完全に溶解するまでの時間を測定した。
表1中の記号の意味は、レジスト用共重合体が完全に溶解するまでの時間が、
◎:1時間未満であった、
○:1時間以上3時間未満であった、
△:3時間以上24時間未満であった、
×:24時間以上、または不溶であった、
である。
また、レジスト組成物の調製及びその物性の測定は次のように行った。
【0078】
<レジスト組成物の調製>
共重合体100部と、光酸発生剤であるトリフェニルスルホニウムトリフレ−ト2部と、溶剤であるPGMEA700部とを混合して均一溶液とした後、孔径0.1μmのメンブランフィルタ−で濾過し、レジスト組成物を調製した。
【0079】
<レジストパタ−ンの形成>
調製したレジスト組成物をシリコンウエハ−上にスピンコ−トし、ホットプレ−トを用いて120℃、60秒間プリベ−クを行い、膜厚0.4μmのレジスト膜を形成した。次いで、ArFエキシマレ−ザ−露光機(波長:193nm)を使用して露光した後、ホットプレ−トを用いて120℃、60秒間露光後ベ−クを行った。次いで、2.38質量%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液を用いて室温で60秒間現像し、純水で洗浄し、乾燥してレジストパタ−ンを形成した。
【0080】
<感度>
0.16μmのライン・アンド・スペ−ス(L/S、L:ライン(レジストが残存した部分)、S:スペ−ス(レジストが溶解した部分))を1/1の線幅に形成する最小露光量(mJ/cm2)を感度として測定した。
【0081】
<解像度>
L/Sを1/1の線幅に形成する最小露光量で露光したときに解像されるレジストパタ−ンの最小寸法(μm)を解像度とした。
【0082】
<マイクロゲル量>
調製したレジスト組成物について、調液直後の溶液中のマイクロゲルの数(マイクロゲル初期値)と、4℃で1週間放置した後の溶液中のマイクロゲルの数(経時後のマイクロゲルの数)とをリオン社製パ−ティクルカウンタ−にて測定した。そして、マイクロゲル初期値とともに、(経時後のマイクロゲルの数)−(マイクロゲル初期値)で計算されるマイクロゲル増加数を測定した。
なお、ここでは、レジスト組成物1mL中に存在する0.25μm以上の粒径を有するマイクロゲルの数を測定した。
【0083】
[実施例1] 式(10)で示される共重合体の製造
【0084】
【化18】
【0085】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下で、PGMEA17.3部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。2−メタクリロイルオキシ−2−イソプロピルアダマンタン(以下、IPAdMAと表すことがある)10.7部、β−メタクリロイルオキシ−γ−ブチロラクトン(以下、HGBMAと表すことがある)10.0部、PGMEA31.2部およびアゾビスイソブチロニトリル(以下、AIBNと表すことがある)0.28部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。次いで、得られた反応溶液をメタノ−ル800部に攪拌しながら滴下し、白色の析出物の沈殿を得た。この沈殿を濾別し、減圧下50℃で約10時間乾燥した。そして、この沈殿を再度メタノ−ル800部に攪拌しながら投入し、得られた沈殿を濾別し、減圧下60℃で約40時間乾燥して式(10)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdMA:HGBMA=35:65であった。
【0086】
[実施例2] 式(11)で示される共重合体の製造
【0087】
【化19】
【0088】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA20.2部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。IPAdMA16.8部、2−exo−アクリロイルオキシ−4−オキサトリシクロ[4.2.1.03,7]ノナン−5−オン(以下、OTNAと表すことがある)7.5部、PGMEA36.4部およびAIBN0.58部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(11)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdMA:OTNMA=65:35であった。
【0089】
[実施例3] 式(12)で示される共重合体の製造
【0090】
【化20】
【0091】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA18.9部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。IPAdMA14.4部、α−メタクリロイルオキシ−γ−ブチロラクトン(以下、GBLMAと表すことがある)6.1部、1−メタクリロイルオキシ−3−ヒドロキシアダマンタン(以下、HAdMAと表すことがある)2.1部、PGMEA34.0部、AIBN0.48部およびn−オクチルメルカプタン0.15部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(12)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdMA:GBLMA:HAdMA=50:40:10であった。
【0092】
[実施例4] 式(13)で示される共重合体の製造
【0093】
【化21】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA18.1部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。IPAdMA11.8部、HGBMA6.3部、2−または3−シアノ−5−ノルボルニルメタクリレ−ト(以下、CNNMAと表すことがある)3.7部、PGMEA32.7部およびジメチル−2,2’−アゾビスイソブチレ−ト(以下、DAIBと表すことがある)0.73部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(13)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdMA:HGBMA:CNNMA=40:40:20であった。
【0094】
[実施例5] 式(14)で示される共重合体の製造
【0095】
【化22】
【0096】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA19.0部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。2−アクリロイルオキシ−2−イソプロピルアダマンタン(以下、IPAdAと表すことがある)10.7部、2−exo−メタクリロイルオキシ−4−オキサトリシクロ[4.2.1.03,7]ノナン−5−オン(以下、OTNMAと表すことがある)6.4部、CNNMA5.7部、PGMEA34.3部およびAIBN0.78部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(14)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdA:OTNMA:CNNMA=35:35:30であった。
【0097】
[実施例6] 式(15)で示される共重合体の製造
【0098】
【化23】
【0099】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA20.0部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。IPAdMA11.5部、2−exo−(メタ)アクリロイルオキシ−4,8−ジオキサトリシクロ[4.2.1.03,7]ノナン−5−オン(以下、ONLMAと表すことがある)8.3部、1−アクリロイルオキシ−3−ヒドロキシアダマンタン(以下、HAdAと表すことがある)4.2部、PGMEA36.1部、DAIB0.15部および2−メルカプトエタノ−ル0.16部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(15)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdMA:ONLMA:HAdA=40:40:20であった。
