JP2005019692A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
半導体装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005019692A JP2005019692A JP2003182630A JP2003182630A JP2005019692A JP 2005019692 A JP2005019692 A JP 2005019692A JP 2003182630 A JP2003182630 A JP 2003182630A JP 2003182630 A JP2003182630 A JP 2003182630A JP 2005019692 A JP2005019692 A JP 2005019692A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- semiconductor chip
- semiconductor device
- opening
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/16227—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73253—Bump and layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/162—Disposition
- H01L2924/16251—Connecting to an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. cap-to-substrate
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【課題】パッケージの反りを抑制して不良発生を防止することができ、且つパッケージの厚さ増大を抑制する。
【解決手段】半導体チップをマウントした半導体装置において、半導体チップ11が搭載された第1の基板14と、第1の基板14の面方向のサイズよりも大きな開口部18が設けられた第2の基板17と、第1の基板14を第2の基板17の開口部18内に配置した状態で、第1及び第2の基板14,17間を電気的且つ機械的に接続する可撓性の接続部材19と備えた。
【選択図】 図1
【解決手段】半導体チップをマウントした半導体装置において、半導体チップ11が搭載された第1の基板14と、第1の基板14の面方向のサイズよりも大きな開口部18が設けられた第2の基板17と、第1の基板14を第2の基板17の開口部18内に配置した状態で、第1及び第2の基板14,17間を電気的且つ機械的に接続する可撓性の接続部材19と備えた。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップを基板上に搭載した半導体装置に係わり、特にBGA(Ball Grid Array)型のパッケージ等の反り変形の改善をはかった半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半田ボール端子を多数設けた樹脂製の基板に半導体チップをフリップチップ接続してなるBGA型のパッケージを有する半導体装置が種々提案されている。
【0003】
図5及び図6は、従来のIHS(Integrated Heat Spreader)付きBGA型パッケージの概略構成を示す断面図である。図5の例では、基板54上に半導体チップ51をILB(Inner Lead Bump)52及びアンダーフィル53で接着し、チップ51上にTIM(Thermal Interface Material)55を用いてIHS56を搭載する(例えば、特許文献1,2参照)。
【0004】
しかし、図5の構造では、IHS56とチップ51と基板54の線膨張係数の違いにより、パッケージが凸状に沿ってしまい、このためにチップ51と基板54との接続不良が発生するという問題がある。
【0005】
図6の例では、インターポーザ64上に半導体チップ61をILB62及びアンダーフィル63で接着し、チップ61上にTIM65を用いてIHS66を搭載する。続いて、インターポーザ64とマザーボード67をOLB(Outer Lead
Bump)68で接続する。
【0006】
しかし、図6の構造では、IHS66とチップ61とインターポーザ64とマザーボード67の線膨張係数の違いにより、パッケージが凸状に沿ってしまい、このためにチップ61とインターポーザ66との接続不良、更にはインターポーザ64とマザーボード67との接続不良が発生するという問題がある。また、図6の構成では、インターポーザ64が介在していることにより、パッケージの厚みがその分だけ厚くなってしまう問題もある。
【0007】
【特許文献1】
特開平11−163186号公報
【0008】
【特許文献2】
特開2000−200984号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来、IHS付きBGA型パッケージにおいては、パッケージの反りの発生により接続不良を起こす問題があった。さらに、マザーボード上にインターポーザを介して半導体チップを搭載した場合、パッケージの厚さが厚くなってしまう問題があった。
【0010】
本発明は、上記事情を考慮して成されたもので、その目的とするところは、パッケージの反りを抑制して不良発生を防止することができ、且つパッケージの厚さ増大を抑制することができる半導体装置及びその製造方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