【0100】
[実施例7] 式(16)で示される共重合体の製造
【0101】
【化24】
【0102】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA19.8部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。IPAdMA10.5部、8−または9−アクリロイルオキシ−4−オキサトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−3−オン(以下、OTDAと表すことがある)7.8部、HAdA5.6部、PGMEA35.7部およびAIBN0.90部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(16)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdMA:OTDA:HAdA=40:35:25であった。
【0103】
[実施例8] 式(17)で示される共重合体の製造
【0104】
【化25】
【0105】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA20.1部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。IPAdA10.9部、8−または9−メタクリロイルオキシ−4−オキサトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−3−オン(以下、OTDMAと表すことがある)9.4部、HAdMA3.8部、PGMEA36.2部およびAIBN0.97部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(17)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdA:OTDMA:HAdMA=30:50:20であった。
【0106】
[実施例9] 式(18)で示される共重合体の製造
【0107】
【化26】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA19.6部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。IPAdMA11.0部、OTDA6.9部、CNNMA3.7部、1−メタクリロイルオキシアダマンタン(以下、AdMAと表すことがある)2.0部、PGMEA35.3部、DAIB0.57部およびn−オクチルメルカプタン0.15部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(18)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdMA:OTDA:CNNMA:AdMA=40:30:20:10であった。
【0108】
[実施例10] 式(19)で示される共重合体の製造
【0109】
【化27】
【0110】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA18.0部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。IPAdA11.9部、GBLMA6.6部、CNNMA1.6部、4−メタクリロイルオキシ−4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカン(以下、EDMAと表すことがある)1.4部、PGMEA32.3部およびAIBN0.44部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(19)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdA:GBLMA:CNNMA:EDMA=40:45:10:5であった。
【0111】
[実施例11] 式(20)で示される共重合体の製造
【0112】
【化28】
【0113】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA19.5部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。IPAdMA9.4部、OTNA8.3部、HAdA3.3部、2−メタクリロイルオキシ−2−メチルアダマンタン(以下、MAdMAと表すことがある)2.3部、PGMEA35.1部およびAIBN0.84部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(20)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdMA:OTNA:HAdA:MAdMA=35:40:15:10であった。
【0114】
[実施例12] 式(21)で示される共重合体の製造
【0115】
【化29】
【0116】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA19.5部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。IPAdMA12.1部、OTDA7.1部、CNNMA3.7部、tBMA0.6部、PGMEA35.1部およびAIBN0.78部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(21)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdMA:OTDA:CNNMA:tBMA=45:30:20:5であった。
【0117】
[実施例13] 式(22)で示される共重合体の製造
【0118】
【化30】
【0119】
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ−および温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素雰囲気下でPGMEA20.8部を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。IPAdMA19.9部、OTNA5.0部、PGMEA37.4部およびAIBN0.53部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけてフラスコ中に滴下し、その後、80℃で1時間保持した。以下、実施例1と同様に操作し、式(22)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdMA:OTNMA=75:25であった。
【0120】
[比較例1] 式(23)で示される共重合体の製造
【0121】
【化31】
【0122】
IPAdMAの代わりにMAdMA9.6部を用い、AIBNの量を0.33部に変えた以外は実施例1と同様にして式(23)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はMAdMA:HGBMA=35:65であった。
この共重合体は、実施例1の共重合体と比較して、有機溶剤への溶解性が劣っていた。また、この共重合体から調製したレジスト組成物は、実施例1の共重合体のレジスト組成物と比較して、感度、解像度、およびレジスト溶液中でのマイクロゲル量が増大した。
【0123】
[比較例2] 式(24)で示される共重合体の製造
【0124】
【化32】
【0125】
IPAdMAの代わりに2−アクリロイルオキシ−2−エチルアダマンタン(以下、EAdAと表すことがある)9.8部を用いた以外は実施例1と同様にして式(24)の共重合体を得た。
この共重合体及びレジスト組成物の各物性等を測定した結果を表1に示した。平均共重合組成比はIPAdA:OTDMA:HAdMA=30:50:20であった。
この共重合体は、実施例8の共重合体と比較して、有機溶剤への溶解性が劣っていた。また、この共重合体から調製したレジスト組成物は、実施例8の共重合体のレジスト組成物と比較して、感度、解像度、およびレジスト溶液中でのマイクロゲル量が増大した。
【0126】
【表1】
【0127】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の共重合体は溶剤への溶解性が優れている。また、本発明の製造方法はレジスト組成物に適した樹脂を製造することが可能である。また、本発明のレジスト組成物、特に化学増幅型レジスト組成物は高感度、高解像度であり、溶液中のマイクロゲル量が少ない。また、本発明のパタ−ン形成方法により高感度で高解像度のパタ−ンを安定して形成することが出来る。そのため、本発明のレジスト用共重合体および化学増幅型レジスト組成物は、光リソグラフィ−あるいは電子線リソグラフィ−、特にArFエキシマレ−ザ−を使用するリソグラフィ−に好適に用いることができる。
Claims (12)
- 式(1)で表される構成単位を含有し、式(2−1)〜(2−6)からなる群より選ばれる少なくとも一種のラクトン骨格を有する構成単位を含有する共重合体。
A1、A2、A3、及びA4はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基または炭素数1〜6のエステル基を表すか、あるいは、A1とA2及び/またはA3とA4が一緒になって−O−、−S−、−NH−または炭素数1〜6のメチレン鎖[−(CH2)k−(kは1〜6の整数を表す)]を表す。メチレン鎖は分岐を有していてもよい。
Y11、Y12、Y13はそれぞれ独立に−CH2−または−CO−O−を表し、そのうち少なくとも一つは−CO−O−を表す。
Y14、Y15、Y16はそれぞれ独立に−CH2−または−CO−O−を表し、そのうち少なくとも一つは−CO−O−を表す。
Y17、Y18、Y19はそれぞれ独立に−CH2−または−CO−O−を表し、そのうち少なくとも一つは−CO−O−を表す。) - 全構成単位に対する前記式(1)で表される構成単位の比率が30〜70モル%であり、式(2−1)〜(2−6)からなる群より選ばれる少なくとも一種のラクトン骨格を有する構成単位の比率が30〜70モル%であることを特徴とする請求項1記載の共重合体。
- 極性置換基を有する構成単位をさらに含有することを特徴とする請求項1〜2記載の共重合体。
- 前記極性置換基を有する構成単位が、式(3−1)〜(3−4)からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項3記載の共重合体。
置換基は直鎖状、分岐状のいずれでも構わない。n7〜n10はそれぞれ独立して1〜4の整数を表し、qは1または2を表す。なお、nN(N=7〜10)が2以上の場合にはXNは1種でも2種以上でもよい。) - 全構成単位に対して前記式(1)で表される構成単位の比率が30〜70モル%であり、ラクトン骨格を有する構成単位の比率が合計で25〜70モル%であり、前記式(3−1)〜(3−4)からなる群より選ばれる少なくとも1種で表される構成単位の比率が5〜45モル%であることを特徴とする請求項4記載の共重合体。
- 質量平均分子量が1,000〜100,000であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の共重合体。
- 重合することにより本発明の共重合体の構成単位となる単量体および重合開始剤を有機溶剤に溶解させた溶液を、重合温度に加熱された有機溶剤中に滴下しながら重合を行う請求項1〜6記載の共重合体の製造方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の共重合体を含有するレジスト組成物。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の共重合体と、光酸発生剤とを含有することを特徴とする化学増幅型レジスト組成物。
- 請求項8〜9のいずれかに記載のレジスト組成物を被加工基板上に塗布する工程と、250nm以下の波長の光で露光する工程と、現像液を用いて現像する工程とを有するパタ−ン形成方法。
- 露光に用いる光が、ArFエキシマレ−ザ−であることを特徴とする請求項10に記載のパタ−ン形成方法。
- 請求項8〜9のいずれかに記載のレジスト組成物を被加工基板上に塗布する工程と、電子線で露光する工程と、現像液を用いて現像する工程とを有するパタ−ン形成方法。
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Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005037893A (ja) * | 2003-07-01 | 2005-02-10 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法 |
JP2005126706A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-05-19 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 樹脂とその製造方法及び化学増幅型ポジ型レジスト用組成物 |
US20060199100A1 (en) * | 2005-03-04 | 2006-09-07 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Positive resist composition and pattern-forming method using the same |
JP2009211044A (ja) * | 2008-02-07 | 2009-09-17 | Jsr Corp | 評価方法および感放射線性樹脂組成物 |
JP2009265332A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法および高分子化合物 |
US7632623B2 (en) * | 2006-03-17 | 2009-12-15 | Fujifilm Corporation | Positive resist composition and pattern formation method using the positive resist composition |
JP2010026254A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 |
JP2010126582A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Jsr Corp | 重合体および感放射線性樹脂組成物 |
JP2010170115A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-08-05 | Sumitomo Chemical Co Ltd | フォトレジスト組成物 |
JP2010275555A (ja) * | 2004-06-28 | 2010-12-09 | Fujifilm Corp | 樹脂及び重合性化合物 |
WO2012036250A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物、重合体及びレジストパターン形成方法 |
US8367296B2 (en) | 2008-09-29 | 2013-02-05 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Positive resist composition, method of forming resist pattern, and polymeric compound |
US8487056B2 (en) | 2008-12-04 | 2013-07-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Positive resist composition and method of forming resist pattern |
US8541529B2 (en) | 2008-08-22 | 2013-09-24 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Positive resist composition, method of forming resist pattern, and polymeric compound |
US20140371412A1 (en) * | 2013-06-14 | 2014-12-18 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Resist copolymer and resist composition |