(構成)
上記課題を解決するために本発明は、次のような構成を採用している。
【0012】
即ち本発明は、半導体チップをマウントした半導体装置において、半導体チップが搭載された第1の基板と、第1の基板の面方向のサイズよりも大きな開口部が設けられた第2の基板と、第1の基板を第2の基板の開口部内に配置した状態で、第1及び第2の基板間を電気的且つ機械的に接続する可撓性の接続部材と、を具備してなることを特徴とする。
【0013】
また本発明は、上記構成の半導体装置の製造方法において、第1の基板上に半導体チップを搭載する工程と、前記半導体チップ上にヒートシンクを接続する工程と、第1の基板の面方向の外形よりも大きな開口部が設けられた第2の基板の該開口部内に第1の基板を配置する工程と、第1の基板を第2の基板の開口部内に配置した状態で、前記ヒートシンクの端部を第2の基板に接続する工程と、第1及び第2の基板間を可撓性の接続部材で電気的且つ機械的に接続する工程と、を含むことを特徴とする。
【0014】
また本発明は、上記構成の半導体装置の製造方法において、第1の基板上に半導体チップを搭載する工程と、第1の基板の面方向の外形よりも大きな開口部が設けられた第2の基板の該開口部内に第1の基板を配置する工程と、第1の基板を第2の基板の開口部内に配置した状態で、第1及び第2の基板間を可撓性の接続部材で電気的且つ機械的に接続する工程と、前記半導体チップ上にヒートシンクを接続し、且つ該ヒートシンクの端部を第2の基板に接続する工程と、を含むことを特徴とする。
【0015】
(作用)
本発明によれば、半導体チップを搭載した第1の基板とこの第1の基板を搭載すべき第2の基板とが平面的に密着して接続されるのではなく、可撓性の接続部材を介して接続されているので、第1の基板と第2の基板との膨張係数の違いで歪みが発生することはない。しかも、仮に第2の基板に大きな反りが発生しても、第2の基板の反りを接続部材で吸収することができ、第1の基板の反りを抑制することができる。これとは逆に、仮に第1の基板に大きな反りが発生しても、第1の基板の反りを接続部材で吸収することができ、第2の基板の反りを抑制することができる。これにより、半導体チップ−基板間の接続不良や基板−基板間の接続不良の発生を防止することができる。
【0016】
また、第1の基板を第2の基板の開口部内に配置することにより、パッケージとしての厚さ増大を抑制することが可能となる。これは特に、第1の基板としてインターポーザを用い、第2の基板としてマザーボードなどを用いた場合に有効である。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
【0018】
(第1の実施形態)
図1及び図2は、本発明の第1の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を説明するためのもので、図1はパッケージを垂直方向に切った側断面図、図2はパッケージを下方向からみた下面図である。
【0019】
図中11は半導体チップであり、この半導体チップ11はチップサイズと同等のサイズの第1の基板14上に搭載され、ILB12とアンダーフィル13により接続されている。第1の基板14は、BTレジンやガラスエポキシなどをコアとするビルドアップ基板である。ここで、チップサイズは例えば15mm□、チップ厚さは例えば0.7mm、基板厚さは例えば1mmである。
【0020】
第2の基板17は第1の基板と同じ材料からなるもので、この基板17には、第1の基板14の面方向の外形よりも僅かに大きな開口部18が設けられている。そして、第1の基板14は第2の基板17の開口部18内に配置され、この状態で、第1の基板14と第2の基板17とがフレキシブル基板(接続部材)19により接続されている。フレキシブル基板19は、例えばポリイミドフィルムやPETフィルムの上にCu配線を形成したものであり、該配線を各基板14,17の裏面に形成された配線に接続することにより、機械的接続と共に電気的接続が可能となっている。
【0021】
また、半導体チップ11の上面には、チップ冷却のためのIHS16がAgペースト等のTIM15により接続されている。IHS16は半導体チップ11の上面及び側面を囲むように設けられ、IHS16の下端部は第2の基板17に接着されている。
【0022】
本装置を作製する際には、まず、チップサイズと同等の第1の基板14上に半導体チップ11を搭載した後、ILB12によって半導体チップ11と第1の基板14とを電気的且つ機械的に接続する。さらに、半導体チップ11と第1の基板14との間にアンダーフィル13を充填することによって、これらを機械的に接続すると共に、ILB12を保護封止する。続いて、TIM15を用いて半導体チップ11の上面にIHS16を接着する。
【0023】
次いで、第1の基板14を第2の基板17の開口部18内に配置した状態で、IHS16と第2の基板17をシリコーン系の樹脂又はエポキシ樹脂で接着する。次いで、第1の基板14と第2の基板17を、フレキシブル基板19を用いて接続すると共に回路接続する。この接続には、例えば半田、ACF(異方性導電性シート)での圧着を用いる。
【0024】
このように本実施形態によれば、半導体チップ11を搭載した第1の基板14と、第1の基板14を配置可能な開口部18を有する第2の基板17とを、フレキシブル基板19を用いて接続することにより、第2の基板17における不良発生を低減することができる。即ち、温度変化による半導体チップ11の反りによる第1の基板14の変形がフレキシブル基板19により吸収され、第2の基板17の変形への影響が小さくなる。このため、第1の基板14の変形による実装不良を低減することができる。また、これとは逆に、第2の基板17が変形した場合、この変形はフレキシブル基板19により吸収される。このため、仮に第2の基板17が大きく変形しても、半導体チップ11と第1の基板14との間における接続不良を低減することができる。
【0025】
(第2の実施形態)
図3及び図4は、本発明の第2の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を説明するためのもので、図3は該パッケージの側断面図、図4は該パッケージの下面図である。
【0026】
図中31は半導体チップであり、この半導体チップ31はチップサイズと同等のサイズのインターポーザ(第1の基板)34上に搭載され、ILB32とアンダーフィル33により接続されている。
【0027】
マザーボード(第2の基板)37には、インターポーザ34よりも僅かに大きな開口部38が設けられており、インターポーザ34はマザーボード37の開口部38内に配置される。そして、この状態で、インターポーザ34とマザーボード37とがフレキシブル基板39により接続されている。フレキシブル基板39は、第1の実施形態と同様に表面に配線を有するものであり、該配線を各基板34,37の裏面に形成された配線に接続することにより、機械的接続と共に電気的接続が可能となっている。
【0028】
また、半導体チップ31の上面には、IHS36がTIM35により接続されている。IHS36は半導体チップ31の上面及び側面を囲むように設けられ、IHS36の下端部はマザーボード37に接着されている。
【0029】
本装置を作製する際には、まず、チップサイズと同等のインターポーザ34上に半導体チップ31を搭載した後、ILB32とアンダーフィル33によって半導体チップ31をインターポーザ34上に固定する。続いて、TIM35を用いて半導体チップ31の上面とIHS36を接着する。
【0030】
次いで、インターポーザ34をマザーボード37の開口部38内に配置した状態で、IHS36とマザーボード37をシリコーン系の樹脂又はエポキシ樹脂で接着する。次いで、インターポーザ34とマザーボード37を、第1の実施形態と同様に、フレキシブル基板39を用いて接続すると共に回路接続する。
【0031】
このように本実施形態によれば、インターポーザ34とマザーボード37とをフレキシブル基板39を介して接続することにより、インターポーザ34の反りによるマザーボード37の変形、マザーボード37の反りによるインターポーザ34の変形が抑制されることになり、第1の実施形態と同様の効果が得られる。また、インターポーザ34をマザーボード37よりも薄くしておけば、インターポーザ34を用いたことによるパッケージの厚み増大はなくなり、パッケージ全体を薄く形成することができる。
【0032】
また、前記図6のパッケージ構成と比較すると、OLBの実装工程の省略による時間短縮をはかることができると共に、OLBの不良発生を無くすことができる。さらに、図6の構成よりもパッケージ厚さを薄くすることができる。
【0033】
(変形例)
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。実施形態では、第1及び第2の基板間を接続するためにフレキシブル基板を用いたが、この代わりに高屈曲性のケーブルを用いることができる。また、ヒートシンクはIHSに限るものではなく、仕様に応じて適宜変更可能である。さらに、ヒートシンクを省略することも可能である。また、BGA型に限定されるものではなく、PGA(Pin Grid Array)型や、その他の各種パッケージに適用することが可能である。
【0034】
また、実施形態では、IHS等のヒートシンクと第2の基板とを接続した後に、第1及び第2の基板をフレキシブル基板等の接続部材により接続するようにしたが、これとは逆に接続部材を用いて第1及び第2の基板を接続した後に、ヒートシンクの端部を第2の基板に接続するようにしても良い。
【0035】
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【0036】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、半導体チップが搭載された第1の基板を第2の基板の開口部内に配置した状態で、これらの基板を可撓性の接続部材で電気的且つ機械的に接続することにより、パッケージの反りを抑制して不良発生を防止することができ、且つパッケージの厚さ増大を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を示す断面図。
【図2】第1の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を示す下面図。
【図3】第2の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を示す断面図。
【図4】第2の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を示す下面図。
【図5】従来のIHS付きBGA型パッケージの例を示す断面図。
【図6】従来のIHS付きBGA型パッケージの別の例を示す断面図。
【符号の説明】
11,31…半導体チップ
12,32…ILB
13,33…アンダーフィル
14…第1の基板
15,35…TIM
16,36…IHS
17…第2の基板
18,38…開口部
19,39…フレキシブル基板(接続部材)
34…インターポーザ(第1の基板)
37…マザーボード(第2の基板)