JP2015079261A (ja) * | 2014-11-26 | 2015-04-23 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及びレジスト膜 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000136165A (ja) * | 1998-05-25 | 2000-05-16 | Daicel Chem Ind Ltd | 酸感応性化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物 |
JP2001290276A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-10-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | ポジ型レジスト組成物 |
-
2003
- 2003-06-11 JP JP2003166866A patent/JP4502308B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000136165A (ja) * | 1998-05-25 | 2000-05-16 | Daicel Chem Ind Ltd | 酸感応性化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物 |
JP2001290276A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-10-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | ポジ型レジスト組成物 |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005037893A (ja) * | 2003-07-01 | 2005-02-10 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法 |
JP2005126706A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-05-19 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 樹脂とその製造方法及び化学増幅型ポジ型レジスト用組成物 |
JP2010275555A (ja) * | 2004-06-28 | 2010-12-09 | Fujifilm Corp | 樹脂及び重合性化合物 |
US8741537B2 (en) | 2005-03-04 | 2014-06-03 | Fujifilm Corporation | Positive resist composition and pattern-forming method using the same |
JP2011043851A (ja) * | 2005-03-04 | 2011-03-03 | Fujifilm Corp | ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
US20060199100A1 (en) * | 2005-03-04 | 2006-09-07 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Positive resist composition and pattern-forming method using the same |
US7632623B2 (en) * | 2006-03-17 | 2009-12-15 | Fujifilm Corporation | Positive resist composition and pattern formation method using the positive resist composition |
JP2009211044A (ja) * | 2008-02-07 | 2009-09-17 | Jsr Corp | 評価方法および感放射線性樹脂組成物 |
JP2009265332A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法および高分子化合物 |
JP2010026254A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 |
US8541529B2 (en) | 2008-08-22 | 2013-09-24 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Positive resist composition, method of forming resist pattern, and polymeric compound |
US8367296B2 (en) | 2008-09-29 | 2013-02-05 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Positive resist composition, method of forming resist pattern, and polymeric compound |
JP2010126582A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Jsr Corp | 重合体および感放射線性樹脂組成物 |
US8487056B2 (en) | 2008-12-04 | 2013-07-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Positive resist composition and method of forming resist pattern |
JP2010170115A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-08-05 | Sumitomo Chemical Co Ltd | フォトレジスト組成物 |
WO2012036250A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物、重合体及びレジストパターン形成方法 |
US8980529B2 (en) | 2010-09-17 | 2015-03-17 | Jsr Corporation | Radiation-sensitive resin composition, polymer, and resist pattern-forming method |
JP5900340B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2016-04-06 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 |
US20140371412A1 (en) * | 2013-06-14 | 2014-12-18 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Resist copolymer and resist composition |
US9540468B2 (en) * | 2013-06-14 | 2017-01-10 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Resist copolymer and resist composition |
JP2015079261A (ja) * | 2014-11-26 | 2015-04-23 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及びレジスト膜 |
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Publication number | Publication date |
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