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップを基板上に搭載した半導体装置に係わり、特にBGA(Ball Grid Array)型のパッケージ等の反り変形の改善をはかった半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半田ボール端子を多数設けた樹脂製の基板に半導体チップをフリップチップ接続してなるBGA型のパッケージを有する半導体装置が種々提案されている。
【0003】
図5及び図6は、従来のIHS(Integrated Heat Spreader)付きBGA型パッケージの概略構成を示す断面図である。図5の例では、基板54上に半導体チップ51をILB(Inner Lead Bump)52及びアンダーフィル53で接着し、チップ51上にTIM(Thermal Interface Material)55を用いてIHS56を搭載する(例えば、特許文献1,2参照)。
【0004】
しかし、図5の構造では、IHS56とチップ51と基板54の線膨張係数の違いにより、パッケージが凸状に沿ってしまい、このためにチップ51と基板54との接続不良が発生するという問題がある。
【0005】
図6の例では、インターポーザ64上に半導体チップ61をILB62及びアンダーフィル63で接着し、チップ61上にTIM65を用いてIHS66を搭載する。続いて、インターポーザ64とマザーボード67をOLB(Outer Lead
Bump)68で接続する。
【0006】
しかし、図6の構造では、IHS66とチップ61とインターポーザ64とマザーボード67の線膨張係数の違いにより、パッケージが凸状に沿ってしまい、このためにチップ61とインターポーザ66との接続不良、更にはインターポーザ64とマザーボード67との接続不良が発生するという問題がある。また、図6の構成では、インターポーザ64が介在していることにより、パッケージの厚みがその分だけ厚くなってしまう問題もある。
【0007】
【特許文献1】
特開平11−163186号公報
【0008】
【特許文献2】
特開2000−200984号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来、IHS付きBGA型パッケージにおいては、パッケージの反りの発生により接続不良を起こす問題があった。さらに、マザーボード上にインターポーザを介して半導体チップを搭載した場合、パッケージの厚さが厚くなってしまう問題があった。
【0010】
本発明は、上記事情を考慮して成されたもので、その目的とするところは、パッケージの反りを抑制して不良発生を防止することができ、且つパッケージの厚さ増大を抑制することができる半導体装置及びその製造方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
(構成)
上記課題を解決するために本発明は、次のような構成を採用している。
【0012】
即ち本発明は、半導体チップをマウントした半導体装置において、半導体チップが搭載された第1の基板と、第1の基板の面方向のサイズよりも大きな開口部が設けられた第2の基板と、第1の基板を第2の基板の開口部内に配置した状態で、第1及び第2の基板間を電気的且つ機械的に接続する可撓性の接続部材と、を具備してなることを特徴とする。
【0013】
また本発明は、上記構成の半導体装置の製造方法において、第1の基板上に半導体チップを搭載する工程と、前記半導体チップ上にヒートシンクを接続する工程と、第1の基板の面方向の外形よりも大きな開口部が設けられた第2の基板の該開口部内に第1の基板を配置する工程と、第1の基板を第2の基板の開口部内に配置した状態で、前記ヒートシンクの端部を第2の基板に接続する工程と、第1及び第2の基板間を可撓性の接続部材で電気的且つ機械的に接続する工程と、を含むことを特徴とする。
【0014】
また本発明は、上記構成の半導体装置の製造方法において、第1の基板上に半導体チップを搭載する工程と、第1の基板の面方向の外形よりも大きな開口部が設けられた第2の基板の該開口部内に第1の基板を配置する工程と、第1の基板を第2の基板の開口部内に配置した状態で、第1及び第2の基板間を可撓性の接続部材で電気的且つ機械的に接続する工程と、前記半導体チップ上にヒートシンクを接続し、且つ該ヒートシンクの端部を第2の基板に接続する工程と、を含むことを特徴とする。
【0015】
(作用)
本発明によれば、半導体チップを搭載した第1の基板とこの第1の基板を搭載すべき第2の基板とが平面的に密着して接続されるのではなく、可撓性の接続部材を介して接続されているので、第1の基板と第2の基板との膨張係数の違いで歪みが発生することはない。しかも、仮に第2の基板に大きな反りが発生しても、第2の基板の反りを接続部材で吸収することができ、第1の基板の反りを抑制することができる。これとは逆に、仮に第1の基板に大きな反りが発生しても、第1の基板の反りを接続部材で吸収することができ、第2の基板の反りを抑制することができる。これにより、半導体チップ−基板間の接続不良や基板−基板間の接続不良の発生を防止することができる。
【0016】
また、第1の基板を第2の基板の開口部内に配置することにより、パッケージとしての厚さ増大を抑制することが可能となる。これは特に、第1の基板としてインターポーザを用い、第2の基板としてマザーボードなどを用いた場合に有効である。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
【0018】
(第1の実施形態)
図1及び図2は、本発明の第1の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を説明するためのもので、図1はパッケージを垂直方向に切った側断面図、図2はパッケージを下方向からみた下面図である。
【0019】
図中11は半導体チップであり、この半導体チップ11はチップサイズと同等のサイズの第1の基板14上に搭載され、ILB12とアンダーフィル13により接続されている。第1の基板14は、BTレジンやガラスエポキシなどをコアとするビルドアップ基板である。ここで、チップサイズは例えば15mm□、チップ厚さは例えば0.7mm、基板厚さは例えば1mmである。
【0020】
第2の基板17は第1の基板と同じ材料からなるもので、この基板17には、第1の基板14の面方向の外形よりも僅かに大きな開口部18が設けられている。そして、第1の基板14は第2の基板17の開口部18内に配置され、この状態で、第1の基板14と第2の基板17とがフレキシブル基板(接続部材)19により接続されている。フレキシブル基板19は、例えばポリイミドフィルムやPETフィルムの上にCu配線を形成したものであり、該配線を各基板14,17の裏面に形成された配線に接続することにより、機械的接続と共に電気的接続が可能となっている。
【0021】
また、半導体チップ11の上面には、チップ冷却のためのIHS16がAgペースト等のTIM15により接続されている。IHS16は半導体チップ11の上面及び側面を囲むように設けられ、IHS16の下端部は第2の基板17に接着されている。
【0022】
本装置を作製する際には、まず、チップサイズと同等の第1の基板14上に半導体チップ11を搭載した後、ILB12によって半導体チップ11と第1の基板14とを電気的且つ機械的に接続する。さらに、半導体チップ11と第1の基板14との間にアンダーフィル13を充填することによって、これらを機械的に接続すると共に、ILB12を保護封止する。続いて、TIM15を用いて半導体チップ11の上面にIHS16を接着する。
【0023】
次いで、第1の基板14を第2の基板17の開口部18内に配置した状態で、IHS16と第2の基板17をシリコーン系の樹脂又はエポキシ樹脂で接着する。次いで、第1の基板14と第2の基板17を、フレキシブル基板19を用いて接続すると共に回路接続する。この接続には、例えば半田、ACF(異方性導電性シート)での圧着を用いる。
【0024】
このように本実施形態によれば、半導体チップ11を搭載した第1の基板14と、第1の基板14を配置可能な開口部18を有する第2の基板17とを、フレキシブル基板19を用いて接続することにより、第2の基板17における不良発生を低減することができる。即ち、温度変化による半導体チップ11の反りによる第1の基板14の変形がフレキシブル基板19により吸収され、第2の基板17の変形への影響が小さくなる。このため、第1の基板14の変形による実装不良を低減することができる。また、これとは逆に、第2の基板17が変形した場合、この変形はフレキシブル基板19により吸収される。このため、仮に第2の基板17が大きく変形しても、半導体チップ11と第1の基板14との間における接続不良を低減することができる。
【0025】
(第2の実施形態)
図3及び図4は、本発明の第2の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を説明するためのもので、図3は該パッケージの側断面図、図4は該パッケージの下面図である。
【0026】
図中31は半導体チップであり、この半導体チップ31はチップサイズと同等のサイズのインターポーザ(第1の基板)34上に搭載され、ILB32とアンダーフィル33により接続されている。
【0027】
マザーボード(第2の基板)37には、インターポーザ34よりも僅かに大きな開口部38が設けられており、インターポーザ34はマザーボード37の開口部38内に配置される。そして、この状態で、インターポーザ34とマザーボード37とがフレキシブル基板39により接続されている。フレキシブル基板39は、第1の実施形態と同様に表面に配線を有するものであり、該配線を各基板34,37の裏面に形成された配線に接続することにより、機械的接続と共に電気的接続が可能となっている。
【0028】
また、半導体チップ31の上面には、IHS36がTIM35により接続されている。IHS36は半導体チップ31の上面及び側面を囲むように設けられ、IHS36の下端部はマザーボード37に接着されている。
【0029】
本装置を作製する際には、まず、チップサイズと同等のインターポーザ34上に半導体チップ31を搭載した後、ILB32とアンダーフィル33によって半導体チップ31をインターポーザ34上に固定する。続いて、TIM35を用いて半導体チップ31の上面とIHS36を接着する。
【0030】
次いで、インターポーザ34をマザーボード37の開口部38内に配置した状態で、IHS36とマザーボード37をシリコーン系の樹脂又はエポキシ樹脂で接着する。次いで、インターポーザ34とマザーボード37を、第1の実施形態と同様に、フレキシブル基板39を用いて接続すると共に回路接続する。
【0031】
このように本実施形態によれば、インターポーザ34とマザーボード37とをフレキシブル基板39を介して接続することにより、インターポーザ34の反りによるマザーボード37の変形、マザーボード37の反りによるインターポーザ34の変形が抑制されることになり、第1の実施形態と同様の効果が得られる。また、インターポーザ34をマザーボード37よりも薄くしておけば、インターポーザ34を用いたことによるパッケージの厚み増大はなくなり、パッケージ全体を薄く形成することができる。
【0032】
また、前記図6のパッケージ構成と比較すると、OLBの実装工程の省略による時間短縮をはかることができると共に、OLBの不良発生を無くすことができる。さらに、図6の構成よりもパッケージ厚さを薄くすることができる。
【0033】
(変形例)
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。実施形態では、第1及び第2の基板間を接続するためにフレキシブル基板を用いたが、この代わりに高屈曲性のケーブルを用いることができる。また、ヒートシンクはIHSに限るものではなく、仕様に応じて適宜変更可能である。さらに、ヒートシンクを省略することも可能である。また、BGA型に限定されるものではなく、PGA(Pin Grid Array)型や、その他の各種パッケージに適用することが可能である。
【0034】
また、実施形態では、IHS等のヒートシンクと第2の基板とを接続した後に、第1及び第2の基板をフレキシブル基板等の接続部材により接続するようにしたが、これとは逆に接続部材を用いて第1及び第2の基板を接続した後に、ヒートシンクの端部を第2の基板に接続するようにしても良い。
【0035】
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【0036】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、半導体チップが搭載された第1の基板を第2の基板の開口部内に配置した状態で、これらの基板を可撓性の接続部材で電気的且つ機械的に接続することにより、パッケージの反りを抑制して不良発生を防止することができ、且つパッケージの厚さ増大を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を示す断面図。
【図2】第1の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を示す下面図。
【図3】第2の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を示す断面図。
【図4】第2の実施形態に係わるIHS付きBGA型パッケージの概略構成を示す下面図。
【図5】従来のIHS付きBGA型パッケージの例を示す断面図。
【図6】従来のIHS付きBGA型パッケージの別の例を示す断面図。
【符号の説明】
11,31…半導体チップ
12,32…ILB
13,33…アンダーフィル
14…第1の基板
15,35…TIM
16,36…IHS
17…第2の基板
18,38…開口部
19,39…フレキシブル基板(接続部材)
34…インターポーザ(第1の基板)
37…マザーボード(第2の基板)
Claims (12)
- 半導体チップが搭載された第1の基板と、
第1の基板の面方向のサイズよりも大きな開口部が設けられた第2の基板と、第1の基板を第2の基板の開口部内に配置した状態で、第1及び第2の基板間を電気的且つ機械的に接続する可撓性の接続部材と、
を具備してなることを特徴とする半導体装置。 - 前記接続部材は、表面に配線が形成されたフレキシブル基板又は高屈曲性のケーブルであることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 第1の基板のチップ搭載面側に、前記半導体チップに接するヒートシンクが設けられ、このヒートシンクの端部は第2の基板に接続されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 第1の基板は第2の基板よりも薄く形成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 第1の基板はインターポーザであり、第2の基板はマザーボードであることを特徴とする請求項1又は4記載の半導体装置。
- 第1の基板の面方向のサイズは、前記半導体チップの面方向のサイズとほぼ同じであることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 第1の基板上に半導体チップを搭載する工程と、
前記半導体チップ上にヒートシンクを接続する工程と、
第1の基板の面方向の外形よりも大きな開口部が設けられた第2の基板の該開口部内に第1の基板を配置する工程と、
第1の基板を第2の基板の開口部内に配置した状態で、前記ヒートシンクの端部を第2の基板に接続する工程と、
第1及び第2の基板間を可撓性の接続部材で電気的且つ機械的に接続する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1の基板上に半導体チップを搭載する工程と、
第1の基板の面方向の外形よりも大きな開口部が設けられた第2の基板の該開口部内に第1の基板を配置する工程と、
第1の基板を第2の基板の開口部内に配置した状態で、第1及び第2の基板間を可撓性の接続部材で電気的且つ機械的に接続する工程と、
前記半導体チップ上にヒートシンクを接続し、且つ該ヒートシンクの端部を第2の基板に接続する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記接続部材として、表面に配線が形成されたフレキシブル基板又は高屈曲性のケーブルを用いたことを特徴とする請求項7又は8記載の半導体装置の製造方法。
- 第1の基板ほ第2の基板よりも薄く形成したことを特徴とする請求項7又は8記載の半導体装置の製造方法。
- 第1の基板としてインターポーザを用い、第2の基板はマザーボードを用いたことを特徴とする請求項7,8又は10記載の半導体装置の製造方法。
- 第1の基板の面方向のサイズを、前記半導体チップの面方向のサイズとほぼ同じにしたことを特徴とする請求項7又は8記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003182630A JP2005019692A (ja) | 2003-06-26 | 2003-06-26 | 半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003182630A JP2005019692A (ja) | 2003-06-26 | 2003-06-26 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005019692A true JP2005019692A (ja) | 2005-01-20 |
Family
ID=34182957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003182630A Pending JP2005019692A (ja) | 2003-06-26 | 2003-06-26 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005019692A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9615483B2 (en) | 2014-09-12 | 2017-04-04 | Intel Corporation | Techniques and configurations associated with a package load assembly |
-
2003
- 2003-06-26 JP JP2003182630A patent/JP2005019692A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9615483B2 (en) | 2014-09-12 | 2017-04-04 | Intel Corporation | Techniques and configurations associated with a package load assembly |
KR101762502B1 (ko) * | 2014-09-12 | 2017-07-27 | 인텔 코포레이션 | 패키지 적재 조립체와 연관되는 기법 및 구성 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5990545A (en) | Chip scale ball grid array for integrated circuit package | |
US5866949A (en) | Chip scale ball grid array for integrated circuit packaging | |
US7348218B2 (en) | Semiconductor packages and methods of manufacturing thereof | |
US7071030B2 (en) | Method of making a flexible substrate with a filler material | |
US20060249852A1 (en) | Flip-chip semiconductor device | |
US7656015B2 (en) | Packaging substrate having heat-dissipating structure | |
US7300822B2 (en) | Low warpage flip chip package solution-channel heat spreader | |
JP5899768B2 (ja) | 半導体パッケージ、配線基板ユニット、及び電子機器 | |
JP2000077563A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US7605020B2 (en) | Semiconductor chip package | |
JP2015082576A (ja) | 電子装置、電子機器及び電子装置の製造方法 | |
JP2016092300A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
KR100990396B1 (ko) | 적층 웨이퍼 레벨 패키지 및 이의 제조 방법 | |
JP4626445B2 (ja) | 半導体パッケージの製造方法 | |
JP4919689B2 (ja) | モジュール基板 | |
JPH11260962A (ja) | ボールグリッドアレイ型半導体装置 | |
US20050035444A1 (en) | Multi-chip package device with heat sink and fabrication method thereof | |
JPH11214448A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
CN210575901U (zh) | 具有高散热性的板级扇出封装结构 | |
JP2005019692A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2005216878A (ja) | 半導体パッケージ及びその実装構造 | |
JPH1154532A (ja) | 半導体素子用パッケージ | |
JP3626631B2 (ja) | Lsiチップの実装構造 | |
JP2000353711A (ja) | 半導体装置及び半導体装置用部材 | |
JP2006253179A (ja) | 半導体装置の製造方法と製造装置 |